DE2106925A1 - Lithographische Vorrichtung - Google Patents

Description

2106923

PATENTANWALT

NG. 11. Februar 1971

HELMUT GDRTZ _Qzx/hk

Frankfurt am Main 70
Schneckenhofsir. 27-TeI. 61 7079

FRANK JOHN RADENCIC, Kansas City, Kansas, U. S. A.

Lithographische Vorrichtung

Die Erfindung betrifft allgemein eine Anlage zur Verwendung bei der Behandlung von fotoempfindlichen Materialien und insbesondere eine Vorrichtung zum Behandeln einer fotoempfindlichen Oberfläche durch aufeinanderfolgende Formatbildung - auf unterschiedlichen vorbestimmten im Abstand liegenden Abschnitten der Oberfläche, versetzt zueinander in einer oder beiden eines Paares von rechtwinkligen Richtungen - identischer Fotoabdrucke eines Abbildes, das mittels Durchfall von Licht durch ein einziges abbildformendes Negativ oder Positiv dargestellt ist₀

Bei der Fotolithographie ist es oft erwünscht, eine Anzahl von im Abstand liegenden identischen Fotoabdrucken auf eine chemisch behandelte fotoempfindliche Oberfläche einer metallischen Platteunter Verwendung eines einzigen Negativs oder Positivs zu machen. Diese Arbeit erfordert, daß das Negativ oder Positiv zu der fotoempfindlichen Oberfläche mit großer Genauigkeit ausgerichtet und relativ zu dieser angeordnet 1st. Ein Fortschritt hinsichtlich Geschwindigkeit und Genauigkeit wurde durch die Lehre der USA-Patentschrift Nr. 2 825 976 erreicht. Während die in dieser Patentschrift beschriebene Vorrichtung das Anordnen und Wiederanordnen eines Negative oder Positivs relativ zu der fotoempfindlichen Oberfläche in einer senkrechten Richtung ohne das Erfordernis der einzelnen

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Ausrichtung in jeder Stellung ermöglicht, ist es dort erforderlich das Negativ oder Positiv relativ zu dem Rahmen, auf dem es getragen wird, wenn ein anderes Gebiet der fotoempfindlichen Oberfläche, parallel jedoch im Abstand von dem ersten exponierten Gebiet, exponiert werden soll, wieder anzubringen. DarUberhinaus haben die Fortschritte in der Technik der Fotolithographie das Bedürfnis nach einer Vorrichtung erbracht, die in der Lage ist, Negative oder Positive an Stellen anzuordnen, die im Abstand voneinander liegen, der gleich einem kleineren Bruchteil der Abmessungen des Negativs oder Positivs ist, als es mit der Vorrichtung nach der USA-Patentschrift Nr. 2 825 976 erreicht werden kann. Es ist daher Hauptziel der Erfindung die Schaffung einer fotolithographischen Vorrichtung zur Behandlung einer fotoempfindlichen Oberfläche durch aufein-anderfolgende Formatbildung, auf unterschiedlichen vorbestimmten im Abstand liegenden Abschnitten der Oberfläche identischer Fotoabdrucke eines Abbildes, das mittels Durchfall von Licht durch ein abbildformendes Negativ oder Positiv erzeugt wurde, wodurch das Negativ oder Positiv auf einen Rahmen angeordnet und relativ zu der fotoempfindlichen Oberfläche in einer oder zwei senkrechten Richtungen ohne das Erfordernis des Wiederanbringens der Negative oder Positive relativ zu dem Rahmen bewegt werden kann.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer fotolithographischen Vorrichtung, wie sie im vorangehenden beschrieben wurde, wobei die gleiche Vorrichtung zur Positionierung von Negativen oder Positiven verschiedener Abmessungen in vorbestimmten im Abstand liegenden Intervallen entlang einer fotoempfindlichen Oberfläche ohne größer· Einjustierung der Vorrichtung für die besondere Abmessung d«r verwendeten Negativt oder Positive verwendet werden kann.

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Ferner ist Ziel der Erfindung die Schaffung einer fotolithographischen Vorrichtung^ wie sie in den beiden vorhergehenden Absätzen beschrieben wurde, wobei die Abstand-haltung zwischen aufeinanderfolgenden identischen Abbildern über einen Bereich eines beliebigen Vielfachen von etwa 0,08 cm (1/32 inch) variiert werden kann.

