DE2008321B2 - Halbleiter-Bildaufnahmeanordnung sowie Schaltungsanordnung zum Betrieb einer solchen Anordnung - Google Patents

Description

d^TuÄe ÄÄ SSS^. welche einfach im Aufbau ist, d. , bei

008

deren Herstellung die fm sich bekannte Planartechnik einem mehrlagigen Halbleiter, wie z, 8. einem photo-

ausnufczbar ist und bei der die elektrische Verschal- empfindlichen Thyristor.

tung in einfacher Weise unter Ausnutzung des in der In dem Beispiel von Fig, I Ut die Trägerschicht

Planartechnik immer vorhandenen Oxids des Halb- %S von p-Material. Jedes der Thyristor-Elemente ist

leiteTOaterials durchführbar ist. δ von identischem Aufbau und besteht unter Bezug

Diese Aufgabe wird bei einer Halbleiter-Bild- auf Element XO aus einem ersten Bereich 20 aus aufaabmeanordnung der eingangs genannten Art p-Material, einem zweiten Bereich 21 aus n-Mateerfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Photo- rial, einem dritten Bereich 22 aus p-Material und elemente elektrisch in Reihe geschaltet sind, daß einem vierten Bereich 23 aus n-Material.
jeweils das en.te Photoelement einer Zeile einen Ein- io Jeder der aufeinanderfolgenden Bereiche oder gang und das letzte Photoeleraent etaer Zeile einen Lagen wird in dem nächstfolgenden Bereich als Insel Ausgang für die elektrische Abfragung bildet und aufgenommen, und alle Bereiche endeu in einem daß eine Auskoppeleinrichtung zur Auskopplung Teil, der sich in einer gemeinsamen ebenen Oberder beim Umschalten der Photoelemente' vom ge- fläche 2 der Anordnung darstellt. Ein Teil der sperrten in den leitenden Zustand entstehenden elek- 15 Trägerfläche 15 erstreckt sich auf der gemeinsamen irischen Signale vorgesehen ist ebenen Oberfläche 2 und umgibt die Thyristor-Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfra- elemente, so daß diese jeweils wirkungsvoll von dung ergeben sich aus den nachfolgenden Erläute- ihren Nachbarelementen getrennt sind. Gezeigt sind rungen und aus der Beschreibung von Ausführungs- Thyristoren des Typs pnpn, es ist aber offensichtlich, beispielen an Hand der F i g. 1 bis 4. 20 daß ?.uch npnp-Thyristoren als Alternative benutzt

F i g. 1 zeigt eine Draufsicht auf einen Teil der werden könnten und daß in '-iesem Fall eine Träger-Anordnung gemäß der Erfindung; schicht vom Typ η benutzt werden würde. Die ge-

F i g. 2 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie naue Ausführung der Bereiche jedes Elementes ist

2-2 inFig. 1; nicht beschränkt auf die dargestellte, und jedes pas-

F i g. 3 zeigt eine schematische Darstellung der 35 sende Schaltelement mit Eigenschaften wie nachAnordnung von den Fig. 1 und 2; stshend beschrieben läßt sich bei der Anordnung

F i g. 4 zeigt ein Blockschaltbild eines Abbildungs- benutzen.

systems gemäß der Erfindung mit der in den F i g. 1 Eine Lage 30 aus im wesentlichen durchsichtigem

bis 3 dargestellten Anordnung. Isoliermaterial ist auf die ebene Oberfläche 2 der

