DE2101870A1 - Metall Glas Keramik Abdichtung, ins besondere fur einen Kondensator, sowie Ver fahren zur Herstellung einer solchen Ab dichtung - Google Patents
Metall Glas Keramik Abdichtung, ins besondere fur einen Kondensator, sowie Ver fahren zur Herstellung einer solchen Ab dichtungInfo
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Description
Dipi. Ing. H. Weickmann, Dipl. Phys. Dr. K. Fincke
Dipl. Ing. F. A. Weickmann, Dipi. Chem. B. Huber XI 8 München 27, H6blstr. 22
ERO-TANTAL
Kondensatoren GmbHe
83 Landshut/Bayc, Ludmillastr« 23/25"
Metall-Glas-Keramik-Abdichtung, insbesondere für einen Kondensator,sowie Verfahren zur Herstellung
einer solchen Abdichtung
Die Erfindung bezieht sich auf eine Metall- Glas- Keramik-Dichtung. Derartige Dichtungen bzw. Abdichtungen werden
bei Kondensatoren sowie in anderen Fällen angewandt, in denen eine hermetisch abgeschlossene Metall- G-las- Keramik-Dichtung gefordert ist. Das Problem der Abdichtung einer
eine Flüssigkeit enthaltenden Einrichtung, die bei einer Temperatur über dem Siedepunkt der Flüssigkeit zu arbeiten hat, ist seit einiger Zeit ein auf dem Gebiet der
Elektronik und der Chemie vorhandenes Problem.
Was Kondensatoren anbetrifft, so ist eine Lösung des aufgezeigten Problems darin gefunden worden, dass eine Abdioh-
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tung von Metall- Glas- rostfreiem Stahl verwendet wird,
wie dies an anderer Stelle bereits vorgeschlagen ist. (US-Patentanmeldung, Ser.Nr. 705 372). Der bei dieser
Art von Kondensator häufig verwendete Elektrolyt ist durch Schwefelsäure gebildet. Im Falle der vorstehend erwähnten
lösung hat sich gezeigt, dass die Säuredämpfe den rostfreien Stahl nicht angriffen, wodurch die Dichtung zu einer
hermetischen oder luftdichten Abdichtung wurde.
Obwohl diese Dichtung bzw. Abdichtung in den meisten Fällen sehr zufriedenstellend arbeitet, hat sich gezeigt, dass unter
gewissen Voraussetzungen der Belag auf dem Grundmetall unvollständig ist oder einen Defekt aufweist. Ist dies der
Fall, so greift die Schwefelsäure das Grundmaterial an, und die luftdichte oder hermetisch abgeschlossene Dichtung
bleibt nicht langer erhalten.
Ausserdem sind die Kosten der Metall- Glas- Grundmaterialverbindung
bzw. -Abdichtung relativ hoch, und zwar wegen der Metallschichten, die zur Befestigung der Endabdichtung
an einem Kondensatorbecher erforderlich sind, wie dies bereits an anderer Stelle näher beschrieben worden ist.
(US-Patentanmeldung Ser.Nr. 705 372).
Der Erfindung liegt demgemäss die Aufgabe zugrunde, eine
gasdichte oder hermetisch abgeschlossene Abdichtung für den Gebrauch in chemischen und elektrischen Anwendungsfallen
zu schaffen. Die neu zu schaffende Abdichtung bzw. Dichtung soll in Kondensatoren verwendet werden können,
die extremen Temperaturbedingungen und/oder -Verhältnissen zu widerstehen haben. Ferner sollen bei der neu zu schaffenden
Abdichtung Defekte in dem Überzug nicht zu einer nennenswerten Korrosion der Abdichtung führen. Ausserdea soll die
neu zu schaffende Abdichtung billig herzustellen sein. Schliesslich soll ein Kondensator mit einer Abdichtung ge-
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schaben werden, die korrosionsbeständig ist und die bei
erhöhten Temperaturen verwendet werden kann. Im übrigen ist ein Kondensator mit einer gasdichten oder hermetisch
abgeschlossenen Abdichtung zu schaffen, die billig herzustellen sein soll.
