DE19958276C1 - Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser, umfassend folgende Verfahrensschritte umfaßt: Bereitstellen eines Hohlzylinders aus porösem Quarzglas, der eine Innenschicht mit einem den Brechungsindex von Quarzglas erhöhenden Dotierstoff und eine die Innenschicht umgebende Außenschicht mit niedrigerem Brechungsindex aufweist, und Kollabieren des Hohlzylinders, das dadurch gekennzeichnet ist, daß der poröse Hohlzylinder auf einen den Dotierstoff enthaltenden Quarzglasstab kollabiert wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser, umfassend folgende Verfahrensschritte: Bereitstellen eines Hohlzylinders aus porösem Quarzglas, der eine Innenschicht mit einem den Brechungsindex von Quarz­ glas erhöhenden Dotierstoff und eine die Innenschicht umgebende Außenschicht mit nied­ rigerem Brechungsindex aufweist, und Kollabieren des Hohlzylinders.

Ein Verfahren der eingangs angegebenen Gattung ist aus der US-A 4,251,251 bekannt. Darin ist die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser nach dem soge­ nannten OVD-Verfahren beschrieben. In einem ersten Verfahrensschritt wird ein poröser SiO₂-Zylinder (im folgenden als "Sootzylinder" bezeichnet) hergestellt, der aus einer mit Germaniumoxid (25 Gew.-%) und Boroxid (5 Gew.-%) dotierten SiO₂-Innenschicht be­ steht, die von einer mit Boroxid (2 Gew.-%) dotierten SiO₂-Außenschicht umgeben ist. Der Sootzylinder wird durch Flammenhydrolyse von SiCl₄ (bzw. von GeCl₄ und BCl₃) gebildet, indem mittels Abscheidebrenner SiO₂-Partikel erzeugt und in einem ersten Verfahrens­ schritt unter Bildung der dotierten SiO₂-Innenschicht schichtweise auf der Mantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Dorns aus Quarzglas abgeschieden werden. In einem zweiten Verfahrensschritt wird auf der so er­ zeugten SiO₂-Innenschicht die SiO₂-Außenschicht abgeschieden. Anschließend wird der Quarzglas-Dorn aus dem Sootzylinder herausgezogen. Der Sootzylinder weist somit eine Bohrung auf, deren Innendurchmesser dem Dorn-Außendurchmesser entspricht. Aus dem so hergestellten Sootzylinder wird die Vorform erhalten, indem der poröse Sootzylinder gesintert und gleichzeitig die Bohrung kollabiert wird. Die Vorform hat einen Kern aus mit Boroxid und Germaniumoxid dotiertem Quarzglas, dessen Brechungsindex 1,476 beträgt, und der von einem Mantel aus Quarzglas mit einem Brechungsindex von 1,457 umgeben ist.

Die Effektivität des SiO₂-Abscheidung ist abhängig vom Außendurchmesser des Dorns. Bei einem größeren Dorn-Außendurchmesser wird eine dementsprechend größere an­ fängliche Oberfläche bereitgestellt, so daß die SiO₂-Abscheidung effektiver wird. Anderer­ seits wird bei einem größeren Dorn-Außendurchmesser auch die Bohrung des Sootzylin­ ders entsprechend größer. Je weiter eine Bohrung ist, um schwieriger läßt sie sich beim Sintern und Kollabieren schließen. Es ist bekannt, daß beim Schließen großer Bohrungen, insbesondere bei zusätzlichem Anlegen eines Unterdrucks in der Bohrung, Kernbereiche mit ovalem Querschnitt entstehen können. Das Problem des Schließens der Bohrung wird bei dotiertem Quarzglas noch dadurch verschärft, daß aufgrund der langen Heizphasen und der hohen Temperatur beim Sintern und Kollabieren Dotiermittel aus der Innenschicht ausdiffundieren und dadurch ein an Dotierstoffen verarmter Bereich der Innenschicht ent­ steht, der in der Regel einen kleineren Brechungsindex aufweist. Dieser Bereich der Vor­ form (bzw. der daraus hergestellten Lichtleitfaser) wird in der Literatur als "dip" bezeichnet.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein effektives Verfahren für die Herstel­ lung einer Quarzglas-Vorform für Lichtleitfasern anzugeben, bei dem der Verfahrensschritt des Schließens der Bohrung eines porösen Hohlzylinders aus Quarzglas erleichtert ist.

