WO2011154554A1 - Vakuumbeschichtungsanlage in modularer bauweise - Google Patents

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WO2011154554A1
WO2011154554A1 PCT/EP2011/059813 EP2011059813W WO2011154554A1 WO 2011154554 A1 WO2011154554 A1 WO 2011154554A1 EP 2011059813 W EP2011059813 W EP 2011059813W WO 2011154554 A1 WO2011154554 A1 WO 2011154554A1
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WO
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module
interface
coating system
chamber
vacuum coating
Prior art date
Application number
PCT/EP2011/059813
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English (en)
French (fr)
Inventor
Matthias Smolke
Matthias Klooss
Andrej Wolf
Johannes STRÜMPFEL
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks

Definitions

  • the invention relates to a vacuum coating plant in a modular design with a plurality of functional chambers, which are arranged one behind the other in a longitudinal extent in which substrates are moved in a substrate transport region through the chambers.
  • Vacuum coating systems are defined with a functional and a physical distribution.
  • the physical division defines a viewable Configu ⁇ ration a vacuum coating system.
  • the physical confi ⁇ gure does not necessarily correspond to the functional Configu ⁇ ration.
  • the parts of the physical division of a vacuum coating system 1 are plant chambers 2 and sections 3, as shown in FIGS. 1 and 2. To distinguish the physical from the functional division, the (physical) chambers are referred to as plant chambers 2.
  • a plant chamber 2 of a vacuum coating system is a cohesively connected assembly that includes stiffener ⁇ tion elements 4, respectively.
  • Stiffening elements 4 are connected walls 5, which include a vacuum space 6.
  • the walls 5 are formed from chamber floor, chamber walls and chamber ceiling.
  • a wall 5 can also be formed from a lid placed on a sealing surface.
  • the stiffening elements 4 of the system chamber 2 can lie within the vacuum chamber 6, as shown in FIG. 1 Darge ⁇ represents. Thus then extends into at least a part of the plants ⁇ chamber 2 into the vacuum space. 6 Accordingly, solutions are also known in which the system chamber 2 is a structural unit as a kind of "skeleton", which is dispensed with stiffening elements 4 in the vacuum space, since they are arranged outside of the vacuum space 6.
  • each plant chamber 2 is connected to each other by releasable connections, usually via chamber flanges. Each plant chamber 2 can then have its own vacuum space. The vacuum of adjacent vacuum spaces can also merge into one another and thus form a unit.
  • section 3 a section bounded by walls 7, which are fastened transversely to the longitudinal extent of the vacuum coating installation in the vacuum space 6, within a vacuum space 6 is designated.
  • the sections may also be designated by the name of this function, which they serve mainly, such as process section, pump section,
  • the parts of the functional partition are chambers 8 and compartments 9, as shown in FIG.
  • a chamber 8 is a unit having one or more cooperative functions within the confines of one or more connected physical plant chambers 2.
  • the chambers 8 of the functional partition can also be used to designate the function to which they mainly serve, be designated as process chamber. Since all the chambers 8 serve to accommodate vacuum, they may also be referred to generally as vacuum chambers.
  • the compartments 9 may also be named by their function, e.g. as a pump compartment, sputtering compartment, gas separation compartment or similar
  • a compartment 9 is a functional unit within a chamber 8 of an elongate vacuum deposition equipment, which clearly has a function and which is arranged successively with other such functional units in the longitudinal extent of the vacuum coating equipment. Preferably, compartments 9 have the same length.
  • a compartment 9 may be above, below, the substrate transport region or the substrate transport ⁇ be formed including area.
  • a 3-chamber system as shown in Fig. 4 consists of a first (functional) chamber 10, namely the
  • Entrance lock Cl (in a physical plant chamber 2), a second (functional) chamber 11, in turn
  • first transfer chamber C3 in a physical plant chamber 2
  • process chamber C4.1 any further process chambers C4.x to C4.n (in one or more physical plant chamber (s) 2) and a second transfer chamber C5 (in one physical plant chamber 2)
  • third (functional) chamber 12 namely the
  • Exit lock C7 (in a physical plant chamber 2).
  • a 5-chamber system as shown in Fig. 5 consists of - a first (functional) chamber 13, namely the
  • Entrance lock Cl (in a physical plant chamber 2), a second (functional) chamber 14, namely a first buffer chamber C2 (in a physical plant chamber 2), - a third (functional) chamber 15, in turn
  • Plant chamber 2 Plant chamber 2 and a second transfer chamber C5 (in a physical plant chamber 2), a fourth (functional) chamber 16, namely a second buffer chamber C6 (in a physical plant chamber
  • Exit lock C7 (in a physical plant chamber 2).