Gelöst wird die vorstehend aufgezeigte Aufgabe erfindungsgemäss
durch eine Metall- Glas- Keramik- Dichtung. Im Falle eines Kondensators bildet das Metall im wesentlichen eine
AnodenanSchlussleitung und vorzugsweise ist das Metall
ein filmbildendes Metall, wobei vorzugsweise das gleiche M Metall verwendet wird, aus dem die Anode des Kondensators
besteht. Es sei jedoch bemerkt, dass die Dichtung gemäss der Erfindung auch in Verbindung mit Anodenanschlussleitungen
verwendet werden kann, die nicht aus einem filmbildenden Metall bestehen. Die Erfindung kann vielmehr
auch in anderen Gebieten angewandt werden, wie bei der chemischen Verarbeitung und/oder in Behältern, in denen
ein Metallteil entweder aus einem fumbildenden Metall
oder aus einem keinen Film bildenden Metall besteht.
Die erste Forderung der Abdichtung bzw. Dichtung gemäss der Erfindung besteht darin, dass sie zwischen Metall- jj
und Glasteilen kompatibel sein soll. Damit sind die rela- ™
tiven Ausdehnungskoeffizienten dieser beiden Elemente bzw. Komponenten mit zu berücksichtigen. Wird zum Beispiel als
filmbildendes Metall Tantal verwendet, so ist ein Wärmeausdehnungskoeffizient von Tatal von etwa 70 . 10 Zoll
pro Zoll pro Grad C zu berücksichtigen. Der Ausdehnungskoeffizient
des Glasteils kann etwas grosser oder etwas kleiner als der Ausdehnungskoeffizient des Metallteils sein.
Im Falle von Tantal mag der Ausdehnungskoeffizient des Glases
7
etwa 50 . 10 Zoll pro Zoll pro Grad 0 betragen oder etwa 100 . 1Ö* Zoll pro Zoll pro Grad C. Vorzugsweise liegt bei
etwa 50 . 10 Zoll pro Zoll pro Grad 0 betragen oder etwa 100 . 1Ö* Zoll pro Zoll pro Grad C. Vorzugsweise liegt bei
(: -K- "1 / 1 9 U 5
Verwendung von Tantal der Ausdehnungskoeffizient, des Glases
zwischen et'
pro Grad C.
pro Grad C.
zwischen etwa 55 . 10"*^ und etwa 90 . ΙΟ""7 Zoll pro Zoll
In Abhängigkeit davon, ob der Ausdehnungskoeffizient grosser
oder kleiner als der des Metallteils oder etwa gleich dem
des Metallteils ist, kann die erzielte Dichtung unter Druck oder Spannung stehen oder ausgeglichen sein.,;JS#mtliehe drei
Arten von Dichtungen werden als im Rahmen der Erfindung liegend
betrachtet.
Vorzugsweise liegt der Wärmeausdehnungskoeffizient.des Glases
zwi s ehe;
Tantal.
7
zwischen 60 und 80 . 10 ' Zoll pro Zoll pro;Grad 0 für
zwischen 60 und 80 . 10 ' Zoll pro Zoll pro;Grad 0 für
Das Glas muss sich ferner dadurch auszeichnen, ,,dass es
wesentlichen durch die in dem System,,das = ,durch,die Dichtung
abgedichtet wird, verwendete Säure oder ^durch^a8. äabei verwendete
Salz nicht angegriffen wird. Im ]fallev#i] Kondensatoren,
die einen Säure- oder Salzelektrolyten ,<vwie ,z,um Beispiel
Schwefelsäure, enthalten, ist es, von ^fd^eujung, sich
zu vergewissern, dass das Glas durch ^en,;E.4.^ktrgi|-i;,en» das
heisst die Säure, im wesentlichen nioht;iaji^grif,;fen,vwird.
