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Die Erfindung betrifft eine Testanordnung zum durch elektrische Berührungskontaktierung mittels einer Prüfkarte erfolgenden elektrischen Prüfen von vereinzelten Schaltungsträgern insbesondere der Halbleitertechnik.
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Elektronische Schaltungen der Halbleitertechnik werden als Wafer hergestellt. Hierbei handelt es sich um Siliziumscheiben, auf denen jeweils eine Vielzahl derartiger Schaltungen matrixartig angeordnet sind. Oftmals werden die Schaltungen des Wafers mittels einer Prüfkarte (Probe Card) auf elektrische Funktionsfähigkeit getestet, bevor der Wafer in einzelne „Bare Dies” zerteilt wird. Der Wafer wird hierzu an Prüfkontakte der Prüfkarte in entsprechenden Positionen angedrückt, sodass die Prüfkontakte mittels Berührungskontaktierung elektrische Verbindungen zur Durchführung des Tests herstellen. In Abhängigkeit des Ergebnisses des Tests werden dann die als „gut” getesteten Dies weiterverarbeitet, d. h., sie werden verbaut oder sie werden verpackt, also mit einem Gehäuse versehen. Bei den unverpackten Schaltungen, also den „Bare Dies”, spricht man von „vereinzelten Schaltungsträgern” und bei den verpackten Schaltungsträgern von „Mikrochips”. Bei den vereinzelten Schaltungsträgern handelt es sich üblicherweise um rechteckige Plättchen, die nach dem Zerteilungsprozess, der meist durch Sägen erfolgt, einzeln kontaktiert werden müssen, um sie elektrisch zu testen. Dies erweist sich als außerordentlich schwierig, da die Kontaktabstände und die vereinzelten Schaltungsträger selbst sehr klein sind. Bei dem erwähnten Test des gesamten Wafers ist das anders, denn dabei kann über optische Referenzpunkte einer Kamera sehr genau die Position der Prüfkontakte der Prüfkarte in Relation zu Kontakten des Wafers bestimmen. Dieses Vorgehen ist nach dem Vereinzeln, also bei den „Bare Dies”, nicht mehr möglich.
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Bekannt sind sogenannte „Sockel”, die vereinzelte Schaltungsträger aufnehmen und als Halte- und Kontaktier-Vorrichtung dienen, um die „Bare Dies” mit demselben Testequipment zu testen, das auch für den Test der Wafer verwendet wird. Diese „Sockel” werden über eine gesonderte Platine mit der Prüfkarte (Probe Card) verbunden, was jedoch viele Probleme mit sich bringt, da die Kontaktabstände sehr klein sind und die Fertigung solcher Platinen aufwendig und kompliziert ist und zudem zusätzliche Kontakte erforderlich sind, um den Test durchführen zu können.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Testanordnung zum Testen von vereinzelten Schaltungsträgern zu schaffen, die einfach aufgebaut und preiswert ist sowie einem unkomplizierten und ergebnissicheren Test der einzelnen „Bare Dies” ermöglicht.
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Diese Aufgabe wird unter Berücksichtigung der eingangs genannten Testanordnung dadurch gelöst, dass die Testanordnung mindestens eine Aufnahmevorrichtung zum positionsreproduzierbaren Halten von mindestens einem Schaltungsträger aufweist, wobei die Aufnahmevorrichtung Folgendes umfasst: ein Halteglied mit Halteelementen zum Halten des Schaltungsträgers, Mittel zum zumindest bereichsweise erfolgenden elastischen Verformen und zur wenigstens teilweisen Aufhebung der Verformung des eine Eigenelastizität aufweisenden Halteglieds, derart, dass sich aufgrund der Verformung die lichte Weite zwischen den Halteelementen soweit vergrößert, dass der Schaltungsträger zwischen die Halteelemente einsetzbar ist und sich bei der teilweisen Aufhebung der Verformung an den Schaltungsträger anlegen und diesen fixieren, und mit