DE2017302A1 - Verfahren zum Herstellen von mindestens zwei Halbleiterelementen aus einem einzigen scheibenförmigen Halbleiterkristall - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von mindestens zwei Halbleiterelementen aus einem einzigen scheibenförmigen Halbleiterkristall

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Helmuth Dipl.-Phys. Dr.; Schädel Jürgen Dr.; Ullrich Hans Dipl.-Phys. Dr.; Widmann Dietrich Dipl.'Phys. Dr.; 8000 München Murrmann
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