DE2064246A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen eines bestimmten Suchobjekts in einer Vorlage - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen eines bestimmten Suchobjekts in einer Vorlage

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DE2064246A1
DE2064246A1 DE19702064246 DE2064246A DE2064246A1 DE 2064246 A1 DE2064246 A1 DE 2064246A1 DE 19702064246 DE19702064246 DE 19702064246 DE 2064246 A DE2064246 A DE 2064246A DE 2064246 A1 DE2064246 A1 DE 2064246A1
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fourier
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Friedrich Dr. 8022 Grünwald Bestenreiner
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/42Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
    • G02B27/46Systems using spatial filters
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V10/00Arrangements for image or video recognition or understanding
    • G06V10/88Image or video recognition using optical means, e.g. reference filters, holographic masks, frequency domain filters or spatial domain filters

Description

  • Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen eines bestimmten Suchobjekts in einer Vorlage Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erkennen eines bestimmten Suchobjekts in einer Vorlage, bei dem das Fourierspektrum der mittels kohärenten Lichtes durchleuchteten, in eine Fourierebene transformierten Vorlage durch ein dem Suchobjekt entsprechendes, in.der Fourierebene angeordnetes konjugiertes Filter moduliert wird und eine Übereinstimmung zwischen der Vorlage und dem im Filter enthaltenen Suchobjekt als Lichtkonzentration in einer Rücktransformationsebene erkennbar ist.
  • Es ist bereits ein Verfahren der oben beschriebenen Art bekanntgeworden, bei dem als konjugiertes Filter ein Fourierhologramm des Suchobjekts verwendet wird. Das Fourierhologramm hat die Eigenschaft, daß eine translatorische Bewegung des Objektes gegenüber dem Schichtträger bei der Aufnahme keine Änderung der Aufzeichnung mit sich bringt.
  • Das bedeutet, daß ein Erkennen eines Suchobjektes erfolgen kann, ganz gleich, in welcher Position auf der abzutastenden Vorlage sich dessen Bild befindet Es ist aber erforderlich, däß das Suchobjekt in Umriß und Winkelstellung mit seiner Darstellung in der Vorlage übereinstimmt, um eindeutig eine Erkennung durchführen zu können. Bei Strichvorlagen, wo z. B. Zahlen oder Buchstaben auf Übereinstimmung zu prüfen sind, ist dies verhältnismäßig leicht möglich.
  • z.B.
  • Dagegen ist es/schwierig, beimUberprüfen von fotografischen Aufnahmen von Nebelkammern die Bahnen einzelner geladener Teilchen unmittelbar auf Unstetigkeitsstellen zu überprüfen.
  • Deren Lage ist nämlich winkelmäßig nicht festgelegt und es ist auch der Abbildungsmaßstab gegenüber Vergleichsaufnahmen eventuell unterschiedlich.
  • Zur Lösung dieser Schwierigkeit besteht einmal die Möglichkeit, eine Vorlage nacheinander mehrmals zu überprüfen, wobei jeweils das konjugierte Filter in der Fourierebene um einen kleinen Winkelbetrag fortgeschaltet wird. Auf diese Weise können azimutale Unterschiede festgestellt werden.
  • Unterschiede im Abbildungsmaßstab sind auf diese Weise nicht zu erfassen. Hierzu müssten verschiedene Fourierhologramme des Suchobjektes hergestellt werden und nacheinander zur Überprüfung der Vorlage verwendet werden. Schließlich können perspektivisch verschiedene Formen des Suchobjektes auch nur durch solche Nehrfachüberprüfungen nacheinander berücksichtigt werden.
  • Ziel der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit deren Hilfe auch Suchobjekte in einer Vorlage erkannt werden, die verschiedene Stellungen und perspektivische Ansichten aufweisen können, ohne daß hierzu eine Vielzahl von Uberprüfungsvorgängen erforderlich wäre.
  • Gemäß der Erfindung wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art das Fourierspektrum der Vorlage vervielfacht und es ist jedem dieser Teilspektren ein konjugiertes Teilfilter mit einem besonderen Suchobjekt oder mit azimutal, maßstäblich oder perspektivisch verschiedenen Ansichten eines oder mehrerer Suchobjekte zugeordnet.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß durch die Aufspaltung des Fourierspektrums der Vorlage in verschiedene Teitspektren jedes dieser Spektren mit einem anderen Suchobjekt oder einer anderen Ansicht eines Such-Objekts verglichen werden kann. Dies bedeutet, daß z. B.