Befestigungsmitteln zum positionsreproduzierbaren Befestigen der Aufnahmevorrichtung an der Prüfkarte oder einem der Prüfkarte zugeordneten Bauteil. Die Aufnahmevorrichtung dient zum positionsgenauen Halten von mindestens einem Schaltungsträger, sodass dieser mittels der Prüfkarte (Probe Card) einem elektrischen Test unterzogen werden kann. Das Halten des Schaltungsträgers an der Aufnahmevorrichtung wird erfindungsgemäß mittels des Halteglieds der Aufnahmevorrichtung durchgeführt, das als Festkörperfeder ausgebildet ist. Dies bedeutet, dass das Halteglied eine seinem Material innewohnende Eigenelastizität aufweist, die genutzt wird, um den vereinzelten Schaltungsträger spannend zu halten. Die aufgrund der Eigenelastizität vorhandene Federwirkung des Halteglieds wird daher genutzt, um den Schaltungsträger zwischen Halteelementen des Halteglieds einzuspannen. Erfindungsgemäß sind Mittel vorhanden, die das elastische Verformen des Halteglieds oder zumindest eines Bereichs des Halteglieds vornehmen, um die lichte Weite zwischen den Halteelementen so weit zu vergrößern, dass der Schaltungsträger zwischen die Halteelemente einsetzbar ist. Anschließend sorgen die erwähnten Mittel für eine Aufhebung der Verformung derart, dass durch Zurückfedern des Halteglieds die Halteelemente den Schaltungsträger klemmend zwischen sich aufnehmen. Jetzt liegt eine reproduzierbare Lage des zu testenden Schaltungsträgers vor, sodass ein genaues Kontaktieren von elektrischen Kontakten (Pads) des Schaltungsträgers mittels Prüfkontakten der Prüfkarte möglich ist. Nach Durchführung des Tests kommen die Mittel wieder zum Einsatz, die das Halteglied, also die Festkörperfeder, wieder derart elastisch verformen, dass sich die Weite zwischen den Halteelementen soweit vergrößert, dass der Schaltungsträger herausgenommen werden kann. Die Verwendung der Eigenelastizität des Halteglieds zum Halten und exakten Positionieren des mindestens einen Schaltungsträgers erfordert keine aufwendigen Halte- und Spannmechaniken und insofern auch keine beweglichen Teile, deren stets vorhandene Toleranzen sich addieren könnten. Hinzu kommt, dass aufgrund der erfindungsgemäßen Ausbildung kein Platz für die erwähnten Mechaniken erforderlich ist, wodurch die erfindungsgemäße Testanordnung sehr klein gebaut werden kann und überdies auch die Möglichkeit besteht, nicht nur einen einzigen Schaltungsträger zu spannen, sondern mehrere, die dann im gleichen Testzyklus einem elektrischen Test unterzogen werden können. In einem einzigen Prozessschritt lassen sich dann mehrere Schaltungsträger positionieren und mittels der Prüfkarte insbesondere nacheinander kontaktieren und dabei mittels einer an die Prüfkarte angeschlossenen Prüfeinrichtung testen. Als Prüfkarte kommt bevorzugt eine Einrichtung zum Einsatz, die in gleicher Weise für das Testen von Wafern, also von noch nicht vereinzelten Schaltungsträgern, verwendet wird. Vorzugsweise ist gegebenenfalls vorzusehen, dass die Prüfkarte nicht mit ihren Prüfkontakten nach unten weisend zum Einsatz gelangt, so wie es beim Prüfen von Wafern erfolgt, sondern dass die Prüfkarte in ihrer Testeinrichtung um 180° verschwenkt wird, sodass die Kontaktspitzen der Prüfkontakte nach oben weisen. Die Aufnahmevorrichtung kann nun von oben her der Prüfkarte zugeführt werden, um den Test durchzuführen.