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Die
Erfindung betrifft die Kapselung von Lichtventilen mit Siliziumrückseite
und insbesondere Lichtventil-Packungsanordnungen mit Siliziumrückseite,
in denen geringere Spannungen auftreten, und Verfahren zu deren
Herstellung.
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Herkömmliche
Flüssigkristallanzeigen (LCDs)
umfassen zwei Glasscheiben, die so angeordnet sind, daß sie eine
dünne Zelle
bilden, die mit einem Flüssigkristallmaterial
gefüllt
ist. Eine der Glasscheiben weist Transistoren und Pixelaktivierungsplatten
auf ihrer Oberfläche
auf, die zum Aktivieren des Flüssigkristallmaterials
bei diskreten Pixelstellen dienen.
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Ein
Lichtventil, oder auch Lichtsteuereinrichtung (light valve), mit
Siliziumrückseite,
beispielsweise aus
DE
43 18 022 C1 bekannt, ist im wesentlichen eine miniaturisierte
LCD mit einer Siliziumrückplatte (Backplane)
anstelle einer der Glasscheiben. Die Oberfläche der Siliziumrückplatte
weist die Transistoren (üblicherweise
auf CMOS-Basis), Pixelaktivierungsplatten und die Ansteuerschaltung
(z.B. Zeilen- und Spaltentreiber) auf, die für den Betrieb des mit Lichtventils
mit Siliziumrückseite
notwendig sind. Die Pixelaktivierungsplatten dienen auch als Reflektorplatten,
die während
des Betriebs des Lichtventils ankommendes Licht zurück zum Betrachter
reflektieren.
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Ein
repräsentatives
Lichtventil mit Siliziumrückseite
ist in 1 im Querschnitt
dargestellt. Das Lichtventil mit Siliziumrückseite 10 umfaßt eine
Siliziumrückplatte
(Backplane) 12 und eine Glasdeckplatte 14, die
von Präzisionsabstandhaltern 16 mit
Abstand zueinander gehalten werden. Der dünne gleichmäßige Spalt (der auch als der
Abstand oder die LCD-Zelle bezeichnet wird), der zwischen der Siliziumrückplatte 12 und
der Glasdeckplatte 14 gebildet wird, ist mit Flüssigkristallmaterial 18 gefüllt. Die Kombination
aus Siliziumrückplatte 12,
Flüssigkristallmaterial 18 und
Glasdeckplatte 14 stellt im wesentlichen eine miniaturisierte,
reflektive Flüssigkristallanzeige
dar.
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Die
Aufrechterhaltung eines dünnen,
gleichmäßigen Spalts
zwischen der Siliziumrückplatte 12 und
der Glasdeckplatte 14 (und dadurch die Aufrechterhaltung
einer gleichmäßigen Dicke
des Flüssigkristallmaterials 18)
ist notwendig, um die Bildung unerwünschter optischer Interferenz-Streifenmuster auf
der Anzeige zu vermeiden. Solche Streifenmuster machen, wenn sie
für den
Benutzer sichtbar sind, die Anzeige unbrauchbar für den kommerziellen
Verkauf.
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Übliche Verfahren
zum Herstellen von Packungsanordnungen für Lichtventile mit Siliziumrückseite
umfassen zunächst
das Anbringen der Siliziumrückplatte
an einem Substrat, entweder einer üblichen gedruckten Schaltungsplatte
(PCB) oder einer gedruckten Schaltungsplatte, die an einer zweiten Glasplatte
haftet, mit einem Klebstoff. Nach dem Anbringen von Bonddrähten zwischen
der Siliziumrückplatte
und dem PCB-Substrat werden die Bonddrähte, Teile des PCB-Substrats
und die Siliziumrückplatte
von einer Kapselungsschicht bedeckt, um einen mechanischen Schutz
und einen Schutz gegen Umgebungseinflüsse zu schaffen.
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Ein
Nachteil der herkömmlichen
Packungsanordnungen ist, daß das
PCB-Substrat, der Klebstoff und die Kapselungsschicht alle zur Ausübung unerwünschter
mechanischer Spannungen auf das Lichtventil mit Siliziumrückseite
beitragen können.