Eiii noch weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer fotolithographischen Vorrichtung zur Behandlung einer fotoempfindlichen Vorrichtung, wobei die Anordnung eines Negativs oder Positivs relativ zu der Oberfläche mittels eines Trägergliedes und eines negativtragenden Rahmens erreicht wird, die beide relativ zu einer Führungstafeln in einander entgegengesetzten senkrechten Richtungen bewegbar sind, wobei die Führungstafel die fotoempfindliche Oberfläche trägt.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer fotolithographischen Vorrichtung, wie sie in den vorstehenden Absätzen beschrieben wurde, wobei das Trägerglied transparent ist, um lichtunabhängig von der Stellung des positiv- oder negativtragenden Rahmens relativ dazu -nicht hindurchfallen zu lassen.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den beiliegenden Darstellungen von Aueführungebeispielen sowie aus der folgenden Beschreibung.

Es zeigern

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Figur 1 eine Draufsicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die ihre Verwendung beim Anordnen eines abbildformenden Negativs relativ zu der fotempfindlichen Oberfläche veranschaulicht,

Figur 2 eine Schnittansicht der Vorrichtung entlang der Linie II - II von Figur 1 und

Figur 3 eine vergrößerte Teilansicht der Führungstafel und des Trägergliedes der Vorrichtung, die die Mittel zum Anordnen des Trägergliedes relativ zu der Führungstafel in Inkrementen von etwa 0,08 cm (1/32 inch) veranschaulicht»

Entsprechend Figur 1 enthält die Vorrichtung 10 eine Führungstafel 12, die eine fotoempfindliche Oberfläche 14, ein im allgemeinen transparentes Trägerglied 16 und einen Rahmen 18 enthält, der sandwichartig zwischen der Unterseite des Gliedes 16 und der fotoempfindlichen Oberfläche 14 liegt. Die Führungstafel 12 ist vorzugsweise ein relativ dünnes Blatt aus flexiblem Material, beispielsweise Aluminium. Die Führungetafel 12 hat ein erstee Paar von länglichen Serien von Perforationen 20 und 22 auf einander gegenüberliegenden Enden sowie ein zweites Paar von länglichen Serien von Perforationen 24 und 26 angrenzend an die beiden anderen Enden, Jede der länglichen Serien von Perforationen 20, 22, 24 und 26 enthalten erste und zweite im Abstand liegende Reihen von Perforationen, wobei die Perforationen in einer Reihe längs der Reihe relativ zu den Perforationen in der anderen Reihe versetzt sind. Die Mittelpunkte der Perforationen jeder Reihe liegen in einem vorbestimmten Abstand, vorzugsweise etwa 1,27 cm (1/2 inch) auseinander, und die Mittelpunkte der Perforationen in einer der Reihen jedee Paares sind längs der Reihe relativ zu den

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Mittelpunkten der Perforationen in der anderen Reihe um einen Abstand gleich der Hälfte des zuvor erwähnten vorbe- " stimmten Abstandes versetzt.

Das Trägerglied 16 enthält ein Blatt aus im allgemeinen transparentem Material, welches eine lichtdurchlässig· Zone darstellt, die sich über die gesamte fotoempfindliche Oberfläche 14 erstreckt und erste, zweite, dritte und vierte Reihen von Öffnungen 28, 30, 32 und 34 hat. Die ersten und zweiten Reihen von Öffnungen 28 und 30 liegen im Abstand Voneinander, der gleich dem Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen von Perforationen in der länglichen Serie 20 ist, und die Reihen von Öffnungen 32 und 34 liegen in einem Abstand voneinander, der gleich dem Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen von Perforationen in der länglichen Serie 22 isto

Die Öffnungen in der ersten Reihe 28 liegen im gleichen Abstand voneinander wie die Öffnungen in der dritten Reihe 32, und die Öffnungen in der zweiten Reihe 30 liegen im gleichen Abstand wie die Öffnungen der vierten Reih· Der Abstand zwischen den Öffnungen in den beiden Reihen 28 und 30 und in den beiden Reihen 32 und 34 ist so gewählt, daß ein Anordnen des Gliedes 16 relativ zu der Tafel 12 in jeder einer Anzahl von Stellungen möglich"ist, die voneinander durch ein beliebiges Vielfaches von 1/16 des zuvor erwähnten vorbestimmten Abstandes zwischen den Mittelpunkten der Perforationen in den jeweiligen Reihen der länglichen Serien 20 und 22 getrennt sind. Das Trägerglied 16 hat ein Paar von im Abstand liegenden länglichen Serien von Öffnungen 36 und 38, die senkrecht, zu den länglichen

