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Die
Erfindung betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage und ein Verfahren
zur Behandlung von Substraten im Durchlaufverfahren.
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Sie
betrifft insbesondere solche Vakuumbeschichtungsanlagen mit zwei
oder mehr Vakuumkammern. Die Vakuumkammern sind entlang der Durchlaufrichtung
des Substrats hintereinander angeordnet und weisen in zwei sich
gegenüber liegenden Außenwandungen jeweils eine
Transportöffnung auf für den Substrattransport
durch die Anlage und damit nacheinander durch jede der Vakuumkammern.
Bei dieser aufeinanderfolgenden Anordnung der Vakuumkammern stehen
sich jeweils die eingangsseitige und die ausgangsseitige Außenwandung
zweier Vakuumkammern und deren Transportöffnungen gegenüber,
so dass ein ungehinderter Substrattransport erfolgen kann. Lediglich
der besseren Unterscheidung von den übrigen Kammerwandungen
wegen sollen die ein- und ausgangsseitigen Außenwandungen,
hier bezogen auf die Transportrichtung als Stirnwände bezeichnet
werden.
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In
derartigen Vakuumbeschichtungsanlagen erfolgen verschiedenartige
Behandlungen von Substraten während deren Transports durch
die Anlage. Als Behandlung von Substraten sollen dabei neben der
Beschichtung auch vergleichbare, unter Vakuum erfolgende Prozesse
wie Materialabtrag oder Oberflächenmodifikationen z. B.
unter Plasmaeinwirkung verstanden sein, die in verschiedenen Kombinationen
mit Beschichtungsverfahren innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage
ausgeführt werden.
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Als
Vakuumkammer einer Vakuumbeschichtungsanlage sollen hier solche
Baueinheiten verstanden werden, die einen abschließbaren
Raum vakuumfest umschließen. Zur Realisierung des Vakuumabschlusses
jeder Vakuumkammer sind den Transportöffnungen Dichtungen
zugeordnet, die ein Ventil oder eine Klappe der Vakuumkammer oder
die Außenwandung der benachbarten Vakuumkammer vakuumdicht
anschließt.
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Zur
Herstellung anspruchsvoller, meist mehrlagiger Beschichtungen umfasst
jede der hier betrachteten Vakuumkammern ein System von zumindest
zwei, meist jedoch mehr Untereinheiten, so genannten Kompartments
und ist gebildet aus einem kanalartigen und evakuierbarem Anlagengehäuse, welches
die Außenwände des Kompartmentsystems bildet.
In diesem Sinn stellt eine Vakuumkammer mit der jeweiligen Kompartmentkonfiguration
ein Kompartmentsystem dar.
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Als
Kompartment wird eine funktionelle Einheit innerhalb einer Kammer
einer Vakuumbeschichtungsanlage bezeichnet, der eindeutig eine Funktion zukommt
und die mit anderen derartigen funktionellen Einheiten in Durchlaufrichtung
der Vakuumbeschichtungsanlage aufeinander folgend angeordnet sind.
Als Synonyme werden in der Fachliteratur auch die Begriffe Abschnitt,
Abteilung, Sektion oder vergleichbares verwendet. Ein derartiges
Kompartment kann oberhalb oder unterhalb des Substrattransportbereichs
oder diesen einschließend ausgebildet sein. Übliche
Funktionen der Kompartments sind z. B. die Substratbeschichtung
oder andere der Substratbehandlungen, die Evakuierung, oder die
Gastrennung. Entsprechend ihrer Funktion werden die Kompartments
als Behandlungs- oder Beschichtungskompartment, Evakuierungskompartment
usw. bezeichnet. Nachfolgend soll der Begriff des Behandlungskompartments
auch den des Beschichtungskompartments einschließen.
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Die
verschiedenen Kompartments sind in einer Vakuumkammer in Durchlaufrichtung
entsprechend den Anforderungen der in der Kammer herzustellenden
Beschichtung aufeinanderfolgend angeordnet. Bauteil eines Kompartments
sind die Wandungsteile der Vakuumkammer, Trennwände, welche ein
Kompartmentvolumen begrenzen und gegebenenfalls das Substrattransportsystem.