  • um einen kleinen Winkel jeweils verdrehte Suchobjekte oder perspektivisch veränderte Ansichten desselben Suchobjektes gleichzeitig auf Übereinstimmung überprüft werden können.
  • Unabhängig von der Lage konjugierten Teilfilter in der Fourierebene und unabhängig von der Lage eines eventuell übereinstimmenden Bilddetails in der Vorlage wird in der Rücktransformationsebene der Ort erkennbar, an dem das gesuchte Objekt vorhanden ist Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen im Zusammenhang mit derBeschreibung eines Ausführungsbeispiels, das anhand von Figuren eingehend erläutert ist0 Es zeigen: Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Erkennen eines Suchobjekts in einer Vorlage, Fig. 2 eine Anordnung von Suchobjekten innerhalb eines Koordinatensystems, von dem durch holografische Aufnahme ein in Fig. 3 gezeigtes konjugiertes Filter erzeugt wird, Fig. 4 eine Vorrichtung zur Herstellung des konjugierten Filters.
  • In Fig. 1 ist mit 1 ein Laser bezeichnet, der ein paralleles Strahlenbündel aussendet. Dieses trifft durch eine Sammellinse 2 auf einen ersten Schwenkspiegel 3, der von einem hin-und hergehenden Antriebsmotor 4 gesteuert ist. Dahinter ist ein weiterer Schwenkspiegel 5 angeordnet, dessen Schwenkachse zu der des Spiegels 3 senkrecht steht Der Schwenkspiegel 5 wird durch einen Motor 6 angetrieben0 Zwischen den Antrieben 4 und 6 besteht in der Weise eine Koppelung, daß der von dem Spiegel 6 ausgehende Strahl eine Vorlage 7 zeilenweise ausleuchtetO Außerdem ist die Linse 2 so abgestimmt, daß ihr Brennpunkt nach der Umlenkung durch den Schwenkspiegel 3 gerade in die Oberfläche des Spiegels 5 fällt. Dieser Brennpunkt fällt zusammen mit dem Brennpunkt einer Kondensorlinse 8, die dicht an einer Vorlage 7 angeordnet ist.
  • In Richtung des Strahlengangs hinter der Vorlage 7 liegt eine Vervielfältigungseinrichtung 9, im vorliegenden Fall ein Kreuzgitter mit einem bestimmten Gitterprofil. Die Gitterkonstante des Gitters 9 ist so ausgelegt, daß mit einer guten Wiedergabequalität das Bild der Vorlage aufgespalten wird in eine Reihe von Beugungsordnungen, z. Bo in fünf positive und fünf negative Beugungsordnungen.
  • Dies bedeutet, daß ein einzelner Bildpunkt in einem Quadrat von einer Seitenlänge von 10 Bildern jeweils einmal wiedergegeben wird, do h verhundertfacht wird Durch die Struktur des Gitters, das zweckmäßigerweise auf fotografischem Wege hergestellt wird, ist außerdem sjcherzustellen, daß die Intensität der einzelnen Ordnungen weitgehend übereinstimmt Im Abstand der Brennweite der Kondensorlinse 8 ist eine weitere Linse, die sogenannte Transformationslinse 10 angeordnet, deren Brennweite mit der der Linse 8 übereinstimmt. In der Brennebene dieser Linse liegt die sogenannte Fourier- oder Trausformationsebene Die Gitterkonstante des Kreuzgitters 9 ist so gewählt, daß die einzelnen Beugungsordnungen in dieser Ebene bereits räumlich sich nicht mehr überlagern, d h,, 9 daß die Teilspektren räumlich getrennt erkennbar sind und so jeweils mit einem eigenen Suchobjekt verglichen werden können Zu diesem Zweck ist in der Fourierebene 11 ein konjugiertes Filter angeordnet, das anhand der Figuren 2 und 3 noch eingehend erläutert ist. Dieses konjugierte Filter enthält eine Vielzahl von Suchobjekten oder eine größere Anzahl von verschiedenen azimutalen9 maßstäblich oder perspektivisch verschiedenen Ansichten eines oder mehrerer Suchobjekte. Die Anzahl der Suchobjektbilder bzw Holografien darf dabei jedoch die Zahl der Teilspektren, also in unserem Beispiel hundert, nicht überschreiten Hinter der Fourierebene ii ist eine Rucktransformationslinse 12 angeordnet, deren Brennweite mit der der Linsen 8 und 10 übereinstimmt. Ihre Brennebene fällt mit der Fourierebene zusammen. In der anderen Brennebene der Rücktransformationslinse 12 ist eine Mattscbeibe 13 angeordnet.
