DE2040786A1

DE2040786A1 - Differenzdruck-Messumformer

Info

Publication number: DE2040786A1
Application number: DE19702040786
Authority: DE
Inventors: Weaver John A
Original assignee: Honeywell Inc
Current assignee: Honeywell Inc
Priority date: 1969-08-20
Filing date: 1970-08-17
Publication date: 1971-02-25
Also published as: GB1263039A; US3559488A; CA917948A; FR2058951A5

Description

Frankfurt am Main, ^den 13.8.70

Dip!· Ing. R. Mertens H 31 *

Patentanwalt u 31 ρ

6 Frankfurt/Main l,AmmeH>urgstr.34

HONEYWELL INC.
27OI Pourth. Avenue South

Minneapolis, Minn. /USA

" Differenzdruck-Meßumf =rmer »

Die Erfindung bezieht sich auf Differenzdruck-Meßumformer mit einem im Inneren eines Gehäuses von einer starren ortsfesten Wand getragenen flexiblen druckempfindlichen Element, welches zu beiden Seiten von den Drücken beaufschlagt wird, deren Differenz zu messen ist. Dabei bildet die ortsfeste Wand die eine Wand einer Kammer, während ein anderer Teil der Kammerwand durch das druckempfindliche Element gebildet ist. Ferner weist der Differenzdruck-Meßumformer ein überlastungsschutzventil auf, bestehend aus einem Durchlaß in der ortsfesten Wand und einem von einem starren Wandteil des druckempfindlichen Elements gesteuerten Schließkörper. Das Überlastungsschutzventil schließt, sobald sich der starre Wandteil des druckempfindlichen Elements von der Ruhestellung aus- i gehend in der einen oder anderen Richtung um eine vorgegebene Strecke gegenüber der ortsfesten Wand verschiebt. Ein solcher Differenzdruck-Meßumformer ist beispielsweise in der deutschen Auslegeschrift 1 279 380 beschrieben. Das druckempfindliche Element in Forr eines Balges übt dabei eine doppelte Funktion aus, nämlich einerseits die Erzeugung des Ausgangssignals und andererseits die Betätigung des Überlastungsschutzventils. Diese beiden Funktionen sind nicht immer ganz miteinander verträglich, weil einerseits der Balg ein möglichst dünnwandigen Aufbau mit geringer Steifigkeit haben soll um geringen Differenzdruckänderungen folgen

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zu können, während andererseits der Balg genügend robust sein muß um den Schließkörper des Uberlastungsschutzventils zu tragen und zu betätigen. Gerade weil das druckempfindliche Element auf möglichst geringe Differenzdruckänderungen anspricht und demzufolge möglichst empfindlich sein soll, hat man zu seinem Schutz gegen überdruck ein in beiden Bewegungsrichtungen wirksames Uberlastungsschutzventil vorgesehen. Wenn nun das in Form einer Bewegung unter dein Einfluß des Differenzdruckes das Ausgangssignal liefernde Element gleichzeitig zur Betätigung des Uberlastungsschutzventils herangezogen wird, muß zwangsläufig die Empfindlichkeit des Umformers darunter leiden.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, bei einem Differenzdruck-Meßumformer der eingangs genannten Art, eine größere Empfindlichkeit zu erzielen und zwar unabhängig davon, ob das druckempfindliche Element ein Balg, eine Membran, eine Kapsel, eine Anordnung aus mehreren Kapseln oder anders aufgebaut ist.

Gelöst wird die gestellte Aufgabe gemäß der Erfindung dadurch, daß der starre.Wandteil des druckempfindlichen Elements mit einer durch eine Membran verschlossenen öffnung versehen ist und die Membran auf . vom starren Wandteil getragene, auf mechanische Verformung oder Druck ansprechende elektrische Geber einwirkt. Die Steuerung des Ausgangssignals des Differenzdruck-Meßumformers erfolgt also durch die relativ dünnwandige Membran unter dem Einflus des vorhandenen Differenzdruckes und zwar unabhängig von der jeweiligen Stellung und Bewegung des druckempfindlichen Elements selbst. Während die Bewegung des starren Wandteils des druckempfindlichen Elements zur Steuerung des Uberlastungsschutzventils dient, ist die Funktion der Signalerzeugung hiervon getrennt und wird von der eine., öffnung im starren Wandteil verschließenden Membran erfüllt. Da sich die elektrischen Geber einseitig am genannten starren Wandteil abstützen und somit nur durch die Verformung der Membran gegenüber dem starren Wandteil beaufschlagt werden, sind auch diese Geber gleichzeitig mit gegen mechanische überlastung geschützt. Die Verwendung elektrischer Geber hat darüberhinaus den