Nach einem solchen Kompartment-Konzept aufgebaute Beschichtungsanlagen
weisen in den Vakuumkammern, in denen Beschichtungen und/oder Behandlungen
erfolgen, meist neben einem Behandlungskompartment ein Pumpkompartment
auf, da es häufig gewünscht ist, die Evakuierung
der Behandlungskompartments indirekt über ein oder zwei
benachbarte Pumpkompartments durchzuführen. Ergänzend kann
eine Gastrennung zwischen den mit voneinander abweichenden Prozessatmosphären
betriebenen Behandlungskompartments stattfinden.
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Die
Unterteilung einer Vakuumkammer in mehrere Kompartments erfolgt
durch feste oder flexible Trennwände. Ein Kompartmentsystem
mit flexiblen Trennwänden ist z. B. in der
DE 10 2005 001 334 A1 beschrieben.
Die festen oder flexiblen Trennwände weisen verschiedene Öffnungen
auf, wie Transportöffnungen für den Substrattransport
oder Saugöffnungen zur Evakuierung des Kompartments über
ein benachbartes Kompartment. Ein derartiges Kompartmentsystem einer
Vakuumkammer ist an sich flexibel variierbar. Dies gilt jedoch nicht
gleichermaßen für die Variation von Kompartments
im Bereich miteinander verbundener Vakuumkammern.
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Die
Kopplung von zwei benachbarten Vakuumkammern beschränkt
die Variationsmöglichkeiten der angrenzenden Kompartments,
da an der Dichtung zwischen beiden Vakuumkammern atmosphärischer
Druck anliegt und jede noch so geringe Beeinflussung aus der Umgebung
auf das Behandlungsergebnis verhindert werden soll. Zu diesem Zweck
ist üblicherweise jedes Kompartmentsystem einer Vakuumkammer
als abgeschlossenes System mit ein- und ausgangsseitiger Evakuierung
in einem Pumpkompartment ausgebildet, wie in 1 dargestellt.
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Nachteilig
an dieser Bauform ist neben dem komplexen Aufbau und der sich daraus
ergebenden Baulänge der Anlage insbesondere der Aufwand
für deren Umbau, wenn eine andere Konfiguration erforderlich
wird. Zur Reduzierung der Baulänge wurden in der
DE 20 2005 006 309
U1 sowohl Vakuumpumpenanschlüsse als auch Behandlungseinrichtungen in
nur einem Kompartment angeordnet. Jedoch beschränken diese
Systeme die Aufeinanderfolge der verschiedenen oben beschriebenen
Kompartments erheblich.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, eine – Vakuumbeschichtungsanlage
anzugeben, mit welcher eine platzsparendere und flexiblere Bauweise
auch bei mehreren, aufeinander folgenden Vakuumkammern möglich
ist.
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Gemäß der
Erfindung wird die Aufgabe mit einer – Vakuumbeschichtungsanlage
der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass zwischen
den zwei in Transportrichtung nacheinander angeordneten Vakuumkammern,
deren stirnseitige Außenwände sich gegenüberliegen,
z. B. parallel zueinander angeordnet sind, eine neben der Transportöffnung bestehende,
weitere Verbindung angeordnet wird, indem jede der beiden Stirnwände
eine von einer Transportöffnung getrennte, weitere Öffnung
aufweisen. Die beiden weiteren Öffnungen liegen fluchtend zueinander
und sollen zur Unterscheidung gegenüber den Transportöffnungen
als Durchgriffsöffnungen bezeichnet sein. Zwei, sich in
beiden Stirnwänden gegenüber liegenden Öffnungen
bilden dabei jeweils ein Öffnungspaar. An diesen Durchgriffsöffnungen
ist eine weitere Dichtung derart angeordnet, dass mittels der eingangs
beschriebenen Dichtung der Transportöffnungen und der weiteren
Dichtung der Durchgriffsöffnung beide Öffnungspaare
gegeneinander und gegenüber der Atmosphäre abgedichtet
sind.
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Als
Dichtung sollen dabei die üblicherweise in Vakuumbeschichtung
verwendeten verstanden sein. Meist sind diese Dichtungen aus einem
elastischen Material und ringförmig, so dass sie die sich gegenüberliegenden Öffnungen
jeder Stirnwand umgeben und somit die Abdichtung zur umgebenden
Atmosphäre gewährleisten. Die Dichtungen weisen meist
einen runden Querschnitt auf. Aber auch andere Formen und Querschnitte
sind in Abhängigkeit von der Gestaltung der Stirnwand sowie
von Gestalt und Lage der Durchgriffsöffnungen in der Stirnwand
möglich. Häufig ist eine Dichtung in einer Nut
eingelassen, die in einer der beiden Stirnwände eingearbeitet ist.