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Serien von Perforationen 20 und 22 liegen. Jede der länglichen Serien von Öffnungen 36 und 38 enthalten erste und zweite im Abstand liegende parallele Reihen von Öffnungen, wobei die Öffnungen in jeder Reihe in einem gleichen Abstand voneinander liegen, der ein Teillnkrement der Abmessung des auf dem fotoempfindlichen Blatt zu bildenden Abbildes ist, die normal zu der zuerst erwähnten Abmessung liegt. Die Mittelpunkte der Öffnungen in einer der Reihen jeder der Serien 36 und 38 liegen in einem vorbestimmten Abstand, vorzugsweise etwa 1,27 cm (1/2 inch), welcher gleich dem Teilinkrement ist, und die Mittelpunkte der Öffnungen in der anderen Reihe sind längs der Reihe relativ zu den Mittelpunkten der Öffnungen in der zuerst erwähnten Reihe um einen Abstand versetzt, der gleich der Hälfte des zuvor erwähnten vorbestimmten Abstandes ist.

Der Rahmen 18 enthält ein Blatt aus opakem Material, von dem ein Abschnitt entfernt ist, um ein lichtdurchlässiges Gebiet darzustellen. Sin ebbildformendes Fotonegativ 40 ist an dem Rahmen 18 in Ausrichtung mit dem lichtdurchlässigen Gebiet befestigt. £*er Rahmen 18 ist auch mit ersten,zweiten, dritten und vierten Reihen von Löchern 42, 44, 46 und 48 versehen. Die eraten und zweiten Reihen von Löchern 42 und 44 liegen in einem Abstand voneinander, der gleich dom Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen der Öffnungen in der länglichen Serie 36 let, und die dritten und vierten Reihen von Löschern 46 und 48 liegen in einem Abstand voneinander, die gleich dem Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen von Öffnungen in der länglichen Serie 38 ist. Der Abstand zwischen den

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Löchern in den beiden Reihen 42 und 44 und in den beiden Reihen 46 und 48 ist so ausgewähnlt, daß ein Anordnen des Rahmens 18 relativ zu dem Glied 16 in jeder einer Anzahl von Stellungen möglich ist, die voneinander durch ein Vielfaches von einem Sechzehntel des zuvor erwähnten vorbestimmten Abstandes zwischen den Mittelpunkten der Öffnungen in den jeweiligen Reihen der länglichen Serien 36 und 38 getrennt sind. Die Löcher in der ersten Reihe 42 liegen im gleichen Abstand voneinander wie die Löcher in der dritten Reihe 46, während die Löcher in der Reihe 44 im gleichen Abstand voneinander liegen wie die Löcher in der Reihe 46.

Man sieht, daß eine der Öffnungen in der Reihe 28 ausgerichtet ist mit einer der Perforationen in einer Reihe der länglichen Serie von Perforationen 20, und daß eine entsprechende öffnung in der dritten Reihe 32 ausgeriphtet ist mit einer entsprechenden Perforation in der entsprechenden Reihe der längliche'n Serie 22. Ein erstes Paar von Anbrdnungsstiften 50 ist abnehmbar in jeder ausgerichteten Öffnung und Perforation zum Halten des Gliedes 16 in Stellung relativ zu der FUhrungstafel 12 angeordnet. Ähnlich befindet sich eine der Öffnungen in einer der Reihen der länglichen Serie 36 in Auerichtung mit einem Loch in der ersten Reihe 42, und eine entsprechende Öffnung in der entsprechenden Reihe der länglichen Serie 48 in Auerichtung mit einem entsprechenden Loch in der dritten Reihe 46. Ein zweites Paar von Anordnungs*tift*n $2 ist abnehmbar in jedem ausgerichteten Loch und öffnung zum Anordnen des Rahmens 18 relativ su de« Glied 16 vorgesehen.

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Wenn die fotoempfindliche Oberfläche 14 an der Führungstafel 12, wie in Figur 1 dargestellt, befestigt ist und der Rahmen 18 und das Trägerglied 16 in geschichteter Beziehung, wie in Figur 2 dargestellt, liegen, ist der Lithograph bereit zum exponieren der gesamten Oberfläche 14 mit einem einzigen Anbringen des Negativs 40 auf dem Rahmen 18. Man sieht, daß jede beliebige öffnung in den ersten und zweiten Reihen von öffnungen 28 und 30 mit jeder beliebigen Perforation in der entsprechenden Reihe der länglichen Serie von Perforationen 20 wahlweise in Ausrichtung gebracht werden kann.