  • Zwischen der Linse 12 und der Mattscheibe 13 ist ferner unter 450 ein teildurchlässiger Spiegel 14 angeordnet, der einen Teil des aus der Linse 12 austretenden Lichtes in einen Mischraum, Z Bo in eine Ulbrichtkugel 15 wirft, deren Eintrittsfläche 15a in ihrer Lage optisch der Mattscheibe 13 entspricht An den Mischraum ist ein lichtelektrischer Wandler, z B ein SEV 16 angeschlossen, der über eine Schaltung verschiedene Funktionen ausführen kann.
  • Zwischen dem Drehspiegel 5 und der Kondensorlinse 8 ist ein weiterer selektivdurchlässiger Spiegel 17 unter 450 angebracht, Der Spiegel ist voll durchlässig für das von dem Laser 1 kommende monochromatische Lichts Er ist jedoch weitgehend undurchlässig bzw. spiegelnd für das Licht einer thermischen Lichtquelle 18, die in Bezug auf den Spiegel 17 symmetrisch zu dem Drehspiegel 5 liegt0 Auch die thermische Lichtquelle 18 leuchtet deshalb über den Kondensor 8 die Vorlage 7 so aus, daß sie auf der Mattscheibe 13 vollständig sichtbar ist Die Linsen 8, 10 und 12 sind in bekannter Weise als Linsen veränderlicher Brennweite ausgebildet Dies kann z B.
  • in der Weise geschehen, wie sie von Zoom-Objektiven für fotografische Aufnahmegeräte bekannt ist Die Aufnahme für die Linsen 8, 10, 12 sowie für die Vorlage 7, das Gitter 9, das konjugierte Filter 11 und Spiegel und Mattscheibe 13 sind dabei kinematisch so verbunden, daß die Abstande entsprechend den Brennweiten der Objektive verändert werden.
  • Die Brennweitenverstelleinrichtungen der einzelnen Linsen sind außerdem so gekuppelt, daß alle Brennweiten gleichzeitig um gleiche Beträge verändert werden In Figo 2 sind in einem quadratisch aufgeteilten Feld die Bilder 19 verschiedener Suchobjekte angeordnet0 In jeder Zeile sind es jeweils vier Bilder eines schematisch angedeuteten Suchobjektes, jedoch jeweils in einer anderen azimutalen Anordnung0 Aus diesen Bildern der Suchobjekte entsteht auf noch zu beschreibende holografische Weise das konjugierte Filter, dessen Aussehen in Figo 3 ebenfalls schematisch dargestellt ist. Das konjugierte Filter des Suchobjektes in der obersten Zeile enthält aufgrund der überwiegenden vertikalen und horizontalen Begrenzungslinien des Suchobjekts vor allem sich in einem Mittelpunkt schneidende Linien nach Art eines Kreuzes Eine Verdrehung des Suchobjektes um einen gewissen Winkel bringt eine entsprechende Drehung des Kreuzes in dem Filter, Bei einer Drehung um 900 des Suchobjektes in Figo 2 ergibt sich ein um 900 gedrehtes Fourierspektrum gemäß Figo 3o Das dreieckige Suchobjekt in der zweiten Zeile hat zwei weitere dominante Linien in dem Filter aufgrund der unter 600 zur Horizontalen geneigten Linien, die sich als entsprechende Sternlinien in dem Fourierhologramm ausprägen, Auch hier wiederholt sich bei einer Drehung des Suchobjektes um seine Achse eine entsprechende Verdrehung des Fourierspektrums0 Für das in der dritten Zeile angegebene Suchobjekt ergeben sich rein schematisch entsprechende kreisförmige Linien in dem Fourirhologramm, Um von der auf transparentem Material vorliegenden Vorlage mit den Suchobjekten gemäß Figo 2 auf die Fourierhologramme dieser Suchobjekte gemäß Figo 3 zu kommen, ist eine Anordnung gemäß Fig. 4 erforderlich In dieser Figur ist mit 20 ein Laser bezeichnet, dessen paralleler Ausgangsstrahl auf einen Strahlenteiler, z0 Bo einen teildurchlässigen Spiegel 21 fällt0 Beide Teilstrahlen fallen über Umlenkspiegel 22, bzw. 23 und 24 auf Sammellinsen 25, bzw 26, in deren hinterer Brennebene je ein Pinhole 27 bzwO 28 zur Ausblendung ungerichteten Lichtes liegt0 Die Pinholes liegen in den Brennpunkten je einer Kollimatorlinse 29, 30.