Jedes Glas, das die vorstehend,angegebenen l'^derjujp^en erfüllt
, kann gemäss der Erf i^ung, verfe,Bdet,^^!,en.. Q$$.gßa
einem Beispiel hat sich hierfür einrG^aβ.,a^s,sfer^pL^bar erwiesen,
das hauptsächlich Siliciijmoiqrd,UJQdj,£§ψ1$£θ>Λ$%£&βη
an Natriumoxyd, Kaliumoyyd,und, weiteren ,0χ$βψη f.in,,,flpch:geringeren
Mengen enthält, ein.s.chliessJJch e.i9^|;er5,oder jjiehrerer
Chrpmoxyde, Manganoxyde, KQbaltoxyde, Kalziumoxyde. Manganoxyd, Ohr.omoxyd,
,Bleioxyd, galziumoxyd und Zinkoxyd ., stellen ,.,!"f^u^tativ., yer-
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wendbare Stoffe dar; in einigen Anwendungsfällen können ein
oder mehrere dieser Substanzen nicht gefordert sein. Es sei hier noch bemerkt, dass eine Vielzahl anderer Glase verwendet
werden kann, die entweder einige oder sämtliche Oxydbestandteile der vorstehend aufgeführten Oxyde oder unterschiedliche
Oxydbestandteile aufweisen, die aber die erforderlichen Eigenschaften hinsichtlich des Ausdehnungskoeffizientens
und der Beständigkeit gegenüber einem Elektrolyten aifweisen,
der gemäss der Erfindung verwendet wird.
Ein die vorstehend aufgeführten Forderungen erfüllendes Glas ist zum Beispiel das unter dem Handelsnamen Fusite Type
G-OS vertriebene Glas.
Das Keramikteil wird mit dem Glasteil verbunden, wobei es das Glasteil umgibt. Obwohl die Form des Keramikteils in
grossem Umfange verändert werden kann und Querschnittsformen
eines Quadrats, eines Rechtecks, einer Ellipse oder eines Parallelogramms in Betnacht gezogen werden können, sind die
bevorzugten Querschnitte für das Keramikteil der kreisförmige Querschnitt und der elliptische Querschnitt.
Die erforderlichen Eigenschaften des Keramikteils umfassen auch die Beständigkeit gegenüber einem chemischen Angriff
durch irgendeine Flüssigkeit oder durch Dämpfe, mit denen die Dichtung gegebenenfalls in Kontakt gelangen kann. So
muss zum Beispiel bei einem Kondensator, der einen Säureelektrolyten, wie Schwefelsäure, verwendet, das Keramikteil
im wesentlichen gegenüber Sohwefelsäuredämpfen unangreifbar sein und ebenso vorzugsweise gegenüber flüssiger Schwefelsäure
.
Der Auedehnungekoeffizient des Keramikteils muss mit dem Ausdehnungskoeffizienten des Glases kompatibel sein. Dies
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bedeutet nicht, dass der Ausdehnungskoeffizient des Keramikteils und der des Glases genau übereinstimmen müssen. Vielmehr
bedeutet dies, dass die betreffenden Ausdehnungskoeffizienten hinreichend dicht beieinander liegen, so dass das Glas nicht
zerbricht oder aufgrund des Vorhandenseins des Unterschieds in den Ausdehnungskoeffizienten zwischen den beiden Teilen
einer übermässig hohen Spannung ausgesetzt ist. In Anwendungsfällen, in denen das Glasteil den zuvor angegebenen Ausdehnungskoeffizienten
aufweist, kann der Ausdehnungskoeffizient des Keramikteils zwischen 60 und etwa 90 . 10 ' Zoll pro Zoll
pro Grad 0 liegen. In einem Anwendungsfall, der die Abdichtring
von Tantal betrifft, sollte dieser Bereich vor der Abdichtung des Tantalteils vorzugsweise zwischen etwa 64
und etwa 80 . 10 Zoll pro Zoll pro Grad C liegen. Der innerhalb dieses grossen Bereichs und bevorzugten Bereichs
liegende bestimmte Ausdehnungskoeffizient erfordert eine Kompatibilität mit dem Glasteil. Obwohl der Wert dieses
Ausdehnungskoeffizienten von Glas zu Glas und von Keramikteil zu Keramikteil sich ändern kann, sollte im allgemeinen
die Differenz in dem Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Glas und dem Keramikteil nicht grosser sein als etwa 15 . 10
Zoll pro Zoll pro Grad C. Vorzugsweise sollte die betreffende
Differenz des Ausdehnungskoeffizienten nicht grosser sein als etwa 10 . 10~7 Zoll pro Zoll pro Grad 0.