  • All chambers 10 to 17 must be supplied with different media.
  • media are in particular vacuum, compressed air, gases, water, electricity and data.
  • the various media supplies are - depending on the investment - completely or partially summarized. So it is possible to combine the power supply for the entire system and to supply each of the chambers 10 to 17 from this.
  • the chambers, which require a water supply, are fed from a central water supply, etc.
  • the disadvantage here is that for each Vakuumbe Anlagenungs- system, the media supply must be individually configured and adapted, which has a high manufacturing and installation costs result.
  • a vacuum coating system having the features of claim 1.
  • Claims 2 to 8 indicate embodiments of the solution according to the invention. Thereafter, a functional chamber is arranged as a first sub-module in a module which is provided with a same for at least a second module outer interface.
  • the interface is designed as the first submodule with at least one medium-supplying media interface. It is expedient to provide connection possibilities for other media at the interface, even if these are not required in the module. This leads to a standardization of the interface over the entire vacuum coating system.
  • media is understood here as all that is supplied to a module or removed from a module, in particular data, switching signals, safety signals, Water, electrical energy, gases.
  • An internal media distribution can preferably be accomplished by arranging in the module in each case a second submodule which acts as a media supply for the first submodule and which is provided with the same external media interface for all modules.
  • a media line is through the entire
  • Vacuum coating system arranged continuously, to which a module is connected with its second sub-module via its outer media interface.
  • the media can be many. Accordingly, an embodiment provides that the
  • Interface of the second sub-module has a connection to at least one media line from the group data bus line, emergency stop loop, safety loop, water ⁇ line, power supply line, gas line.
  • the modular design may preferably be continued by not being limited to media only.
  • connection interface forming the interface as a part of the first module ⁇ .
  • Such a connection interface can be formed purely mechanically, for example as a flange between two installation chambers or as an interface between the parts of the transport system located in each chamber.
  • a module can also comprise at least two interfaces, namely a first interface which is configured as a media interface and a second interface ⁇ , which is designed as a connection interface.
  • summing module is arranged.
  • FIG. 1 shows a physical layout of a vacuum coating system with internal system chamber according to the prior art
  • FIG. 2 shows a physical layout of a vacuum coating system with an external plant chamber according to the prior art
  • Fig. 3 is a functional layout of a
  • FIG. 5 is a schematic representation of a 5-chamber system according to the prior art
  • FIG. 7 shows a module according to the invention with partial modules
  • FIG. 8 shows a module according to the invention with a compartment divided into compartments as the first partial module
  • 9 shows an assembly of modules to a vacuum coating system
  • 10 shows a schematic arrangement of a summation module
  • FIGS. 1 to 5 show a prior art vacuum coating apparatus 1 as shown above. Therein already a certain modular design is realized by being divided into chambers 8 and 9 compartments and, for example, there is a desire to make the chambers 8 with the same length, as shown in Fig. 4 and Fig. 5, in order to get a higher degree of repetition of components.
  • a functional chamber 8 is arranged as a first submodule 18 in a module 19 which is provided with an outer interface 20 which is the same for other modules.
  • Such an interface 20 can be designed as a media interface 21 so that it can be connected to a data bus line 22, an emergency stop loop 23, a safety loop 24, a water line, a power supply line, or a gas line.
  • a data bus line 22 an emergency stop loop 23
  • a safety loop 24 a water line, a power supply line, or a gas line.
  • the media lines 22; 23; 24 consistently through the entire vacuum coating system 1 to pass. A single individual connection of each chamber 8 with the media devices can thus be dispensed with. For selected media exists because of their media needs the
  • a second submodule 25 acting as a media supply for the first submodule 18 is arranged in the module 19 and is provided with the same external media interface 21 for all modules 19.
  • a module 19 is connected with its second submodule 25 via its outer media interface 21.
  • a chamber 8 contains a plurality of compartments 9 as the first submodule 18, then the second submodule 25 can be embodied so that each compartment 9 can be connected to the various media in accordance with its function. Despite this individual design inside the module 19 but still outwardly a uniform
  • Lock chamber do not need water. In this case, a water connection is nevertheless provided by the module 19 at the media interface 21. In the module 19, in particular in the second sub-module 25, then the water pipe only
  • the media interfaces 21 of the individual modules 19 can also be designed such that they are connected directly to the respectively adjacent module and thus to a closed media line 22; 23; 24 is formed.