  • Diese Linse 29, 30 verlässt je ein paralleler, monochromatischer und kohärentes Strahl Hinter der Linse 30 ist die Vorlage mit den Bildern i9 der Suchobjekte angeordnet Das von der Vorlage modulierte parallele Strahlenbündel fällt auf eine Transformationslinse 319 hinter der im Abstand der Brennweite eine fotografische Platte 32 liegt.
  • Im Bereich dieses Films überlagert sich das von der Transformationslinse 32 ausgehende Strahlenbündel mit dem von dem Spiegel 21 abgespalteten Teil des Laserstrahls, welcher von der Kollimatorlinse 29 direkt auf die Fotoplatte 26 gerichtet wird. Durch ein schrittweises Weiterbewegen der Platte mit den Bildern 19 der Suchobjekte und der Fotoplatte 32, wobei jeweils nur ein Suchobjekt durchleuchtet wird, wird in jedem Bereich der Fotoplatte 26 das Fourierhologramm eines Suchobjektbildes 19 oder einer anderen Ansicht eines und desselben Suchobjektes aufbelichtet. Wenn alle vorgesehenen Bildfelder gemaß Figo 2 zu Fourierhslogrammen gemäß Figo 3 transformiert wurden, wird die Fotoplatte 32 entwickelt und als konjuigertes Filter 11 in der Anordnung gemäß Figo 1 verwendet.
  • Die Wirkungsweise der Anordnung gemäß Figo 1 ist nun folgende: Der Strahl des Lasers 1 tastet über die Drehspiegel 3 und 5 und durch die Kondensorlinse 8 die Vorlage 7 bereichsweise und zeilenweise abO Die ausgeleuchteten Bereiche sind dabei in ihrer Größe so bestimmt, daß sie nicht wesentlich größer als die Größe der vermuteten Suchobjekte sind0 Auf diese Weise kommt ein sehr günstiges Signal-Rauschverhältnis zustande, ein wesentlich günstigeres, als wenn die gesamte Vorlage gleichzeitig ausgeleuchtet und auf Vorhandersein von Abbildungen der Suchobjekte überprüft würde.
  • Durch das Gitter 9 werden von jedem Punkt des Bildes auf der Vorlage 7 Beugungsordnungen verschiedener Ordnung erzeugt In der Figur sind zur vereinfachten Darstellung nur die mittlere, die nullte Beugungsordnung und die +lo und -1. Beugungsordnung dargestellt Aufgrund der Gitterkonstante des Gitters 9 ist der Winkel zwischen der nullten und der lo bzwO ~ lo Ordnung festgelegt Die Gitterkonstante muß so groß gewählt sein, daß in der Fourierebene 11 eine deutliche Trennung zwischen den Fourierspektren der gesamten Vorlage einer Ordnung vorhanden ist Jeweils im Bereich eines Fourierspektrums einer Beugungsordnung der Vorlage ist nun ein konjugiertes Teilfilter gemäß Abbildung 3 angeordnetfl so daß die neben und übereinander angeordneten Teilfilter alle gleichzeitig mit einen Fourierspektrum desselben von dem Laserstrahl ausgeleuchteten Bereiches der Vorlage 7 beaufschlagt werden Das Fourierteilspektrum gleicher Ordnung entsteht dabei immer an derselben Stelle in der Fourierebene o Stimmen nun Strukturen in dem ausgeleuchteten Vorlagenbereich mit einem der konjugierten Filter in der Fourierebene 11 überein so wird der Lichtduy'chtritt nicht behindert und es entsteht über die Rücktransformationslinse 12 auf der Mattscheibe i3 eine Lichtkonzentration an der Stelle, die lagemäßig der Lage des Suchobjektes in der Vorlage 7 entspricht Durch die Umlenkung eines Teiles des von der Rücktransformationslinse 12 durchgelassenen Lichtes in die Eintrittsebene 15a der Ulbrichtkugel 15 wird von dem SEV 16 ein Signal für größere Helligkeit dann ausgelöst, wenn aufgrund der ÜbereinstimmuE von einem der Suchobjekte mit dem gerade ausgeleuchteten Teil der Vorlage 7 eine größere Helligkeitskonzentration auftritt Die ist beim Erfassen eines Suchobjektes der Fall, Der SEV i6 kann dann z Bo ein Warnsignal hervorrufen9 das die Bedienungsperson zur Markierung der gefundenden Position veranlaßt Der SEV kann jedoch auch ein Signal zur Stillsetzung der Motore 4 und 6 geben, so daß die Abtastbewegung sofort eingestellt wird, wenn ein Suchobjekt auf der Vorlage gefunden wurde.