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Überraschenderweise
wurde festgestellt, dass dieser, wegen der Dichtung gegenüber
Atmosphäre, besondere Aufbau der Kopplung beider Kompartments
auch unter hohen Anforderungen hinsichtlich den Druckverhältnissen
und der Reinheit der Atmosphäre in den Kompartments eine
Evakuierung durch derart abgedichtete Durchgriffsöffnungen
gestattet.
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Auf
diese Weise sind die beiden aufeinander folgenden, aber in verschiedenen
Vakuumkammern befindlichen Kompartments derart miteinander gekoppelt,
dass jedes durch das jeweils andere evakuierbar ist. Diese weiteren Öffnungen
fungieren somit wie Saugöffnung zwischen den Kompartments
in einer Vakuumkammer, hier jedoch zwischen zwei benachbarten Vakuumkammern.
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Damit
ist es entgegen der bisher üblichen Praxis möglich,
eine von der Kammertrennung unabhängige und somit beliebige
Aufeinanderfolge von Kompartments unterschiedlicher Funktion zu
realisieren. Folglich können entweder weitere Funktionen innerhalb
einer Vakuumbeschichtungsanlage, insbesondere auch Vakuumkammern
mit voneinander abweichenden Kompartment systemen ausgeführt
werden oder die Anlage um jeweils ein Pumpkompartment an jeder Kammertrennung
verkürzt werden. Außerdem wird ein Umbau einer
derartigen Behandlungsanlage dadurch vereinfacht, dass die Möglichkeit
besteht Kompartmentsysteme aus dem Anlagenverband herauszulösen
oder hinzuzufügen.
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Erfindungsgemäß werden
zur Kopplung zweier Vakuumkammern, welche vakuumdicht miteinander
verbindbar sein müssen, die Stirnwände der bei
der Kopplung benachbarten Kompartments derart ausgeführt,
dass je Kompartment sowohl Transportöffnungen als auch
mindestens je eine Durchgriffsöffnung – angeordnet
werden. Zwischen den beiden Stirnwänden sind besagte beide
Dichtungen wie beschrieben angeordnet.
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Die
Abdichtung sowohl gegenüber Atmosphäre als auch
zwischen den verschiedenen Funktionen dienenden Öffnungen
ist dabei auf sehr variable Weise realisierbar. Beide Dichtungen
können vollständig voneinander getrennt sein und
so jeweils ein Öffnungspaar abdichten. Auf diese Weise
ist die Abdichtung gegenüber dem jeweils anderen Öffnungspaar
durch beide Dichtungen verwirklicht.
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Alternativ
kann die erste der beiden Dichtungen ein Öffnungspaar abdichten
und die zweite umgibt sowohl die erste Dichtung mit dem zugehörigen Öffnungspaar
als auch das zweite Öffnungspaar. In dieser Ausgestaltung
ist die Abdichtung der Öffnungspaare gegeneinander nur
durch die erste Dichtung realisiert, wobei es unerheblich ist, ob
dies die Dichtung der Transportöffnungen oder der Durchgriffsöffnungen
ist. Die zweite Dichtung dient der alleinigen Abdichtung gegenüber
Atmosphäre für das eine Öffnungspaar
und einer zweiten, ergänzenden Abdichtung gegenüber
Atmosphäre für das zweite.
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Die
Durchgriffsöffnungen in den Stirnwänden und deren
Dichtungen können auf verschiedene Weise ausgeführt
werden, je nach Gestaltung der Stirnwände und der Transportöffnungen,
nach Anforderungen an die Evakuierung oder weiteren Prozess- oder
Anlagenparametern. So können sie, neben der zueinander
fluchtenden Anordnung, die gleiche oder voneinander abweichende
geometrische Formen und Größen aufweisen. Z. B.
können sie als gleichgroße Schlitze ausgebildet
sein.