Die für den
Zusammenbau der Packung eingesetzten Verfahrensschritte (z.B. erhöhte Temperaturen
während des
Aushärtens
bzw. Trocknens des Klebstoffes und des Kapselungsmaterials) tragen
ebenfalls zur Erzeugung unerwünschter
mechanischer Spannungen bei. Solche mechanischen Spannungen verformen den
dünnen
gleichmäßigen Spalt
zwischen der Siliziumrückplatte
und der Glasdeckplatte, was zu optischen Interferenz-Streifenmustern
und letztendlich dazu führt,
daß die
Packungsanordnung aussortiert werden muß. Extremtemperaturen, die
während
des Gebrauchs auftreten können,
können
ebenfalls zu mechanischen Spannungen in dem Lichtventil und somit
zu unerwünschten
Streifenmustern führen.
Das Anbringen einer gedruckten Schaltungsplatte an eine zweite Glasplatte
in dem Versuch, ein Substrat zu schaffen, das einen dünnen, gleichmäßigen Spalt aufrechterhält, ist
nicht immer erfolgreich und führt
zu zusätzlichen
Herstellungskosten.
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Ein
zusätzlicher
Nachteil zu der Verwendung einer Kapselungsschicht in Lichtventil-Packungsanordnungen
mit Siliziumrückseite
ist die relativ große Packungsgröße, die
zum Unterbringen der Kapselungsschicht notwendig ist. Bei herkömmlichen
Kapselungsprozessen wird ein Epoxidkapselungsmaterial frei über den
Bonddrähten,
den Umfangsseiten der Siliziumrückplatte
und dem PCB-Substrat aufgebracht. Aufgrund der kuppelförmigen oder
konvexen Form, welche das aufgebrachte Epoxidkapselungsmaterial
annimmt, verteilt sich die Kapselungsschicht auf natürliche Weise über einen
relativ großen
Umfangsbereich, bevor sie die Höhe
annimmt, die notwendig ist, um die Bonddrähte vollständig zu bedecken und zu schützen. Diese
Verteilung führt
zu einer unerwünscht
großen
Größe der Packungsanordnung.
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Wenn
das Lichtventil mit Siliziumrückseite einmal
verkapselt ist, muß die
gesamte Packungsanordnung auf einer übergeordneten Anordnung montiert
werden, z.B. einer dichroitischen Prismaanordnung, einem Metallrahmen
oder einem Plastikgehäuse
einer optischen Anzeigeeinrichtung oder auf einer Unteranordnung
einer optischen Anzeigeeinrichtung. Ein Nachteil der herkömmlichen
Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite ist das Fehlen einer
integralen Maßnahme
zum Montieren der Lichtventil-Packungsanordnung auf der übergeord neten
Anordnung. Das Vorsehen zusätzlicher
Befestigungselemente erhöht
die Kosten, die Komplexität der
Packung und die Packungsgröße.
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Auf
diesem Gebiet der Technik wird also eine kosteneffiziente Lichtventil-Packungsanordnung
mit Siliziumrückseite,
in der höchstens
geringe mechanische Spannungen auftreten, sowie ein Verfahren zum
Herstellen derselben benötigt,
welche die Bildung von für
den Benutzer sichtbaren optischen Interferenz-Streifenmustern vermeiden.
Die Packungsanordnung sollte auch relativ klein und kostengünstig sein
und Maßnahmen
zum Anbringen derselben an einer übergeordneten Anordnung umfassen.
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Die
Erfindung sieht eine Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite
vor, in der nur geringe Spannungen und keine optischen Interferenz-Streifenmuster
auftreten. Die Erfindung sieht ferner eine kostengünstige,
relativ kleine Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite
vor, die Maßnahmen
zum Anbringen derselben an einer übergeordneten Anordnung umfaßt.
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Die
Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite gemäß der Erfindung umfaßt ein Substrat
mit einem angepaßten
thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CTE; Coefficient of Thermal
Expansion), wobei dieser CTE nicht größer als 300% des CTE der Siliziumrückplatte
ist. Ein Lichtventil mit Siliziumrückseite wird mittels einer
weichen Klebschicht mit einer Shore D-Härte von weniger als 5 an das
Substrat mit angepaßten
CTE gebondet. Die Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite gemäß der Erfindung
umfaßt
ferner eine weiche Kapselungsschicht mit einer Shore D-Härte von
weniger als 5, welche das Substrat mit angepaßtem CTE und das Lichtventil
mit Siliziumrückseite
wenigstens teilweise bedeckt. Diese Kombination aus Substrat mit angepaßtem CTE,
weicher Klebschicht und ebenso weicher Kapselungsschicht hält die mechanischen Spannungen,
die auf das Lichtventil mit Siliziumrückseite ausgeübt werden,
ausreichend niedrig, um eine Verformung des dünnen, gleichmäßigen Spaltes
sowie das Auftreten unerwünschter
optischer Interferenz-Streifenmuster
zu verhindern.