  • Dann verbleibt die Helligkeitskonzentration auf der Mattscheibe 13 an der Stelle1 an der in der Vorlage das Suchobjekt gefunden wurde Es kann nun fotografisch eine Maske erzeugt werden, in der diese Helligkeitskonzentration an einer bestimmten Position fotografisch festgehalten wird Gleichzeitig kann durch die thermische Lichtquelle 18 die Vorlage 7 vollständig ausgeleuchtet werden und nach der Abbildung durch die Linsen 10 und 12 das Bild der Vorlage auf der Mattscheibe sichtbar gemacht werden9 so daß dies entweder zur visuellen Beobachtung oder ebenfalls zur fotografischen Registrierung genutzt wird Bei in ihrer Größe verhältnismäßig stark variierenden Suchobjekten, do h,, wenn der Abstand zum Suchobjekt oder dessen Größe nicht genau bekannt sind, ist es schwierig, eine entsprechende Anzahl von Abbildungen 19 unterschiedlichen Abbildungsmaßstabes in der Fourierebene 11 unterzubringen. In diesem Fall besteht auch die Möglichkeit, die maßstäbliche Vergrößerung des Suchobjektes gegenüber dem Vergleichsobjekt zu berücksichtigen durch eine Veränderung der Brennweiten der Linsen 8, 10 und 12o Zu diesem Zweck werden die Linsen als Objektive mit einstellbarer Brennweite ausgebildet, etwa nach Art der bekannten Zoom-Objektive für fotografische Aufnahmegeräte. Die Verstelleinrichtungen für die Linsen 8, 10 und 12 sind dabei so gekuppelt, daß die Brennweiten sich immer nur gleichsinnig um gleiche Beträge verstellen lassen Gleichzeitig ist durch entsprechende Maßnahmen wie gekuppelte verschiebbare Trager der übrigen Glieder dafür zu sorgen, daß der Abstand zwischen dem Drehspiegel 5 und der Linse 8 sowie der Linse 8 und der Linse 10 sowie von hier zur Fourierebene und zur Rücktransformationsebene und zur Mattscheibe 13 jeweils der Abstand der gemeinsamen Brennweite eingehalten wird0 Es wird dann jeweils nach einer Verstellung der Brennweiten der Abtastvorgang der Vorlage wiederholt0 Die Erfindung ist nicht auf die gezeigte Ausführungsform beschränkt. So kann zO Bo anstelle der Ulbrichtkugel 15 mit dem SEV 16 ein flächenhafter fotoelektrischer Wandler vorgesehen sein, der ebenfalls einen Anstieg der Helligkeit durch ein entsprechendes Signal ausdrückt, Selbstverständlich können die Linsen 8, 10 und 12 auch durch Kombinationen von einzelnen optischen Gliedern gebildet seine was bei der Ausbildung als Zoom-Objektiv unerlässlich ist.

