DE2049976B2 - Verfahren zur messung der dicke von schichten im bauwesen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahren - Google Patents

Verfahren zur messung der dicke von schichten im bauwesen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahren

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US00187678A US3815016A (en) 1970-10-12 1971-10-08 Method of measuring thickness of nonmetallic paving material with compensation for properties of the material
GB4746071A GB1360086A (en) 1970-10-12 1971-10-12 Method of and apparatus for measuring the thickness of layers
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1983001302A1 (fr) * 1981-10-05 1983-04-14 Maizenberg, Mikhail, Iosifovich Procede et dispositif de mesure de l'epaisseur d'une couche ferromagnetique

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4160208A (en) * 1976-01-27 1979-07-03 Elektro-Physik, Hans Nix & Dr. -Ing E. Steingroever Kg. Method of calibrating magnetic thickness gauges
EP0091429B1 (en) * 1981-10-14 1987-03-18 Combustion Engineering, Inc. Clad thickness measuring device
DE3416659A1 (de) * 1984-05-05 1985-11-07 NATEC Institut für naturwissenschaftlich-technische Dienste GmbH, 2000 Hamburg Verfahren und vorrichtung zur zerstoerungsfreien schichtdickenmessung an miteinander verschweissten oder versiegelten metall-kunststoff-verbundfolien
CA1301280C (en) * 1986-09-29 1992-05-19 University Of Western Australia (The) Inductive sensing
EP0277421A1 (en) * 1986-12-05 1988-08-10 The University Of Western Australia Capacitance sensor arrangement
US4814703A (en) * 1987-08-04 1989-03-21 The Boeing Company Method and apparatus for gap measurement between a graphite/epoxy structure and a metallic model
US5200704A (en) * 1991-02-28 1993-04-06 Westinghouse Electric Corp. System and method including a buried flexible sheet target impregnated with ferromagnetic particles and eddy current probe for determining proximity of a non-conductive underground structure
US5343146A (en) * 1992-10-05 1994-08-30 De Felsko Corporation Combination coating thickness gauge using a magnetic flux density sensor and an eddy current search coil
DE10001516B4 (de) * 2000-01-15 2014-05-08 Alstom Technology Ltd. Zerstörungsfreies Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke einer metallischen Schutzschicht auf einem metallischen Grundmaterial
US6808590B1 (en) 2002-06-28 2004-10-26 Lam Research Corporation Method and apparatus of arrayed sensors for metrological control
US7128803B2 (en) * 2002-06-28 2006-10-31 Lam Research Corporation Integration of sensor based metrology into semiconductor processing tools
US7205166B2 (en) * 2002-06-28 2007-04-17 Lam Research Corporation Method and apparatus of arrayed, clustered or coupled eddy current sensor configuration for measuring conductive film properties
US7309618B2 (en) * 2002-06-28 2007-12-18 Lam Research Corporation Method and apparatus for real time metal film thickness measurement
US20040011462A1 (en) * 2002-06-28 2004-01-22 Lam Research Corporation Method and apparatus for applying differential removal rates to a surface of a substrate
US7084621B2 (en) * 2002-09-25 2006-08-01 Lam Research Corporation Enhancement of eddy current based measurement capabilities
US6788050B2 (en) * 2002-12-23 2004-09-07 Lam Research Corp. System, method and apparatus for thin-film substrate signal separation using eddy current
US20050066739A1 (en) * 2003-09-26 2005-03-31 Lam Research Corporation Method and apparatus for wafer mechanical stress monitoring and wafer thermal stress monitoring
DE102004031626A1 (de) * 2004-06-30 2006-02-02 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Materialstärkenbestimmung auf Hochfrequenzbasis
CN103940902B (zh) * 2014-05-13 2016-08-03 爱德森（厦门）电子有限公司 利用涡流阻抗平面检测仪检测非金属材料不连续性方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2581394A (en) * 1945-08-20 1952-01-08 Jacob E Dinger Method of and apparatus for measuring the thickness of nonconducting coatings or films
US2665333A (en) * 1950-11-30 1954-01-05 Libbey Owens Ford Glass Co Apparatus for measuring thickness of sheet material
US2874349A (en) * 1955-06-02 1959-02-17 Henry N Staats Apparatus for detecting and measuring the depth of reinforcing rods
US3662225A (en) * 1970-01-09 1972-05-09 Qicsys Systems Inc Multi-printed circuit assembly

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1983001302A1 (fr) * 1981-10-05 1983-04-14 Maizenberg, Mikhail, Iosifovich Procede et dispositif de mesure de l'epaisseur d'une couche ferromagnetique

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US3815016A (en) 1974-06-04
DE2049976A1 (de) 1972-04-13
GB1360086A (en) 1974-07-17

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