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Halteelemente auf einer ersten Seite des Halteglieds und dass die Mittel auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite des Halteglieds liegen. Für die Aufnahme des mindestens einen vereinzelten Schaltungsträgers sind die Halteelemente auf der ersten Seite des Halteglieds angeordnet, insbesondere ausgebildet. Um diese Halteelemente durch das elastische Verformen des Halteglieds zu verlagern, derart, dass ein Schaltungsträger eingesetzt oder herausgenommen werden kann, greifen die erwähnten Mittel auf einer Seite des Halteglieds an, die der ersten Seite gegenüberliegt. Befinden sich die Haltelemente somit auf der ersten Seite des Halteglieds, die beispielsweise eine Vorderseite bildet, so liegen die Mittel zum elastischen Verformen auf der zweiten Seite, nämlich der Rückseite des Halteglieds. Das zwischen der Vorderseite und der Rückseite liegende Material des Halteglieds bildet demzufolge die Festkörperfeder. Wenn keine Kraft zum Verformen aufgebracht wird, so stellt sich das Halteglied aufgrund der Festkörperfedereigenschaft in Ruhelage zurück oder das Zurückstellen erfolgt derart weit, dass die Halteelemente aufgrund der Eigenelastizität den Schaltungsträger zwischen sich klemmend festhalten. Wenn im Zuge dieser Anmeldung von einem Verformen des Halteglieds gesprochen wird, so kann das Verformen das ganze Halteglied oder mindestens einen Bereich des Halteglieds betreffen.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Halteelemente fest an dem Halteglied befestigt oder einstückig am Halteglied ausgebildet sind. Da der „Körper” des Halteglieds aufgrund seiner Materialelastizität die Federwirkung der Festkörperfeder bildet, können die Halteelemente fest an dem Halteglied befestigt sein, wobei dennoch ihre zum Aufnehmen, Spannen und wieder Freigeben des mindestens einen Schaltungsträgers erforderliche Verlagerung aufgrund der elastischen Verformung dieses „Körpers” ermöglicht ist. Sollten separate Halteelemente verwendet werden, die nicht einstückig mit dem Material des Halteglieds ausgebildet sind, so sind diese mittels geeigneter Techniken fest mit dem Halteglied zu verbinden. Alternativ und bevorzugt ist jedoch vorgesehen, dass die Halteelemente einstückig am Halteglied ausgebildet sind, also ein materialeinheitliches Gebilde vorliegt.
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Die Halteelemente können bevorzugt von Haltewänden des Halteglieds gebildet sein. Bei diesen Haltewänden handelt es sich um feine Strukturen, beispielsweise um stegartige Strukturen des Halteglieds oder auch um mindestens eine Vertiefung des Halteglieds, d. h., ein zu positionierender Schaltungsträger wird in die Vertiefung eingesetzt und die Vertiefungswandungen üben beim Aufheben der elastischen Verformung einen Haltedruck/Klemmdruck auf den Schaltungsträger aus, so dass dieser positionsreproduzierbar gehalten wird.
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Das Halteglied ist bevorzugt als Halteplatte ausgebildet. Zum elastischen Verformen üben die Mittel mindestens eine Kraft auf die Halteplatte aus. Diese Kraft führt zu einem Verformen der Halteplatte oder von mindestens einem Bereich der Halteplatte und auf der durch das Verformen sich einstellenden Kontur des Halteglieds werden die Halteelemente „bewegt”, die durch die neue Formgebung die lichte Weite zwischen sich vergrößern, sodass zwischen sie der Schaltungsträger aufgenommen werden kann. Sobald die Mittel die Halteplatte entlasten, so wird sich diese aufgrund der ihr innewohnenden Festkörperfeder ein Stück weit in Richtung ihrer ursprünglichen Form zurückbewegen, mit der Folge, dass sich die Halteelemente aufeinander zu bewegen und dabei den Schaltungsträger zwischen sich klemmend aufnehmen. Ist der Test durchgeführt, so wird wiederum eine stärkere Verformung der Halteplatte mittels der Mittel herbeigeführt, wodurch die Halteelemente den Schaltungsträger freigeben und eine Entnahme des getesteten Schaltungsträgers erfolgen kann.