Im allgemeinen liegt die Differenz zwischen den Ausdehnungskoeffizienten
des Glasteils und des Metallteils vorzugsweise auch innerhalb von 1,
pro Zoll pro Grad 0.
pro Zoll pro Grad 0.
auch innerhalb von 15 und vorzugsweise von 10 . 10 Zoll
Obwohl irgendein Keramikteil mit den vorstehend angegebenen Eigenschaften im Rahmen der vorliegenden Erfindung angewendet
werden kann, hat sich als Beispiel ein Keramikteil als zu-
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friedenstellend herausgestellt, das eine überwiegende Menge
an Aluminium enthält. Entsprechend einer Ausführungsform der
Erfindung enthält demgemäss das Keramikteil zumindest etwa 80$ Aluminium, und den Rest bilden andere Oxydmaterialien,
wie Siliciumdioxyd, Magnesiumoxyd, Kalziumoxyd, Natriumoxyd und Kaliumoxyd, Bleioxyd etc. Ea sei bemerkt, dass die Erfindung
auf die Verwendung dieser Oxyde nicht beschränkt ist. Der bevorzugte Aluminiumbereüi liegt zwischen e. twa 84$
und 99$· Bis zu etwa 20$ kann das Aluminium dabei jedoch
durch Titan ersetzt werden, und zwar wegen der entsprechenden
chemischen Eigenschaften und Ausdehnungskoeffizienten dieser JJ
beiden Stoffe bzw. Substanzen. Ein in diesem Zusammenhang wegen der Erzielung zufriedenstellender Ergebnisse,speziell
zu erwähnendes Produkt ist das Aluminium, wie es von * der
American Lava Oorp. unter,demiHajadelsnamen Alsimag, Nos. 771,
6Hi 74-8 bzw. 753 vertrieben wird und das 90 bis-.u9$fi
Aluminium enthält.
Es sei besonders darauf hingewiesen, dass auch andere filmbildende
oder keinen Film bildende Metalle in der Dichtung bzw. Abdichtung gemäss der Erfindung verwendet werden können,
Beispiele für keinen film bildende Metalle sind Kovar, Rodar,
Invar und andere Nickel, Kobalt oder Eisen enthaltende Le- ,
gierungen. <l
Bei der Verwendung von keinen Film bildenden Metallteilen oder keinen Tantalfilm bildenden Metallteilen muss der Bereich
des Ausdehnungskoeffizienten an den Ausdehnungskoeffizienten des betreffenden Metallteils angepasst sein. G-las-
oder Keramikteile mit Ausdehnungskoeffizienten, die entweder oberhalb oder unteöBlb des Ausdehnungskoeffizienten des Metalls
liegen, können verwendet werden, wobei das Ausmass der ,Differenz
zwischen den Ausdehnungskoeffizienten etwa den vorstehend:im
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Falle von Tantal angegebenen Wert besitzt· ■&& dürfte somit
nur wenig Schwierigkeiten bereiten, die Iieipreti g&mäss der
Erfindung sowohl auf fumbildende Metallteile als auch auf
keinen Film bildende Metallteile
Im folgenden wird als Beispiel ein Verfahren zur Herstellung
einer Metall- Glas- Keramik-Dichtung bee^hrieben. Die Metallteile
werden dabei in einer geeigneten Hai teϊρ&ώ@3 vorrichtung
angeordnet. Die Halterungsvorrichtung hält ein oder eine
Vielzahl von Metallteilen in vertikaler RiQhtu&g fest. Die
betreffende Halterungsvorrichtung weist einen oberen Tragtei5/^in
den die Keramikteile um das Metallteil herum eingesetzt
werden, und zwar zufolge der öffnung in den Keramikteilen.