  • the submodule formation can be performed beyond the mere supply of media. This is because the transport system for transporting the
  • connection interfaces 27 are then suitable for connecting the third submodule 26 to a third submodule 26.
  • module 26 to connect an adjacent module, ie the belonging to a chamber 8 section of the transport system with the section of the transport system in the adjacent
  • FIG. 10 shows a summation module 28.
  • Vacuum coating system 1 such a sum module 28 is provided per medium, the media supply of the
  • Such a sum module 28 may, for example, a central water treatment plant or a central
  • Vacuum coating system 1 possible.
  • the modules 19 and 19 are identical to Vacuum coating system 1 and
  • Total modules 28 can then be brought to the installation site essentially in their complete state. There, they essentially only need to be connected. Of the
  • FIG. 12 shows the very clearly structured construction of such a completed vacuum coating system 1.
  • Vacuum coating system in modular construction

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Abstract

Der Erfindung, die eine Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise mit mehreren funktionalen Kammern betrifft, die in einer Längerstreckung, in der Substrate in einem Substrattransportbereich durch die Kammern bewegt werden, hintereinander liegend angeordnet sind, liegt die Aufgabe zugrunde, den Herstellungs- und Installationsaufwand bei Medienversorgungen von Vakuumbeschichtungsanlagen zu senken. Dies wird dadurch gelöst, dass eine funktionale Kammer als erstes Teilmodul in einem Modul angeordnet ist, das mit einer für mindestens ein zweites Modul gleichen äußeren Schnittstelle versehen ist.

Description

Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise
Die Erfindung betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise mit mehreren funktionalen Kammern, die in einer Längserstreckung, in der Substrate in einem Substrattransportbereich durch die Kammern bewegt werden, hintereinander liegend angeordnet sind.
Vakuumbeschichtungsanlagen werden mit einer funktionalen und einer physischen Aufteilung definiert.
Die physische Aufteilung definiert eine sichtbare Konfigu¬ ration einer Vakuumbeschichtungsanlage. Die physische Konfi¬ guration entspricht nicht zwingend der funktionalen Konfigu¬ ration .
Die Teile der physischen Aufteilung einer Vakuumbeschichtungsanlage 1 sind Anlagenkammern 2 und Sektionen 3, wie sie in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellt sind. Zur Unterscheidung der physischen von der funktionalen Aufteilung, werden die (physischen) Kammern als Anlagenkammern 2 bezeichnet.
Als Anlagenkammer 2 einer Vakuumbeschichtungsanlage wird eine Stoffschlüssig verbundene Baueinheit, die Verstei¬ fungselemente 4 beinhaltet, bezeichnet. Mit den
Versteifungselementen 4 sind Wandungen 5 verbunden, die einen Vakuumraum 6 einschließen. Die Wandungen 5 werden aus Kammerboden, Kammerwänden und Kammerdecke gebildet.
Eine Wandung 5 kann auch aus einem auf einer Dichtungsfläche aufgelegten Deckel gebildet sein.
Die Versteifungselemente 4 der Anlagenkammer 2 können innerhalb des Vakuumraumes 6 liegen, wie dies in Fig. 1 darge¬ stellt ist. Damit ragt dann zumindest ein Teil der Anlagen¬ kammer 2 in den Vakuumraum 6 hinein. Dementsprechend sind auch Lösungen bekannt, bei denen die Anlagenkammer 2 eine Baueinheit als eine Art "Gerippe" darstellt, die auf Versteifungselemente 4 im Vakuumraum verzichtet wird, da diese außerhalb des Vakuumraumes 6 angeordnet sind.
Üblicherweise sind mehrere Anlagenkammern 2 miteinander durch lösbare Verbindungen, in der Regel über Kammerflansche, verbindbar. Jede Anlagenkammer 2 kann dann einen eigenen Vakuumraum aufweisen. Das Vakuum einander benachbarter Vakuumräume kann auch ineinander übergehen und damit eine Einheit bilden.
Als Sektion 3 wird ein durch Wände 7, die quer zur Längserstreckung der Vakuumbeschichtungsanlage in dem Vakuumraum 6 befestigt werden, begrenzter Abschnitt innerhalb eines Vakuumraumes 6 bezeichnet.