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Das Halteglied besteht aus einem Material, das die erwähnte elastische Verformung zulässt und dass sich aufgrund der Federwirkung stets wieder in der ursprünglichen Formzustand zurückbewegt. Insbesondere ist vorgesehen, dass das Halteglied aus einem entsprechend geeigneten Kunststoff besteht.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Mittels mindestens einen quer, insbesondere rechtwinklig, zur Ebene der Halteplatte verlaufenden, zu dieser gehörenden Halteplattensteg und mindestens ein den Halteplattensteg für das Verformen seitlich mit einer Kraft beaufschlagendes Betätigungselement aufweisen. Um das zumindest bereichsweise erfolgende Verformen des Halteglieds vorzunehmen, ist vorzugsweise der mindestens eine Halteplattensteg vorgesehen. Dieser gehört zur Halteplatte, ist also an ihr befestigt, vorzugsweise jedoch materialeinheitlich, also einstückig, mit dem Halteglied, insbesondere der Halteplatte, ausgebildet. Er verläuft quer zur Ebene der Halteplatte, insbesondere rechtwinklig zu ihr. Wird ein derartiger Halteplattensteg seitlich mit einer Kraft beaufschlagt, so führt dies zu einer Verformung des Bereichs des Halteglieds, von dem der Halteplattensteg ausgeht. Die erwähnt Kraft, die seitlich auf den Halteplattensteg wirkt, um diesen zu „kippen” und um dadurch die erwähnte elastische Verformung herbeizuführen, erfolgt mittels des erwähnten Betätigungselements. In der Zone der Verformung befindet sich selbstverständlich mindestens ein Halteelement, sodass dieses durch die Seitenkraftbeaufschlagung des Halteplattenstegs eine geeignete Verlagerung durchführt, um das Spannen beziehungsweise Freigeben des vereinzelten Schaltungsträgers zu ermöglichen. Insbesondere ist vorgesehen, dass sich die Halteelemente auf der ersten Seite des Halteglieds, beispielsweise auf der Vorderseite, und sich der Halteplattensteg auf der zweiten Seite des Halteglieds befindet, der der ersten Seite gegenüberliegt, insbesondere eine Rückseite des Halteglieds, insbesondere der Halteplatte, bildet.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist bevorzugt vorgesehen, dass das Betätigungselement eine zur Erstreckungsrichtung des Halteplattenstegs unter einem spitzen Winkel verlaufende, den Halteplattensteg beaufschlagende Steuerfläche aufweist und/oder dass der Halteplattensteg mit einer unter einer spitzem Winkel zur Erstreckungsrichtung des Betätigungselements verlaufenden, von dem Betätigungselement beaufschlagbaren Steuerfläche versehen ist. Wird das Betätigungselement zur Herbeiführung einer Verformung des Halteglieds verlagert, nämlich in Richtung auf das Halteglied bewegt beziehungsweise vom Halteglied wegbewegt, so führt die Steuerfläche oder so führen die Steuerflächen dazu, dass der Halteplattensteg seitlich mit einer Kraft beaufschlagt und daher zu einer Kippbewegung veranlasst wird, die das erwähnte elastische Verformen des Halteglieds oder des mindestens einen Bereichs des Halteglieds mit sich bringt.
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Das Betätigungselement ist – wie bereits vorstehend angedeutet – quer, insbesondere rechtwinklig, zur Ebene der Halteplatte verlagerbar angeordnet. Insbesondere ist ein hin- und herverlagerbarer Stempel vorgesehen, an dem das Betätigungselement angeordnet oder ausgebildet ist. Durch Hin- und Herverlagern des Stempels wirkt das Betätigungselement auf den Halteplattensteg mit der Folge der entsprechenden elastischen Verformung des Halteglieds.
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Insbesondere ist der Stempel mittels einer Federvorrichtung in seiner die Verformung des Halteglieds aufhebenden Richtung vorgespannt. Dies hat Zur Folge, dass der Stempel das Bestreben hat, stets in seine Ausgangslage zurückzukehren.
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Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Halteelemente einen Halteplatz zum Haften des Schaltungsträgers beranden. Das „Beranden” bedeutet nicht, dass der Schaltungsträger allseitig und lückenfrei von Halteelementen aufgenommen sein muss, denn es ist insbesondere auch ausreichend, wenn zum Beispiel bei einer Rechteckform des Schaltungsträgers jede Seite des Rechtecks von mindestens einem Halteelement bereichsweise beaufschlagt wird, sich das jeweilige Halteelement also nicht über die gesamte Seitenlänge der zugehörigen Rechteckseite erstrecken muss. Es können sich auch mehrere Halteelemente auf mindestens einer Seite des Schaltungsträgers befinden und/oder es sind entsprechende Haltelemente vorgesehen, die sich nur und/oder auch in den Eckbereichen des Schaltungsträgers befinden, d. h., die Haltelemente können langgestreckt, punktförmig, winkelförmig, bogenförmig und so weiter ausgebildet sein.
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Um bei einem Testzyklus gleichzeitig mehrere vereinzelte Schaltungsträger testen zu können, ist insbesondere vorgesehen, dass das Halteglied mehrere Halteplätze zum Halten von mehreren Schaltungsträgern aufweist. Diese werden in entsprechender Weise gehalten, so wie es vorstehend erläutert wurde.
