DE2011391A1 - Fotoelektrische Einrichtung - Google Patents

Description

• Fotoelektrische Einrichtung Die Erfindung betrifft eine fotoelektrische Einrichtung zum Feststellen der Lage von Markierungen oder dgl. mit einem schwingenden Element im Strahlengang durch des der auf ein fotoelektronische Bauelement fallende Lichtstrom periodisch verändert wird.
• Die schwingende Element kann z.B. ein Schwingspiegel, eine schwingende planparallele Platte, eine Schwingblende oder ein Schwingdreht sein. Das schwingende Element wird durch eine elektrische Wechselspannung eines Anregungssenders in beliebiger bekannter Weise zum Schwingen angeregt.
• Bei bekannten Einrichtungen dieser Art geschieht die Lagebestimmung der Markierung relativ zur Abstansteinrichtung durch eine analoge Phasenwinkelmessung zwischen den Flenken des vom Angerungssender abgeleiteten Referenzsignales und den Flanken des vom fotoelektronischen Bauelement gelieferten Abstastsignales. Die Auswertung in der Abt@steinrichtung erfolgt jeweils über mehrere Schwingungsperioden des schwingenden Elementes. Einrichtungen dieser Art eignen sich demnach schlecht zum Feststellen der Lags von kontinuierlich durchlaufenden Markierungen oder dgl.. Die Auswertung über mehrere Signalperioden, wie sie bei bekannten Einrichtungen durchgeführt wird, setat euch eine hohe Frequenzstabilität des schwingenden Elementes voraus.
• Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, die Nachteile der bekannten Sinrichtungen zu vermeiden und eine fotoelektrische Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei eine hohen Auflösungsvermögen auch die Vermessung von mit relativ hoher Geschwindigkeit durchlaufenden Markierungen oder dgl. ermöglicht und bei der ruder des Meßergebnis weitgehend unabhängig von Frequensänderungen dea schwingenden Elementes ist. Darüberhinaus will die Erfundung auch einen einfachen Aufbau der fotoelektrischen Einrichtung erreichen sowie euch eine vielseitige Anwendbnrkeit derselben ermöglichen.
• Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe bei einer fotoelektrischen Einrichtung zur Lagebestimung von Markierungen oder dgl. durch eine digitale Phasenwinkelmessung innerhalb einer einzigen Schwingungsperiode den schwingenden Elementes durch zwei Zeitmessungen zwischen den Flanken eines vom Anregungssender für das schwingende Element abgleiteten Referenzsignales und den Flanken des vom fotoelektronischen Bauelement gelisferten Abtastsignales.
• Erfinidungsgemäß wird zur digitalen Zeitmessung ein elektronischer Vor-/ Rückwärtezähler verwendet, der von einem Taktgenerator zugeführte Impulse während des ersten Zeitraumes vorwlirts und während den zweiten Zeitraumes rückwärts zählt. Die gewünschte Symmetrielage der einzustellenden Markierung oder dgl. ist Gleichheit der innerhalb einer Schwingungsperiode im ersten und zweiten Zeitraum im Zähler eingezählten Impulse erreicht.
• Infolge der kurzen Meßzeit innerhalb einer Periode des schwingenden Elementes und wegen des hohen Auflösungsvermögens eignet sich die erfindungsgemäße Einrichtung insbesondere zum automatischen Vermessen von kontinuierlich durchlaufenden Teilungen oder dgl., deren jeweiliger Verschiebeweg unter Zuhilfenahme eines gesonderten digitalen Meßsystems festgestellt wird. Der vom zuletzt genannten Maßsystem gelieferte Meßwert wird dabei bei Gleichheit der innerhalb einer Schwingungsperiode im ersten und zweiten Zeitraum im Vor-/ Rückwärtszähler eingezählten Impulse abberufen.
• Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung sind in vorteilhafter Weise hohe Durchlaufgeschwindigkeiten der einzustellenden Markierung oder dgl. und ein besonders genauses und schnelles Einfangen der Markirung möglich. Außerdem bewirken Frequenzänderungen des schwingenden Elementes praktisch keine Verfälschung des Meßergebnisses, weil die Frequenz jeweils nur innerhalb einer einzigen Schwingungsperiods stabil zu sein braucht.
• Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung, in der eine mögliche Ausführungsform der Erfindung rein schematisch dargestellt ist. In der Zeichnung zeigt Figur 1 die erfindungsgemäße fotoelektrische Einrichtung zum Einfagen von kontinuierlich durchlaufenden Markierungen, Figur 2 eine @ignalfolgetafel zu Figur 1, für einen auf die Nullage abgeglichenen Meßvorgang.
• Das Ausführungsbeispiel zeigt eine bekannte fotoelektrische Einrichtung 1 zum Einfangen z.B. von Merkierungen 2 einer Teilung 3. Die Teilung 3 kann an einem Schlitten 4 befestigt sein, der an einem Bett 5 geführt ist, an dem die fotoelektrische Einrichtung 1 ortsfest angebracht ist.
• In Figur 1 wird die jeweils einzustellende Merkierung 2 durch eine Lampe 6 über Kondensatoren 7 und 8 sowie einen teildurchlässigen Spiegel 9 im Auflicht beleuchtet. Obiektive 10 und 11 biden die Markierung 2 in die Schwingungsebene eines schwingenden Elementes 1@ ab, das im Auführungsbeispiel eine beidseitig eingespannte Schwingsseite bekannter Art ist, an der eine Spaltblende 13 befestigt ist. Durch die Schwingbewegung der Spelt-Bauelement 14 fallende Lichtstrom periodisch verändert. Die Schwingseite 12 ist im Feld zweier Magnete 15 ausgespannt. Die elektrische Spannung zur Anregnung der Schwingseite 12 wird in einem Sender 17 erzeugt, der mit der Schwingseite 12 über Leitungen 16 und 16 einen geschlossenen Kreis 1 bildet. Das über den Ausgang 18 des Anregungssenders 17 abgegebene Referenzsignal S18 (Figur 2) sowie das über den Ausgang 19 des fotoelektronischen Bauelementes 14 abgegebene Abtastsignal werden in Verstärkern 20 und 21 verstärkt und über Ausgänge 22 und 23 Impulsformerstufen (Schmitt-Trigger) 24 und 25 zugeführt, wo sie in Rechtecksignale umgeformt werden. Das am Ausgang 27 der Impulsformerstufe 25 anstehende Signal S27 (Figur 2) und das am Ausgang 26 der Impulsformerstufe 24 anstehende Signal S26 (Figur 2) steuern eine digitale Auswerteeinheit 28, in der erfindungsgemäß eine Phasenwinkelmessung innerhalb einer einzigen Schwingungsperiode der Schwingseite 12 durchgeführt wird.
• Dies geschicht nach der Erfindung durch zwei digitale Zeitmessungen zwischen den Flanken des vom Anregungssender 17 abgenommen Referenzsignales S27 und den Flanken des vom fotoelektronischen Bauelement 14 gelieferten Abtastsignales S26.
• Die digitale Auswerteeinheit 28 enthält eine Signaltrennstufe 29, in der über eine logische Verknüpfung vom Signal des Referenz-Triggers 25 und Signal-Triggers 24 die beim Vorschwingen und Rückschwingen der Seite 12 erzeugten Abtastsignale getrennt und an zwei verschiedenen Känalen 30 und 31 als "Vorwärtssignal" S30 (Figur 2) und "Rückwärtssignal" S31 (Figur 2) ausgegeben werden. Die Zeitabschnitte, während der das Signal auf die Känale 30 bzw. 31 geschaltet ist, bestimmen sich nach dem zeitlichen Verlauf des Referenzsignales S27 des Anregungssenders 17.
• Die digitale Auswerteeinheit 28 enthält ferner zwei Flip-Flops 32 und 33 zum Festlegen der Zählzeiten für das "Vorwärtszählen" bzw. "Rückwärtszählen" in einem elektronischen Vor-/ Rückwärtszähler 34. An die Eingängs des Flip-Flop 32 sind das "Vorwürtssignal" S30 der Trennstufe 29 sowie das Referenzsignal S27 angelegt. An die Eingänge den Flip-Flop 33 sind das "Rückwärtssignal" : 31 sowie das Referenzsignal S27 angelegt. Dem elektronischen Vor-/ Rückwärtszähler 34 werden über einen Kanal 35 ständig Imoulse I35 (Figur 2) einer Taktgenerators 36 zugeführt, die jedoch nur in bestimmten Zeiträumen im Zähler 34 zur Auswertung gelangen. Die Impulse I35 werden innerhalb einer Schwingungsperiode der Seite 12 während eines ersten Z@itraume: vorwärte und während eines zweiten Zeitraumes rückwärts gezählt. Bei erste Zeitraum ist gleich der Impulsdauer auf der Leitung V, der zweite Zeintraum ist gleich der Impulsdauer auf der Leitung @. Die gewünschte Symmetrielage der einzustellenden Markierung 2 ist dann erreicht, wenn die Anzahl der innerhalb einer Schwingungsperiode im ersten Zeitraum t1 (Figur @) und im zweiten Zeitraum t2 (Figur 2) im Zähler 34 eingezähl@@ Impulse I35 gleich ist. Wie aus Figur 2 hervorgeht, wird der Zählvorgang beim "Vorwärtszählen" mit einer @ositiven Flanke des Referenzsignales @27 begennen und mit einer negativen Flanke des "Vorwärtszählen" S30 beondet.