Ähnlich kann eine entsprechende öffnung in einer der dritten und vierten Reihen von öffnungen 32 und 34 simultan mit einer entsprechenden Perforation in der entsprechenden Reihe der anderen länglichen Serie von Perforationen 22 ausgerichtet werden. Somit können, obgleich in Figur 1 die Mittelöffnung in der Rrihe 28 in Ausrichtung mit einer im allgemeinen zentral angeordneten Perforation in der äußersten Reihe der Serie 20 dargestellt ist, zahl- reiche andere Auswahlen getroffen werden. Man sieht auch, daß jedes der Löcher in den ersten und zweiten Reihen von Löchern 42 und 44 wahlweise mit einer beiliebigen öffnung in der entsprechenden Reihe von öffnungen in der länglichen Serie 46, und ein entsprechendes Loch in einer der dritten oder vierten Reihe von Löchern 46 und 48 simultan mit einer entsprechenden öffnung in der entsprechenden Reihe der länglichen Serie von Öffnungen 38 ausgerichtet werden kann. Während die Stellung der Stifte 42 in dem Loch dargestellt ist, welches zentral relativ zu der Reihe 42 liegt, kann dennoch der Rahmen 18 relativ zu dem Glied 16 ait verschie denen anderen Löchern in Auerichtung mit einer der öffnungen 36 und 38 angeordnet werden.

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Nimmt man Jedoch an, daß es erwünscht ist, zuerst das Negativ 40 relativ zu der Oberfläche 14 nach links von der in Figur 1 dargestellten Stellung zu bewegen, daß das Negativ 40 eine Querdimension von etwa 2 cm (26/32 inch) von links nach rechts hat, und daß es weiter erwünscht ist, die aufeinanderfolgenden Abbilder, die mittels Lichtdurchfall durch das Negativ 40 gebildet werden, um Inkremente von etwa 0,08 cm (1/32 inch) zu trennen, so ist es notwendig, das Glied 16 relativ zu der Oberfläche 14 um einen Abstand von etwa 2,08 cm (27/32 inch) zu bewegen. Eine Anordnungskarte 54 ist auf der Vorderfläche des Gliedes 16 vorgesehen und in Figur 3 im einzelnen dargestellt. Wenn der Anordnungsstift 50 sich innerhalb der Öffnung in der Reihe 32, wie in Figur 3 dargestellt, befindet, ist diese Öffnung der Null- oder Bezugspunkt, wie durch die unterbrochene Linie veranschaulicht wird, die durch die Bezugskreise mit den Bruchteilen 1A- 3/4 und 1-1/2 führt. Die Bezugskarte gibt Auskunft, welche der Öffnungen in den Reihen 32 und 34 in Ausrichtung mit einer entsprechenden Perforation in der Serie 22 gebracht werden muß, um eine Bewegung des Gliedes 16 relativ zu der Oberfläche 14 um eine Strecke von etwa 2,08 cm (27/32 inch) zu bewirken. Aus Figur 3 ersieht man, daß der vierte Bezugskreis links von dem Nullbezugspunkt und in der obersten Reihe der Bezugsziffern den Bruchteil 27/32 (inch) enthält, wodurch angezeigt wird, daß es die vierte Öffnung links von der Nulloder Bezugsöffnung in Reihe 34 ist, der mit einer entsprechenden Perforation ausgerichtet werden muß, um eine Bewegung des Gliedes 16 um 2,08 cm (27/32 inch) zu bewirken. Der Bezugskreis, welcher den Bruchteil 27/32 enthält, enthält auch den Bruchteil 11/32, wodurch angezeigt wird, daß die vierte Öffnung links von der Nullöffnung in Reihe 34 über die erste Perforation in der innersten Reihe der Serie 22, mit der sie in Ausrichtung kommt, bewegt werden muß, bis zur zweiten folgenden Perforation

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- ίο -

in der innersten Reihe der Serie 22, mit der sie in Ausrichtung kommt. Es ist natürlich klar, daß eine entsprechende Perforation in der Reihe 30 in Ausrichtung mit einer der Perforationen in der inneresten Reihe der Serie 20 bewegt wird, um die Anordnung des Negativs 40 an eine Stelle im Abstand von etwa 0,08 cm (1/32 inch) zu der in Figur 1 dargestellten Position zu vollenden. Dieser Anordnungsvorgang kann beliebig häufig wiederholt werden, bis der Teil der Oberfläche 14, der durch ein Gebiet von links nach rechts in Figur 1 mit einer Breite gleich der Breite des Negativs 40 dargestellt ist, vollständig exponiert ist. Es ist natürlich klar, daß während der tatsächlichen Expoeition mit einer Lichtquelle (nicht darges1S.lt) , das übrige Gebiet der Oberfläche 14 geeignet, beispielsweise mittels opakem Papier (nicht dargestellt) abgedeckt wird.