Sodann werden geringe Grlaamengen berei:fegeetellt, die
ausreichen, um den Zwischenraum zwischen dep -jewe-ilieeo Metallteil
und Keramikteil auszufüllen. Di««« QUaiPt^gen werden
in die Öffnung zwischen den beiden ge23#nwfcen Teilen eingeführt.
Die so zusammenge-setste HalterungflvorrichtiUßg wird dann in
einen Ofen eingeführt, und zwar VQrzugej£ei;S?e in einen mit
einer gesteuerten Schutzgaeatmiisphäre as*te,eiteaiä@t>en Ofen.
Die Schutzgasatmosphäre kann dabei äup iBaliSgi-esl .Stickstoff,
Argon, Helium, Krypton oder'Mischuogen i4ie,s#r Jra^e enthalten.
Die betreffende Halte-ruiagiSVorri^li^uiptg i.wiild dabei
auf eine hohe Temperatur erwäipt, die VQ3?ZiUgs^|Qise zwieohen
900 und 1200° C liegt. Die afesKslute obere
ist der Schmelzpunkt des Keramik teile
teils. Bei der erhöhten Temperartur schmilzt
flieset in den das Metallteil mysß]mii4@]a RauÄ vfeiiaäesiii, wodurch
der Zwischenraum zwischen &®m ^IteifegpilJMriil ^ysä Λdfβm
Keramikteil in zumindeet einem Teil der Di-C^e
teils ausgefüllt wird.
1 OH 8 3 1 /1 9.Λ5
Nachdem das geschmolzene Glas das Metallteil umgibt, wird die Einrichtung langsam abgekühlt. Während des langsamen
Abkühlens mit einer Geschwindigkeit von zum Beispiel 5 bis pro Minute verfestigt sich das Glas. Während der Innendurchmesser
des Keramikteils während des Erwärmens vergrössert worden ist, wird er während der Abkühloperat ion verkleinert.
Damit gelangt man zu einer Druck- bzw. Kompressionsdiehtung, zu einer ausgeglichenen Dichtung oder zu einer Spannungsdichtung. Zu welcher Art von Dichtung man gelangt, hängt dabei
von dem relativen Ausdehnungskoeffizienten der Metallteile, Glasteile und Keramikteile ab, wie dies oben bereits ausge- £
führt worden ist.
Die sogenannte Dichtung bzw. Abdichtung kann dann in die abzudichtende
Einrichtung eingesetzt werden. In Kondensatoren betreffenden Anwendungsfällen kann es wünschenswert sein,
eine Paste oder einen Überzug auf das Keramikteil aufzubringen,
und zwar zum Zwecke des Schweissens, Lötens oder Hartlötens der Dichtung bzw. Abdichtung an der Innenseite eines Kondensatorbechers.
Pur diesen Zweck werden Metalle, die mit dem Elektrolyten nicht zu reagieren vermögen, bevorzugt verwendet.
Im Falle eines Säureelektrolyten, wie Schwefelsäure, können Silber, Gold und Platin und legierungen dieser Metalle ver- ,
wendet werden. Anstatt der unmittelbaren Aufbringung auf Keramik wird eine bessere Verbindung durch die Verwendung
eines.Glasbindemittels.erzielt, das eine nennenswerte Siliciummenge
enthält. Die Metallisierung kann, ob mit oder ohne Bindemittel dadurch erfolgen, dass das Keramikteil durch
auf dem Gebiet der Überzüge bekannte Verfahren in eine entsprechende Lösung eingetaucht oder mit dieser überzogen
wird. Danach wird die betreffende Dichtung an dem Kondensatorbecher angeschweisst, hart angelötet und/oder weich
angelötet.