Diese Aufgabe wird ausgehend von dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der poröse Hohlzylinder auf einen den Dotierstoff enthaltenden Quarzglasstab kollabiert wird.

Der poröse Hohlzylinder wird auf einen den Dotierstoff enthaltenden Quarzglasstab auf­ kollabiert, der vor dem Kollabieren in die Bohrung des porösen Hohlzylinders eingeführt wird, so daß beim Kollabieren lediglich noch der Spalt zwischen Hohlzylinder und Quarz­ glasstab zu schließen ist. Die zu schließende Öffnung wird demnach entsprechend kleiner, so daß auch die zum Schließen des Spaltes erforderliche Verformung des Hohlzylinders geringer ist, als sie zum Kollabieren der gesamten Bohrungsöffnung erforderlich wäre. Beim erfindungsgemäßen Verfahren ist daher die Dauer der Kollabierphase kürzer und/oder die Kollabier-Temperatur ist niedriger und damit die thermische Belastung des Hohlzylinders insgesamt geringer als beim bekannten Verfahren. Aufgrund der ver­ gleichsweise geringen Verformung des Hohlzylinders beim Kollabieren ist darüber hinaus auch die Einhaltung einer vorgegebenen Geometrie und Abmessung des aus Quarz­ glasstab und aufkollabiertem Hohlzylinder hergestellten Quarzglaszylinder erleichtert.

Eine weitere Besonderheit des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß der Hohlzylinder eine Innenschicht mit einem den Brechungsindex von Quarzglas erhöhenden Dotierstoff und eine die Innenschicht umgebende Außenschicht mit niedrigerem Bre­ chungsindex aufweist. Der Hohlzylinder wird auf einen Quarzglasstab aufkollabiert, der den gleichen Dotierstoff wie das Quarzglas der Innenschicht des Hohlzylinders enthält. Daher stellt beim erfindungsgemäßen Verfahren sowohl die Innenschicht des Hohlzylin­ ders, als auch der Quarzglasstab jeweils einen Teil des sogenannten Kerns der Vorform bereit. Dadurch wird die Herstellung des Kerns vereinfacht, was sich insbesondere bei einer großvolumigen Vorform mit einem entsprechend großen Kern bemerkbar macht. Außerdem stellt der Hohlzylinder den Mantel (das sogenannte "optische Cladding" der Lichtleitfaser) oder einen Teil davon.

Der Dotierstoff kann auf den Bereich der Innenschicht beschränkt sein. Für den Fall, daß der Dotierstoff über die gesamte Wandstärke des Hohlzylinders homogen verteilt ist, wird der niedrigere Brechungsindex im Bereich der Außenschicht durch ein zusätzliches, den Brechungsindex von Quarzglas absenkendes Dotiermittel eingestellt.

Außer den vorgeschlagenen Maßnahmen zur erfindungsgemäßen Herstellung einer Vor­ form sind in Abhängigkeit von der konkreten Spezifikation und ihrem bestimmungsgemä­ ßen Einsatz weitere Verfahrensschritte zur Fertigstellung der Vorform erforderlich. Insbe­ sondere kann der aufkollabierte Hohlzylinder noch mit einer oder mehreren Quarzglas- Mantelschichten umhüllt werden.

Als besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, wenn Quarzglasstab und Innenschicht den Dotierstoff in annähernd gleicher Konzentration enthalten, mit der Maßgabe, daß die Diffe­ renz der Brechungsindizes von Quarzglasstab und Innenschicht maximal 0,001 beträgt. Die gleiche Dotierung von Innenschicht und Quarzglasstab bewirkt die gleiche Viskosität des jeweiligen Quarzglases. Dadurch wird die Ausbildung einer störungsfreien Kontaktflä­ che zwischen Quarzglasstab und Innenschicht beim Kollabieren erleichtert.