Es ist normalerweise erwünscht, eine zweiten Abschnitt der Oberfläche 14 zu exponieren, der im Abstand aufwärts in Figur 1 von dem ersten Abschnitt liegt und sich quer über die Oberfläche parallel zu dem ersten Abschnitt erstreckt. Der Rahmen 18 ist normalerweise mit einer Anordnungstaste (nicht dargestellt) der gleichen Art wie die Karte 54 versehen und die Anordnungsstifte 52 werden in die richtig ausgerichteten Löcher und öffnungen bewegt, die durch die Karte angezeigt werden, wie es für das Maß der Bewegung des Rahmens 18 relativ zu dem Glied 16 richtig ist.

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Somit kann das Negativ 40 immer wieder neu in Ausrichtung mit jedem beliebigen vorbestimmten im .Abstand liegenden Abschnitt der Oberfläche 14, versetzt zueinander in einer oder beiden eines Paares von senkrechten Richtungen» ohne Verschiebung oder Neuanbringung des Negativs 40 relativ zu dem Rahmen 18 angeordnet werden« Wie aus der Anordnungskarte 54 hervorgeht, kann jedes nachfolgende Abbild von dem vorhergehenden Abbild im Abstand von einem beliebigen Vielfachen von etwa 0,08 cm (1/32 inch) in jeder der beiden Richtungen, die senkrecht zueinander sind, angeordnet werden. Auch kann durch alternatives Bewegen des Gliedes 16 relativ zu der Tafel 12 und dann des Rahmens 18 relativ zu dem Glied 16 das negativ 40 über die Oberfläche 14 entlang eines Diagonalweges in jeder beliebigen einer Anzahl von im Abstand liegenden Stellung bewegt werden. Die länglichen Serien von Perforationen 24 und 26 sind für den Fall erhältlich, daß es erwünscht 1st, das Glied 16 relativ zu der Tafel 12 in einer Richtung senkrecht zu den länglichen Serien von Perforationen 20 und 22 zu bewegen. Das Negativ 40 könnte natürlich durch ein geeignetes Fotppositiv ersetzt werden, obgleich das Negativ in den meisten Anwendunfsfallen bevorzugt wird. Während die Vorrichtung 10 die Notwendigkeit des Wideranbringens des Negativs oder Positive relativ zu dem Rahmen zwischen Abschnitten der fotoempfindlichen Oberfläche, die voneinander in einer oder beiden eines Paares von senkrechten Richtungen Ib Abstand liegen, vollständig beseitig wird, ist ein weiterer Vorteil, eine Vorrichtung zu haben, die das Negativ oder Positiv in Inkreaenten von nur 0,08 cm (1/32 inch) bewegen kann, dal} Negative und Positive variierender Größen verwendet werden können, in denen einfach die Abmessung des lichtdurchlässigen Gebietes des Rahmens 18 variiert wird.

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Claims (2)

1. - 12 -

   Patentansprüche

   Fotolithographische Vorrichtung zur Behandlung einer fotoempfindlichen Oberfläche durch aufeinanderfolgende Formatbildung auf unterschiedlichen vorbestimmten im Abstand liegenden Abschnitten der Oberfläche versetzt zueinander in einer oder beiden eines Paares von senkrechten Richtungen, identischer Fotoabdrucke eines Abbildes, das mittels Lichtdurchlaß durch ein einzelnes abbildformendes Negativ oder Positiv erzeugt wird, gekennzeichnet durch eine Führungstafel, die die Oberfläche tragen kann und ein Paar von im Abstand liegenden länglichen Serien von Perforationen an den einander gegenüberliegenden Enden aufweist, wobei die Perforationen in jeder Serie in einem gleichen Abstand voneinander liegen, der ein Teilinkrement einer Dimension des abbildformenden Negativs oder Positivs darstellt, ein Trägerglied, das den Abstand zwischen den im Abstand liegenden Serien von Perforationen überspannt, wobei das Glied eine lichtdurchlässige Zone aufweist, ein Paar von öffnungen in einem Abstand voneinander aufweist, der gleich dem Abstand zwischen den im Atstand liegender. Serien von Perforationen 1st, das ein Paar von Im Abstand liegenden länglichen Serien öffnungen aufweist, die senkrecht zu der Serie von Perforationen liegst, wobei die öffnungen in jeder Serie in einen gleichen Abstanc! voneinander liegen, der ein Tel I inkremerr:- der Bismension des abbildformenden llegatlvs oder Osir^TS ist, welche ;ior~«l zn der zuerst erwähnten Diemensien ~-3t,

