DE19901340A1 - Reibungsvakuumpumpe mit Chassis, Rotor und Gehäuse sowie Einrichtung, ausgerüstet mit einer Reibungsvakuumpumpe dieser Art - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe (1) mit Chassis (5), Stator (3), Rotor (4) und Gehäuse; alle Funktionselemente der Pumpe sind zu einer Einheit (22) zusammengefaßt, die ihrerseits in ein der Applikation angepaßtes Gehäuse (19, 55) eingeschoben wird; durch diese Maßnahme können gesonderte Anschlußgehäuse entfallen und optimale Leitwertsituationen erzielt werden.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Reibungsvakuumpumpe mit Chassis, Rotor und Gehäuse. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine Einrichtung, die mit einer zu evakuierenden Kammer und mit einer Reibungsvakuumpumpe dieser Art ausgerüstet ist.

Aus der DE-A-43 14 419 sind verschiedene Reibungsvaku­ umpumpen (Turbomolekularpumpen, Pumpen mit Turbomoleku­ larpumpenstufen und anderen Reibungspumpenstufen) mit einer Bauart bekannt, wie sie z.Zt. üblich ist und auf dem Markt angeboten wird. Sie besitzen ein Chassis, das mit dem Antriebsmotor ausgerüstet ist und auf dem sich der Rotor abstützt. Außerdem stützt sich das Gehäuse der Pumpe auf dem Chassis ab. Es umgibt den Rotor und den Stator und auch mehr oder weniger das Chassis. Das Gehäuse sichert die Zuordnung der genannten Bauteile zueinander. Weiterhin hat es die Aufgabe, den aus Sta­ torhalbring-Scheiben und Distanzringen bestehenden Sta­ tor exakt zu zentrieren, damit die bei Reibungsvakuum­ pumpen notwendigen kleinen Spalte eingehalten werden können. Das Gehäuse dichtet die Vakuumpumpe nach außen hin ab. Schließlich ist es mit dem stirnseitig angeord­ neten Anschlussflansch ausgerüstet, mit dem die Rei­ bungsvakuumpumpen an Einrichtungen mit zu evakuierenden Kammern angeschlossen werden. Da es unterschiedliche Flanscharten und Flanschgrößen gibt, ist es für den Hersteller von Reibungsvakuumpumpen notwendig, eine Vielzahl von Reibungsvakuumpumpen-Typen herzustellen und bereitzuhalten, um sämtliche Applikationswünsche der Kunden erfüllen zu können.