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In
einer weiteren Ausgestaltungsvariante der Erfindung ist vorgesehen,
dass die Durchgriffsöffnungen aus mehreren Teilöffnungen
bestehen. Dies stabilisiert z. B. die Stirnwand der Vakuumkammer
oder ermöglicht in Verbindung mit einer verschließbaren Ausführung
der Öffnungen eine variable Anordnung der Vakuumkammer
in der Kammerabfolge oder eine variable Öffnungsgröße.
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Je
nach Gestaltung der Transport- und der Durchgriffsöffnungen
und deren Lage relativ zueinander können die Dichtungen
derart ausgeführt werden, dass für jede Teilöffnung
eine separate Dichtung vorgesehen ist. Eine andere Variante besteht
darin eine Dichtung derart auszuführen, dass mit dieser alle
Teilöffnungen abgedichtet werden können.
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In
einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind zur Verbesserung
der Dichtigkeit der gekoppelten Kompartments die Dichtungen als
Doppeldichtungen ausgeführt mit nebeneinander verlaufenden
und zueinander beabstandeten Teildichtungen. Im Falle von ringförmigen
Dichtungen wären dies Doppelringdichtungen.
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In
dieser Ausführung ist eine erste, z. B. ringförmige
Dichtung und eine zweite, ebenfalls ringförmige Dichtung
angeordnet, wobei die ringförmigen Dichtungen verschiedene
Durchmesser oder verschiedene Längen der beiden Teildichtungen
aufweisen, so dass zwischen beiden – Teildichtungen ein Zwischenraum
ausbildet ist.
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In
einer weiteren besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
dass zwischen den Teildichtungen einer Doppeldichtung mindestens
ein Vakuumanschluss zur Zwischenabsaugung angeordnet ist. Zu diesem
Zweck endet im Zwischenraum zwischen beiden Teildichtungen mindestens
ein Kanal oder eine Leitung, die mit einem Vakuumerzeuger verbunden
werden kann. Über diesen Kanal oder diese Leitung kann
eine Zwischenabsaugung erfolgen und somit unerwünschte
Gaseintritte in den Zwischenraum abgesaugt werden.
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Alternativ
kann eine solche Zwischenabsaugung auch zwischen den beiden Dichtungen
erfolgen, wenn beide Dichtungen ringförmig ausgeführt sind
und die eine die andere umgibt. In diesem Fall wirken die beiden
einfachen Dichtungen gewissermaßen als Doppeldichtung,
auch wenn sie zueinander versetzt angeordnet sind. Der Zwischenraum, welcher
zwischen den beiden und damit innerhalb der äußeren,
umgebenden Dichtung gebildet ist, kann in vergleichbarer Weise abgesaugt
werden zur Verbesserung der Abdichtung der zweiten, inneren Dichtung.
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Nachfolgend
soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen erläutert
werden. Die zugehörigen Zeichnungen zeigen in
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1 einen
Abschnitt einer Vakuumbeschichtungsanlage nach dem Stand der Technik,
in welchem zwei Vakuumkammern aneinander grenzen;
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2 einen
Abschnitt gemäß 1, jedoch in
einer erfindungsgemäßen Vakuumbeschichtungsanlage;
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3 eine
Ausgestaltung der Durchgriffsöffnungen mit einer Doppellippendichtung
und
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4A–4D verschiedene
Ausgestaltungen der Öffnungen und zugehörigen
Dichtungen in Draufsicht auf eine Stirnwand einer Vakuumkammer.
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1 zeigt
einen Abschnitt einer Vakuumbeschichtungsanlage gemäß Stand
der Technik. Die Vakuumbeschichtungsanlage umfasst zumindest zwei
Vakuumkammern 1. Es ist der Abschnitt der Vakuumbeschichtungsanlage
dargestellt, in dem die beiden Vakuumkammern 1 miteinander
gekoppelt sind. Das Kompartmentsystem jeder der Vakuumkammern 1 umfasst
eine Mehrzahl von Kompartments 2, die durch Trennwände 17 voneinander
getrennt sind. Im dargestellten Abschnitt befinden sich – Pumpkompartments 5 und
Behandlungskompartments 4 mit jeweils einer Behandlungseinrichtung 7. Die
Behandlungseinrichtungen 7 können Beschichtungsquellen
und/oder andere geeignete Einrichtungen sein. Weiterhin ist die
Transportebene 3 dargestellt in welcher zu beschichtende
Substrate (nicht dargestellt) in einer Transportrichtung 8 durch
die – Vakuumkammern 1 transportiert werden.