   igen wahl's'«-..:- mit ,jeder Perforation

   in einer der Serien von Perforationen und die andere der öffnungen simultan mit einer entsprechenden Perforation in der anderen der Serien von Perforationen ausrichtbar ist, durch erste Mittel, die abnehmbar in jeder ausgerichteten Öffnung und Perforation zum Halten des Gliedes in einer beliebig ausgewählten Position relativ zu der Tafel angeordnet sind, durch einenRahmen, der den Abstand zwischen den im Abstand liegenden Serien von Öffnungen überspannt, wobei der R_ahmen mit einem lichtdurchlässigen Gebiet versehen sein kann und das abbildformende Negativ oder Positiv darauf in Ausrichtung mit dem Gebiet trägt, wobei der Rahmen ein Paar von im Abstand liegenden Löchern hat, von denen eines wahlweise mit einer beliebigen öffnung in einer der länglichen Serien von Öffnungen und das andere simultan mit einer entsprechenden Öffnung in der anderen der länglichen Serie von Öffnungen ausgerichtet werden kann, und durch zweite abnehmbare Mittel, die in jedem ausgerichteten Loch und Öffnung zum Halten des Rahmens in einer vorgewählten Position relativ zu dem Glied angeordnet ist, wodurch ein Negativ oder Positiv einer von verschiedenen Größen, das auf dem Rahmen getragen wird, immer wieder in Ausrichtung mit einer der Abschnitte der Oberfläche ohne Verschiebung oder Wiederanbringung des Negativs oder Positivs relativ zu dem Rahmen angeordnet werden kann.

   Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der länglichen Serien von Perforationen erste und zweite im Abstand liegende Reihen von Perforationen aufweisen, wobei die Mittelpunkte der Perforationen

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   in jeder Reihe in einenr vorbestimmten Abstand voneinander liegen und wobei die Mittelpunkte der Perforationen in der ersten Reihe längs der Reihe relativ zu den Mittelpunkten von Perforationen der zweiten Reihe um einen Abstand versetzt sind, der gleich der Hälfte des vorbestimmten Abstandes ist, wodurch das Trägerglied relativ zu der Tafel in jeder von einer Anzahl von Stellungen angeordnet werden kann, die um die Hälfte des vorbestimmten Abstandes getrennt sind.

   3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine erste Reihe von Öffnungen in Ausrichtung mit einer des Paares von Öffnungen, eine zweite Reihe von öffnungen im Abstand von der ersten Reihe von öffnungen, dar gleich dem Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen von Perforationen in einer der Serien von Perforationen ist, eine dritte Reihe von Öffnungen in Ausrichtung mit der anderen des Paares von öffnungen, und eine vierte Reihe von Öffnungen in einem Abstand von der dritten Reihe von Öffnungen, der gleich dem Abstand zwischen der ersten und zweiten Reihe von Perforationen in der anderen der k Serien von Perforationen ist, wobei die öffnungen in der ersten Reihe im gleichen Abstand wie, die Öffnungen in der" dritten der Reihen liegen und die Öffnungen in der zweiten Reihe im gleichen Abstand wie die öffnungen in der vierten der Reihen liegen, wobei jede der Öffnungen in der ersten und zweiten Reihe von öffnungen wahlweise mit jeder Perforation in der entsprechenden Reihe einer der länglichen Serien von Perforationen und eine entsprechende öffnung in einer der dritten und vierten Reihen von öffnungen simultan mit einer entsprechenden Perforation in der entsprechenden R_eihe der anderen der länglichen

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   Serie von Perforationen ausgerichtet werden kann, wobei der Abstand zwischen den Öffnungen in jeder Reihe so ausgewählt ist, daß das Glied relativ zu der Führungstafel in jeder einer Anzahl von Stellungen angeordnet werden kann, die um ein Vielfaches von einem S_echzehntel des vorbestimmten Abstandes getrennt sind.