Weiterhin ist es aus der DE-A-43 31 589 bekannt, Rei­ bungsvakuumpumpen mit mehreren Anschlussöffnungen aus­ zurüsten. Diese haben jeweils ein unterschiedliches Druckniveau. Reibungsvakuumpumpen dieser Art dienen vorzugsweise der Evakuierung von Korpuskularstrahlge­ räten (z. B. Massenspektrometern) mit durch Blenden von­ einander getrennten Kammern, in denen während des Be­ triebs des Korpuskularstrahlgerätes unterschiedliche Drücke erzeugt und aufrecht erhalten werden sollen. Ap­ plikationen dieser Art vergrößern in erheblichem Maße den Aufwand für die Herstellung und/oder Bereithaltung von Reibungsvakuumpumpen, die für möglichst viele Kun­ denwünsche geeignet sein sollen.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Anpassung von Reibungsvakuumpumpe an die Vielfalt der durch die Kunden vorgegebenen Applikationen zu ver­ einfachen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass das Gehäuse aus zwei Gehäuseteilen besteht, dass das erste, innere Gehäuse im wesentlichen zylindrisch aus­ gebildet ist, den Stator umgibt und mit einer Durch­ trittsöffnung für die in die Pumpe eintretenden Gase ausgerüstet ist und dass das zweite Gehäuse eine das erste Gehäuse mit den darin befindlichen Bauteilen der Pumpe aufnehmende Bohrung aufweist. Durch diese Maßnah­ men wird es möglich, die eingangs beschriebenen Funk­ tionen des bisher üblichen, einteiligen Gehäuses auf zwei Gehäuse zu verteilen. Das innere Gehäuse sichert die Zuordnung der einzelnen Bauteile der Reibungsvaku­ umpumpe zueinander. Dadurch entsteht eine Reibungsvaku­ umpumpe in Form eines Einschubs, die bereits vielen Funktionsprüfungen, z. B. der des Auswuchtens, unterwor­ fen werden kann. Das äußere Gehäuse hat die Aufgabe, die auch ohne äußeres Gehäuse funktionstüchtige Rei­ bungsvakuumpumpe an die Applikation des Kunden anzupas­ sen. Es ist nicht mehr erforderlich, eine Vielfalt von Reibungspumpentypen herzustellen oder bereitzuhalten, sondern lediglich eine oder wenige universelle, kom­ pakte und funktionsfähige Pumpeinheiten (Einschübe, Kartuschen) sowie die den jeweiligen Kundenapplikatio­ nen angepassten äußeren Gehäuse.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass es auch möglich ist, dem Kunden den Bau des zwei­ ten, äußeren Gehäuses zu überlassen. Es reicht aus, den Kunden über die äußeren Abmessungen der einschubförmi­ gen Reibungsvakuumpumpe zu informieren. Eine besonders einfache Lösung für ihn besteht darin, dass er in dem Gehäuse oder Gehäuseteil seiner Einrichtung (Anlage, Gerät oder dergleichen mit einer oder mehreren zu eva­ kuierenden Kammern) eine Bohrung vorsieht, in die die einschubförmige Reibungsvakuumpumpe eingesetzt werden kann. Im betriebsfertigen Zustand bildet dann das Ge­ häuse oder Gehäuseteil der Einrichtung des Kunden das zweite äußere Gehäuse der erfindungsgemäßen Reibungsva­ kuumpumpe. Dadurch entfällt ein separates, aufwendiges Anschlussgehäuse. Außerdem werden Leitwertverluste durch die kammernahe Anbindung der Reibungsvakuumpumpe klein gehalten und damit die prozessabhängigen niedri­ gen Kammerdrücke realisiert. Eine optimale-Leitwert-Si­ tuation wird erreicht.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausfüh­ rungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen

• - Fig. 1 eine mit drei Pumpstufen ausgerüstete Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,
• - Fig. 2 eine Turbomolekularvakuumpumpe nach der Erfindung,
• - Fig. 3 eine mit einer Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung ausgerüstete Einrichtung und
• - Fig. 4 und 5 Schnitte durch eine Ausführung des Einschubs mit Zugankern.

In Fig. 1 ist eine Reibungsvakuumpumpe 1 mit Stator 3, Rotor 4 und Chassis 5 dargestellt. Im Chassis 5 befin­ det sich der Motorantrieb 6, 7, dessen Anker 7 sich über die Lager 8 im Chassis 5 abstützt. Mit dem Anker 7 ist die aus dem Chassis 5 herausgeführte Welle 9 ver­ bunden, die den Rotor 4 trägt. Die Drehachse des Rotor­ systems ist mit 11 bezeichnet.

Insgesamt besitzt die Reibungsvakuumpumpe 1 nach Fig. 1 drei Pumpstufen 12, 13, 14, von denen zwei (12, 13) als Turbomolekularvakuumpumpstufen und eine (14) als Molekular(Holweck)-Pumpstufe ausgebildet sind. An die Molekularpumpstufe 14 schließt sich der Auslass der Pumpe 17 an.

Erfindungsgemäß ist die Pumpe 1 mit zwei Gehäusen 18, 19 ausgerüstet. Das innere Gehäuse 18 ist im wesentli­ chen zylindrisch und umgibt den Stator 3. Auf seiner hochvakuumseitigen Stirnseite ist es mit einem nach in­ nen gerichteten Rand 20 ausgerüstet, der dem Stator 3 aufliegt und in diesem Falle gleichzeitig den oberen Statorring bildet. Vorvakuumseitig ist das Gehäuse 18 am Chassis 5 befestigt, und zwar mit Hilfe des Flan­ sches 21. Flansch 21 und Chassis 5 sind vakuumdicht miteinander verbunden. Dazu ist zwischen dem Flansch 21 und dem Chassis 5 der Dichtring 21' angeordnet.