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Bei
einer Ausführungsform
der Erfindung wird zusätzlich
zur Verwendung eines Substrats mit angepaßtem CTE und einer weichen
Klebschicht eine flexible Schaltung (Flex-Schaltung) an das Substrat
mit angepaßtem
CTE geklebt und über
Bonddrähte
mit dem Lichtventil mit Siliziumrückseite elektrisch verbunden.
Da die flexible Schaltung nicht in direktem Kontakt mit dem Lichtventil
ist, erlaubt diese Konfiguration die Verwendung flexibler Schaltungen, die
einen relativ große
CTE haben, als ein Mittel zum Liefern von Eingangssignalen an das
Lichtventil, während
die auf das Lichtventil mit Siliziumrückseite ausgeübten Spannungen
noch immer auf einem niedrigen Niveau gehalten werden. Die fertige
Konfiguration umfaßt
ferner einen Kapselungsdamm, der an die flexible Schaltung geklebt
wird und das Lichtventil mit Siliziumrückseite umgibt, sowie die weiche Kapselungsschicht.
Der Kapselungsdamm ist so konzipiert, daß er die weiche Kapselungsschicht
innerhalb des abgegrenzten Bereichs, der von dem Kapselungsdamm
eingegrenzt wird, umschließt.
Die weiche Kapselungsschicht verteilt sich daher nicht über einen übermäßig großen Umfangsbereich
der Packungsanordnung, und es können
vergleichsweise kleine Größen der
Packungsanordnung erreicht werden.
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Bei
einer anderen Ausführungsform
wird der Kapselungsdamm modifiziert, um ein Mittel zum Anbringen
der Packungsanordnung an einer übergeordneten
Anordnung vorzusehen.
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Die
Erfindung sieht auch ein Verfahren zum Herstellen einer Lichtventil-Packungsanordnung
mit Siliziumrückseite
vor, in der geringe Spannungen auftreten. Eine flexible Schaltung,
die mehrere leitende Spuren aufweist, welche Eingangssignale an
ein Lichtventil mit Siliziumrückseite
liefern können,
wird als erstes vorgesehen. In der flexiblen Schaltung wird eine Öffnung ausgebildet.
Obwohl die Öffnung
irgendwo auf der flexiblen Schaltung liegen kann, ist ein bevorzugter
Ort für
die Öffnung
ein Ende der flexiblen Schaltung. Ferner werden ein Lichtventil
mit Siliziumrückseite,
das eine Siliziumrückplatte
mit Bondfeldern aufweist, und ein Substrat mit angepaßtem CTE
vorgesehen.
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Daraufhin
wird die flexible Schaltung an dem Substrat mit angepaßtem CTE
angebracht, wobei die Öffnung
in der flexiblen Schaltung einen freilegenden Teil des Substrats
mit angepaßtem
CTE eingrenzt. Ein weicher Klebstoff (z.B. ein Vorläufer einer
weichen Klebschicht) wird dann über
dem freiliegenden Teil des Substrats mit angepaßtem CTE aufgebracht, und anschließend wird
das Lichtventil mit Siliziumrückseite
auf dem weichen Klebstoff positioniert. Anschließend wird der weiche Klebstoff
ausgehärtet, wodurch
sich eine weiche Klebschicht bildet, die das Lichtventil mit Siliziumrückseite
mit dem Substrat mit angepaßtem
CTE verbindet.
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Anschließend werden
Bonddrähte
zwischen den Bondfeldern der Siliziumrückplatte und den mehreren leitenden
Spuren der flexiblen Schaltung angebracht. Ein Kapselungsdamm wird
dann um das Lichtventil mit Siliziumrückseite gelegt und mit der
flexiblen Schaltung mittels einer Epoxidschicht permanent verbunden.