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Vorteile daß keinerlei bewegliche Gestänge oder Wellen aus dem Gehäuse des Meßumformers herausgeführt und abgedichtet werden müssen und die bei solchen mechanischen Übertragungsmitteln unvermeidliche Reibung und Hysterese völlig ausgeschaltet ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die elektrischen Geber, beispielsweise Dehnungsmeßstreifen oder druckempfindliche Halbleiterwiderstände,unmittelbar auf der Membran befestigt. Bei einer anderen Ausführungsform ist an der Membran ein Stift befestigt, welcher auf einen flexiblen, am starren Wandteil befestigten und die elektrischen Geber aufweisenden Ausleger einwirkt.

Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung liegt, wie erwähnt, darin, daß das Ausgangssignal des Meßumformers von jeglichen Bewegungen des druckempfindlichen Elements unabhängig ist, gleichgültig ob -. diese Bewegung von Änderungen der Differenz der dem Gerät zugeführten Qrücke herrühren oder von der Wärmeausdehnung des Elements bzw. des Mediums in der Kammer, deren . eine Wand durch das Element gebildet ist. Durch die Erfindung wird somit auch die Genauigkeit des Meßumformers verbessert. Bei der Dimensionierung des druckempfindlichen Elements braucht im wesentlichen nur seine Aufgabe als Betätigungsglied für das Überlastungsschutzventil berücksichtigt zu werden. Damit läßt sich auch die Arbeitsweise des Überlastungsschutzventils verbessern, weil der eingangs erwähnte Kompromiß nicht mehr erforderlich ist. Die Erfindung führt zu { einem Differenzdruck-Meßumformer mit verbesserter Empfindlichkeit selbst bei sehr kleinen Differenzdrücken, vergrößerter Genauigkeit infolge der Unabhängigkeit von Bewegungen des druckempfindlichen Elements und einer verbesserten Steuerung des überlastungsschutzventils. Als elektrische druckempfindliche Elemente können anstelle von Dehnungsmeßstreifen bzw. druckempfindlichen Halbleiterwiderständen auch kapazitive,induktive oder piezoelektrische Bauelemente eingesetzt werden.

Zur Erläuterung der Erfindung wird im folgenden auf die in den

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Zeichnungen wiedergegebenen Ausführungsbeispiele Bezug genommen.

Dabei zeigt

Figur 1 vereinfacht im Längsschnitt eine erste Ausführungsform des Differenzdruck-Meßumformers

Figur 2 eine abgewandelte Ausführungsform des der Signalerzeugung dienenden Teils des Meßumformers und Figur 3 einen elektrischen Geber in Form einer Brückenschaltung wie er in Verbindung mit den Figuren 1 und 2 eingesetzt werden kann.

Wie Figur 1 zeigt, hat der Differenzdruck-Meßumformer ein starres Gehäuse 1 von im wesentlichen zylindrischer Form. Eine mit dem Gehäuse einstückige starre Trennwand 3 unterteilt den Innenraum des Gehäuses. An der. Trennwand 3 befestigt, vorzugsweise angeschweißt, ist das druckempfindliche Element in Form eines flexiblen Metallbalges 6, der somit vom Gehäuse 1 getragen wird. Ferner sind zwei elastische Dichtungsmembranen 4 und 5 vorgesehen, welche mit ihren äußeren Rändern zwischen Teilen des Gehäuses eingespannt sind und den Innenraum weiter unterteilen. Es ergeben sich somit mehrere Kammern und zwar bezogen auf die Zeichnung, oben zunächst eine mit dem einen Einlaß 13 in Verbindung stehende Kammer 7, welche durch die Membran 4 und Teile des Gehäuses gebildet wird. Hieran schließt sich an eine zwischen der Membran 4 und dem Balg 6 liegende und außen durch Teile der zylindrischen Gehäusewand begrenzte zweite Kammer 8. Eine dritte Kammer 9 wird durch den Innenraum des Balges 6 gebildet und steht über einen mittels des überlastungsventils schließbaren Durchlaß 12 mit der Kammer 10 in Verbindung, welche einerseits durch die starre Trennwand 3 und andererseits durch die zweite Membran 5 begrenzt wird. Schließlich mündet der andere Einlaß 14 in die auf der anderen Seite der Membran 5 liegende Kammer 11. Die Einlasse 13 und 14 sind mit Gewinde zum Einschrauben der Anschlußrohre versehen, so daß die beiden Drücke, deren Differenz zu messen ist, in den Kammern 7 und wirksam sind. Durch zwei Offnungen 15 und 16 können die Kammern 8 bzw. 9 und IO mit einer inkompressiblen Schutzflüssigkeit gefüllt werden. Danach werden die öffnungen 15 und 16 durch O-Ringe 15a