Das äußere Gehäuse 19 besitzt eine innere Bohrung 22 mit einer einwärts gerichteten Stufung 23, deren Höhe der Breite des Randes 20 am ersten Gehäuse 18 ent­ spricht. Zwecks Abdichtung des Spaltes zwischen den beiden Gehäusen 18, 19 zur Hochvakuumseite der Pumpe 1 hin befindet sich zwischen deren Rand 20 und der Stu­ fung 23 eine Dichtung 24, die zweckmäßig in die Stirn­ seite des Gehäuses 18 eingelassen ist. Auch eine ra­ diale Abdichtung ist möglich. Vorvakuumseitig besitzt auch das Gehäuse 19 eine Vorrichtung, z. B. den Flansch 25, mit dem es am Chassis 5 oder auch am Gehäuse 18 be­ festigt ist. Nach dem Lösen dieser Befestigung kann die vom inneren Gehäuse 18 und den darin befindlichen Bau­ teilen gebildete Einheit als Ganzes aus der Bohrung 22 herausgenommen werden. Sie bildet einen vom zweiten Ge­ häuse 19 unabhängigen Einschub 27.

Die erste, hochvakuumseitig gelegene Pumpstufe 12 be­ steht aus vier Paaren von Rotorschaufelreihen und Sta­ torschaufelreihen. Ihr Einlass, die wirksame Gasdurch­ trittsfläche, ist mit 26 bezeichnet. Der Rand 20 umgibt die Gasdurchtrittsfläche 26 und bildet eine Durch­ trittsöffnung 28 für in die Pumpe 1 eintretenden Gase. An die erste Pumpstufe 12 schließt sich die zweite Pumpstufe 13 an, die aus drei Paaren von je einer Sta­ torschaufelreihe und einer Rotorschaufelreihe besteht. Ihr Einlass ist mit 29 bezeichnet.

Die zweite Pumpstufe 13 ist von der ersten Pumpstufe 12 beabstandet. Der gewählte Abstand (Höhe) a sichert die freie Zugänglichkeit der zu fördernden Gasmoleküle zum Gaseinlass 29. Zweckmäßig ist der Abstand a größer als ein Viertel, vorzugsweise größer als ein Drittel des Durchmessers des Rotorsystems 4.

Die sich daran anschließende Holweck-Pumpe umfasst ei­ nen rotierenden Zylinderabschnitt 30, dem außen und in­ nen in bekannter Weise mit jeweils einer Gewindenut 31, 32 ausgerüstete Statorelemente 33, 34 gegenüberstehen.

Eine weitere, vom inneren Gehäuse 18 gebildete Öffnung ist seitlich angeordnet und mit 35 bezeichnet. Sie dient dem Durchtritt von Gasen, die unmittelbar dem Einlass 29 der zweiten Pumpstufe 13 zugeführt werden.

Das äußere Gehäuse 19 hat die Aufgabe, die Pumpe 1 bzw. zwei Pumpenstufen (12, 13) dieser Pumpe mit der Ein­ richtung des Kunden zu verbinden. Das Gehäuse 19 ist beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 derart ausgebil­ det, dass sich die Ebenen sämtlicher Verbindungsöffnun­ gen 36, 37 seitlich befinden. Dadurch ist insbesondere der Abstand der Öffnung 37 zum zugehörigen Gaseinlass 29 sehr klein, so dass das Saugvermögen der Pumpstufe 13 beeinträchtigende Leitwertverluste vernachlässigbar sind. Dieses würde auch für jeden weiteren Zwischenan­ schluss gelten, der stromabwärts vom Zwischenanschluss 37/29 gelegen wäre. Im übrigen überschreitet der Durch­ messer der Anschlussöffnung 37 die Höhe a um etwa das Doppelte. Auch diese Maßnahme dient der Verringerung der Leitwertverluste zwischen Einlass 29 und An­ schlussöffnung 37. Die seitlichen Verbindungsöffnungen können mit je einem Flansch ausgerüstet sein. Beim Aus­ führungsbeispiel nach Fig. 1 ist ein gemeinsamer Flansch 39 vorgesehen.