Die photoempfindliche Anordnung der Erfindung 30 Anordnung 1 aufgetragen. Unter Benutzung üblicher bietet hohe Auflösung und hohe Empfindlichkeit in- Abdeckungs- und Ätzverfahren werden verschiedene folge des einzigartigen Aufbaus und der Ablese- zu beschreibende Fenster in der Isolierschicht 30 möglichkeit der Anordnung. Insbesondere, obgleich hergestellt, um an der Oberfläche 2 bestimmte Bcjedes Element der Anordnung individuell abgefragt reiche der Thyristoren freizulegen. In jeder der oder ausgelesen wird, ist nur ein einziger Eingang 35 Reihen wird eine erste Reihe von Fenstern 31. 32 für jede Elementreihe erforderlich, und nur ein ein- und 33 gebildet, um die darunterliegende erste ziger allen Elementen der Anordnung gemeinsamer p-Zone 20 freizulegen, und eine zweite Serie von Ausgang ist erforderlich, wodurch individuelle Ver- Fenstern 35, 36 und 37 ist vorgesehen, um die darbindungen mit jedem Element der Anordnung be- unterliegende vierte η-Zone der Thyristoren 10, 11 seitigt sind. Die Elemente der Anordnung können 40 bzw. 12 freizulegen. Die erste und vierte Zone steldaher nahe nebeneinander liegen oder auf der Ober- len den Eingang und Ausgang des Elementes dar fläche der Anordnung dicht gepackt sein, was ein und die Zonen, zwischen denen sich der Umschalthohes Maß an Auflösung ohne Verlust an Empfind- Vorgang zwischen Nichtleiten und Leiten vollzieht, lichkeit ermöglicht. Das vereinfachte Ablesesystem Nach der Herstellung der Fenster in der Isoliervermeidet die verwickelte Schaltungslogik, wie sie +5 schicht 30 und unter Benutzung von passenden bisher erforderlich war, um auf die Signalir.forma- Niederschlags- und Abdeckverfahren wird eine tion, die von der Anordnung abgeleitet wurde, an- Mehrzahl von Leitern auf der Anordnung niederzusprechen und sie zur Benutzung in einer Anzeige- geschlagen, um eine Reihenschaltung der Thyrisioanlage zu verarbeiten. ren innerhalb jeder Reihe herzusteller.. Beispieis-

Fig 1 zeigt eine stark vergrößerte Ansicht eines 50 weise wird ein erster Leiter 41 auf der Anordnung

Ausschnittes aus einer Anordnung 1, die entspre- niedergeschlagen, und er erstreckt sich durch das

chend der Erfindung aufgebaut ist. Fig. 2 ist ein Fenster 31 hindurch, um eine Verbindung mit der

Schnitt durch einen Teil von Anordnung 1 entlang n-Zone 2« des ersten Thyristor«; 10 der eisten Reihe

der Linie 2-2 in Fig. 1. herzustellen und mit einem Reihrneingangsanschluß

Die photoempfindlichen Elemente werden her- 55 42. Ein zweiter Leiter 43 erstreckt sich durch das

gestellt als eine Vielzahl isolierter Inseln in einer Fenster 35 zu der n-Zone 23 des ersten Thyristors

gemeinsamen Tragschicht 15 unter Benutzung üb- 10 und uurch das Fenster 32 zu der ersten p-Zone

licher Diffusionsverfahren. Die Elemente sind in des nächstfolgenden Thyristors 11 der ersten Reihe,

einer Matrix angeordnet, die aus einer Mehrzahl Die Leiterbahn 45 erstreckt sich durch das Fen&ter

paralleler Reihen mit je einer Mehrzahl von Einzel- 60 37 bis zum Kontakt mit der Zone·, η des letzten Thy-

elementen besteht, wobei die entsprechenden EIe- ristors 12 der ersten Reihe und ist dort mit einem

mente jeder Reihe zweckmäßigerweise in vertikalen Erdpotentialanschluß 46 verbunden. Zweckmäßiger-

Spalten angeordnet sind. Die Elemente 10 und 11 weise werdin die Leiterbahnen gesintert, um eine

bilden beispielsweise die beiden ersten Elemente ohmsche Verbindung mit den Zonen des Thyristors

einer ersten Reihe der Anordnung und das Element 65 zu ergeben, mit denen sie jeweils im Kontakt stehen.