• Beim "Rückwärtszählen" im Zähler 34 wird der Zählvorgang durch die negativ@ Flanke des Referenzsignales S27 eingeleitet und durch die negative Flanke des "Rückwärtssignales" S31 beendet.
• Die digitale Auswerteeinheit 28 enthält ferne einen Löschpulsgenerator 37, der den Vor-/ Rückwärtszähler 34 nach jeder Schwingungsperiode der Seite 12 selbsttätig wieder auf den Zählerstand "Null" satzt. Im Löschpulsgenerator 37 wird über eine logische Verknüpfung von der einem Periodenende nächstliegenden Flanke des "Rückwärtssignales" S31 - das ist in Figur 2 die positive Flanke des Signales S31 -ein Impuls I38 (Figur 2) abgeleitet, der über den Kanal 38 den Zähler 34 sowie ein Flip-Flop 39 steuert. Beim Auftreten des Impulses I38 wird der Zähler 34 nach jeder Schwingungsperiode der Seite 12 auf "Null" gesetzt. Gleichzeitig wird auch das Flip-Flop 39 in @perrichtung gesetzt, so daß die gesetzte, am Zählerausgang 40 anstehende "Null" nicht zur Auswertung gelangt. Diese Durchgangssperre für die im Zähler 34 gesetzte "Null" wird nach einigen wenigen im "Vortwärtseingang" des Zählers 34 eingezählten Impulsen I35 des Taktgenerators 36 wieder aufgehoben, und zwar durch einen Impuls über den Ausgang 41 des Zählers 34, der das Flip-Flop 39 - z.B. nach sechzechn im Zähler 34 eingesählten Impulsen I35 - wieder in seine Durchlassrichtung kippt. Am Ausgang 401 des Flip-Flop 39 wird nur bei jeder g@zählten "Null" ein Impuls I401 (Figur 2) abgegeben.
• Im Ausführungsbeispiel wird zur digitalen Zeitmessung ein du@ler Vor-/ Rückwärtszähler 34 verwendet, dessen Wert "Null" am Zählerausgang 40 in auscordierter Form vorliegt.
• Zur Vermeidung von Mehrdeutigkeiten bei der digitalen Auswertung ist eine Auswahlschaltung 42 vorgerehen, die im Zusammenwirken mit einem Flip-Flop 48 Lagewerte dann und nur dann zur Auswertung freigibt, wenn jeweils beim Meßvorgang der Zählerstand "Null" zum ersten Mal erreicht ist. Dies ist bei Gleichheit der innerhalb einer Schwingungsperiode der @aite 12 im ersten und zweiten Zeitraum im Vor-/ Rückwärtszähler 34 eingezählten Impulse I35 der Fall. Die Auswehlschaltung 42 kann z.B.
• eine bekannte Schaltung zur analogen Messung des Phasenwinkels zwischen dem Referenzsignal @27 und dem Abtastsignal @26 sein. Die Auswahlschaltung 42 enthält einen Integrator 43, der über Signale @44 (Figur 2) des Ausgangen 44 eines T-Flip-Flop 45 gesteuert wird. An die Eingänge 30 und 31 des T-Flip-Flop 45 ist das "Vorwartssignal" @30 und d@s "Rückwärtssignal" S31 gelegt. Der Integrator 43 setzt nach jeder Messung durch ein Signal @46 (Figur 2) seines Ausganges 46 des Flip-Flop 48 einer Ausgangsstufe 47 in eine Lage, daß nur die erste im Ver-/ Rückwärtszähler 34 eingezähler "Null" bzw. nur der erste von Impulsen I401, die am Flip-Flop-Ausgang 401 bei jeder gezählten "Null" auftreten, wieder einer Kippvorgang auslösen kann.
• Die Messperiode der Integrators 43 erstreckt sich über mehrere Signalperioden der Schwingssite 12.
• Die genannte Ausgangsstufe 47 enthält ferner einen Pulsgenerator 50, der aus einer Flanke des Ausgangssignales G49 (Figur 2) der Flip-Flop 48 einen Impuls @@1 (Figur 2) erzeugt, der über den Ausgang 51 einem Verstärker 52 zugeführt wird.