Besonders bevorzugt wird eine Verfahrensweise, bei der als Quarzglasstab ein solcher mit einem radial homogenen Brechzahlprofil und mit einem um mindestens 0,003 höheren Brechungsindex als undotiertes Quarzglas eingesetzt wird. Die den Brechungsindex von Quarzglas erhöhenden Dotierstoffe bewirken im allgemeinen ein Absenkung der Viskosität von Quarzglas. Eine niedrige Viskosität erleichtert das Schließen des Spaltes zwischen Hohlzylinder und Quarzglasstab und die Ausbildung einer störungsfreien Kontaktfläche zwischen Quarzglasstab und Innenschicht beim Kollabieren. Diese Maßnahme mach sich insbesondere bei großvolumigen Vorformen vorteilhaft bemerkbar, die einen Kern mit gro­ ßem Durchmesser und konstantem Brechzahlverlauf aufweisen. Bei dem erfindungsge­ mäßen Verfahren tragen sowohl die Innenschicht des Hohlzylinders als auch der Quarz­ glasstab jeweils einen Teil zum Kern bei.

In dieser Hinsicht hat es sich auch bewährt, als Dotierstoff Germaniumdioxid einzusetzen, wobei der Germaniumdioxidgehalt des Quarzglasstabs mindestens 3 Gew.-% beträgt. Germaniumdioxid wirkt auf Quarzglas viskositätserniedrigend und brechzahlerhöhend. Auf die Vorteile der niedrigeren Viskosität hinsichtlich des Schließens der Bohrung wurde weiter oben bereits hingewiesen.

Als günstig hat es sich auch erwiesen, daß der poröse Hohlzylinder Fluor enthält. Eine Fluor-Dotierung verringert die Viskosität von Quarzglas und bewirkt eine Absenkung des Brechungsindex. Insoweit erleichtert auch eine Fluor-Dotierung das Schließen des Spaltes zwischen Hohlzylinder und Quarzglasstab und die Ausbildung einer störungsfreien Kon­ taktfläche zwischen Quarzglasstab und Innenschicht beim Kollabieren. Durch den Fluor­ gehalt kann der Brechungsindex in der Außenschicht des Hohlzylinders lokal gesenkt werden; er kann aber auch über die Wandstärke des Hohlzylinders konstant sein. Durch eine Dotierung mit Fluor und einem den Brechungsindex von Quarzglas erhöhenden Do­ tierstoff, wie Germaniumdioxid, wird eine besonders niedrige Viskosität des Quarzglases eingestellt, wobei sich die Wirkungen der beiden Dotierstoff hinsichtlich des Brechungsin­ dex ganz oder teilweise kompensieren. Auch das Quarzglas des Quarzglasstabs kann Fluor enthalten.

Eine weitere Verbesserung wird erhalten, wenn der poröse Hohlzylinder einer Chlorbe­ handlung durch Erhitzen in chlorhaltiger Atmosphäre bei einer Temperatur oberhalb von 700°C unterzogen wird. Durch die Chlorbehandlung werden Verunreinigungen entfernt, OH-Gehalt und Viskosität des Quarzglases werden gesenkt. Dadurch wird das Kollabieren erleichtert und eine besonders störungsfreie Kontaktfläche zwischen Hohlzylinder und Quarzglasstab erhalten.

Vorzugsweise werden der Außendurchmesser des Quarzglasstabs und der Innendurch­ messer des porösen Hohlzylinders so gewählt, daß während der Chlorbehandlung zwi­ schen dem porösen Hohlzylinder und dem darin eingesetzten Quarzglasstab ein Ringspalt verbleibt. Die Chlorbehandlung erfolgt nach dem Einführen des Quarzglasstabs in den Hohlzylinder und vor dem Sintern und Kollabieren des Hohlzylinders. Dadurch werden die den Ringspalt begrenzenden Oberflächenbereiche, die nach dem Kollabieren die Kontakt­ fläche bilden gereinigt.