Eine ausreichende Menge eines weichen Kapselungsmaterials (z.B.
ein Vorläufer
der weichen Kapselungsschicht) wird anschließend über der flexiblen Schaltung,
den Bonddrähten
und der Siliziumrückplatte
aufgebracht, um die Bonddrähte
und die freiliegenden Teile der Siliziumrückplatte vollständig abzudecken.
Anschließend
wird das weiche Kapselungsmaterial ausgehärtet, wodurch die weiche Kapselungsschicht
gebildet wird. Das erfindungsgemäße Verfahren
ergibt eine Lichtventil-Packungsanordnung
mit Siliziumrückseite,
in der nur geringe Spannungen auftreten.
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Die
folgende detaillierte Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen,
in denen die Grundsätze
der Erfindung umgesetzt sind, wird in Verbindung mit der Zeichnung
ein besseres Verständnis
der Merkmale und Vorteile der Erfindung ermöglichen. In den Figuren zeigen:
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1 eine
geschnittene Seitenansicht eines Lichtventilelementes mit Siliziumrückseite;
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2 eine
geschnittene Seitenansicht einer Lichtventil-Packungsanordnung mit
Siliziumrückseite gemäß der Erfindung;
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3 eine
geschnitte Vorderansicht der Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite aus 1;
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4A und 4B eine
Draufsicht bzw. eine Seitenansicht eines Kapselungdamms gemäß der Erfindung;
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5 ein
geschnittene Seitenansicht einer Lichtventil-Packungsanordnung mit
Siliziumrückseite gemäß der Erfindung,
die einen Kapselungsdamm umfaßt;
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6 eine
geschnittene Seitenansicht einer Lichtventil-Packungsanordnung mit
Siliziumrückseite gemäß der Erfindung,
die Mittel zum Montieren derselben an einer übergeordneten Anordnung umfaßt;
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7 eine
geschnittene Seitenansicht einer Lichtventil-Packungsanordnung mit
Siliziumrückseite gemäß der Erfindung,
die an eine übergeordnete
Anordnung in Form eines Prismas montiert ist; und
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8 eine
Draufsicht auf eine Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite,
die eine Kapselungsdamm und Bonddrähte umfaßt, um die Siliziumrückwand mit
leitenden Spuren einer flexiblen Schaltung zu verbinden.
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2 und 3 zeigen
eine Ausführungsform
einer Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite 20,
die eine Siliziumrückpatte 12 aufweist,
welche an einem Substrat 22 mit angepaßtem thermischen Ausdehnungskoeffizienten
(CTE) mittels einer weichen Klebschicht 24 haftet. Die
Siliziumrückplatte 12 ist
ferner mit leitenden Spuren einer flexiblen Schaltung 26 (üblicherweise
ein Polyimid/Kupfer-Laminat) über
wenigstens einen Bonddraht 28 (üblicherweise dünne metallische
Drähte
z.B. aus Aluminium/Silizium oder Gold) elektrisch verbunden.
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Der
Begriff „Substrat
mit angepaßtem
CTE" bezeichnet
ein Substrat mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der
nicht größer als
300% des thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Siliziumrückplatte
ist. Silizium hat einen CTE von ungefähr 3,0·10–6/°C. Geeignete
Substratmaterialien mit angepaßtem
CTE umfassen Aluminiumoxidkeramik (mit einem CTE von ungefähr 7,9·10–6/°C), Aluminiumoxidnitrid
(mit einem CTE von ungefähr 4,7·10–6/°C) und Mullit,
3Al2O32SiO2 (mit einem CTE von ungefähr 4,2·10–6/°C). Im Vergleich
hierzu hat eine übliche
gedruckte Schaltungsplatte aus E-Glas und Epoxid einen CTE von ungefähr 12–16·10–6/°C in der
x-y-Richtung und von 60–80·10–6/°C in der z-Richtung.
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Der
Begriff „weiche
Klebschicht" bezeichnet eine
gehärtete
Klebstoffschicht mit einer Härte
unter 5 auf der Shore D-Skala (d.h. unter 50 auf der Shore A-Skala).