• Impulse am Verstärkerausgang 53, die jeweils nur beim Erreichen der ersten gezählten "Null" auftreten, steuern in Figur 1 beispielsweise einen elektrischen Digitaldrucker 5@. Beim Auftreten eines Impulses am Verstärkerausgang 53 wird der von einem aus Maßstab 55, Ables@gerät 56 und elektronischen Zähler 57 bestehenden digitalen Meßsystem bekannter Art an dieser Stelle ermittelte Lagewert der zu vermessenden Teilung 3 ausgedruckt.
• Die im Ausführungsbeispiel gezeigte fotoelektrische Einrichtung zum Vermessen von Teilungen 3 im kontinuierlichen Durchlauf arbeitet foglendermaßen@ In Figur 1 möge sich die Teilung 3 in der gezeigten Pfeilrichtung kontinuierlich bewegen.
• Bevor die Markierung 2 der Teilung 3 auf die einzustellende Nullage einfährt, wird innerhalb einer Schwingungsperiode der Seite 12 die Zeit für das "Vorwärtszählen" im Zähler 34 länger sein als die Zeit für das "Rückwärtszählen" im Zähler 34, d.h. der Zähler 34 zählt z.B. im ersten Zeitraum 2000 Impulse I35 vorwärts und danach im zweiten Zeitraum 1000 Impulse I35 des Taktgenerators 36 rückwärts. Dabei wird der Zählerstand nicht "Null". Vor der nächsten Schwingungsperiode der Seite 12 wird der Zähler 34 durch einen Impuls des Lö@chpulsgenerators 37 genullt und gleichzeitig auch das Sperr-Flip-Flop 39 gesetzt, so daß die im Zähler 34 gesetzte "Null" nicht zur Auswertung gelangt. Bei der folgenden Schwingungsperiode der Seite 12 werden wieder Impulse I35 im Zähler 34 eingezählt, wobei nach wenigen Impulsen I35 - z.B. nach sechzehn im Zähler 34 eingezählten Impulse I35 - ein über den Zählerausgang 41 abgegebener Impuls das Sperr-Flip-Flop 39 wieder in seine Durchl@ssrichtung kippt, so daß eine gezählte "Null" ausgewertet werden kann. Sind bei der zuletzt erwähnten Schwingungsperiode der Seite 12 die Zeiten für das "Vorwärtszählen" und "RÜckwärtszählen" im Zähler 34 gleich lang, d.h. zählt der Zähler 34 z.B. 1500 Impulse I35 vorwärts und danach 1500 Impulse I35 rückwärts, dann ergibt sich die erste gezählte "Null", bei der die gewünschte Symmetrielage der Markierung 2 erreicht ist und bei der ein Vorgang ausgelöst wird. Im gezeigten Ausführungsbeispiel wird z.B. ein Drucker betätigt, der den bei der Symmetrielage der Markierung 2 anstehenden Meßwert des digitalen Meßsystems 55/56/59 ausdruckt.
• Bewegt sich die Markierung 2 über die Symmetrielage in gleicher Bewegungsrichtung hinaus, dann wird die Zeit für das "Vortwärtszählen" immer kürzer und die Zeit für das "Rückwärtszählen" der Impulse I35 im Zähler 34 immer länger, so daß sich bei jedem weitere Schwingungszyklus der Seite 12 weitere gazählte "Nullen" ergeben. Dies geschieht solange, bis die Markierung 2 aus dem Gesichtefeld der fotoelektrischen Enrichtung 1 hinausfährt. Durch die weiter oben beschriebene Auswahlschaltung 42 gelangt jedoch nur die erste im Zähler 14 eingezählte "Null" zur Auzswartung, d.h. in Figur 1 löst nur die erste gezählte "Null" einen Vorgang im Drucker 54 aus, während die folgenden gezählten "Nullen" nicht zur Auswertung gelangen. Erst wenn die nächste der Markierungen 2 wieder in das Gesichtsfeld der fotoelektrischen Einrichtung 1 hineinfährt, springt der Integrator 43 der Auswahlschaltung 42 nach "logisch 0" (s46 in Figur 2), um kurz vor der ersten im Zähler 34 eingezählten "Null" wieder auf "logisch 1" zu springer. Damit ist das Flip-Flop 48 der Ausgangsstufe 47 - das jeweils nur bei der ersten gazählten "Null" kippt - wieder in die richtige Ausgangslage zurückgesetzt, so daß die erste gezählte "Null" zur Auswertung gelangen kann, d.h.
• bei dieser Symmetrielage der Markierung 2 wieder eine Auslösung des hierbei anliegenden Meßwertes des digitalen Meßsystems 55/56/57 erfolgen kann.
• Die Erfindung ist selbsverständlich nicht auf das gezeigte Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern es können anstelle einer Strichmarkierung z.B. auch einzelne Windunger einer Wendel oder dgl. vermessen werden.