Bevorzugt wird ein Quarzglasstab eingesetzt, der einen Außendurchmesser von 5 mm oder weniger aufweist. Je dünner der Quarzglasstab ist, um so kleiner ist die Kontaktflä­ che zwischen Hohlzylinder und Quarzglasstab nach dem Kollabieren und um so geringer ist die Anzahl der Störstellen im Bereich der Kontaktfläche. Zur Herstellung einer Vorform mit einem Kern mit homogenem Brechzahlprofil ist es gerade bei einem derartig dünnen Quarzglasstab besonders vorteilhaft, wenn die Innenschicht des Hohlzylinders die gleiche Dotierung aufweist wie der Hohlzylinder.

Der Quarzglasstab wird bevorzugt nach dem VAD (Vapor-Axial-Deposition)-Verfahren hergestellt. Dieses Verfahren ist besonders kostengünstig und effektiv für die Herstellung eines homogen dotierten Quarzglasstabs einsetzbar.

Eine weitere Verbesserung hinsichtlich der Effektivität der Vorformherstellung ergibt sich dadurch, daß der Quarzglasstab durch Strecken einer Stabvorform erhalten wird. Hierzu wird zunächst eine Stabvorform - bevorzugt nach dem VAD-Verfahren - hergestellt, deren Außendurchmesser größer ist als der Solldurchmesser des Quarzglasstabs. Der Soll­ durchmesser ist durch Strecken einer derartigen Stabvorform genau einstellbar, und dar­ über hinaus wird die Staboberfläche beim Strecken geglättet. Durch Strecken einer Stab­ vorform mit großem Außendurchmesser kann kostengünstig ein Mehrfaches von deren Länge für die Herstellung eines oder mehrerer Quarzglasstäbe erhalten werden.

Die Fertigstellung der Vorform umfaßt im allgemeinen einen zusätzlichen Verfahrens­ schritt, bei dem der durch Kollabieren des Hohlzylinders auf den Quarzglasstab erhaltene Kernstab mit einem Überfangrohr (Jacket-Rohr) aus Quarzglas überfangen wird.

Die so hergestellte Vorform zeichnet sich dadurch aus, daß der Kern aus einem Quarz­ glasstab und einem den Quarzglasstab umgebenden, aus porösem Quarzglas hergestell­ ten, gesinterten und beim Sintern auf den Quarzglasstab aufkollabierten, und mindestens einen Teil des Mantels umfassenden Hohlzylinder, gebildet wird.

Zur Herstellung der Vorform wird der poröse Hohlzylinder auf einen den gleichen Dotier­ stoff enthaltenden Quarzglasstab aufkollabiert, der vor dem Kollabieren in die Bohrung des porösen Hohlzylinders eingeführt wird. Der poröse Hohlzylinder stellt somit einen Teil des Kerns der Vorform. Darüber hinaus stammt mindestens ein Teil des Mantels ("optisches Cladding") der Vorform vom aufkollabierten, porösen Hohlzylinder. Hinsichtlich der sich daraus ergebenden Vorteile, insbesondere in Bezug auf die Steigerung der Effektivität der Vorformherstellung, wird auf die Erläuterungen zum erfindungsgemäßen Verfahrens ver­ wiesen.

Außer dem Quarzglasstab und dem darauf aufkollabierten Hohlzylinder kann die erfin­ dungsgemäße Vorform je nach Einsatzzweck oder Spezifikation weitere Quarzglas­ schichten umfassen. Insbesondere hat sich eine Quarzglas-Vorform bewährt, die eine den Kern und den Mantel umgebende Quarzglasschicht aufweist, die durch Kollabieren eines Überfangrohres (Jacket-Rohr) aus Quarzglas erzeugt ist.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung im einzelnen

Fig. 1 eine Anordnung eines Kern-Mantelrohrs aus porösem Quarzglas und eines Quarzglas-Kernglasstabes vor dem Kollabieren zu einem Kernstab in einem radialen Schnitt, und

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel zur Herstellung einer Vorform anhand eines Fließ­ diagramms mit einzelnen Verfahrensschritten.