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Die Befestigungsmittel weisen mindestens eine Schnellspannvorrichtung zur Spannbefestigung der Aufnahmevorrichtung an der Prüfkarte oder an dem Bauteil auf. Die Befestigungsmittel, die ein positionsreproduzierbares Befestigen der Aufnahmevorrichtung an der Prüfkarte oder an dem der Prüfkarte zugeordneten Bauteil vornehmen, sollen vorzugsweise sehr einfach und schnell gespannt und nach dem Test wieder gelöst werden können. Die erwähnte Schnellspannvorrichtung erlaubt eine Spannbefestigung der erwähnten Teile aneinander, die insbesondere nur mittels eines einzigen Handgriffs gespannt und wiederum nur mit einem einzigen Handgriff wieder gelöst werden kann.
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Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Prüfkarte Prüfkontakte aufweist, die gegen elektrische Kontakte des Schaltungsträgers durch Spannen der Schnellspannvorrichtung gedrängt sind. Die Schnellspannvorrichtung dient also nicht nur zum Verspannen von Aufnahmevorrichtung und Prüfkarte oder Bauteil, sondern führt durch das Spannen ferner zu der zum Testen erforderlichen elektrischen Berührungskontaktierung der Prüfkontakte der Prüfkarte mit den elektrischen Kontakten des Schaltungsträgers, also zum Aufbau von Kontaktierungskräften.
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Um ein positionsgenaues Zuordnen von Aufnahmevorrichtung und Prüfkarte beziehungsweise Aufnahmevorrichtung und Bauteil zu ermöglichen, weisen die Befestigungsmittel bevorzugt Ausrichtstifte auf, die in entsprechende, hochgenaue Bohrungen eintreten, wodurch die Ausrichtfunktion erfolgt.
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Das erwähnte, der Prüfkarte zugeordnete Bauteil ist bevorzugt an der Prüfkarte befestigt, insbesondere mit der Prüfkarte verschraubt. Die Aufnahmevorrichtung wird zur Durchführung des Tests dann nicht der Prüfkarte direkt zugeführt, sondern an dem Bauteil positionsreproduzierbar befestigt, um die elektrische Berührungskontaktierung durchzuführen.
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Insbesondere weist die Schnellspannvorrichtung mindestens einen Spannhaken mit Spannhebel auf. Der Spannhebel ermöglicht ein Verschwenken des Spannhakens derart, dass er ein entsprechendes Gegenelement hintergreift und auf diese Art und Weise Aufnahmevorrichtung und Prüfkarte oder Aufnahmevorrichtung und Bauteil verspannt.
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Schließlich ist es vorteilhaft, wenn die Halteplatte mindestens einen ihre Verformbarkeit unterstützenden Materialvertiefungsbereich und/oder Durchbruch aufweist. Um die Elastizität der Festkörperfeder, also des Halteglieds, in gewünschter Weise zu beeinflussen, ist vorzugsweise vorgesehen, das Halteglied an geeigneter Stelle oder an geeigneten Stellen mit mindestens einem Materialvertiefungsbereich und/oder mindestens einem Durchbruch zu versehen. Auf diese Art und Weise wird sich ein entsprechend beeinflusstes elastisches Verformen einstellen, um den mindestens einen vereinzelten Schaltungsträger optimal zu halten und wieder freizugeben.
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Die Zeichnungen veranschaulichen die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zwar zeigt:
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1 eine perspektivische Ansicht einer Testanordnung,
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2 eine Draufsicht auf die Testanordnung der 1,
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3 eine Seitenansicht der Testvorrichtung der 1,
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4 eine Unteransicht auf eine Aufnahmevorrichtung der Testanordnung sowie eine vergrößerte Darstellung eines elektrisch zu prüfenden, vereinzelten Schaltungsträgers,
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5 eine Schnittansicht durch die Testanordnung der 1 und
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6 eine vergrößerte Detaildarstellung eines in 5 gekennzeichneten Bereichs K.
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Die 1 bis 6 zeigen eine Testanordnung 1 zum durch elektrische Berührungskontaktierung mittels einer Prüfkarte 2 erfolgenden elektrischen Prüfen eines vereinzelten Schaltungsträgers 3 der Halbleitertechnik.
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Gemäß 1 weist die Testanordnung 1 eine Aufnahmevorrichtung 4 auf, die mittels Befestigungsmitteln 45, die als Schnellspannvorrichtung 5 ausgebildet sind, an einem Bauteil 7 befestigbar ist. Bei dem Bauteil 7 handelt es sich insbesondere um eine Basisplatte 6, die der Prüfkarte 2 zugeordnet ist. Insbesondere ist das Bauteil 7 mit der Prüfkarte 2 sowohl verschraubt als auch – zur genauen Positionierung – verstiftet.