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bzw. 16a und Gewindestopfen 15b bzw. 16b verschlossen. Die öffnung 15 und der Gewindestopfen 15b dienaiferner als Kabeldurchführung für die elektrischen Anschlußleitungen 36 des elektrischen Gebers. Während die Kammern 8, 9 und 10, wie erwähnt, mit einer Schutzflüssigkeit gefüllt sind, können die Kammern 7 und 11 ein be liebiges Druckmedium aufnehmen, beispielsweise Flüssigkeit, Dampf oder Gas. Unter Druck soll im Rahmen der Erfindung auch der Druck Null verstanden werden, denn der Umformer kann auch zur Absolut-Druckmessung verwendet werden, i"»deff man. in einer der Kammern 7 oder 11 Vakuum bzw. atmosphärischen öruck aufrechterhält.

Das Überlastungsschutzventil, welches das Ausgangssteuerglied des Umformers gegen übermäßigen Differenzdruck schützt, umfaßt einen Verbindungsstift 21, welcher einen Schließkörper 22 sowie einen Dichtungsring 23 trägt und mit demVentilsitz 24 zusammenarbeitet. Der Ventilsitz 24 ist durch eine Vertiefung in der Trennwand 3 gebildet. An seinem gegenüberliegenden Ende ist der Verbindungsstift 21 an der starren Endplatte 20 des als druckempfindliches Element dienenden Balges 6 befestigt und erstreckt sich durch die Öffnung 12 in der Trennwand hindurch. Die Endplatte 2O ist innerhalb des Balges 6 mit einer ringförmigen Schulter 25 versehen, welche einen O-ßing 26' trägt, der sich beim Schließen der oberen Ventilhälfte gegen den durch einen Teil der Oberseite der Trennwand 3 gebildeten Ventilsitz 27 legt. In der gezeigten Ruhelage ist das Überlastungsschutzventil 20-22,24,27 geöffnet. Bewegt sich die Endplatte 20,von dieser Ruhestellung ausgehend, um einen vorgegebenen Betrag nach oben, so schließt der Schließkörper 22 den unteren Eingang der öffnung 12, während bei einer Bewegung in entgegengesetzter Richtung die Endplatte 2O mit dem Q-Ring 26 den oberen Einlaß der öffnung 12 blockiert. .

Sowohl in der Ausführungsform gemäß Figur 1 als auch bei der abgewandeltem Ausführungsform gemäß Figur 2 ist in der Endplatte 20 ein Kanal 30 vorgesehen, welcher sich vom Innenraum des Balges 6, d.h. von der Kammer 9 an einem Punkt außerhalb des Umfangs des 0-Ringes 26 zu einer kreisförmigen Ausnehmung 31 in der Außenseite der Endplatte 20, d.h. in der der Kammer 8 zugewandten Seite erstreckt»