Sofern in einer Sektion 3 im Wesentlichen eine Funktion ausgeübt wird, können die Sektionen auch mit der Bezeichnung dieser Funktion, der sie hauptsächlich dienen, bezeichnet werden, wie Prozesssektion, Pumpsektion,
Beschichtungssektion o.ä.
Die funktionale Aufteilung beschreibt eine durch die
Funktion der einzelnen Teile bestimmte Konfiguration einer Vakuumbeschichtungsanlage. Die funktionale Aufteilung ist nicht zwingend sichtbar.
Die Teile der funktionalen Aufteilung sind Kammern 8 und Kompartments 9, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist.
Eine Kammer 8 ist eine Einheit mit einer oder mehreren zusammenwirkenden Funktionen in den Grenzen einer oder mehrerer verbundener physischer Anlagenkammern 2.
Die Kammern 8 der funktionalen Aufteilung können auch mit der Bezeichnung der Funktion, der sie hauptsächlich dienen, bezeichnet werden, wie Prozesskammer. Da alle Kammern 8 der Aufnahme von Vakuum dienen, können sie auch allgemein als Vakuumkammern bezeichnet werden.
Auch die Kompartments 9 können mit der Bezeichnung ihrer Funktion benannt werden, z.B. als Pumpkompartment , Sputter- kompartment, Gasseparationskompartment o.ä.
Ein Kompartment 9 ist eine funktionelle Einheit innerhalb einer Kammer 8 einer längserstreckten Vakuumbeschichtungsanlage, der eindeutig eine Funktion zukommt und die mit anderen derartigen funktionellen Einheiten in Längserstreckung der Vakuumbeschichtungsanlage aufeinander folgend angeordnet ist. Vorzugsweise haben Kompartments 9 gleiche Länge. Ein Kompartment 9 kann oberhalb, unterhalb des Substrattransportbereiches oder den Substrattransport¬ bereich einschließend ausgebildet sein.
Als Beispiel einer funktionalen Aufteilung kann eine
Konfiguration einer 3-Kammer-Anlage oder einer 5-Kammer- Anlage angegeben werden:
Eine 3-Kammer-Anlage, wie in Fig. 4 dargestellt besteht aus einer ersten (funktionalen) Kammer 10, nämlich der
Eingangsschleuse Cl (in einer physischen Anlagenkammer 2), einer zweiten (funktionalen) Kammer 11, ihrerseits
bestehend aus einer ersten Transferkammer C3 (in einer physischen Anlagenkammer 2), einer Prozesskammer C4.1 sowie eventuellen weiteren Prozesskammern C4.x bis C4.n (in einer oder mehreren physischen Anlagenkammer (n) 2) und einer zweiten Transferkammer C5 (in einer physischen Anlagenkammer 2), und einer dritten (funktionalen) Kammer 12, nämlich der
Ausgangsschleuse C7 (in einer physischen Anlagenkammer 2).
Eine 5-Kammer-Anlage, wie sie in Fig. 5 dargestellt ist besteht aus - einer ersten (funktionalen) Kammer 13, nämlich der
Eingangsschleuse Cl (in einer physischen Anlagenkammer 2), einer zweiten (funktionalen) Kammer 14, nämlich einer ersten Pufferkammer C2 (in einer physischen Anlagenkammer 2) , - einer dritten (funktionalen) Kammer 15, ihrerseits
bestehend aus einer ersten Transferkammer C3 (in einer physischen Anlagenkammer 2), einer Prozesskammer C4.1 sowie eventuellen weiteren Prozesskammern C4.x bis C4.n (in einer physischen
Anlagenkammer 2) und einer zweiten Transferkammer C5(in einer physischen Anlagenkammer 2), einer vierten (funktionalen) Kammer 16, nämlich einer zweiten Pufferkammer C6 (in einer physischen Anlagenkammer
2 ) und einer fünften (funktionalen) Kammer 17, nämlich der
Ausgangsschleuse C7 (in einer physischen Anlagenkammer 2).
Alle Kammern 10 bis 17 müssen mit verschiedenen Medien versorgt werden. Derartige Medien sind insbesondere Vakuum, Druckluft, Gase, Wasser, Strom und Daten.