12 das letzte Element dieser Anordnung. Das EIe- Wie noch im einzelnen in der Betriebsbeschreibung

ment 13 ist das erste Element der zweiten Reihe im nachstehenden dargelegt wird, bieten die oben-

der Anordnung. Jedes der Elemente besteht aus genannten Leiterbahnen eine Serienverbindung der

aufeinanderfolgenden Elemente jeder Reihe der An- belastungswiderstand 60 liegt. Dieser Impuls wird

Ordnung zwischen den Anschlüssen 42 und 46 der kapazitiv auf die geraeinsame Ausgangsplatte 50'

Reihe. angekoppelt und an den Ausgangsanschluß 51'

Eine gemeinsame Ausgangseinrichtung ist für alle übertragen. Die Amplitude der Kippspannung eines Elemente der Anordnung vorgesehen. Alternativ- 5 gegebenen Elementes ist eine inverse Funktion der formen dieses gemeinsamen Ausgangs können be- auf das Element auftreffenden Beleuchtungsstärke, nutzt werden. Eine erste Form umfaßt eine Aus- Der Ausgangsimpuls ändert sich daher in seiner gangsplatte 50, die auf einen kleinen Teil der Iso- Amplitude umgekehrt proportional zu der auflierschicht 30 niedergeschlagen ist, wobei sie kapa- treffenden Beleuchtungsstärke,
zitiv mit jedem der Elemente der Anordnung ge- ίο Wenn einmal ein bestimmtes Element leitend gekoppelt ist. Ein Ausgangsanschluß 51 ist an die schaltet ist, fällt sein innerer Widerstand auf einen Platte 50 angeschlossen. Eine zweite alternative Aus- minimalen und fast vernachlässigbaren Wert ab, gangsform, die all den Elementen der Anordnung wodurch praktisch ein Rechteckimpuls von dergemeinsam ist, umfaßt eine leitende Schicht oder selben Amplitude an das nächstfolgende Element flatte, die auf der unteren Fläche 3 der Träger- is der Reihe angelegt wird. Wenn somit das Element schioht 15 aufgebracht ist und entgegengesetzt liegt 10' in den leitenden Zustand umgeschaltet hat, wird zu der Oberfläche 2, wo jedes der Thyristorelemente der Impuls 65 an das nächstfolgende Element 11' freigelegt ist. Die Platte 52 ist entsprechend kapa- angelegt, das einen Schaltvorgang mitmacht, der dem zitiv mit jedem dieser Elemente gekoppelt und an des Elementes 10' identisch ist. In dieser Weise einem Ausgangsanschluß 53 angeschlossen. »o läuft der Impuls 65 die Reihe schaltender Elemente

Die Wirkungsweise der Anordnung wird beschrie- entlang und veranlaßt der Reihe nach jedes einzelne

ben unter Bezug auf die schematische Darstellung zum Umschalten. Bei der Abfrage jeder Reihe cnt-

einer Einzelreihe der im Detail gezeigten Anord- steht somit eine Folge von Ausgangsimpulsen, die

nung. Die Elemente 10', 11', 12' entsprechen den kapazitiv durch die Platte 50' an den Ausgangs-

Thyristorelementen 10, 11 und 12 der Anordnung as »"ischluß 51' angeschlossen sind und deren Ampii-

nach den F i g. 1 und 2. Die Eingangsverbindung 4Γ tuden sich umgekehrt proportional zu der auf die

zwischen der Eingangsklemme 42' und dem Element entsprechenden schaltenden Elemente der Reihe auf-

10' entspricht der durch die Leiterbahn 41 in F i g. 1 treffenden Beleuchtung ändern. Die Amplitude jedes

hergestellten Verbindung. In ähnlicher Weise ent- Ausgangsimpulses ist praktisch unabhängig von der

sprechen die Verbindungen 43' und 44' den Leitern 3° des Ablese- oder Schaltimpulses 65 und hängt in

43 und 44 in den F i g. 1 und 2. Die Widerstände 60, erster Linie von den Eigenschaften des Th) ristors

61, 62 stellen den inneren Eigenwiderstand der Thy- ab, insbesondere seinen Materialkonstanten und der

ristoren dar und bieten einen niedrigen Widerstand Stärke der auftreffenden Beleuchtung. In gleicher

für die entsprechenden Thyristoren, an denen beim Weise hängt die Ausbreitungsgeschwindigkeit von