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Zur
Kopplung der Vakuumkammern 1 ist das jeweilige, an der
Stirnwände 16 angeordnete Kompartment 2 derart
ausgeführt, dass es im Bereich der Transportebene 3 eine
Transportöffnung 11 aufweist, wobei die Transportöffnungen 11 beider
Kompartments 2 zueinander fluchtend ausgeführt
sind. Die Abdichtung der Vakuumkammern 1 von der umgebenden
Atmosphäre wird durch eine ringförmige Dichtung 9 realisiert,
die umlaufend um die Transportöffnungen 11 zwischen
den Stirnwänden 16 beider Vakuumkammern 1 angeordnet
ist.
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In
der 1 sind weiterhin die an den Pumpkompartments 5 angeschlossenen
Vakuumerzeuger 6 zur Erzeugung eines Vakuums dargestellt.
Die beiden, an die jeweilige Stirnwände 16 einer
Vakuumkammer 1 angrenzenden Kompartments 2 sind Pumpkompartments 5.
Diese evakuieren durch in den Trennwänden 17 zum
benachbarten Behandlungskompartment 4 angeordnete Saugöffnungen 18 das
Behandlungskompartment 4, dargestellt durch zum Vakuumerzeuger 6 gerichtete
Pfeile.
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2,
welche einen zu 1 vergleichbaren Abschnitt einer
Vakuumbeschichtungsanlage darstellt, zeigt zusätzlich zu
den bereits oben erläuterten Baugruppen eine weitere Öffnung,
eine Durchgriffsöffnung 12 in jeder der beiden
dargestellten Stirnwände 16 der Vakuumkammern 1.
Diese Durchgriffsöffnung 12 weist eine separat
zur Dichtung 9 der Transportöffnung 11 ausgeführte
weitere Dichtung 10 auf.
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In
der Darstellung wird gezeigt, dass das in der linken Vakuumkammer 1 angeordnete
Pumpkompartment 5 über diese Durchgriffsöffnung 12 die Evakuierung
des in der rechten Vakuumkammer 1 angeordneten Behandlungskompartments 4 realisiert
und ebenfalls die Evakuierung des links vom Pumpkompartment 5 liegenden
Behandlungskompartments 4. Im dargestellten Ausführungsbeispiel
ist das Pumpkompartment 5 mit zwei Vakuumerzeugern 6 ausgestattet,
es sind jedoch auch weitere Konfigurationen möglich.
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In 2 ist
ersichtlich, dass im Vergleich zu 1 ein Pumpkompartment 5 entfallen
und so eine Abfolge von sich abwechselnden Pump- und Behandlungskompartments 4, 5 unabhängig
von ihrer Lage in einem oder mehr Vakuumkammern 1 realisierbar
ist. Diese Abfolge stellt lediglich ein Beispiel dar, andere sind
je nach herzustellender Beschichtung möglich.
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3 zeigt
eine detaillierte Schnittdarstellung jenes Bereichs der Stirnwände 16 beider
Vakuumkammern 1 dar, welcher die Transportöffnungen 11 und
die Durchgriffsöffnungen 12 mit den zugehörigen
Dichtungen 9, 10 umfasst.
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In
der 3 ist eine weitere Dichtung 10 dargestellt
welche die Durchgriffsöffnungen 12 beider Vakuumkammern 1 umschließt
und als Doppeldichtung aufgebaut ist. Diese weitere Dichtung 10 weist eine
innere Teildichtung 14 und eine ungefähr parallel und
mit einem Abstand dazu verlaufende äußere Teildichtung 15 auf.
Im Abstand zwischen beiden Teildichtungen 14, 15 mündet
ein Kanal 13, der mit einem nicht dargestellten Vakuumerzeuger
verbunden ist. Mittels dieses Vakuumanschlusses ist der Zwischenraum
zwischen beiden Teildichtungen 14, 15 evakuierbar.
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Die
um die Transportöffnung 11 verlaufende Dichtung 9 ist
als einfache Dichtung ausgeführt. Es ist selbstverständlich,
dass auch diese eine Doppeldichtung und gegebenenfalls mit einem
Vakuumanschluss sein kann.