   4ο Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der länglichen Serien von Öffnungen erste und zweite im Abstand liegende Reihen von Öffnungen haben, daß die Mittelpunkte der Öffnungen in jeder Reihe in einem vorbestimmten Abstand voneinander liegen und daß die Mittelpunkte der Öffnungen in der ersten Reihe längs der Reihe relativ zu den Mittelpunkten der Öffnungen in der zweiten Reihe um einen Abstand versetzt sind, der gleich der Hälfte des vorbestimmten Abstandes ist, wodurch der Rahmen relativ zu dem Glied in jeder einer Anzahl von Stellungen angeo: ,net werden kann, die um die Hälfte eines vorbestimmten Abstandes getrennt sind.

   5ο Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine erste Fsihe von Löchern in Ausrichtung mit einem des Paares von Löchern, eine zweite Reihe von Löchern in einem Abstand von der zweiten Reihe von Löchern, der gleich dsm Abstand zwischen den ersten und zweiten Reihen -/on öffr-ingen in einer der Serien von Öffnungen ist, eine dritte Reihe von Löchern in Ausrichtung mit dem anderer, des Paares von Löchern, und eine vierte Reihe von Löc-Ai3rn in einem Abstand von der zweiten Reihe von Löchern, der gleich dem Abstand zwischen den ersten und sweiten Rsihen von Öffnungen in der anderen der Serien von Öffnungen Ist, wobei die Löcher in der ersten Reihe im

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   gleichen Abstand voneinander liegen wie die Löcher in der dritten der Reihen und die Löcher in der zweiten der Reihen im gleichen Abstand voneinander liegen wie die Löcher in der vierten der Reihen, wobei jedes der Löcher in der ersten und zweiten Reihe von Löchern wahlweise mit einer beiliebigen Öffnung in der entsprechenden Reihe einer der länglichen Serien von Öffnungen und ein entsprechendes Loch in einer der dritten und vierten L· Reihe von Löchern simultan mit einer entsprechenden Öffnung in der entsprechenden Reihe der anderen der länglichen Serien von Öffnungen ausgerichtet werden kann, wobei der Abstand zwischen den Löchern in jeder Reihe so gewählt ist, daß ein Anordnen des Rahmens relativ zu dem Glied in jeder eine Anzahl von Stellen möglich ist, die voneinander durch jedes beliebige Vielfache von ein Sechzehntel des vorbestimmten Abstandes getrennt sind*

   So Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Glied ein Blatt aus im allgemeinen transparentem Material enthält,

   ψ 7s Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen elv? ^l?^t aus opal^;*~p I^terlel mit einem abnehmbaren Abschnitt enthält, u'n pin I" --htdur ^hlässlges Gebiet äai^ystellen.

   * Vcrri'Th'^nr z\im Behandeln einer fotoß?:nii.ndllchen Oberfläche d'H^?: zui einanderfolgende Fo" na!bildung« &υί uni&rschi^-.i ] i- y.* vorbestimmte im

   'hi'tBiiu liegeri'le Ahpchrr '-^<λ ·^{;γχ :}':erij3che versetzt zuci;: -3ϊ}'-ί(*Γ Jn fcj?i<?r v'it V-: ^:;en <·. 5 ■" -.- ^: ΐΐ-. --<- von s^nkrechtr·:: :f^!?Hi "-κ- -5'!«?if.j f'· ;-^;· ; - -.:■*?- '·?π eines

   BAD ORIGINAL

   das mittels Lichtdurchlaß durch ein einzelnes abbildformendes Negativ oder Positiv erzeugt wird, gekennzeichnet durch eine Führungstafel, die die