Schalten eine Spannung entsteht. Die gemeinsame 35 den Umschalteigenschaften ab, wobei die langsamste

Ausgangsplatte 50' kann einem der Elemente 50 und Ausbreitungsgeschwindigkeit diejenige ist, bei der

52 von F i g. 1 entsprechen und liegt in einem Ab- keine Beleuchtimg auf irgendeines der Elemente

stand von den schaltenden Elementen 10', 1Γ, 12', einer gegebenen Reihe fällt. Der Umschalte- oder

um die dazwischenliegende kapazitive Kopplung Ableseimpuls 65 dauert hinreichend lange, um die

darzustellen. Die Platte 50' ist an einem Ausgangs- 4» zum Ablesen aller Elemente bei der langsamsten

anschluß 51' angeschlossen. Ausbreitungsgeschwindigkeit erforderliche Zeit zu

Alle photoempfindlichen Thyristorelemente sind erreichen oder zu übertreffen. Bei der Hinterflankc

im wesentlichen von identischem Aufbau und haben des Impulses kehrt der Eingangsanschluß 42' auf

daher gemeinsame Schalteigenschaften. Insbesondere Erdpotential zurück, und alle Elemente der Reihe

bietet jedes eine gemeinsame Kippspannung, bei der 45 der Anordnung, an die der Impuls angelegt worden

das Element, von einem ersten stabilen Zustand des war, kehren in ihren ersten nichtleitenden Zustand

Leitens umschaltet, bei dem die am Element liegende zurück. Unter Bezug auf F i g. 1 wild dann ein Im-

Spannung auf einen Mindesthaltewert zum Leiten puls derselben Wellenform und Dauer an die nächste

abfällt Weiter ändert sich die Kippspannung für Reihe der Anordnung angelegt, um die aufeinander-

alle Elemente in praktisch identischer Weise als 50 folgende Ablesung der Elemente dieser Reihe zu

Funktion der auf die Elemente auftreffenden Be- bewirken, und dies für jede Reihe hintereinander,

leuchtung. bis die ganze Anordnung ausgelesen worden ist.

Beim Betrieb wird ein Ablese- oder Abfrage- F i g. 4 zeigt ein Bildsystem unter Benutzung dei

impuls, wie bei 65 dargestellt, an den Eingangs- Anordnung 1 von Fig. 1, wo die Einzelelemente

anschluß 42' angelegt, und er liegt somit an der 55 10', 11', 12', 13'... scheneatisch dargestellt sind

Reihenschaltung aller Elemente der ersten Reihe Abhängig von der verlangten Auflösung läßt sici

zwischen dem Eingangsanschluß 42' und Erd- eine beliebige Anzahl von Einzelelementen in der An

potential. Ordnung vorsehen. Üblicherweise kann eine Anord

Zunächst ist nach dem Anlegen des Impulses 65 nung von 100 · 100 Elementen bis zu 300 · 300 EIe

keines der Elemente 10', 11', 12' usw. leitend. Der 60 menten benutzt werden. Jeder der Reiheneingangs

Impuls 65 erscheint daher effektiv am ersten EIe- anschlüase, wie z. B. 42', liegt an einer entsprechen

ment 10' der Reihe. Der Impuls 65 ist praktisch den Ausgangsstufe eines Ringzähler 70. Ein Takt

Rechteckimpuls und hat daher eine steile Vorder- geber 71 erzeugt eine Folge von Taktimpulsen fü

Sänke. Die Amplitude des Impulses 65 übersteigt den Ringzähler 70, um in selektiver Weise jede sei

die Kippspannung aller Elemente 10', 11', 12', and 65 ner aufeinanderfolgenden Stufen 70 a, 706, ... 70

daher wird selbst ohne auftreffende Beleuchtung der einzustellen, der Reihe nach mit einer von der Fn

erste Halbleiter 10' leitend geschaltet nnd erzeugt quenz der Taktgeberimpulse bestimmten Geschwir

einen Ausgangsimpuls, der effektiv an dem Eigen- digkeit. Wenn irgendeine Stufe des Ringzählers eii