Geeignete Klebstoffe sind Epoxide und Silikone, wie die, welche
im Handel von Dow und GE erhältlich
sind. Diese weichen Klebstoffe unterscheiden sich von den Befestigungsmaterialien
für Siliziumchips,
die üblicherweise
in Verbindung mit flexiblen Schaltungen verwendet werden, z.B. Ag-gefüllte Epoxide,
weil die üblichen
Befestigungsmaterialien für
Siliziumchips Härtewerte
von ungefähr
80 auf der Shore D-Skala haben.
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Die
flexible Schaltung 26 ist eine Verdrahtungsstruktur, die
aus leitenden Spuren (z.B. aus Kupfer, Aluminium oder aus leitenden
Polymerbahnen) auf einem dünnen
Dielektrikum (z.B. Polyimid oder Polyester) aufgebaut ist. Die flexible
Schaltung kann eine einseitige, zweiseitige oder mehrschichtige Konfiguration
haben. Geeignete flexible Schaltungen sind z.B. erhältlich von
Sigma Circuits, Santa Clara, CA, USA; Dynaflex Technology, San Jose,
CA, USA; Mektek, Fremont, CA, USA; Adflex, Phoenix, AZ, USA; und
Nitto, Japan. Übliche
flexible Schaltungen auf Polyimidbasis haben einen CTE von ungefähr 18–50·10–6/°C, während flexible
Schaltungen auf Polyesterbasis einen CTE von ungefähr 31·10–6/°C haben.
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Wie
in den 2 und 3 gezeigt, wird die Siliziumrückplatte 12 über eine
weiche Klebschicht 24 an dem Substrat 22 mit angepaßtem CTE
direkt angebracht. Dies kann durch Vorsehen einer Öffnung in
der flexiblen Schaltung 26, vorzugsweise an einem Ende
der Schaltung, erreicht werden, so daß ein Teil der Oberseite des
Substrats 22 mit angepaßtem CTE frei bleibt, nachdem
das Ende der flexiblen Schaltung mit der Öffnung über das Substrat mit angepaßtem CTE
gelegt wurde. Diese besondere Konfiguration ermöglicht es, daß die Siliziumrückplatte
an dem Substrat mit angepaßtem
CTE direkt angebracht wird, anstatt an der flexiblen Schaltung,
die einen CTE aufweist, der deutlich höher ist als der der Siliziumrückplatte.
Alternativ könnte
anstelle der flexiblen Schaltung eine gedruckte Schaltungsplatte
(PCB) verwendet werden.
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Die
Unterseite der Glasdeckplatte 14 wird mit einer dünnen leitenden
Schicht aus Indiumzinnoxid (ITO) mit einer Dicke von üblicherweise
300 Angström
(nicht gezeigt) überzogen.
Die mit der dünnen leitenden
Schicht aus ITO beschichtete Glasdeckplatte 14 wird mit
der flexiblen Schaltung 26 über wenigstens eine ITO-Verbindung 30 verbunden.
Die ITO-Verbindung 30,
die üblicherweise
aus einem leitenden Epoxid hergestellt wird, ist so konzi piert,
daß sie
während
des Betriebs des Lichtventils mit Siliziumrückseite eine elektrische Vorspannung
an der dünnen
leitenden Schicht aus ITO vorsieht.
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Bonddrähte 28,
freiliegende Umfangsseiten der Siliziumrückplatte 12, die freiliegende
Oberseite des Substrats 22 mit angepaßtem CTE (d.h. der Teil der
Oberseite des Substrats mit angepaßtem CTE, über dem nicht entweder die
Siliziumrückplatte 12 oder
die flexible Schaltung 26 liegen) und ein Teil der flexiblen
Schaltung 26 werden von der weichen Kapselungsschicht 32 vollständig bedeckt,
um einen mechanischen Schutz und einen Schutz gegen Umgebungseinflüsse vorzusehen.
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Der
Begriff „weiche
Kapselungsschicht" bezeichnet
ein ausgehärtetes
oder getrocknetes Kapselungsmaterial mit einem Härtewert unter 5 auf der Shore
D-Skala (d.h. unter 50 auf der Shore A-Skala). Geeignete Kapselungsmaterialien
sind Epoxide und Silikone, wie die, die im Handel von Dow und GE
erhältlich
sind. Die weichen Kapselungsmaterialien unterscheiden sich in ihrer
Härte deutlich
von den Kapselungsmaterialien, die üblicherweise in Verbindung mit
flexiblen Schaltung eingesetzt werden und Härtewerte von 50–80 auf
der Shore D-Skala haben.