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In Figur 1 wird die öffnung 31 durch eine Membran 32 abgedeckt, welche an ihrem Umfang dicht mit der Endplatte 20 verbunden ist, so daß keine Flüssigkeit über den Kanal 30 zwischen den Kammern 8 und 9 hin und her fließen kann. Auf der Außenseite der Membran 32 ist eine Dehnungsmeßstreifen-BüUckenschaltung 33, bestehend aus vier Dehnungsmeßstreifen vom Halbleitertyp angebracht, die wie in Figur 3 zu einer Meßbrücke zusammengeschaltet und unmittelbar auf die Membran 32 aufgeklebt sind. Die einzelnen Dehnungsmeßstreifen sind nur in Figur 3 mit den Bezugszeichen 33a-33d bezeichnet. Vier sehr dünne flexible Anschlußdrähte 34 verbinden die Dehnungsmeßstreifen der Brückenschaltung 33 mit den Anschlüssen des Anschlußblocks 35, welcher neben der Membran 32 unmittelbar auf der Endplatte 20 befestigt ist. Vier etwas stärkere Drähte 36 stellen die Verbindung von den Anschlüssen des Blocks 35 nach außen her, indem sie innerhalb eines mit Kunstharz vergossenen Rohres 37 durch die öffnung 15 flüssigkeitsdicht nach außen geführt sind. Der Dichtungsring 15a und der Stopfen 15b dichten das Rohr 37 gegenüber dem Gehäuse 1 ab. Außen können die Anschlußdrähte 36 mit irgendeinem Gerät, beispielsweise einem Anzeigegerät, einem Aufzeichnungsgerät, einem Regler oder einem Umformer bzw. Verstärker verbunden werden. Im Falle der Verwendung des Meßumformers zur Durchflußmessung kann der Umformer beispielsweise ein Ausgangssignal liefern, welches der Quadratwurzel des von der Brückenschaltung gelieferten Ausgangssignals entspricht.

Bei der abgewandelten Ausführungsform gemäß Figur 2, trägt die in der gleichen Weise auf der Endplatte 20 befestigte Membran 42 einen Betätigungsstift 43, der sich senkrecht zur Membranmitte erstreckt und mit der Membran bewegt. Ein starrer Halteblock 44 ist an der Endplatte 2O befestigt und trägt einen elastischen Ausleger 45, welcher in der Nähe seines freien Endes an dem Stift anliegt und von diesem verstellt werden kann. Eine Brückenschaltung 46 aus Dehnungsmeßstreifen ist auf dem elastischen Ausleger 45 angeordnet und über Leitungen 47 mit dem Anschlußblock 48 verbunden, von welchem Anschlußleitungen 49, wie in Figur 1 abgedichted , aus dem Gehäuseinneren nach außen geführt sind.

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" ⁷V " ν ;^; 2040788

Im Betrieb werden die Einlasse 13 und 14, wie erwähnt,über entsprechende Rohrleitungen an die Druckstellen angeschlossen, deren Differenz zu messen ist. Ist der in der Kammer 7 auf die Außenseite der Membran 4 einwirkende Druck genauso groß wie der in der Kammer 11 auf die Außenseite der Membran 5 einwirkende Druck,_%so verharrt der Meßumformer in der Ruhestellung und keiner der Schließkörper 23 und 26 des überlastungsschutzventils liegt am entsprechenden Ventilsitz 24 bzw. 27 an. Nimmt man nunmehr an, daß der Druck in der Kammer 11 ansteigt, so bewegt sich die Membran in Richtung zur Trennwand 3. Hierdurch wächst auch der Druck in der Kammer 10 und im Durchlaß 12 an und demzufolge auch im Innenraum 9 des Balges 6 sowie im Kanal 30. Damit wirkt der Im Vergleich zum Druck in den Kammern 7 und 8 angewachsene Druck in der Kammer 9 in Form einer Druckdifferenz auf die Membran 32. Bis zu einem vorgegebenen minimalen Druckanstieg in der Kammer 11 wird sich nun die Membran 32 durchbiegen, während der Balg 6 und mit ihm dessen Endplatte 20 in ihrer Lage gegenüber der Trennwand 3 verharrt. Biegt sich die Membran 32 aufgrund der Druckzunahme in der Kammer 11 durch, so werden die Dehnungsmeßstreifen 33a-33d verformt und die Ausgangs spannung E_ der Brücke 33 nimmt einen Wert an, welcher der auf die Membran 32 einwirkenden Druckdifferenz proportional ist.