Die verschiedenen Medienversorgungen werden - je nach Anlage - ganz oder teilweise zusammengefasst . So ist es möglich, die Stromversorgung für die gesamte Anlage zusammenzufassen und von dieser aus jede einzelne der Kammern 10 bis 17 zu versorgen. Die Kammern, die eine Wasserversorgung benötigen, werden aus einer zentralen Wasserversorgung gespeist usw. Nachteilig ist dabei, dass für jede Vakuumbeschichtungs- anlage die Medienversorgung individuell projektiert und angepasst werden muss, was einen hohen Herstellungs- und Installationsaufwand zur Folge hat.
Es ist dementsprechend Aufgabe der Erfindung, den
Herstellungs- und Installationsaufwand bei Medien¬ versorgungen von Vakuumbeschichtungsanlagen zu senken.
Diese Aufgabe wird durch ein Vakuumbeschichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Die Ansprüche 2 bis 8 geben Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Lösung an. Danach ist eine funktionale Kammer als erstes Teilmodul in einem Modul angeordnet, das mit einer für mindestens ein zweites Modul gleichen äußeren Schnittstelle versehen ist.
Eine derartige SchnittStellengestaltung erlaubt es, die Module als Einheiten vollständig zu fertigen, da der
individuelle Aufbau in dem Modul selbst realisiert werden kann. Nach außen haben diese Module eine gleiche Gestaltung.
Hierbei besteht die Möglichkeit, dass die Schnittstelle als das erste Teilmodul mit mindestens einem Medium versorgende Medienschnittstelle ausgebildet ist. Zweckmäßig ist es, an der Schnittstelle aber auch Anschlussmöglichkeiten für andere Medien zu schaffen, selbst wenn diese im Modul nicht benötigt werden. Dies führt zu einer Vereinheitlichung der Schnittstelle über die gesamte Vakuumbeschichtungsanlage.
Unter dem Begriff "Medien" wird hier all das verstanden, was zu einem Modul zugeführt oder von einem Modul abgeführt wird, insbesondere Daten, Schaltsignale, Sicherheitssignale, Wasser, elektrische Energie, Gase.
Ein interne Medienverteilung kann vorzugsweise dadurch bewerkstelligt werden, dass das in dem Modul jeweils ein als Medienversorgung für das erste Teilmodul wirkendes zweites Teilmodul angeordnet ist, das mit der für alle Module gleichen äußeren Medienschnittstelle versehen ist.
Vorzugsweise ist eine Medienleitung durch die gesamte
Vakuumbeschichtungsanlage durchgehend angeordnet, an die ein Modul mit seinem zweiten Teilmodul über seine äußere Medien- schnittstelle angeschlossen ist. Hierbei besteht die
Möglichkeit, Medien, die an einem Modul nicht benötigt werden, einfach durchzuschleifen .
Wie bereits definiert, können die Medien vielartig sein. Dementsprechend sieht eine Ausgestaltung vor, dass die
Schnittstelle des zweiten Teilmoduls einen Anschluss mindestens zu einer Medienleitung aus der Gruppe Datenbusleitung, Not-Aus-Schleife, Sicherheitsschleife, Wasser¬ leitung, Stromversorgungsleitung, Gasleitung aufweist.
Der modulare Aufbau kann vorzugsweise dadurch fortgesetzt werden, dass er sich nicht nur auf Medien beschränkt.
Dementsprechend ist vorgesehen, die Schnittstelle als eine das erste Teilmodul mit einem ersten Teilmodul eines benach¬ barten Moduls verbindende Anschlussschnittstelle auszu¬ bilden. Eine solche Anschlussschnittstelle kann rein mecha- nisch ausgebildet sein, beispielsweise als Flansch zwischen zwei Anlagenkammern oder als Schnittstelle zwischen den in jeder Kammer liegenden Teilen des TransportSystems .
Ein Modul kann dabei auch mindestens zwei Schnittstellen aufweisen, nämlich eine erste Schnittstelle, die als Medien- schnittstelle ausgebildet ist, und eine zweite Schnitt¬ stelle, die als Anschlussschnittstelle ausgebildet ist.
Damit wird die Herstellung vollständig selbständiger Module möglich .
