CN102971448B - 模块化结构真空涂覆系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围中，使基底在基座传送区中移动通过腔，其具有如下问题：降低在对真空涂覆系统供应介质中所涉及的生产相关的以及安装相关的支出。该问题由功能腔解决，该功能腔作为第一子模块被布置在设置有外接口的模块中，该外接口对于至少一个第二模块是相同的。

Description

模块化结构真空涂覆系统

技术领域

本发明涉及一种具有多个功能腔的模块化结构真空涂覆系统，该多个功能腔被沿着纵向范围一个接一个地布置，在该纵向范围上，使基底在基底传送区中移动通过所述腔。

背景技术

真空涂覆系统由功能部和物理部限定。

该物理部限定真空涂覆系统的可见配置。物理配置不必对应于功能配置。

真空涂覆系统1的物理部的部分是系统腔2和段3，诸如在图1和图2中图示的。为了区别物理部和功能部，（物理）腔被设计为系统腔2。

以物质上一体化方式连接并且含有加强元件4的结构单元被称为真空涂覆系统的系统腔2。墙壁5被连接到加强元件4，所述墙壁5围绕真空空间6。墙壁5由腔底板、腔壁和腔顶板形成。墙壁5也可以由铺设在密封表面上的盖子形成。

系统腔2的加强元件4可以位于真空空间6的内侧，如图1中图示的。因此，系统腔2的至少一部分伸入到真空空间6中。

相应地，如下解决方案也是已知的：在这些方案中，系统腔2构成一种“骨架”的结构单元，由于这些加强元件被布置在真空空间6的外侧，所以该结构单元在真空空间中无需加强元件4。

多个系统腔2照惯例能够借助于可释放的连接件、通常经由腔凸缘彼此连接。每个系统腔2可以因此具有专用的真空空间。相互相邻的真空空间的真空也可以相互合并并且因此形成单元。

由横向于真空涂覆系统的纵向范围固定在真空空间6中的壁7限定并且位于真空空间6的内部的部分被称为段3。

在一个段3中基本上执行一个功能的范围内，也可以通过其主要起到的功能的命名来命名这些段，诸如过程段、泵送段、涂覆段等。

该功能部描述由真空涂覆系统的各个部分的功能所确定的配置。该功能部未必可见。

该功能部的部分是腔8和室9，如图3中图示的。

腔8是在一个或更多个连接的物理系统腔2的范围内具有一个或更多个互动功能的单元。

也可以通过其主要起到的功能的命名来命名功能部的腔8，诸如过程腔。由于所有的腔8用于容纳真空，所以它们也可以被总体上称为真空腔。

也可由其功能的命名来命名室9，例如为泵送室、溅射室、气体分离室等。

室9是在纵向延伸的真空涂覆系统的腔8的内部的功能单元，功能明确地归属于该功能单元，并且该功能单元与其它这样的功能单元沿着真空涂覆系统的纵向范围接连地布置。室9优选地具有相同的长度。室9可以被形成在基底传送区的上方或下方，或者被形成为包含该基底传送区。

3-腔系统或5-腔系统的配置将作为功能部的示例被给出：

如图4中图示的3-腔系统由如下部分构成：

-第一（功能）腔10，确切地讲，（在物理系统腔2中的）入口锁室C1，

-第二（功能）腔11，其本身由如下部分构成：

-（在物理系统腔2中的）第一转移腔C3，

-（在一个或更多个物理系统腔2中的）过程腔C4.1和可能的进一步的过程腔C4.x至C4.n，以及

-（在物理系统腔2中的）第二转移腔C5，以及

-第三（功能）腔12，确切地讲，（在物理系统腔2中的）出口锁室C7。

如图5中图示的5-腔系统由如下部分构成：

-第一（功能）腔13，确切地讲，（在物理系统腔2中的）入口锁室C1，

-第二（功能）腔14，确切地讲，（在物理系统腔2中的）第一缓冲腔C2，

-第三（功能的）腔15，其本身构成如下：

-（在物理系统腔2中的）第一转移腔C3，

-（在物理系统腔2中的）过程腔C4.1或可能的进一步过程腔C4.x至C4.n，以及

-（在物理系统腔2中的）第二转移腔C5，

-第四（功能）腔16，确切地讲，（在物理系统腔2中的）第二缓冲腔C6，以及

-第五（功能）腔17，确切地讲，（在物理系统腔2中的）出口锁室C7。

必须向所有的腔10至腔17提供不同的介质。具体地，这样的介质是真空、压缩空气、气体、水、电流和数据。

取决于系统，各种介质供应部被全部地合并或部分地合并。因此，可以为整个系统合并电流源并且可以从该电流源向每个单独的腔10至腔17供电。从中央供水部等对需要供水的腔供给。