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Es
hat sich herausgestellt, daß eine
erhebliche Abweichung des CTE zwischen einem Substrat und einer
Siliziumrückplatte
zu unerwünschten
mechanischen Spannungen führt,
die aufgrund der unterschiedlichen Ausdehnung bei Temperaturschwankungen,
die entweder während
des Packungsprozesses oder des Gebrauchs auftreten, auf das Lichtventil mit
Siliziumrückseite
ausgeübt
werden. Diese Spannungen werden durch das Vorsehen einer nicht-nachgiebigen
Klebschicht zwischen dem Substrat und der Siliziumrückplatte
(welche Spannungen von dem Substrat auf die Siliziumrückplatte überträgt) und
das Vorhandensein einer nicht-nachgiebigen
Kapselungsschicht gefördert.
Diese mechanischen Spannungen bewirken eine Verwerfung (Verformung)
des Lichtventils und des dünnen
gleichmäßigen Spaltes,
und die Verwerfungen führen
ihrerseits zu optischen Interferenz-Streifenmustern. Es wurde jedoch
herausgefunden, daß dann,
wenn (i) der CTE des Substrats an den der Siliziumrückplatte ausreichend
gut angepaßt
ist, (ii) eine ausreichend große
Nachgiebigkeit in dem Klebstoff, der zum Befestigen des Lichtventils
mit Siliziumrückseite
an dem Substrat verwendet wird be reitgestellt wird, und (iii) eine
ausreichend große
Nachgiebigkeit in dem Kapselungsmaterial bereitgestellt wird, die
mechanischen Spannungen unter einem Niveau gehalten werden können, das
optische Interferenz-Streifenmuster erzeugt. Diese Kriterien werden
von der Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite
gemäß der Erfindung,
die eine Kombination aus Substrat mit angepaßtem CTE, einer weichen Klebeschicht und
einem weichen Kapselungsmaterial umfaßt, erfüllt. Diese besondere Kombination
erzeugt eine Packungsanordnung mit geringen mechanischen Spannungen,
die das unerwünschte
Verwerfen und die optischen Interferenz-Streifenmuster vermeidet.
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Es
hat sich ferner herausgestellt, daß ein Lichtventil mit Siliziumrückseite
mit einem dünnen, präzise bemessenen,
gleichmäßigen LCD-Spalt
zwischen der Siliziumrückplatte
und der Glasdeckplatte wesentlich empfindlicher gegen mechanische
Spannungen ist als übliche
Halbleiterbauteile, wie Speicher oder Logikschaltungen. Im Falle
eines Halbleiterbauteils muß das
Niveau der mechanischen Spannung nur ausreichend niedrig gehalten
werden, um ein Reißen
des Siliziums zu vermeiden. Im Falle von Lichtventilen mit Siliziumrückseite
müssen
die mechanischen Spannung jedoch auf einem niedrigeren Niveau gehalten
werden, weil die unerwünschten
optischen Streifenmuster bei einem Spannungsniveau erzeugt werden,
das deutlich niedriger liegt als das Spannungsniveau, bei dem das
Silizium zu reißen beginnt.
Im Falle der Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite
gemäß der Erfindung
wird die spannungsempfindliche Bauweise der Lichtventile mit Siliziumrückseite
jedoch kompensiert, indem die Kombination aus weicher Klebschicht,
weichem Kapselungsmaterial und Substrat mit angepaßtem CTE vorgesehen
wird.
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4A und 4B zeigen
einen Kapselungsdamm 40, der in einer Ausführungsform
der Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite gemäß der Erfindung enthalten ist.
Der Kapselungsdamm 40 kann z.B. aus einem ULTEM-Material
hergestellt sein, das durch mechanische Bearbeitung oder Gießen in die
gewünschte
Form gebracht werden kann. Auch Kunststoffe der ABS-Klasse (ABS
= Acrylonitrilbutadienstyren) und Polycarbonate eignen sich, weil
mit ihnen kostengünstige,
durch Gießen
geformte Kapselungsdamme hergestellt werden können. Ein Kapselungsdamm 40 ist
im wesentlichen ein gegossener oder durch mechanische Bearbeitung geformter
Ring, der dazu bestimmt ist, an einer flexiblen Schaltung oder einer
gedruckten Schaltungsplatte angebracht zu werden.