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Bei der Prüfkarte 2 handelt es sich um eine sogenannte V-Probe-Card, also um eine Testeinrichtung mit vertikal stehenden, als Prüfnadeln ausgebildeten Prüfkontakten, wobei die Prüfspitzen dieser Prüfkontakte beim Test eines Wafers nach unten weisen und der Wafer von unten her gegen die Prüfspitzen zur Berührungskontaktierung gedrängt wird. Für den hier relevanten Fall, vereinzelte Schaltungsträger, also „Bare Dies” zu prüfen, befindet sich die Prüfkarte 2 in einer um 180° gedrehten Position, sodass die Prüfspitzen der Prüfnadeln nach oben weisen und von oben her die Aufnahmevorrichtung 4 zugeführt und mittels der Schnellspannvorrichtung 5 zur Durchführung eines Tests befestigt wird. Die Prüfkarte 2 kann zum Zwecke der 180°-Wendung entsprechend gelagert werden. In der Aufnahmevorrichtung 4 ist mindestens ein vereinzelter Schaltungsträger 3 aufgenommen, sodass beim Verspannen mittels der Schnellsparinvorrichtung 5 die Prüfspitzen der Prüfkontakte der Prüfkarte 2 gegen elektrische Kontakte des zu prüfenden Schaltungsträgers 3 treten und mittels einer geeigneten Prüfperipherie, die mit der Prüfkarte 2 verbunden ist (nicht dargestellt) ein elektrischer Funktionstest durchgeführt werden kann.
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Die Testanordnung 1 wird nachfolgend näher beschreiben.
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Gemäß 5 weist die Basisplatte 6 an ihrer Unterseite 8 eine Vertiefung 9 auf, in die die Prüfkarte 2 beim Test hineinragt. Mittels geeigneter Befestigungsschrauben (nicht dargestellt) und Stiften 10 (nur ein Stift 10 ist in 5 dargestellt) ist die Basisplatte 6 an der Prüfkarte 2 positionsgenau befestigt. Die Aufnahmevorrichtung 4, die zur temporären Aufnahme mindestens eines vereinzelten Schaltungsträgers 3 dient, weist ein Halteglied 11, einen Grundhalter 12, die Schnellspannvorrichtung 5 sowie Mittel 13 zum elastischen Verformen zumindest eines Bereichs des Halteglieds 11 auf. Halteglied 11 und Grundhalter 12 sind mittels Gewindeschrauben 14 aneinander befestigt und zur positionsgenauen Ausrichtung zueinander miteinander verstiftet (nicht dargestellt).
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Der Grundhalter 12 weist einen Ringflansch 15 auf, in dessen Innern 16 ein Stempel 17 in axialer Richtung (Doppelpfeil 17') verlagerbar geführt ist. Ein als Handknopf 18 ausgebildetes Schraubglied 19 ist mittels einer Bajonetteverbindung 20 an der Außenseite des Ringflansches 15 gehalten, wobei eine Innenseite 21 des Schraubglieds 19 eine Oberseite 22 des Stempels 17 beaufschlagt. Mittels einer Federvorrichtung 23, die als Schraubendruckfeder 24 ausgebildet ist und die sich mit einem Ende an dem Grundhalter 12 abstützt und deren anderes Ende gegen eine Stützfläche des Stempels 17 anliegt, wird dieser in axialer Richtung 17' mit seiner Oberseite 22 gegen die Unterseite 21 des Schraubglieds 19 gedrängt.