Claims (18)

Ansprüche

1. Fotoelektronische Einrichtung zum Einststellen der Legerung von Markierungen oder dgl. mit einem schwingenden Element im Strehlengang durch das der auf ein fotoelektronisches Bauelement fallende Lichstrom periodisch verändert wird, gekennzeichnet durch ein digitale Phasenwinkelmesung innerhalb einer einzigen Schwingungsperiode des schwingenden Elementes (12) durch zwei Zeitmesungen zwischen den Flanken eines vom Anrogengesender (17) für des schwingerde Element (12) abgeleiteten Referenzsignalen (@27) und den Flanken der vom fotoelektronischen Bauelement (14) gelieferten Abtastsignales (S26).

2.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur digitalen Zeitmesung ein elektronischer Vor-/ Rückwärtszähler (34) verwendet wird, der ver einem Taktgenerator (36) zugeführte Impulse (I35) während das ersten Zeitraumer verwärts und während das zweiten Zeitraumes rückwärts zählt.

3.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Symmetrielage einer einzustellenden Markierung (2) oder dgl. bei Gleichheit der innerhalb einer Schwingungsperiode im ersten und zweiten Zeitraum im Vor-/ Rückwärtszähler (34) eingezählten Impulse (I35) erreicht ist.

4.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Zählvorgang im Vor-/ Rückwärtszähler (34) jeweils mit einer Flanke des Referenzsignalens (S27) beginnt und mit einer voreilenden Flanke des Abtastsignales (S26) endet.

5.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Auswahlschaltung (42) zur Vermeidung von Mehrdeutigkeiten bei der digitalen Auswertung, die Lagewerte dann und nur dann zur Auswertung freigibt, wenn jeweils beim Messvorgang der Zählerstand "Null" zum ersten Mal erreicht ist.

6.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswahlschaltung (42) eine bekannte Schaltung zur analogen Messung des Phasenwinkels zwischen Referenzsignal (S27) und Abtastsignal (S26) ist.

7.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß Schaltmittel (37) vorgesehen sind, die den Vor-/ Rückwärtszähler (34) nach jeder Periode des schwingenden Elementes (12) selbsttätig auf "Null" setzen.

8.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Rückwärtsbewegung des schwingenden Elementes (12), bei der Impulse (I35) des Taktgenerators (36) im "Rückwärtseingang" (R) des Zählers (34) eingehen, von einer Flanke des Abtastsignales (S26) ein Impuls abgeleitet wird, der den Vor-/ Rückwärtszähler (34) nach jeder etwingungsperiode selbsttätig auf den Zählerstand "Null" setzt.

9.) Fotoelektrisches Einrichtung nach Anspruch 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß Schaltmittel (39) vorgesehen sind, die bewirken, daß beim Setzen des Vertes "Null" im Vor-/ Rückwärtzähler (34) die gegetzte "Null" sich" Answertung gelangt.

10.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchgangesperre für die gesetzte "Null" nach einigen wenigen im "Verwärtseingang" (V) des Vor-/ Rückwärtszählers (34) eingezählten Impulsen (I35) des Taktgenerators (36) wieder aufgeheben wird.