在这种情况下的缺点是，对于每个真空涂覆系统来说必须单独地计划和改变介质供应部，因此在生产和安装方面造成高支出。

发明内容

因此，本发明的目的是降低在真空涂覆系统的介质供应部中的生产和安装方面的支出。

借助于具有权利要求1的特征的真空涂覆系统来实现这个目的。权利要求2至8详细说明根据本发明的解决方案的改进。

因此，功能腔作为第一子模块被布置在模块中，所述模块设置有外接口，所述外接口对于至少一个第二模块来说相同。

由于可以在模块本身中实现单独的设置，所以这样的接口配置使得可以制造完全作为单元的模块。这些模块具有相同的向外配置。

在这种情况下，存在如下可能性：将接口设计成对该第一子模块供应至少一种介质的介质接口。然而，为在接口处的其它介质提供连接可能性也是权宜之计，即使在模块中不需要这些。这使得遍及整个真空涂覆系统任何部分的接口的一致。

术语“介质”在此处应理解为被传送至模块或从模块排出的所有东西，具体地，数据、切换信号、安全信号、水、电能或气体。

内部介质分布可以优选地被实现，因为在该模块中已经布置有第二子模块，在每种情况下，该第二子模块充当第一子模块的介质供应部，并且第二子模块设有对于所有模块来说完全相同的外介质接口。

优选地，介质线路被布置成连续地通过整个真空涂覆系统，模块借助于其第二子模块经由第二子模块的外介质接口连接到该介质线路。在这种情况下，存在如下可能性：仅仅通过在模块处不被需要的介质循环。

如已经限定的，介质可以具有许多不同的种类。因此，在一个改进中，第二子模块的接口具有至少从如下的组到介质线路的连接部，所述组包括数据总线、应急/断开回路、安全回路、水线路、电流供应线路和气体线路。

模块化设置可优选地被继续，因为它不仅被限制于介质。因此，可提供用于将接口设计为连接接口，所述连接接口将第一子模块连接到相邻模块的第一子模块。这样的连接接口可以具有纯粹机械设计，例如作为在两个系统腔之间的凸缘或作为在位于每个腔中的传送系统的部件之间的接口。

在这种情况下，模块也可以具有至少两个接口，确切地讲具有第一接口和第二接口，所述第一接口被设计成介质接口，所述第二接口被设计成连接接口。因此，可以产生完全独立的模块。

对于中央供应任务，例如，对于中央介质源或系统计算机的安装，可能是的，总模块被布置，所述总模块对真空涂覆系统的多个模块供应一种或更多种介质。

附图说明

下面将借助于示例性实施例更详细地解释本发明。在所附的附图中：

图1示出根据现有技术的带有内部系统腔的真空涂覆系统的物理部，

图2示出根据现有技术的带有外部系统腔的真空涂覆系统的物理部，

图3示出根据现有技术的真空涂覆系统的功能部，

图4示出根据现有技术的3-腔系统的图解图示，

图5示出根据现有技术的5-腔系统的图解图示，

图6示出根据本发明的模块，

图7示出根据本发明的带有子模块的模块，

图8示出根据本发明的带有腔作为第一子模块的模块，所述腔被划分成室，

图9示出形成真空涂覆系统的模块的组件，

图10示出总模块的图解布置，

图11示出多级别模型的图示，以及

图12示出根据本发明的完整真空涂覆系统的图示。

具体实施方式

图1至图5示出根据现有技术的真空涂覆系统1，如以上图示的。一定模块化类型的配置已经以如下方式被实施：该配置被细分为腔8和室9，并且，例如，试图将腔8配置成具有与图4和图5中图示的相同的长度，以便因此在部件方面达到较高程度的可重复性。

根据本发明，功能腔8被布置为在模块19中的第一子模块18，该模块19设置有对于其它模块完全相同的外接口20。

这样的接口20可以被设计为介质接口21，使得该介质接口21可以被连接到数据总线22、应急/断开回路23、安全回路24、水线路、电流供应线路或气体线路。这些附图用图解法仅图示出数据总线22、应急/断开回路23和安全回路24以代表所有可能的介质线路。因此，可以以统一的方式引导介质线路22；23；24通过整个真空涂覆系统1。因此，可以无需每个腔8单个单独地连接到介质装置。对于所选择的介质，因为其介质需求，存在如下可能性：可以实现直接从总模块向模块19或子模块18供应例如电能。

如在图7至图9图示的，模块19中在每个情形中已经布置有第二子模块25，该第二子模块25充当第一子模块18的介质供应部，并且该第二子模块25设有对于所有模块19完全相同的外介质接口21。因此，模块19借助于其第二子模块25经由第二子模块25的外介质接口21被连接。

如果作为第一子模块18的腔8含有多个室9，则第二子模块25可以被设计成使得每个室9可以根据其功能被连接到各种介质。然而，尽管该单独的内部配置，但是模块19在外观上具有接口20的统一配置。