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Verschiedene,
alternative Ausgestaltungen der Dichtungen 9, 10 und
der Durchgriffsöffnungen 12 sind in den 4A bis 4D in
der Draufsicht auf eine Stirnwand 16 einer Vakuumkammer 1 dargestellt.
Alle Öffnungen 10, 11 haben korrespondierende Öffnungen
in der zweiten, gegenüber liegenden Stirnwand 16 (nicht
dargestellt) der zweiten Vakuumkammer 1. Die schematisch
als Linien dargestellten Dichtungen 9, 10, 14, 15 liegen
zwischen den beiden Stirnwänden.
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In 4A ist
die Durchgriffsöffnung 12 aus mehreren gleichfroßen,
schlitzartigen Teilöffnungen ausgebildet, die in einer
Reihe parallel zur Transportöffnung 11 angeordnet
sind. Die Transportöffnung 11 und die Reihe von
Teilöffnungen der Durchgriffsöffnung 12 sind
jeweils einer ringförmigen Dichtung 9, 10 umgeben.
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4B unterscheidet
sich von 4A dadurch, dass die ringförmige
Dichtung 9 der Transportöffnung 11 sowohl
diese als auch die Durchgriffsöffnung 12 gemeinsam
mit der umgebenden weiteren Dichtung 10 umläuft,
so dass nur die weitere Dichtung 10 die Abdichtung der
beiden Öffnungen 11, 12 gegeneinander
bewirkt.
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In 4C ist
die Anordnung von Öffnungen 11, 12 und
deren Dichtungen 9, 10 gemäß 4A durch
eine zusätzliche, dritte ringförmige Dichtung 19 umgeben.
Diese zusätzliche Dichtung 19 wirkt gegenüber
den beiden separaten Dichtungen 9, 10 der beiden Öffnungen 11, 12 jeweils
als zweite Teildichtung einer Doppeldichtung. In den Zwischenräumen zwischen
der zusätzlichen Dichtung 19 und den beiden Dichtungen 9, 10 enden
Kanäle 13, die mit einem Vakuumerzeuger verbunden
sind die Absaugung des Zwischenraumes 13 ermöglichen
können.
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In 4D sind
die beiden Dichtungen 9, 10 der beiden Öffnungen 11, 12 jeweils
als Doppeldichtung ausgeführt, wobei die Durchgriffsöffnung 12 beispielhaft
aus nur einer, schlitzförmigen Öffnung besteht.
Jede der beiden Doppeldichtungen besteht aus zwei konzentrischen
Teildichtungen, der inneren Teildichtung 14 und der äußeren
Teildichtung 15. Eine Absaugung erfolgt beispielhaft lediglich
in der Doppeldichtung der Durchgriffsöffnung 12 mittels
Kanälen 13, die im Zwischenraum zwischen den beiden Teildichtungen 14, 15 enden.
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Die
in den 4A bis 4D dargestellten Varianten
stellen lediglich einige Möglichkeiten der Ausgestaltung
der Dichtungen 9, 10 als einfache oder Doppeldichtung,
deren Anordnungen relativ zueinander und zu den Öffnungen 11, 12,
der Gestaltung der Öffnungen 11, 12 selbst
und gegebenenfalls möglicher Absaugungen der Zwischenräume
dar. Weitere Kombinationen dieser Möglichkeiten oder von
den Darstellungen abweichende Anordnungen sind möglich.
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- 1
- Vakuumkammer
- 2
- Kompartment
- 3
- Transportebene
- 4
- Behandlungskompartment
- 5
- Pumpkompartment
- 6
- Vakuumerzeuger
- 7
- Behandlungseinrichtung
- 8
- Transportrichtung
- 9
- Dichtung
- 10
- weitere
Dichtung
- 11
- Transportöffnung
- 12
- Durchgriffsöffnung
- 13
- Kanal
- 14
- innere
Teildichtung
- 15
- äußere
Teildichtung
- 16
- Stirnwand,
stirnseitige Außenwand
- 17
- Trennwände
- 18
- Saugöffnung
- 19
- zusätzliche
Dichtung
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 102005001334
A1 [0008]
- - DE 202005006309 U1 [0010]