10 9 8 3 1/19 4
In Pig. 1 ist in einer vertikalen Schnittansicht eine
typische Dichtung bzw. Abdichtung gezeigt. Eine Anschlussklemme 1 ist durch eine Glasmasse 2 hindurchgeführt, die
an einem Keramikring 3 angeschmolzen ist. Die Befestigung an der Dichtung kann durch Weichlötung, Hartlötung oder
Anschweissung eines metallisierten Ringes an der Aussenfläche der Dichtung erfolgen.
In Pig. 2 ist als Beispiel ein eine derartige Dichtung verwendender
kompletter Kondensator dargestellte. Eine Anode 5, die vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise aus dem gleichen
filmbildenden Metall besteht wie die Anschlussleitung, ist an der Anschlussleitung befestigt, die durch die Abdichtung
hin durchläuft. In den Kondensatorbecher 6 ist dabei ein Elektrolyt 8 eingefüllt, und zwar in einer erheblichen Menge.
Die Anoden- Dichtungs-Anordnung ist dabei in den Elektrolyten eingetaucht. Die betreffende Anoden-Dichtungs-Anordnung kann
an dem Kondensatorbecher hart oder weich angelötet oder angeschweisst sein.
Der Kondensatorbecher kann aus irgendwelchen nichtkorrosiven Metallen und/oder Legierungen hergestellt sein. Hierfür kommen
zum Beispiel rostfreier Stahl, Silber, mit Silber galvanisch überzogener rostfreier Stahl, mit Silber plattierter rostfreier
Stahl, mit Gold plattiertes Silber, mit Gold plattierter rostfreier Stahl, mit Gold plattierter rostfreier Stahl, der
mit Silber überzogen ist, mit Gold plattierte Kupferbaaislegierungen und mit Gold plattierte KupferbaaLslegierungen
in Frage, die mit Silber überzogen sind.
109831/1945
Claims (10)
- PATENTANSPRÜCHEAbdichtung nit einem Hetallteil,das mit einem GIasteil verbunden ist, welches seinerseits mit einem Keramikteil verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Glaateil (2) und das
Keramikteil (3) gegenüber in einer abgedichteten Einrichtung (6) enthaltenen korrosiven Materialien (8) widerstandsfähig sind und dass das Metallteil (1), das G-lasteil
(2) und das Keramikteil (3) kompatible Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen. J - 2. Abdichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallteil (1) ein filmbildendes Teil ist.
- 3. Abdichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet. dass das Metallteil .(1) aus Tantal oder Niob besteht.
- 4. Abdichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Grlasteil (2) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen etwa 50 und etwa 100 . 10~7 Zoll pro Zoll pro 0C aufweist.
- 5. Abdichtung nach Anspruch 4-, dadurch gekgnngeiqhnet, da#6 m das Keramikteil (3) einen Wärmeausdehnungskoeff i-zienteaa
zwischen etwa 60 und etwa 90.. 1o Zoll pro Zoll pro € aufweist. - 6. Abdichtung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, das« das Crlasteil (2) und das Keramikteil (3) gegenüber Angriffen durch flüssige und dampfförmige Säuren wider-sind.
- 7. Abdichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenngeichnei;, das« das Glas teil (2) und das Keramikteil (3) gegenüber An--109331/1945griffen.durch flüssige und dampfförmige Schwefelsäure widerstandsfähig sind;
- 8. Abdichtung nach Anspruch 4» dadurch gekenaazedctetet, dass das Metallteil (1) aus Tantal besteht und?dass- das Glasteil (2) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten· zwischen etwa 55 und etwa 9o . 1ο""' Zoll pro Zoll pro" 0CT aufweist.
- 9» Abdichtung nach Anspruch 8* dadurch. geteeimfzaiDhaiet» dass das- Keramikteil (3) einen W&rmeauadehmmg^oBffizienten—7 zwischen etwa 64 und etwa 80 .10 Zoll pro &©11; pro0O aufweist.