11.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur digitalen Zeitmessung ein dualer Vor-/ Rückwärtszähler (34) verwendet wird, dessen Wert "Null" auscodiert ist.

12.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine Signaltrennstufe (29) vorgesehen ist, in der über eine logische Verknüpfung vom Signal eines Referenz-Triggers (25) und eines Signal-Triggers (24) die beim Vorschwingen und Rückschwingen des schwingenden Elementes (12) erzeugten Abtastsignale (S26) getrannt und an zwei verschiedenen Kanälen (30 und 31) als "Vorwärtssignal" (S30) und "Rückwärtssignal" (S31) ausgegeben werden.

13.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Flip-Flops (32 und 33) zum Bestimmen der Zählzeiten für des Verwärtszählen bzw. Rückwärtszählen im Zähler (34) vorgesehen sind, und daß an die Eingänge (27 und 30) des ersten Flip-Flop (32) das Signal (S27) des Referenz-Triggers (25) und das "Vorwärtssignal" (S30) der Trennstufe (29) gelegt sind, und daß an die Eingänge (31 und 27) des zweiten Flip-Flop (33) das "Rückwärtssignal" (S31) der Trennstufe (29) und das Signal (S27) des Referenz-Triggers (25) gelegt sind, und daß die Ausgangssignale der zwei Flip-Flops (32 und 33) den Vor-/ Rückwärtszähler (34) steuern.

14.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein Löschpulsgenerator (37) vorgesehen ist, in dem über eine logische Verknüpfung von der dem Periodenende nächst liegenden Flanke des "Rückwärtssignales" (S31) der Trennstufe (29) ein Impuls (I33) abgeleitet wird, der den Vor-/ Rückwärtszähler (34) nach jeder Schwingungsperiode auf "Null" setzt und der gleichzeitig auch ein Flip-Flop (39) in Sperrichtung setzt, so daß der gesetzte, am Zühlerausgang (40) amstehende Wert "Null" über das Flip-Flop (39) nicht zur Auswertung gelangt, und daß erst nach einigen wenigen im "Vorwärtseingang" (V) des Z#hlers (34) eingezählten Impulsen (I35) ein Impuls vom Zähler (34) an das Flip-Flop (39) abgegeben wird, der es wieder in seine Durchlassrichtung kippt.

15.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 14 oder eine vorherigen, durch gekennzeichnet, daß der Ausgang (401) des Sperr-Flip-Flop (39) an den Eingang eines weiterer Flip-Flop (48) gelegt ist, dns von einem Integrator (4s) bekannter Art gesteuert wird, der nach Jeder Messung das Flip-Flop (48) in eine Lage setzt, daß nur die erste im Vor-/ Rückwärtszähler (34) eingezählte "Null" wieder einen Kippvorgang auslösen und somit zur Auswertung gelangen kann, tuid dnß ferner der Integrator (4!) über ein Flip-Flop (45) gesteuert wird, an dessen Eingänge (30 und 31) das "Vorwärtssignal" (S30) und "Rückwärtssignal" (S31) der Signaltrennstufe (29) gelegt sind.

16.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß Schaltmittel (50) vorgesehen sind, die aus einer Flanke des Ausgangssignales (S49) des Flip-Flop (48) der Ausgangsstufe (47) einen Impuls (I51) erzeugen, der irgendeinen weiteren Vorgang auslöst.

17.) Fotoelektrische Einrichtung nach Anspruch 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß das schwingende Element (12) ein Schwingseite bekannter Art ist, die mit einer Spaltblende (13) versehen ist.

18.) Die Verwendung der fotoelektrischen Einrichtung nach Anspruch 1 bis 17 insbesondere zur automatischen Vermessung von Teilungen (3) oder dgl. im kontinuierlichen Durchlauf unter Zuhilfenahme eines gesonderten digitalen Meßsystems (55/56/57) zum Feststellen des jeweiligen Verschiebeweges der Teilung 3, wobei der jeweilige vom genannten Meßsystem (55/56/57) gelieferte Meßwert bei Gleichheit der innerhalb einer Schwingungsperiode im ersten und zweiten Zeitraum im Vor-/ Rückwärtszähler 34 eingezählten Impulse (I35) abberufen wird.