DE2117281A1 - Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes

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semiconductor
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Pending
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DE19712117281
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Inventor
Jean-Pierre Saulx-les-Chartereux; Louis Yves Saint-Vrain; Biet (Frankreich)
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Alcatel Lucent SAS
Original Assignee
Compagnie Generale dElectricite SA
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P50/00—Etching of wafers, substrates or parts of devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
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BE765188A (fr) 1971-10-04
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NL7104861A (https=) 1971-10-15

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