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gestellt wird, so erzeugt sie einen Ausgangsimpuls, tikalen Intervallimpulse an, um eine Sägezahndargestellt durch den Abfrageinipuls 65' am Aus- ablenkspannung auf die Ausgangsleitungen 92 zu gang der ersten Stufe 70a, der an einen entsprechen- legen, die an die vertikalen Ablenkplatten 82 zur den Reiheneingangsanschluß, z. B. den Anschluß Steuerung der vertikalen Ablenkung des Strahles 42', für die erste Reihe der Anordnung angelegt 5 angelegt werden. Der Sägezahn ist so eingerichtet, wird. Wie bereits erwähnt, entspricht die Zeitdauer daß ein vollständiges Abtasten des Wiedergabedes Ablese- oder Abfrageimpulses der Zeit, die der schirms 85 des Oszillographen 80 mit einer Häufigimpuls für die Ausbreitung entlang aller Elemente keit bewirkt wird, die der Frequenz der vertikalen einer einzelnen Reihe der Anordnung benötigt. Die Ablenkintervallimpulse entspricht und somit der Ab-Taktgeberimpulse liegen zeitlich in solchem Ab- to lesegeschwindigkeit aller Zeilen der Anordnung entstand, daß der nächstfolgende Taktgeberimpuls die spricht. Der Zeitablenkgenerator erzeugt in ähnlicher vorhergehende bereits eingestellte Stufe zurückstellt Weise eine Sägezahnablenkspannung auf den Aus- und die nächste darauffolgende Stufe des Ring- gangsleitungen 91 auf Grund jedes der horizontalen zählers einstellt. Stufe 7Qb erzeugt daher einen Ab- Intervallimpulse, die an die horizontalen Ablenkfrageimpuls 66, dessen Vorderflanke seitlich direkt 15 platten 81 angelegt werden, um die horizontale Abauf die Hinterflanke des vorhergehenden Abfrage- lenkung des Abtaststrahls mit einer Geschwindigkeit impulses 65' folgt. In dieser Weise werden aufein- zu bewirken, die der Ausbreitungsgeschwindigkeit anderfolgende Stufen des Ringzahlers eingestellt und der Ableseimpulse durch jede Reihe der Anordnung sodann wieder rückgestellt, um eine selektive, der entspricht.

Reihe nach erfolgende Ablesung der Reihen der An- »o Die gemeinsame Ausgangsplatte 50' ist an ihrem

Ordnung zu bewirken. Nach der Rückstellung der Ausgangsanschluß 51' über Leitung 101 an einem

letzten Stufe 7On des Ringzählers 70 wird ein Zy- Verstärker 102 angeschlossen. Der Verstärker 102

klus- oder Periodenimpuls, wie 67 dargestellt, er- veranlaßt auf Grund der Ausgangsimpulse, die

zeugt und an den Taktgeber gegeben. Jedes Auf- durch das Umschalten der aufeinanderfolgenden

treten des Impulses 67 bedeutet somit den Vollzug as Elemente der Anordnung entstehen, die Lieferung

einer Abtastung der Anordnung. eines Strahlintensitäts-Steuersignals an semer Aus-