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Gemäß der 4, 5 und 6 ist das Halteglied 11 plattenförmig ausgebildet. Es bildet daher eine Halteplatte 25. Die Halteplatte 25 weist auf ihrer dem Stempel 17 abgewandten Seite eine Vertiefung 26 auf, in der Halteelemente 27 angeordnet sind. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um insgesamt sechs Halteelemente 27, wobei jeweils drei gemäß 4 etwa U-förmig zueinander angeordnet sind, derart, dass insgesamt ein Halteplatz 28 berandet ist, der – wie in 4 angedeutet – den Schaltungsträger 3 aufnehmen kann. Je zwei Halteelemente 27 liegen an den Langseiten 29 und je ein Halteelement 27 an den Schmalseiten 30 des rechteckigen, plattenförmigen, vereinzelten Schaltungsträgers 3 an und halten diesen reproduzierbar in Position. In der 4 ist der Schaltungsträger 3 zum einen vergrößert dargestellt und zum anderen in Originalgröße, eingelegt in die Aufnahmevorrichtung 4. Die vergrößerte Darstellung des Schaltungsträgers 3 zeigt, dass er mit einer Vielzahl von elektrischen Kontakten 31 versehen ist. Gemäß der Vergrößerung der 6 ist erkennbar, dass sich die Halteelemente 27 auf einer ersten Seite 32 der Halteplatte 25 befinden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Haltemittel 27 von vorzugsweise im Querschnitt dreieckförmigen Haltewänden 33 gebildet, wobei jede Haltewand 33 eine Wandfläche 34 aufweist, die in Richtung auf den Halteplatz 28 weist. Die Haltewände 33 überragen den Grund der Vertiefung 26, d. h., wird der Schaltungsträger 3 dem Halteplatz 28 zugeführt, so findet er zwischen den Halteelementen 27 Platz, sowie dies insbesondere aus den 4 und 6 hervorgeht.
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Die Halteplatte 25 weist gemäß der 5 und 6 auf einer zweiten Seite 35, die der ersten Seite 32 gegenüberliegt, Halteplattenstege 36 auf, die in Gegenüberlage oder etwa in Gegenüberlage zu den Halteelementen 27 liegen. Vorzugsweise sind daher ebenfalls sechs Halteplattenstege 36 vorgesehen. Die Halteplattenstege 36 liegen innerhalb einer Vertiefung 37, die auf der zweiten Seite 35 der Halteplatte 25 ausgebildet ist und sind mit dem Grund der Vertiefung 37 verbunden und somit einstückig am Halteglied 11 ausgebildet. Sie verlaufen in axialer Richtung (Doppelpfeil 17') und sind an ihren freien Enden mit schräg verlaufenden Steuerflächen 38 versehen. Den 5 und 6 ist deutlich zu entnehmen, dass der Stempel 17 axial (Doppelpfeil 17') in Richtung auf das Halteglied 11 weisende Betätigungselement 39 aufweist, die fingerförmig gestaltet sind und die an ihren freien Enden schräg verlaufende Steuerflächen 40 besitzen. Gemäß 6 liegen einander zugeordnete Halteplattenstege 36 und Betätigungselemente 39 seitlich aneinander, derart, dass die Steuerflächen 38 und 40 zusammenwirken können. Gemäß 6 kann das Halteglied 11 mindestens einen Durchbruch 46 aufweisen, der die Elastizität dieses Bauelements in gewünschter Weise beeinflusst.
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Die als Schnellspannvorrichtung 5 ausgebildeten Befestigungsmittel 45 gehen insbesondere aus den 1 und 3 hervor. Es ist erkennbar, dass sie einen U-förmigen Spannhebel 41 aufweist, der endseitig mit Spannhaken 42 in Verbindung steht, wobei die Schnellspannvorrichtung 5 im Bereich der Spannhaken 42 mittels Lagerstiften 43 schwenkbeweglich an dem Grundhalter 12 befestigt ist. Die Spannhaken 42 können mit Stehbolzen 44 zusammenwirken, die seitlich aus der Basisplatte 6 herausragen.