Steigt der Druck in der Kammer 11 weiter an, so beginnt sich der Balg 6 zu dehnen und die Endplatte 20 bewegt sich von der Trennwand 3 weg. Die Membran 32 spricht auf den weiteren Druckanstieg in der gleichen Welse an wie auf den anfänglichen Druckanstieg. Da die Dehnungsmeßstreifenschaltung von der Endplatte getragen wird, haben Bewegungen der Endplatte keinen Einfluß auf das Ausgangssignal der Brückenschaltung 33. Mit zunehmendem Druck in der Kammer 11 bewegt sich der Balg 6 und mit ihm die Endplatte 20 immer weiter weg von der Trennwand 3. Ehe der Druck in der Kammer 11 eine Höhe erreicht, bei welcher die Gefahr eines ZerreiSens der Membran 32 besteht, legt sich der Schließkörper 22 mit dem O-Ring 23 gegen den Sitz 24 und schließt den Durchlaß 12 ab, so daß ein weiterer Druckanstieg in den Kammern 11 und 10 nicht in die Kammer 9 Übertragen werden kann. Nimatt man an, daß der Druck in den

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Kammern 7 und 8 in diesem Zustand des Umformers nicht anwächst, so verharrt die Ausgangsspannung der Brückenschaltung 33 auf einem konstanten Wert, sobald nur das Ventil 22,24 geschlossen ist, unabhängig davon, wie groß die Druckdifferenz zwischen den Räumen 10 und 9 ist. Wenn entweder^eßruck in den Kammern 7 und 8 beispielsweise als Folge eines Regelvorganges anwächst,um die auf den Balg 6 einwirkende Druckdifferenz zu verringern, oder der Druck in den Kammern 10 und 11 unter den das Überlastungsventil schließenden Wert absinkt, hebt der Schließkörper 22 mit dem Dichtungsring 23 vom Ventilsitz 24 ab und öffnet erneut den Durchlaß 12. Damit wirkt auf die Membran 32 wiederum die volle Druckdifferenz und die Brückenschaltung 33 liefert ein entsprechendes Signal.

übersteigt von der Ruhestellung ausgehend im Gegensatz zur bisher betrachteten Betriebsweise der Druck in der Kammer 7 denjenigen in der Kammer 11, so wird die Endplatte 20 des Balges 6 nach überschreiten des Minimaldruckes in Richtung auf die Trennwand 3 verschoben, bis schließlich der O-Ring 26 auf den Ventilsitz 27 aufsetzt und damit den Durchlaß 12 verschließt. Da der Kanal 30 in der Endplatte 20 außerhalb des O-Ringes 26 in die Kammer 9 mündet, gleicht die in der Kammer 9 befindliche Flüssigkeit jeglichen weiteren Druckanstieg am Einlaß 13 aus und die Druckdifferenz an der Membran 32 ist praktisch Null, sobald fzst einmal der Durchlaß 12 mittels des O-Ringes 26 verschlossen ist. Auch in dieser Richtung ist also die Membran 32 gegen Zerstörung durch eine tibermäßig große Druckdifferenz geschützt. Eine solche hohe Druckdifferenz wird vielmehr von der Trennwand 3 und der den O-Ring 26 tragenden Endplatte 20 des Balges 6 aufgefangen. Beim Einwirken einer übermäßig hohen Druckdifferenz in der entgegengesetzten Richtung wurde sie, wie erwähnt, ebenfalls von der massiven Trennwand 3 und dem Schließ-

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körper 22 nebst O-Ring aufgenommen.

Je nach dem, in welcher Richtung sich die Membran 32 durchbiegt, werden die auf dieser Membran angeordneten Dehnungsmeßstreifen in der einen oder anderen Richtung gedehnt bzw. gestaucht, wodurch

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sich die Ausgangsspannung der Brückenschaltung 33 entsprechend der Druckdifferenz an der Membran 32 ändert. Die Ausgangsspanmsing ist jedoch unabhängig von irgendwelchen Bewegungen der Endplatte 20 und des Balges 6, gleichgültig ob diese Bewegungen ihren Grund in einem anstehenden Differenzdruck oder in einer thermischen Ausdehnung des Balginhalts haben.

Die abgewandelte Anordnung zur Erzeugung des Ausgangssignales gemäß Figur 2 arbeitet ähnlich wie.' in.' Figur ■ 1. Die Membran 42 entspricht der Membran 32 der bereits ^«schilderten Ausführungsform trägt aber die Dehnüngsstreifen nicht unmittelbar, sondern wirkt über einen Stift 43 auf einen Ausleger 45 ein, auf welchem die Dehnungsmeßstreifen 33a-33b befestigt sind. Der Aasleger 45 ist ä mittels eines Halteblocks 44 an der Endplatte 2O befestigt, die Dehnungsstreifenbrücke 46, bestehend aus vier Dehnungsmeßstreifen 33a-33d erzeugt wiederum ein der Durchbiegung der Membran 42 entsprechendes Ausgangssignal, welches andererseits von irgendwelchen Bewegungen der Endplatte 20 und des Balges 6 unabhängig ist, weil der Ausleger 45 von der Endplatte 20 selbst getragen wird. .