Claims (2)

  1. Ansprüche
    Verfahren zum Erkennen eines bestimmten Suchobjektes in einer Vorlage, bei dem das Fourierspektrum der mittels kohärenten Lichtes durchleuchteten, in eine Fourierebene transformierten Vorlage durch ein dem Suchobjekt entsprechendes, in der Fourierebene angeordnetes konjugiertes Filter moduliert wird und eine Übereinstimmung zwischen der Vorlage und dem im Filter enthaltenen Suchobjekt als Lichtkonzentration in einer Rücktransformationsebene erkennbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Fourierspektrum der Vorlage vervielfacht wird und jedem dieser Teilspektren ein konjugiertes Teilfilter mit einem besonderen Suchobjekt oder mit azimutal, maßstäblich oder perspektivisch verschiedenen Ansichten eines oder mehrerer Suchobjekte zugeordnet ist.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe des Suchobjektes im Filter und in der Vorlage durch Veränderung der Brennweiten der abbildenden Glieder berücksichtigt werden0 30 Verfahren nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils nur ein Teil der Vorlage ausgeleuchtet wird, der nicht wesentlich großer ist9 als das darin enthaltene Bild des Suchobjektes0 4 Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß höhere Lichtkonzentrationen in der Rücktransformationsebene fotoelektrisch und/oder automatisch ermittelt und zur Anzeige und/oder Auslösung einer fotografischen Registrierung ausgenützt werden.
    5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Vorlage (7) und einer etwa im Abstand ihrer Brennweite vor der Vorlage angeordneten Transformationslinse (10) eine Vervielfachungsanordnung, insbesondere ein Kreuzgitter (9) liegt, dessen Beugungsordnungen in den Bereichen der Fourier- oder Transformationsebene (11) konzentriert sind, in denen die konjugierten Teilfilter (26) der Suchobjekte liegen.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ausleuchtung der Vorlage (7) ein Laser (1) vorgesehen ist, dessen Strahl durch eine Sammellinse (2) über eine geeignete Ablenkeinrichtung, insbesondere ein Paar von verbundenen, gekreuzten Schwenkspiegeln (3, 5) über die Vorlage geführt wird, wobei die spiegelnde Fläche d.s zweiten Schwenkspiegels (5) in allen St.llung.n einerseits den Brennpunkt der dem Laser nachgeschalteten Sammellinse (2) und andererseits den Brennpunkt in.r der Vorlage (7) vorgeschalteten, in der Brennebene der Transformationslinse (10) liegenden, mit dieser brennweitengleichen Kondensorlinse (8) enthält.
    7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekcnn-Ruckzeichnet, daß hinter der Transformationglinsc (10) in deren Brennebene eine Boabachtuugsmattscheibe (13) liegt, daß vor der Kondensorlinse (8) ein für das Licht des Lasers (1) durchlässiger, für das Licht einer thermischen Lichtquelle (18) undurchlässiger Spiegel (17) angeordnet ist und daß die thermische Lichtquelle di Vorlag vollständig ausleuchtet.
    8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß hinter der Rücktransformationslinse (t2), vorzugsweise hinter einem schrägstehenden, teildurchlässigen Spiegel (i4), eine fotoelektrische Meßeinheit, vorzugsweise eine Mischeinrichtung (15) mit einem Sekundärelektronenvervielfacher (16) angeordnet ist, deren Ausgang an einer Schaltung liegt, die beim Überschreiten eines gewissen Schwellwertes durch das von dem Laser (1) kommende Licht den Antrieb (4, 6) der Drehspiegel (3, 5) stillsetzt und/oder eine fotografische Aufnahme des Mattscheibenbildes veranlasst.
    9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensorlinse (8), de Transformationslinse (10) und die Rücktransformationslinse (12) in ihrer Brennweite verstellbar und so verschi.bbar angeordnet sind, daß die Bedingungen der Gleichheit der Brennweite und der Anordnung in Abständen gleich der einfachen bzw. doppelten Brennweite bei deren Verstellung eingehalten bleibt
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2363141A1 (fr) * 1976-08-27 1978-03-24 Lasag Ag Procede et dispositif pour le controle automatique des pieces au moyen d'une technique de comparaison holographique
DE3036912A1 (de) * 1980-09-30 1982-05-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum indentifizieren von personen

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FR2363141A1 (fr) * 1976-08-27 1978-03-24 Lasag Ag Procede et dispositif pour le controle automatique des pieces au moyen d'une technique de comparaison holographique
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