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Um einen Test eines vereinzelten Schaltungsträgers 3 vorzunehmen, wird die Aufnahmevorrichtung 4 zur Aufnahme des zu prüfenden Schaltungsträgers 3 verwendet. Die Aufnahmevorrichtung 4 befindet sich in einer von der Prüfkarte 2 beziehungsweise der Basisplatte 6 abgenommenen Position, sodass ihre Unterseite gemäß 4 zugänglich ist. Eine Bedienperson betätigt den Handknopf 3 derart, dass aufgrund der Bajonettverbindung 20 der Stempel 17 heruntergedrückt wird. Die Drehbewegung des Handknopfs 18 führt demzufolge zu einer Axialverlagerung, sodass seine Unterseite 21 die Oberseite 22 des Stempels 17 beaufschlagt und dieser entgegen der Kraft der Schraubendruckfeder 24 in Richtung auf das Halteglied 11 bewegt wird. Durch das dabei erfolgende Entlanggleiten der Steuerflächen 38 und 40 werden die Halteplattenstege 36 seitlich beaufschlagt und in Richtung aufeinander verkippt, mit der Folge, dass zumindest der Materialbereich der Halteplatte 25, von dem die Halteplattenstege 36 ausgehen, elastisch derart verformt wird, dass die sich auf der anderen Seite der Halteplatte 25 befindenden Halteelemente 27 eine gegenläufige Bewegung durchführen, d. h., sie verlagern sich voneinander weg, mit der Folge, dass die lichte Weite zwischen ihnen derart vergrößert wird, dass der Schaltungsträger 3 zwischen die Halteelemente 27 eingelegt werden kann. Nunmehr dreht die Bedienperson den Handknopf 18 zurück, wodurch der Stempel 17 freigegeben wird, sodass er – gedrängt von der Schraubendruckfeder 24 – wieder in die Ausgangslage tritt, und die Halteplattenstege 36 nicht mehr von den Betätigungselementen 39 seitlich beaufschlagt werden, mit der Folge, dass sich aufgrund der Eigenelastizität des Halteglieds 11 die Halteelemente 27 aufeinander zu bewegen, derart weit, bis sich ihre Wandflächen 34 gegen die Längsseiten 29 und Schmalseiten 30 des Schaltungsträgers 3 legen. Dadurch ist der Schaltungsträger 3 in reproduzierbarer Position klemmend gehalten. Nunmehr setzt die Bedienperson die Aufnahmevorrichtung 4 auf die Basisplatte 6, wobei ein positionsgenaues Zuordnen mittels Ausrichtstiften (nicht dargestellt) herbeigeführt wird. Jetzt verschwenkt die Bedienperson den Spannhebel 41 der Schnellspannvorrichtung 5 derart, dass die Spannhaken 42 die Stehbolzen 44 einfangen, wodurch die Aufnahmevorrichtung 4 in Richtung auf die Prüfkarte 2 gedrängt wird und dadurch die Prüfkontakte der Prüfkarte 2 gegen die elektrischen Kontakte 31 des Schaltungsträgers 3 treten. Jetzt kann mittels der an eine Prüfperipherie angeschlossen Prüfkarte 2 eine elektrische Prüfung des Schaltungsträgers 3 durchgeführt werden. In Abhängigkeit vom Prüfergebnis wird der Schaltungsträger 3 als elektrisch „in Ordnung” oder elektrisch „nicht in Ordnung” eingestuft. Zum Herausnehmen des Schaltungsträgers 3 aus der Testanordnung 1 wird zunächst die Schnellspannvorrichtung 5 gelöst. Dann wird der Handknopf 18 betätigt, sodass die Halteelemente 27 durch eine entsprechende elastische Verformung des Halteglieds 11 den Schaltungsträger 3 freigeben und die Entnahme möglich ist. In diesem Zustand kann ein neuer Schaltungsträger 3 in den Halteplatz 28 eingesetzt werden usw.
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Die 1 bis 6 und vorstehende Beschreibung gehen davon aus, dass die Aufnahmevorrichtung 4 nur einen Halteplatz 28 für einen Schaltungsträger 3 aufweist. Selbstverständlich ist es auch möglich, dass bei einem anderen Ausführungsbeispiel mehrere Halteplätze 28 zum gemeinsamen Testen mehrer Schaltungsträger 3 vorgesehen sind. Die vorstehende Beschreibung und die Figuren sind entsprechend gültig.
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Die Erfindung basiert insbesondere auf dem Prinzip der vorstehend erwähnten Festkörperfeder, d. h., die Elastizität des Halteglieds 11 beziehungsweise mindestens eines Bereichs des Halteglieds 11 wird genutzt, um durch elastisches Verformen und teilweise wieder Aufheben der Verformung einen zu prüfenden Schaltungsträger 3 positionsgenau zu halten. Dieses Vorgehen lässt sehr enge Toleranzen zu. Ferner benötigt die Erfindung keine zusätzliche, gesonderte Platine, um eine Verbindung zur Probe Card (Prüfkarte) herbeizuführen, sondern die Kontaktierung erfolgt direkt mit der Prüfkarte 2. Aufgrund des erfindungsgemäßen Vorgehens lassen sich ohne besondere Umstände Kontaktabstände von bis hinunter zu 75 μm und kleiner einwandfrei kontaktieren.