还存在腔8仅需要选择介质的可能性。例如，锁室将不需要水。不过，在这种情况下，由在介质接口21处的模块19提供水连接。因此在模块19中，具体地在第二子模块25中水线路仅仅是“回路通过”。

如图9中图示的，单独的模块19的介质接口21也可以被设计，使得它们在每种情况下直接连接到相邻模块，并且因此形成封闭的介质线路22；23；24。

然而，如在图7中图示的，可以在简单的介质供应部之外执行子模块形成。确切地讲，用于在腔8的内部传送基底的传送系统可以因此被设计为第三子模块26，因为该传送系统设置有连接接口27。这些连接接口27因此适合于将第三子模块26连接到相邻模块的第三子模块26，也就是说，将传送系统的属于腔8的那部分连接到传送系统的在相邻室8中的那部分。

图10图示出总模块28。这样的总模块28针对每种介质被设置在真空涂覆系统1中，并且确保各种介质的介质供应部被合并到所有模块19。该类型的总模块28可以包括，例如，中央水处理系统或中央能量分布。

因此，变得清楚的是，根据本发明的设置在真空涂覆系统1中实现为如在图11中图示的多级别模型，因此尤其在级别2和3下确保高程度的可重复性。完全独立地制造模块19和总模块28以及在制造之后测试模块19和总模块28也变得可能。仅在整个真空涂覆系统1完成之后，到目前为止已经完成了根据现有技术的完整的试验。因此，模块19和总模块28在本质上可以在完整状态下被放入组装位置。它们在本质上仅仅需要被连接在那里。大大减少了在组装方面的支出。图12非常清楚地示出以这种方式完成的真空涂覆系统1的细分的设置。

附图标记列表

1真空涂覆系统

2系统腔

3段

4加强元件

5墙壁

6真空空间

7壁

8腔

9室

103-腔系统的第一腔

113-腔系统的第二腔

123-腔系统的第三腔

C1入口锁室

C2入口侧缓冲腔

C3入口侧转移腔

C4.1…C4.x…C4.n过程腔

C5出口侧缓冲腔

C6出口侧转移腔

C7出口锁室

135-腔系统的第一腔

145-腔系统的第二腔

155-腔系统的第三腔

165-腔系统的第四腔

175-腔系统的第五腔

18第一子模块

19模块

20接口

21介质接口

22数据总线

23应急/断开回路

24安全回路

25第二子模块

26第三子模块

27连接接口

28总模块

Claims (7)

1.一种模块化结构真空涂覆系统，所述真空涂覆系统包括分别执行不同功能的多个功能模块(19)，所述功能至少包括泵送和涂覆，在每个模块(19)中布置功能腔(8)作为第一子模块(18)，多个功能腔(8)被沿着纵向范围一个接一个地布置，在所述纵向范围中，使基底在基底传送区中移动通过所述多个功能腔(8)，其中每个模块(19)设置有外接口(20)，所述外接口(20)被构造成与至少一个第二模块(19)的外接口相同，并且所述外接口(20)具有统一的外观配置，并且其中所述外接口(20)被设计成介质接口(21)，所述介质接口(21)向所述第一子模块(18)供应至少一种介质。

2.如权利要求1中所述的真空涂覆系统，其特征在于，所述模块(19)中在每个情形下均已布置有第二子模块(25)，所述第二子模块(25)充当用于所述第一子模块(18)的介质供应部，并且所述第二子模块(25)设置有所述模块(19)的外介质接口(21)，所述外介质接口(21)对于所有模块(19)来说均是相同的。

3.根据权利要求2中所述的真空涂覆系统，其特征在于，介质线路(22；23；24)被布置成通过整个真空涂覆系统(1)，模块(19)借助于其第二子模块(25)经由所述第二子模块的外介质接口(21)被连接到所述介质线路。

4.根据权利要求3中所述的真空涂覆系统，其特征在于，所述第二子模块(25)的所述接口(20)具有至少从如下的组至介质线路(22；23；24)的连接部，所述组包括数据总线(22)、应急/断开回路(23)、安全回路(24)、水线路、电流供应线路和气体线路。

5.如权利要求1中所述的真空涂覆系统，其特征在于，所述真空涂覆系统进一步包括连接接口(27)，所述连接接口(27)将所述第一子模块(18)连接到相邻模块(19)的第一子模块(18)。

6.如权利要求1至5中的任一项所述的真空涂覆系统，其特征在于，模块(19)具有第二接口(20)，所述第二接口(20)被设计成连接接口(27)。

7.如权利要求1至5中的任一项所述的真空涂覆系统，其特征在于，布置有总模块(28)，所述总模块(28)向所述真空涂覆系统(1)的所述多个模块(19)供应一种或更多种介质。