Für zentrale Versorgungsaufgaben, beispielsweise für
zentrale Medienquellen oder die Installation eines Anlagenrechners ist es möglich, dass ein mehrere Module der Vakuum- beschichtungsanlage mit einem oder mehreren Medien
versorgendes Summenmodul angeordnet ist.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungs¬ beispieles näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt Fig. 1 eine physische Aufteilung einer Vakuumbeschichtungs- anlage mit innen liegender Anlagenkammer nach dem Stand der Technik,
Fig. 2 eine physische Aufteilung einer Vakuumbeschichtungs- anlage mit außen liegender Anlagenkammer nach dem Stand der Technik,
Fig. 3 eine funktionale Aufteilung einer
Vakuumbeschichtungsanlage nach dem Stand der Technik,
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer 3-Kammer-Anlage nach dem Stand der Technik,
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer 5-Kammer-Anlage nach dem Stand der Technik,
Fig. 6 ein erfindungsgemäßes Modul,
Fig. 7 ein erfindungsgemäßes Modul mit Teilmodulen, Fig. 8 ein erfindungsgemäßes Modul mit einer in Kompart- ments geteilten Kammer als erstes Teilmodul,
Fig. 9 eine Zusammenstellung von Modulen zu einer Vakuumbeschichtungsanlage, Fig. 10 eine schematische Anordnung eines Summenmoduls,
Fig. 11 eine Darstellung eines Ebenenmodells und
Fig. 12 eine Darstellung einer vollständigen erfindungsgemäßen Vakuumbeschichtungsanlage . Die Fig. 1 bis Fig. 5 zeigen eine Vakuumbeschichtungsanlage 1 nach dem Stand der Technik, wie oben dargestellt. Darin wird bereits eine gewisse modulare Bauweise realisiert, indem sie in Kammern 8 und Kompartments 9 gegliedert ist und beispielsweise das Bestreben besteht, die Kammern 8 mit gleicher Länge zu gestalten, wie dies in Fig. 4 und Fig. 5 dargestellt ist, um somit zu einem höheren Wiederholgrad an Bauteilen zu gelangen.
Erfindungsgemäß ist eine funktionale Kammer 8 als erstes Teilmodul 18 in einem Modul 19 angeordnet, das mit einer für andere Module gleichen äußeren Schnittstelle 20 versehen ist .
Eine solche Schnittstelle 20 kann als Medienschnittstelle 21 so ausgebildet sein, dass sie mit einer Datenbusleitung 22, einer Not-Aus-Schleife 23, einer Sicherheitsschleife 24, einer Wasserleitung, einer Stromversorgungsleitung, oder einer Gasleitung verbunden werden kann. In den Zeichnungen sind stellvertretend für alle möglichen Medienleitungen nur die Datenbusleitung 22, die Not-Aus-Schleife 23 und die Sicherheitsschleife 24 schematisch dargestellt. Es somit möglich, die Medienleitungen 22; 23; 24 einheitlich durch die gesamte Vakuumbeschichtungsanlage 1 hindurch zu führen. Ein einzelne individuelle Verbindung jeder Kammer 8 mit den Medieneinrichtungen kann somit entfallen. Für ausgewählte Medien besteht auf Grund ihres Medienbedarfes die
Möglichkeit, das Modul 19 bzw. Teilmodul 18 direkt aus einem Summenmodul zu versorgen, wie dies beispielsweise bei der Versorgung mit Elektroenergie realisiert werden kann. Wie in Fig. 7 bis Fig. 9 dargestellt, ist in dem Modul 19 jeweils ein als Medienversorgung für das erste Teilmodul 18 wirkendes zweites Teilmodul 25 angeordnet, das mit der für alle Module 19 gleichen äußeren Medienschnittstelle 21 versehen ist. Damit ist ein Modul 19 mit seinem zweiten Teilmodul 25 über seine äußeren Medienschnittstelle 21 angeschlossen .
Beinhaltet eine Kammer 8 als erstes Teilmodul 18 mehrere Kompartments 9, so kann das zweite Teilmodul 25 so ausge- bildet werden, dass jedes Kompartment 9 entsprechend seiner Funktion mit den verschiedenen Medien verbunden werden kann. Trotz dieser individuellen Gestaltung im Inneren zeigt das Modul 19 aber dennoch nach außen eine einheitliche
Gestaltung der Schnittstelle 20. Es besteht auch die Möglichkeit, dass eine Kammer 8 nur eine Auswahl von Medien benötigt. Beispielsweise wird eine
Schleusenkammer kein Wasser benötigen. In diesem Falle wird dennoch von dem Modul 19 an der Medienschnittstelle 21 ein Wasseranschluss vorgesehen. Im Modul 19, insbesondere in dem zweiten Teilmodul 25, wird dann die Wasserleitung nur
"durchgeschleift" .