In Fig. 1 ist die Bezugsziffer 1 insgesamt einer koaxialen Anordnung eines Kern- Mantelrohres 2 und eines Kernglasstabs 3 zugeordnet. Der Kernglasstab 3 besteht aus Quarzglas, das homogen mit 5 Gew.-% Germaniumoxid dotiert ist. Der Durchmesser des Kernglasstabs 3 beträgt 3 mm.

Das Kern-Mantelrohr 2 besteht aus einem porösem Quarzglas-Hohlzylinder (Sootkörper). In einem inneren Bereich 4 ist das Kern-Mantelrohr 2 homogen mit Germaniumoxid do­ tiert, wobei die nominale Germaniumdioxid-Konzentration mit der des Kernglasstabs 3 übereinstimmt. In einem äußeren Bereich 5 besteht das Kern-Mantelrohr 2 aus undotier­ tem, porösen Quarzglas. Der Bohrungsdurchmesser des Kern-Mantelrohres 2 beträgt 5 mm, so daß bei der koaxialen Anordnung 1 zwischen der Bohrungswandung und dem Kernglasstabs 3 ein Ringspalt 6 mit einer Spaltweite von 1 mm verbleibt. Der Außen­ durchmesser des Kern-Mantelrohres 2 liegt im Ausführungsbeispiel bei 35 mm und die Grenzfläche zwischen innerem Bereich 4 und äußerem Bereich 5 bei einem Durchmesser von etwa 9 mm.

Nachfolgend werden anhand Fig. 2 die Verfahrensschritte zur Herstellung der in Fig. 1 dargestellten Anordnung von Kern-Mantelrohr 2 und Kernglasstab 3 sowie weitere Verfah­ rensschritte zur Herstellung eines Kernstabes und einer Vorform beispielhaft erläutert, wo­ bei die Bezugsziffern von Fig. 1 zur Bezeichnung gleicher oder äquivalenter Teile der Vorform verwendet werden.

Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Kernglasstab 3 und ein po­ röses Kern-Mantelrohr 2 bereitgestellt. Das Kern-Mantelrohr 2 wird durch Flammenhydro­ lyse von SiCl₄ und Außenabscheidung von SiO₂-Partikeln auf der Mantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Dorns hergestellt (OVD-Verfahren). Als Dorn wird ein Alu­ miniumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Mittels eines Abscheide­ brenners wird zunächst die Innenschicht 4 abgeschieden, indem dem Abscheidebrenner außer SiCl₄ auch GeCl₄ zugeführt wird, um die oben angegebene Dotierstoff- Konzentration der Innenschicht 4 zu erhalten. Anschließend wird die Zufuhr von GeCl₄ gestoppt und auf der Innenschicht 4 nach dem gleichen Verfahren die Außenschicht 5 ab­ geschieden. Das nach Entfernen des Dorns erhaltene Kern-Mantelrohr 2 besteht aus po­ rösem Quarzglas.

Zur Herstellung des Kernglasstabs 3 wird zunächst eine Stabvorform durch Flammenhy­ drolyse von SiCl₄ und GeCl₄ unter Bildung von SiO₂-Partikeln und axialer Abscheidung SiO₂-Partikel auf einem rotierenden Substrat hergestellt (VAD-Verfahren). Der so herge­ stellte Stab hat einen Durchmesser von ca. 40 mm. Durch ein Ziehverfahren wird der Stab auf einen Durchmesser von 3 mm langgezogen und zu einer Vielzahl von Kernstäben ab­ gelängt.

Zur Herstellung der Vorform wird der Kernglasstab 3 in der axialen Bohrung des Kern- Mantelrohres 2 unter Bildung der in Fig. 1 gezeigten Anordnung 1 koaxial fixiert. Die An­ ordnung 1 wird einer Chlorbehandlung bei einer Temperatur von etwa 1000°C unterzo­ gen, um den OH-Gehalt des Kern-Mantelrohres 2 zu senken und um die den Ringspalt 6 begrenzenden Oberflächen zu reinigen. Im Anschluß daran wird das poröse Kern- Mantelrohr 2 auf den Kernglasstab 3 aufgeschmolzen, indem die Anordnung in einem Ofen auf eine Temperatur von 1400°C erhitzt wird. Das Schließen des Ringspaltes 6 er­ folgt problemlos durch zonenweises Erhitzen der vertikal orientierten Anordnung 1. Die Kontaktfläche zwischen ursprünglichem Kernglasstab 3 und der Innenschicht 4 des Kern- Mantelrohres 2 ist mit bloßem Auge nicht zu erkennen.