- 10. Kondensator mit einem Kathoden -Kon densat örbeehceri mit einer filmbildenden Metallanode, mit einer von die e'er Metallanode wegführenden Anodenensehlüsslei.ttm^-uii'd5 mit einer zumindest ein Ende·desiversehliessenden Abdichtung nach einem der bis 9» dadurch gekennzei eim® .t» däsw- die Ablich/tum^ ein Metallteil (1) enthält, das mit der Aitodei]a®s©hg.üssleit elektrisch verbunden ist, dass mit dem Me*aO.teil (ί) ein Glas teil (2) verbunden ist und das-s^mtt c dems Grläst eil (2) ein Keramikteil (3) verbünden isti dass*dÄaaMetäll·- teil (1), das Glas1ieil: (2) un*d' dss^KerafflEifckiteia.1: (5)/ Wlrme aussdehntmgsicoeffizienten attfw«isem·, die-1 miteiiiaÄder' k«mp tibel· sindi und- geg©n1fb«=r'Ai3®f±ffen* diirxjte'i einen Ko»den'·*. satorelektrolyten (Ö), d&rr mit
becher (6) und der Atoode;i (5) in K^ntaict sind;11. Klwadensat or nach- Afrsprueirdas*Mfetiallteil (1) aitseORIGINAL INSPECTED10 Π 33 1/19 4512. Kondensator nach. Anspruch 10, dadurch, gekennzeichnet, dass das Glasteil einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen etwa 50 und etwa 100 . 10 ' Zoll pro Zoll pro 0C aufweist.13. Kondensator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet ^dass das Keramikteil (3) einen Wärmeausdehnungskoeffi-—7 zienten zwischen etwa 60 und etwa 90 . 10 Zoll pro Zoll pro 0C aufweist.H. Kondensator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, λdass das Glasteil (2) und das Keramikteil (3) gegenüber Angriffen durch Säuredämpfe und Säureflüssigkeiten widerstandsfähig sind.15. Kondensator nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass" die Säure durch Schwefelsäure gebildet ist.16. Kondensator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallteil (1) Tantal ist und dass das Glasteil (2) einen Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen etwa 55 und etwa 90 . 10"7 /pro Zoll pro 0C aufweist.17. Kondensator nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, '%dass das Kerämikteil (3) einen Wärmeausdehnungskoeffi-_7 zienten zwischen etwa 60 und etwa 90 . 10 Zoll pro Zoll pro 0C aufweist.18. Kondensator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet. dass die Anodenanschlussleitung aus einem fUmbildenden Ifeball besteht.19. Kondensator nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Anodenanschlussleitung aus dem gleichen filmbildenden Metall besteht wie die Anode. (5).109831/19 A 520. Verfahren zur Herstellung einer Metall- Glas- Keramik-Abdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Metallteil (1) in einer Öffnung eines Keramikteils (3) eingesetzt wird, dass eine hinreichende Menge von Glas in den vafoleibenden Zwischenraum zwischen dem Metallteil (1) und dem Keramikteil (3) eingeführt wird, dass die so angeordneten Elemente (1, 3) auf eine derart hohe Temperatur erwärmt werden, dass das Glas schmilzt und mit dem Metallteil (1) und dem Keramikteil (3) unter Bildung eines Glasteils (2) sich verbindet, und dass dann die betreffenden Elemente (1, 2, 3) allmählich abgekühlt werden. "21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Erwärmung bis zu einer Temperatur oberhalb des Schmelzpunktes des Glases vorgenommen wird, jedoch unterhalb des Schmelzpunktes des Metallteils (1) sowie des Keramikteils (3).22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass Glas mit einer nennenswerten Menge an Siliciumoxyd verwendet wird.23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet. dass das Keramikteil (3) mit einer nennenswerten Aluminiummenge verwendet wird.24. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Verfahrensschritte in einer festen Anlage ausgeführt werden.25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gek en η ζ ei chn e t, dass die einzelnen Verfahrensschritte in einer festen Anlage aus Kohlenstoff ausgeführt werden.109831/194526. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 25» dadur.ch gekennzeichnet, dass die genannten Elemente (1, 2, 3) bis zu einer Temperattir zwischen etwa 700 und 1500 C erwärmt werden.10 9831/1945■/6Lee rseite
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