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5 zeigt
eine Lichtventil-Packungsanordnung 50 mit Siliziumrückseite,
die einen Kapselungsdamm 40 aufweist (der äquivalent
ist zu den in den 4A und 4B gezeigten
ist). Der Kapselungsdamm 40 ist an einer flexiblen Schaltung 26 über eine Schicht
aus Epoxidklebstoff (in 5 nicht gezeigt) befestigt.
Der Kapselungsdamm 40 umgibt das Lichtventil mit Siliziumrückseite
und definiert eine Grenze (oder einen Hohlraum), innerhalb derer
Kapselungsmaterial eingeschlossen sein wird. Der Kapselungsdamm 40 verhindert
daher, daß sich
das Kapselungsmaterial über
den Umfangsbereich der Packungsanordnung ausbreitet, und stellt
sicher, daß es
ausreichend Höhe
annimmt, um die Bonddrähte 28 vollständig abzudecken
und zu schützen.
Da der Kapselungsdamm 40 den Umfangsbereich reduziert,
der ansonsten notwendig wäre,
um die weiche Kapselungsschicht aufzunehmen, verringert sich die
Größe der Packungsanordnung
erheblich.
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Ein
bevorzugtes Verhältnis
der Höhe
des Kapselungsdamms zu seiner Breite ist 2:1 oder größer. Dieses
Verhältnis
stellt sicher, daß die
Höhe der weichen
Kapselungsschicht ausreichend ist, um die Bonddrähte vollständig abzudecken, während noch eine
relativ kleine Packungsgröße beibehalten
wird. Wenn das Verhältnis
der Höhe
des Kapselungsdamms zu seiner Breite geringer ist als 2:1, bedeckt der
Kapselungsdamm selbst einen größeren Anteil der
Umfangsfläche
als notwendig.
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6 und 7 zeigen
eine andere Ausführungsform
der Erfindung, bei der eine Lichtventil-Packungsanordnung 60 mit Siliziumrückseite
einen kombinierten Montagerahmen und Kapselungsdamm 62 aufweist,
der sowohl als Kapselungsdamm als auch als Montagerahmen dient,
um die Lichtventil-Packungsanordnung mit Siliziumrückseite 60 an einer übergeordneten
Anordnung anzubringen, wie einem Prisma 70, das in 7 gezeigt
ist. Wie in 6 gezeigt, wurde die Höhe des kombinierten Montagerahmens
und Kapselungsdamms 62 im Vergleich zu dem Kapselungsdamm 40 in 5 vergrößert, um
seine zusätzliche
Funktion als Montagerahmen für
eine übergeordnete
Anordnung zu unterstützen.
Ferner kann die Breite des kombinierten Montagerahmens und Kapselungsdamms 62 innerhalb
des obenge nannten Verhältnisses
variiert werden, um einen größeren Oberflächenbereich
für das
Aufbringen eines Klebstoffs und das Verbinden mit einer übergeordneten
Anordnung vorzusehen (siehe z.B. 7), während die
Größe der Lichtventil-Packungsanordnung
mit Siliziumrückseite
noch immer relativ klein gehalten wird. Alternativ können Ecken
des kombinierten Montagerahmens und Kapselungsdamms 62 „ausgefüllt" werden, um eine
zusätzliche
Fläche
für die
Verbindung mit einer übergeordneten
Anordnung vorzusehen.
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Eine
beispielhafte Packungsanordnung mit Siliziumrückseite ist so konzipiert,
daß sie
ein Lichtventil mit Siliziumrückseite
mit einer Pixelfläche
(13,1 mm breit und 16,3 mm lang) und eine Glasdeckplatte (16,1 mm
breit und 20,2 mm lang) hält.
