DE202005006309U1 - Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau - Google Patents

Abstract

Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau, umfassend mindestens ein Kompartment, das ein Gehäuse (1) mit mindestens einer Vakuumpumpe (2) und mindestens einer Beschichtungseinrichtung (3) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass alle Vakuumpumpen (2) an einem Ende des Gehäuses (1) angeordnet sind.

Description

• Die Erfindung betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau.
• Vakuumbeschichtungsanlagen mit modularem Aufbau sind an sich bekannt. Derartige Beschichtungsanlagen umfassen eine Mehrzahl hintereinander angeordneter Prozesskammern oder Kompartments.
• Nach dem so genannten Kompartment-Konzept aufgebaute Beschichtungsanlagen weisen meist abwechselnd angeordnete Pump- und Beschichtungskompartments auf. Dabei sind die Beschichtungskompartments nur zum Beschichten von Substraten vorgesehen, während die Evakuierung der Beschichtungsanlage und die Gastrennung zwischen den Beschichtungskompartments durch die Pumpkompartments erfolgt. Nachteilig an dieser Bauform ist neben dem komplexen Aufbau insbesondere der Aufwand für einen Umbau der Anlage, wenn eine andere Konfiguration erforderlich wird.
• Bei Beschichtungsanlagen, die nach dem so genannten Terra-G-Konzept aufgebaut sind, sind mehrere identische Kompartments hintereinander angeordnet, die sowohl in ihrem mittleren Bereich Beschichtungseinrichtungen als auch an beiden Enden des Kompartments Vakuumpumpen aufweisen. Nachteilig an derartigen Anlagen ist wiederum der große Bauraumbedarf.
• Ausgehend von diesem Stand der Technik stellt sich die vorliegende Erfindung die Aufgabe, eine Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau anzugeben, die einen geringeren Bauraumbedarf hat als bekannte Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau.
• Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Vakuumbeschichtungsanlage mit den Merkmalen Anspruchs 1. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist Gegenstand des abhängigen Anspruchs.
• Die erfindungsgemäße Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau umfasst mindestens ein Kompartment, das ein Gehäuse mit mindestens einer Vakuumpumpe und mindestens einer Beschichtungseinrichtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass alle Vakuumpumpen an einem Ende des Gehäuses angeordnet sind.
• Durch den Verzicht auf die Anordnung weiterer Vakuumpumpen am anderen Ende des Kompartments wird die Länge jedes dieser Kompartments gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten signifikant verkürzt, wodurch auch eine aus diesen Kompartments aufgebaute Beschichtungsanlage einen geringeren Platzbedarf hat.
• Überraschend wurde gefunden, dass eine schnelle und gründliche Evakuierung der Kompartments auch dann möglich ist, wenn alle Vakuumpumpen auf einer Seite des Kompartments angeordnet werden. Dadurch wird der bisher für die zweite Pumpenanordnung benötigte Bauraum nicht mehr benötigt, so dass die Länge der einzelnen Kompartments herabgesetzt werden konnte.
• Vorteilhaft sind mindestens zwei dieser Kompartments direkt hintereinander angeordnet, wobei zwischen zwei aneinander grenzenden Kompartments mindestens ein Gasströmungskanal vorgesehen ist, so dass ein Endbereich des einen Kompartments durch die Vakuumpumpen des anderen Kompartments evakuierbar ist.
• Auf diese Weise kann eine bessere und schnellere Evakuierung der Kompartments erreicht werden. Gasströmungskanäle in diesem Sinne können etwa als in den Trennwänden zwischen den einzelnen Kompartments angeordnete Saugöffnungen ausgeführt sein.
• Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt die einzige Figur einen Ausschnitt aus einer erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage, der zwei benachbarte Kompartments umfasst.
• Jedes Kompartment weist ein Gehäuse 1 auf, in dem zwei Pumpen 2 und eine Beschichtungseinrichtung 3 angeordnet sind. Weiterhin sind im Gehäuse 1 mehrere Transportrollen 4 zum Transport der zu beschichtenden Substrate durch das Kompartment vorgesehen.
• Die Besonderheit des Kompartments besteht darin, dass beide Pumpen 2 an einem Ende des Gehäuses 1 angeordnet sind. Die Beschichtungseinrichtung 3 ist etwa in der Mitte des Kompartments angeordnet. Sie kann jedoch auch näher an den Vakuumpumpen 2 oder dem freien Ende des Gehäuses 1 angeordnet werden, wenn dies erforderlich ist.
• Die erfindungsgemäße Beschichtungsanlage benötigt aufgrund des Verzichts auf eine zweite Anordnung von Vakuumpumpen 2 am freien Ende des Gehäuses 1 deutlich weniger Platz als eine herkömmliche Vakuumbeschichtungsanlage.
• Weiterhin weist die Beschichtungsanlage im Ausführungsbeispiel einen als in den Trennwänden zwischen den beiden Kompartments angeordnete Saugöffnungen ausgeführten Gasströmungskanal 5 auf.
• Dies trägt zu einer schnelleren Evakuierung der Anlage bei, da dadurch das eine Kompartment zusätzlich zu den eigenen Vakuumpumpen 2 durch die Vakuumpumpen 2 des anschließend angeordneten Kompartments evakuierbar ist.

1

Gehäuse

2

Vakuumpumpe

3

Beschichtungseinrichtung

4

Transportrollen

5

Gasströmungskanal

Claims (2)

1. Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau, umfassend mindestens ein Kompartment, das ein Gehäuse (1) mit mindestens einer Vakuumpumpe (2) und mindestens einer Beschichtungseinrichtung (3) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass alle Vakuumpumpen (2) an einem Ende des Gehäuses (1) angeordnet sind.
2. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei dieser Kompartments direkt hintereinander angeordnet sind und zwischen zwei aneinandergrenzenden Kompartments mindestens ein Gasströmungskanal (5) vorgesehen ist, so dass ein Endbereich des einen Kompartments durch die Vakuumpumpen (2) des anderen Kompartments evakuierbar ist.