   von/ Oberfläche tragen kannund ein Paar'im Abstand liegenden länglichen Serien von Perforationen aneinan !>>r gegenüberließ·-iii'ieix Enden hat, wobei jede Serio v;>n i'ec- toriilionen erste and Z':>exle im Ai.otaad l.i : ■ ad·'- :""■:.-ihfttj '.·'-...:: ϊ'οι ι'.·- -.; ti'.· nt η aufi·:-³;! ^t, wc ί .:-.;. . ; i'ii'fv-.-.i· ί: Lc>ii=---i- in eixit-r κ.-iih-"- If-^gE d«r Reiht r·. 1;ι^! ;. ν 'n f.t>n ^rer-i'O2-a fronen Ln 'U-r anderen Reihe ν-vr.-..^ t-..c i^.l, vobei die Perfora Honen In jeder¹ Roiho .:.-.: -- ?nⁱ?;. ^!.'-uii^ ^:;b:-:tv;nu 'S-S-ZiS L ϊν'ι titUir !legen» «lei- rii:--;ii ν ■ ^: ί --' - ■■ -.Λ ■"-.liiei- Di.uc^^ioa u ..■??· ^DbJldfoi'mei^v'-a ίί- -. - :'-. -.. l'-rr¹·■>;=.!.'eivs darötwilt, durch eit> Tr?i;:;<^ji>?:Ji' ' .· ■ >. d. :;n ■;i3; r aul· .in-, άΐΐ^ν^η; ■ i.fU'is ^r. nn-it.^r-te:»; Γ. ' ^: ·ϊ, ^u- ;lon .".ο-·Ι-ΛίϊΛ :i .vi :>■ Uc i- dvii v-'i ..M·--. "and < '.ü-.-:^,--<i:., .-.-.. ^: . ·■·.;";

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   BAD ORIGINAL

   - 18 -

   sprechri.den Perforation in der anderen der- Serien •■/■■in Perforationen ausgerichtet wt?r>It?n kann, clur h erste abnehmbare Mittel, die in ,;^ώ " '■*'i^ivrir-fif -'.en öffnung Mii.i Psffori! t.ion ^. im Ha L ten .'-ί-s Gliedes t:i

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   BAD ORiGlNAL

   Fotolithographische Vorrichtung zum Behandeln einer fotoempfindlichen Oberfläche durch aufeinanderfolgende Formatbildung, auf unterschiedlichen vorbestimmten im Abstand liegenden Abschnitten der Oberfläche, von identischen Fotoabdrucken eines Abbildes, das mittels Lichtdurchfall durch ein einzelnes abbildformendes Negativ oder Positiv erzeugt wird, gekennzeichnet durch eine Führungstafel zum Tragen der Oberfläche und mit einem Paar von im Abstand liegenden länglichen Serien von Perforationen an einander gegenüberliegenden Enden, wobei jede längliche Serie von Perforationen erste und zweite im Abstand liegende Reihen von Perforationen aufweist, wobei die Mittelpunkte der Perforationen in jeder Reihe einen vorbestimmten Abstand haben und die Mittelpunkte der Perforationen in der ersten Reihe längs der Reihe relativ zu den Mittelpunkten der Perforationen in der zweiten Reihe um einen Abstand versetzt sind, der gleich der'Hälfte des vorbestimmten Abstandes ist, durch ein Trägerglied, welches den Abstand zwischen den im Abstand liegender. Serien von Perforationen überspannt, wobei d%s Glied eine lichtdurchlässige Zone aufweist, wobei das Glied erste und zweite Reihen von Öffnungen in einem Abstand hat, der gleich dem Abstand zwischen den ersten -r-id zweiten Feinen vor. Perforationen in einer der Serien von Perforationen i.3t, wobei das Glied dritte und \~~ .'-:■ L te Reihen von öffnungen
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   im gleichen Abstand" liegen wie die Öffnungen der vierten Reihe, wobei "jede der öffnungen in den ersten Und zweiten Reihen von öffnungen wahlweise mit jeder Perforation in einer entsprechenden Reihe von Perforationen und einer entsprechenden öffnung in einer der dritten und vierten Reihen von öffnungen simultan mit einer entsprechenden Perforation in der entsprechenden Reihe der anderen der länglichen Serien von Perforationen ausgerichtet werden kann, durch Mittel zum Anbringen des abbildformenden Positivs oder Negativs an dem Glied durch abnehmbare Haltemittel, die in der ausgerichteten öffnung und Perforation zum Halten des Gliedes in einer beiliebig ausgerichteten Position relativ zu der Führungstafel angeordnet sind, wobei der Abstand zwischen den öffnungen in Jeder Reihe so ausgewählt ist, daß ein Anordnen des Gliedes relativ zu der FUhrungstafel in ^eder eine Anzahl von Stellungen möglich ist, die voneinander durch ein beliebiges Vielfaches von ein Sechzehntel des vorbestimmten Abstandes getrennt sind, wodurch ein Negativ oder Positiv.einer beliebigen Grüße, das auf des Glied getragen wird, immer wieder in Ausrichtung mit der Oberfläche ohne Verschiebung oder Wiederanbringung des Negativs oder Positivs relativ zu dem Glied angeordnet werden kann.

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