Das Bildanzeigesystem kann einen üblichen Ka- gangsleitung 103, das an die Strahlsteuerelektrode thodenstrahloszillographen 80 enthalten mit z. B. 84 des Oszillographen 80 angelegt wird. Der Verwaagerechten Ablenkplatten 81 und vertikalen Ab- stärker kann die Impulse entsprechend umformen lenkplatten 82. Ein üblicher Elektronenstrahlerzcu- 30 oder ein Signal sich ändernder Amplitude herstellen, ger besteht aus einer Kathode 83, angeschlossen an das den Amplitudenänderungen der aufeinander-Erde, und einem Strahlstärkes.teuergitter 84. Über folgenden Impulse entspricht, um eine stetige Strahlentsprechende Leitungen 91 sind die horizontalen steuerung zu bewirken. Entsprechende Austast-Ablenkplatten 81 mit einem Zeitablenkgenerator impulse werden auch an die Strahlstärke-Steuer-100 verbunden und die vertikalen Ablenkplatten 82 35 elektroden durch nicht dargestellte übliche Einrichüber entsprechende Leitungen 92 mit dem Zeit- tungen geliefert. Daher werden die Stärke des Strahles ablenkgenerator 100. Der von dem Taktgeber 71 er- und die daraus folgende Ausleuchtung des Wiederzeugte Taktimpuls wird auch über Leitung 93 an gabeschirmes 85 gesteuert als Funktion der auf die den Zeitablenkgenerator 100 angelegt, um die hori- Einzelelemente der Anordnung 1 auftreffenden Bezontalen Ablenkintervalle f estzulegen., und ein Zy- 40 leuchtung für jede Stellung des StraMes entsprechend klusimpulsausgang, der dem Zyklusimpuls 67 ent- der Lage der jeweiligen Elemente innerhalb der Anspricht, wird von dem Taktgeber 71 über die Lei- Ordnung 1. Das auf dem Schirm 85 wiedergegebene tang 94 an den Zeitablenkgenerator 100 angelegt, Bild stellt somit eine sichtbare Reproduktion der aul um die vertikalen Ablenkintervalle zu definieren. die Anordnung 1 auffallenden Beleuchtungsvertei·

Der Zeitablenkgenerator IOD spricht auf die ver- 45 lung dar.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. 008321

   durh P^ Sr den Taktgeber" (71)

   J. Haibletter-Budaufnahraeanordnung mit in δ ^ ^^^folgefrequenz der Bildwieder-Form einer Matrix angeordneten Uchtgesteuerten S^ordnung synchronisiert ist.

   Photoeleroenten in Form von Schaltern, deren gaDciwui

   elektrischer Schaltschwellwert vom gesperrten in

   den leitenden Zustand eine Funktion der Be- .

   leuchtungsstärke ist, dadurch ge kenn- »
   zeichnet daß die Photoeiemente (10,11, **>

   13, ...) elektrisch in Reihe geschaltet sind, daß _vorUegeade Erfindung betrifft eine Halbleiter-

   jeweüs das erste Photoeleroent beispielsweise 10) ^J^SwOmmg mit in Form emer Matnx

   liner Zeile einen Eingang und das letzte Photo- ^^^SSSuerten Photoelementen m

   element (beispielsweise 12) einer Zeile einen ts ^^r^_So2rn, deren elektrischer Schai*-

   Ausgang für die elektrische Abfragung; büdet Form^ von ^ ^_6n -_m den eilenden Zu-

   und daß eine Auskoppeleinrichtung (SO, 51 oder schvreUwert ^vom_q S_d^_{Beleuchtungss}tarke ist.

   52, 53) zur Auskopplung der beim Umschalten ^s^^de™*^_bldter__Büdaumalmeanordrungen .n der Photoelemente vom gesperrten in den lsi- De.rarüge η _bekannt. Anordnungen aus

   tenden Zustano entstehenden elektrischen Signale - Matnrform »J* Jg^ _{eine dichter}e Packung der

   vorgesehen ist. SSmente uld somit eine bessere Auflosung

   2. Bildaufnahmeanordnung nach Anspruch 1, ^Phot°^^m„„. Vakuumphotozellen aufgebaute An-

   dadurch gekennzeichnet, daß für alle Photo- als ^etwa _pn ^{aUS V}*

   elemente (10, 11, 12, 13, ...) der Matrix eine ⁰^W?; _Halbleiterbasis sind normalergemeinsame Auskoppeleinrichtung vorgesehen »s ?^hot^"_{en die} sich zwischen dem mcht-

   ist weise lnynsiun«, _{leitenden Zusta},id durch einen

   d h Anspruch 1 ^^"Li l dsen Am

   ist weise y_{leitenden Zusta},id durch einen

   3. Bildaufnahmeanordnung nach Anspruch 1 ^^"LilmDuls umschalten lassen, dessen Am-

   und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Photo- e *^enjnpul ■ _nnung des Thyristors

   elemente (10, 11, 12, 13, . ..) als Zwe.pole aus- ^ phtude^Sg^als^ J^ ^ dabe^umgekehrt

   ^Se4.^ldBil^Sdaufnahmeanordnung nach einem der Ρ™{^⁰"^ X₅ ^Jemra^aSSffenden Photonen.

   Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet daß zahl der^aui _Elementes wird ein elektn-

   die Photoelemente (10 11. 1-, 13, ... ^m Beim Uj^J^* erzeugt; seine Amplitude _ISt

   i i hlbleitern™ Substrat(15) ^s*« ^f5| äk

   die Photoelemente (10 11. 1, 13, ... j^J^ erzeugt; sein

   einem gemeinsamen halbleitern™ Substrat(15) ^s*« ^f5| Beleuchtungsstärke. .

   voneinander isoliert angeordnete Planar-Thy- 35 ein Mautur ™ _{auf Ha}i_bleiterbasis erzie!-

   i bildt ind S Auf öfung ist auf Grund der zur Auslesung

   ^^U"fbid schen

   voneinand

   ristoren ausgebildet sind. . h.S Auf öfung ist auf Grund der zur Auslesung

   5. Bildaufnahmeanordnung nach einem der ^bar%^_r ^U"f.η elektrischen Verbindungen zwischen Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß f^o^^£™£ begrenzt, da sie die Photodie zeilenweise Reihenschaltung der Photobau- ^dfⁿ _me^^e^S?_s teilweise verdunkeln. Um die elemente (10, 11, 12, 13, ...) durch über eine 40 elemente wenig««» ί ι Einzelelementc-Serschicht'(30 auf dem Substrat (IS) verlau- Auflosung zu « ^rdunkelung durch die fende Leitbahnen (41, 43, 45, 44, 46) verge- ^J^Sigpa verkleinert worden. Eine

   nommen ist. . i«v,i verkleinerung verringert indessen die Emp-

   6. Bildaufnahmeanordnung nach einem der solche Verklemenmg B _{dem ist bei be}. Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet daß 45 pjhehtot ^ An^n g ^ _Scha1. die Auskoppeleinrichtung (50, 51) als auf der kannten, ^Α«°™8* Weiterverarbeitung Isolierschicht (30) angeordnete, mit den Photo- ^^^ ^A

   elementen (10, 11, 12, 13 ..) kapazitiv, gekop- de ^Information erto^ ^ ^.^^ _{p hrifl}

   pelte und mit einem Außenanschluß (51) ver- es i« _Halbleiter-Bildaufnahmeanordnung

   Setene Leitbahn (50) ausgebildet ist. *o ^"«^ ™_£ ¹f'« _{f die Photoe}lemente durch

   7. Bildaufnahmeanordnung nach einem der ^"Ken-E emente gebildet sind. Diese EIe-Ansprüohe 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Dre.ele^roaen β _{Schichtfolgen aus trans}. die Auskoppeleinrichtung (52, 53) als mit einem ™™™^T^_dem Material, photoleitendem Ma-Außenanschluß (53) versehene leitende, kapazi- pairentem -nena isolierendem Material tiv an das Substrat (15) angekoppelte Schicht 55 tenal '«^te™^ei^ 7_ef|al '_bildet. Die Schichtstruk-(52) auf der Fläche (3) des Substrates (15) aus- ow e Halb «termatej g ^ _{aufgebrachtj daß} gebildet ist, welche der mit der Isolierschicht (30) tür ist dabei JJ™ _£, _{t sowonl mit} ihren Ausbedeckten Fläche (2) des Substrats (15) abge- *^S^Schtung als auch mit ihren ^Wr^a,tungsanordnun_g zu, . Betrieb emer - -ueremg^enJn ^ltenrichtung g«M^