Wie in Fig. 9 dargestellt, können die Medienschnittstellen 21 der einzelnen Module 19 auch so ausgebildet werden, dass sie direkt mit dem jeweils benachbarten Modul verbunden werden und somit eine geschlossene Medienleitung 22; 23; 24 gebildet wird.
Wie in Fig. 7 dargestellt, kann die Teilmodulbildung aber über die reine Medienversorgung hinaus vorgenommen werden. So kann nämlich das TransportSystem zum Transport der
Substrate innerhalb einer Kammer 8 als drittes Teilmodul 26 ausgebildet werden, indem dieses mit Anschlussschnittstellen 27 versehen wird. Diese Anschlussschnittstellen 27 sind dann geeignet, das dritte Teilmodul 26 mit einem dritten Teil- modul 26 eines benachbarten Moduls zu verbinden, also den zu einer Kammer 8 gehörenden Abschnitt des TransportSystems mit dem Abschnitt des TransportSystems in der benachbarten
Kammer 8.
In Fig. 10 ist ein Summenmodul 28 dargestellt. In der
Vakuumbeschichtungsanlage 1 ist ein solches Summenmodul 28 pro Medium vorgesehen, das die Medienversorgung des
jeweiligen Mediums aller Module 19 zusammengefasst sichert. Ein derartiges Summenmodul 28 kann beispielsweise eine zentrale Wasseraufbereitungsanlage oder eine zentrale
Energieverteilung umfassen.
Damit wird deutlich, dass durch den erfindungsgemäßen Aufbau in einer Vakuumbeschichtungsanlage 1 ein Ebenenmodell, wie es in Fig. 11 dargestellt ist, verwirklicht wird, was einen hohen Wiederholgrad, insbesondere in der Ebene 2 und 3 sicherstellt. Auch wird es möglich, die Module 19 und
Summenmodule 28 vollständig separat zu fertigen und nach der Fertigung zu testen. Ein vollständiger Test, war nach dem Stand bisher nur nach Fertigstellung der vollständigen
Vakuumbeschichtungsanlage 1 möglich. Die Module 19 und
Summenmodule 28 können dann im Wesentlichen im kompletten Zustand an den Montageort verbracht werden. Dort brauchen sie im Wesentlichen nur noch verbunden zu werden. Der
Montageaufwand reduziert sich erheblich. Fig. 12 zeigt den sehr klar gegliederten Aufbau einer so fertiggestellten Vakuumbeschichtungsanlage 1. Vakuum eschichtungsanlage in modularer Bauweise Bezugszeichenliste
1 Vakuumbeschichtungsanlage
2 Anlagenkammer
3 Sektion
4 Versteifungselement
5 Wandung
6 Vakuumraum
7 Wand
8 Kammer
9 Kompartment
10 erste Kammer einer 3-Kammer-Anlage
11 zweite Kammer einer 3-Kammer-Anlage
12 dritte Kammer einer 3-Kammer-Anlage
Cl Einschleuskammer
C2 eingangsseitige Pufferkammer
C3 eingangsseitige Transferkammer
C4.1 ... C4.x ... C4.n Prozesskammer
C5 ausgangsseitige Pufferkammer
C6 ausgangsseitige Transferkammer
C7 Ausschleuskammer
13 erste Kammer einer 5-Kammer-Anlage
14 zweite Kammer einer 5-Kammer-Anlage
15 dritte Kammer einer 5-Kammer-Anlage
16 vierte Kammer einer 5-Kammer-Anlage
17 fünfte Kammer einer 5-Kammer-Anlage
18 erstes Teilmodul
19 Modul
20 Schnittstelle
21 Medienschnittstelle
22 Datenbusleitung Not-Aus-Schleife
Sicherheitsschleife zweites Teilmodul drittes Teilmodul Anschlussschnittstelle Summenmodul

Claims

Patentansprüche
1. Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise mit mehreren funktionalen Kammern (8), die in einer Längserstreckung, in der Substrate in einem Substrattransport- bereich durch die Kammern (8) bewegt werden, hintereinander liegend angeordnet sind, dadurch gekennz ei chnet , dass eine funktionale Kammer (8) als erstes Teilmodul (18) in einem Modul (19) angeordnet ist, das mit einer äußeren Schnittstelle (20) versehen ist, die zu einer äußeren
Schnittstelle mindestens eines zweiten Moduls (19) gleich gestaltet ist.
2. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1,
dadurch gekennz ei chnet , dass die Schnittstelle (20) als das erste Teilmodul (18) mit mindestens einem
Medium versorgende Medienschnittstelle (21) ausgebildet ist.
3. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennz ei chnet , dass in dem Modul (19) jeweils ein als Medienversorgung für das erste Teilmodul (18) wirkendes zweites Teilmodul (25) angeordnet ist, das mit der für alle Module (19) gleichen äußeren Medienschnittstelle (21) des Moduls (19) versehen ist.
4. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 3,
dadurch gekennz ei chnet , dass eine Medienleitung (22; 23; 24) durch die gesamte Vakuumbeschichtungsanlage (1) angeordnet ist, an die ein Modul (19) mit seinem zweiten Teilmodul (25) über seine äußere Medienschnittstelle (21) angeschlossen ist.
5. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 4, dadurch gekennz ei chnet , dass die Schnittstelle (20) des zweiten Teilmoduls (25) einen Anschluss mindestens zu einer Medienleitung (22; 23; 24) aus der Gruppe Datenbusleitung (22), Not-Aus-Schleife (23), Sicherheitsschleife (24), Wasserleitung, Stromversorgungsleitung, Gasleitung aufweist .
6. Vakuumbeschichtungsanlage nach Anspruch 1,
dadurch gekennz ei chnet , dass die Schnittstelle (20) als eine das erste Teilmodul (18) mit einem ersten Teilmodul (18) eines benachbarten Moduls (19) verbindende Anschlussschnittstelle (27) ausgebildet ist.
7. Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennz ei chnet , dass ein Modul (19) zwei Schnittstellen (20) aufweist, nämlich eine erste Schnittstelle (20), die als Medienschnittstelle (21) ausgebildet ist, und eine zweite Schnittstelle (20), die als Anschlussschnittstelle (27) ausgebildet ist.
8. Vakuumbeschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennz ei chnet , dass ein mehrere Module (19) der Vakuumbeschichtungsanlage (1) mit einem oder mehreren Medien versorgendes Summenmodul (28) angeordnet ist .
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016107990A1 (de) * 2016-04-29 2017-11-02 Von Ardenne Gmbh Vakuumprozesskammer
TWI653358B (zh) * 2017-04-11 2019-03-11 㵢杰有限公司 連續式沉積裝置及連續式沉積方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202005006309U1 (de) * 2005-04-19 2005-06-16 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau
US20060260938A1 (en) * 2005-05-20 2006-11-23 Petrach Philip M Module for Coating System and Associated Technology
US20080202420A1 (en) * 2007-02-27 2008-08-28 Smith John M Semiconductor substrate processing apparatus with horizontally clustered vertical stacks
EP2009675A1 (de) * 2007-06-27 2008-12-31 Canon Kabushiki Kaisha Installationsverfahren für ein Herstellungsgerät und Modell

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4042128A (en) * 1975-11-26 1977-08-16 Airco, Inc. Substrate transfer apparatus for a vacuum coating system
DE10341244A1 (de) 2003-09-03 2005-05-12 Creavac Creative Vakuumbeschic Einrichtung zur Vakuumbeschichtung wenigstens einer Aufzeichnungsschicht auf mindestens ein optisches Aufzeichnungsmedium
DE102004006419A1 (de) * 2004-02-09 2005-09-08 Applied Films Gmbh & Co. Kg Energie- und Medienanschluss für eine aus mehreren Kammern bestehende Beschichtungsanlage
EP1713110B1 (de) * 2005-04-08 2016-03-09 Applied Materials GmbH & Co. KG Anlage zum Beschichten eines Substrats und Modul
CN102505115B (zh) * 2007-03-02 2014-09-03 欧瑞康太阳能股份公司(特吕巴赫) 真空涂覆装置
DE102008030679B4 (de) * 2008-04-17 2016-01-28 Von Ardenne Gmbh Vorrichtung zur Diffusionsbehandlung von Werkstücken

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202005006309U1 (de) * 2005-04-19 2005-06-16 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage mit modularem Aufbau
US20060260938A1 (en) * 2005-05-20 2006-11-23 Petrach Philip M Module for Coating System and Associated Technology
US20080202420A1 (en) * 2007-02-27 2008-08-28 Smith John M Semiconductor substrate processing apparatus with horizontally clustered vertical stacks
EP2009675A1 (de) * 2007-06-27 2008-12-31 Canon Kabushiki Kaisha Installationsverfahren für ein Herstellungsgerät und Modell

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