Der so erhaltene Kernstab stellt in der späteren Lichtleitfaser den Faserkern und den zur Lichtführung beitragenden Mantel (das sogenannt "optische Cladding"). Er beinhaltet ei­ nen homogen mit Germaniumoxid dotierten Kern aus Quarzglas mit einem Außendurch­ messer von 8,8 mm und mit einem Brechungsindex, der um 0,005 über dem Brechungsin­ dex von undotiertem Quarzglas liegt. Der zentrale Bereich dieses Kerns wird vom ur­ sprünglichen Kernglasstab 3, und der Außenbereich von der Innenschicht 4 des ursprüng­ lichen Kern-Mantelrohres 2 gebildet. Die Differenz der Brechungsindizes von zentralem Bereich und Außenbereich des Kerns liegt bei 0,0001. Der Kern ist von einem Mantel aus undotiertem Quarzglas mit einem Brechungsindex von 1,4585 umgeben. Der Mantel wird von der Außenschicht 5 des ursprünglichen Kern-Mantelrohres 2 gebildet.

Zur Fertigstellung der Vorform wird der Kernstab auf die gewünschte Außenabmessung abgeschliffen, flammenpoliert und mit einem Überfangrohr aus undotiertem Quarzglas (dem sogenannten "Jacket-Rohr") überfangen. Die Vorform weist danach einen Außen­ durchmesser von 130 mm auf.

Claims (11)

1. Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser, um­ fassend folgende Verfahrensschritte: Bereitstellen eines Hohlzylinders (2) aus po­ rösem Quarzglas, der eine Innenschicht (4) mit einem den Brechungsindex von Quarzglas erhöhenden Dotierstoff und eine die Innenschicht umgebende Außen­ schicht (5) mit niedrigerem Brechungsindex aufweist, und Kollabieren des Hohlzy­ linders (2), dadurch gekennzeichnet, daß der poröse Hohlzylinder (2) auf einen den Dotierstoff enthaltenden Quarzglasstab (3) kollabiert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Quarzglasstab (3) und Innenschicht (4) den Dotierstoff in annähernd gleicher Konzentration enthalten, mit der Maßgabe, daß die Differenz der Brechungsindizes von Quarzglasstab (3) und Innenschicht (4) maximal 0,001 beträgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Quarz­ glasstab (3) ein solcher mit einem radial homogenen Brechzahlprofil und mit einem um mindestens 0,003 höheren Brechungsindex als undotiertes Quarzglas einge­ setzt wird.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Dotierstoff Germaniumdioxid ist und daß der Germaniumdioxidgehalt des Quarzglasstabs (3) mindestens 3 Gew.-% beträgt.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, der poröse Hohlzylinder (2) Fluor enthält.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der poröse Hohlzylinder (2) einer Chlorbehandlung durch Erhitzen in chlorhalti­ ger Atmosphäre bei einer Temperatur oberhalb von 700°C unterzogen wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Außendurchmesser des Quarzglasstabs (3) und der Innendurchmesser des porösen Hohlzylinders (2) so gewählt sind, daß während der Chlorbehandlung zwischen dem porösen Hohlzylinder (2) und dem darin eingesetzten Quarzglasstab (3) ein Ringspalt (6) verbleibt.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Quarzglasstab (3) einen Außendurchmesser von 5 mm oder weniger auf­ weist.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Quarzglasstab (3) nach dem VAD-Verfahren hergestellt wird.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Quarzglasstab (3) durch Strecken einer Stabvorform erhalten wird.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch Kollabieren des Hohlzylinders (2) auf den Quarzglasstab (3) ein Kern­ stab erhalten wird, der mit einem Überfangrohr aus Quarzglas überfangen wird.