Diese Anordnung umfaßt
ein Substrat mit angepaßtem
Temperaturkoeffizienten aus einer Aluminiumoxidkeramik (19,2 mm
breit, 29,8 mm lang und 0,79 mm dick). An dem Substrat mit angepaßtem Temperaturkoeffizienten
ist eine flexible Schaltung angebracht, die aus Kupfer und Polyimid
hergestellt ist und 40 Kupferspuren umfaßt. Die flexible Schaltung
hat eine Öffnung (16,1
mm breit und ungefähr
21 mm lang), vorzugsweise an einem ihrer Enden, welche über dem
Substrat mit angepaßtem
Temperaturkoeffizienten liegt. An diesem Ende ist die Breite der
flexiblen Schaltung gleich der des Substrats mit angepaßtem Temperaturkoeffizienten
(19,2 mm). Die Breite der flexiblen Schaltung ist am anderen Ende
der Länge
der flexiblen Schaltung, welche 508 mm beträgt, auf 51,2 mm aufgefächert. Die Öffnung der
flexiblen Schaltung grenzt eine freiliegende Oberfläche des
Substrats mit angepaßtem
Temperaturkoeffizienten ein (wie in den 2, 3, 5 und 6 gezeigt).
Die Öffnung ist
von einem ULTEM-Kapselungsdamm mit einer Breite von 0,51 mm und
einer Höhe
von 1,02 mm umgeben.
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Die
Erfindung sieht auch ein Verfahren zum Herstellen einer Lichtventil-Packungsanordnung
mit Siliziumrückseite
vor. Zunächst
wird eine flexible Schaltung vorgesehen, die mehrere leitende Spuren aufweist,
welche Eingangssignale an ein Lichtventil mit Siliziumrückseite
liefern können
(z.B. die Logiksignale und Spannungen, die zum Betreiben des Lichtventils
und Aufbauen eines Bildes notwendig sind). Dann wird in der flexiblen
Schaltung eine Öffnung ausgebildet,
vorzugsweise an einem Ende. Die flexible Schaltung wird dann an
dem Substrat mit angepaßtem
Temperaturkoeffizienten so angebracht, daß ein Teil der Oberseite des
Substrats mit angepaßtem Temperaturkoeffizienten
freiliegt.
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Als
nächstes
wird ein weicher Klebstoff auf die freiliegende Oberfläche des
Substrats mit angepaßtem
Temperaturkoeffizienten aufgebracht. Dann wird ein Lichtventil mit
Siliziumrückseite,
das eine Siliziumrückplatte
(Silizium-Backplane) mit Bondflecken aufweist, vorgesehen und über dem
weichen Klebstoff positioniert. Anschließend wird der weiche Klebstoff
ausgehärtet,
um eine weiche Klebschicht zu bilden. Die weiche Klebschicht verbindet
das Lichtventil mit Siliziumrückseite
mit der freiliegenden Oberseite des Substrats mit angepaßtem Temperaturkoeffizienten.
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Anschließend werden
Bonddrähte
zwischen den Bondflecken auf der Silizium-Backplane und den leitenden
Spuren der flexiblen Schaltung angebracht. Ein Kapselungsdamm (oder
ein kombinierter Montagerahmen und Kapselungdamm) wird anschließend vorgesehen
und mit Hilfe eine Epoxidklebstoffs derart an der flexiblen Schaltung
befestigt, daß er
das Lichtventil mit Siliziumrückseite
umgibt. Anschließend wird
ein weiches Kapselungsmaterial in dem Bereich aufgebracht, der von
dem Kapselungsdamm eingeschlossen ist, um die Bonddrähte, die
freiliegende Oberseite des Substrats mit angepaßtem Temperaturkoeffizienten
und Teile der flexiblen Schaltung und der Silizium-Backplane vollständig zu
bedecken. Schließlich
wird das weiche Kapselungsmaterial ausgehärtet, um eine weiche Kapselungsschicht
zu bilden. Die resultierende Ventilanordnung mit Siliziumrückseite
ist äquivalent
den in 5 (mit dem Kapselungsdamm), 6–7 (mit
dem kombinierten Montagerahmen und Kapselungdamm) und 8 (in dem
die weiche Kapselungsschicht nicht gezeigt ist) gezeigten.
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Man
sollte verstehen, daß zahlreiche
Alternativen der hier beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung
bei der Umsetzung der Erfindung eingesetzt werden können. Die
folgenden Ansprüche sollen
den Bereich der Erfindung definieren, und Verfahren und Strukturen
innerhalb des Bereichs dieser Ansprüche sowie deren Äquivalente
sollen durch die Ansprüche
umfaßt
sein.