Die Größe des Überlastungsdruckes, bei welchem die Schließkörper 22* 23 bzw. 20,26 auf den betreffenden Ventilsitz aufsetzen und den Durchlaß, wie in der Zeichnung gestrichelt angedeutet, schließen, können durch geeignete Auswahl des Querschnitts und des Verformungswider Standes des Balges 6 bestimmt werden. Bei vorgegebene;; Zerreißdruck der Membran 32 bzw. 42 wird der Balg 6 derart dimensioniert, daß der Durchlaß 12 mit Sicherheit vor dem Erreichen dieses Druckes geschlossen wird. .

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Claims

Patentansprüche

IlWDifferenzdruck-Meßumformer mit einem im Inneren eines Gehäuses von einer starren ortsfesten Wand getragenen flexiblen druckempfindlichen Element, welches zu beiden Seiten von den Drücken beaufschlagt wird,deren Differenz zu messen ist, wobei die ortsfeste Wand die eine Wand einer Kammer bildet, während ein anderer Teil der Kammerwand durch das druckempfindliche Element gebildet ist, ferner mit einem Überlastungsschutzventil bestehend aus einem Durchlaß in der Ψ ortsfesten Wand und einem von einem starren Wandteil des druckempfindlxchen Elements gesteuerten Schließkörper, welches schließt, sobald sich der starre Wandteil des druckempfindlichen Elements von der Ruhestellung ausgehend in der einen oder anderen Richtung um eine vorgegebene Strecke gegenüber der ortsfesten Wand verschiebt, dadurch gekennzeichnet, daß der starre Wandteil (20) des druckempfindlichen Elements (6) mit einer durch eine Membran (32) verschlossenen öffnung (30,31) versehen ist und die Membran auf vom starren Wandteil getragene, auf mechanische Verformung oder Druck ansprechende elektrische Geber (33) einwirkt.

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2. Gerät nach. Anspruch 1, d a. d u r e h. g e.k--e mn.- . zeichnet, .daß- die elektrischen Geber (33). uraaittel-,

. bar auf der Membran (32) befestigt sind (Figur. 1) „
3. Gerät.nach. Anspruch 1, -dadurch- g e k e η η■ —

ζ e i c. h η -e.t, daß an der Membran. (12) eins. Stift (43) befestigt ist, welcher .auf einen flexiblen,; am-starren . Wandteil (20) befestigten und die elektrischen Geber (46) aufweisenden-Ausleger (45) 'einwirkt (Figur 21*
4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da lurch g e k e η η ζ e i cn η e t, daB'als elektrische Geber Dehnungsmeßstreifen dienen.
5. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a.durch gekennze i .c h. η e t, daß als. elektrische Geber druckempfindliche Halbleiter-WiderstMnde- dienen.
6. Gerät nach Anspruch. 4 oder 5_f.dadurch gekenn-

z ei c h η et, daß die Dehnungsmeßstreifen-bzw. Halbleiterwiderstände eine Brückenschaltung .bilden-(Figur-3) .
7. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6*dadu.rch gekennzeichnet, daß die öffnung im starren.Wandte! 1 (20) durch eine.in seiner Außenseite vorgesehene Ausnehmung (31) gebildet ist, weiche über einen Kanal (30) mit der Innenseite in Verbindung steht.
8. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet« daß das druckempfindliche Element ein Balg ist.
9. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7,dadurch gekennzeichnet, daß das druckempfindliche Element eine Membran ist.

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10. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 9,dadurch gekennzeichnet, daß die Räume (8,10) zu beiden Seiten des druckempfindlichen Elements (6) durch je eine im Gehäuse (1) eingespannte elastische Dichtungsmembran (4,5) nach außen abgeschlossen sind und die Drücke, deren Differenz zu messen ist, den dem druckempfindlichen Element abgewandten Seiten (7,11) der beiden elastischen Dichtungsmembranen zugeführt werden.

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