Die dargestellte Pumpe 1 bzw. ihre pumpwirksamen Ele­ mente (Stator-, Rotorschaufeln, Gewindestufen) sind zweckmäßig derart ausgebildet, dass im Bereich der An­ schlussöffnung 36 ein Druck von 10^-4 bis 10^-7, vorzugs­ weise 10^-5 bis 10^-6, und im Bereich der Anschlussöffnung 37 ein Druck von etwa 10^-2 bis 10^-4 mbar erzeugt wird. Dadurch ergibt sich für die erste Pumpstufe 12 die Not­ wendigkeit, für ein Kompressionsverhältnis von 10² bis 10⁴, vorzugsweise größer 100, zu sorgen. Mit der zwei­ ten Pumpstufe soll ein hohes Saugvermögen erzeugt wer­ den (z. B. 200 l/s). Die sich anschließende, zweistufige Holweck-Pumpstufe (29, 30; 29, 31) sichert eine hohe Vorvakuumbeständigkeit, so dass üblicherweise das Saug­ vermögen der zweiten Pumpstufe vom Vorvakuumdruck unab­ hängig ist.

Für den Fall, dass im Bereich der Anschlussöffnung 36 ein besonders hohes Saugvermögen nicht gefordert wird, kann dieses Ziel durch entsprechende Gestaltung der Schaufeln der ersten Pumpstufe 12 erreicht werden. Eine andere Möglichkeit besteht darin, vor dem Einlass 26 der ersten Pumpstufe eine Blende 38 anzuordnen, deren Innendurchmesser das gewünschte Saugvermögen bestimmt.

Fig. 2 zeigt eine einflutige Reibungsvakuumpumpe 1, deren pumpaktive Flächen ausschließlich von Stator­ schaufeln 41 und Rotorschaufeln 42 gebildet werden (Turbomolekularvakuumpumpe). Das zweite, äußere Gehäuse 19 trägt stirnseitig den Flansch 43, der die stirnsei­ tig angeordnete Verbindungsöffnung 44 umgibt. Um eine Pumpe 1 dieser Art mit einer anderen Flanschart und/oder Flanschgröße auszurüsten, ist es lediglich er­ forderlich, das äußere Gehäuse 19 zu demontieren und durch ein Gehäuse 19 mit dem gewünschten Flansch zu er­ setzen.

Fig. 3 zeigt eine Einrichtung 51 nach der Erfindung mit zu evakuierenden Kammern 52, 53, 54 und einer ein­ schubförmigen Einheit 27, wie sie zu Fig. 1 beschrie­ ben wurde. Das Gehäuse der Einrichtung - z. B. ein Kor­ puskularstrahlgerät - ist im wesentlichen einstückig ausgebildet und mit 55 bezeichnet. In unmittelbarer Nähe der zu evakuierenden Kammern 53, 54 ist das Ge­ häuse mit der Bohrung 22 ausgerüstet, in der sich der Einschub 27 befindet. Über die Durchtrittsöffnungen 28, 35 im Gehäuse 18 des Einschubs 27 und die Verbindungs­ öffnungen 36, 37 stehen die Kammern 53, 54 mit den je­ weiligen Einlässen 26, 29 in Verbindung. Durch die In­ tegration des Einschubs 27 im Gehäuse der Einrichtung 51 entfallen gesonderte Anschlussmittel. Die Abstände zwischen den zu evakuierenden Kammern 53, 54 und den Einlässen 26, 29 sind optimal klein.

Der Kern der vorliegenden Idee liegt darin, dass eine weitgehend funktionsfähige Einheit (Einschub, Kartu­ sche) einer Reibungsvakuumpumpe in einem der Applika­ tion angepassten Gehäuse lösbar gehaltert ist. Das bis­ her beschriebene innere Gehäuse 18 hat die Aufgabe, die Funktionselemente der Reibungsvakuumpumpe zu der ge­ wünschten Einheit zusammenzufassen. Anstelle des Gehäu­ ses können auch andere Bauteile - z. B. Zuganker, Klam­ mern oder dgl. - vorhanden sein, die diese Aufgabe er­ füllen. Wesentlich ist, dass für die Erfüllung der Funktionen des sonst üblichen Gehäuses beim Gegenstand der Erfindung zwei Bauelemente 18 bzw. 19, 55 vorgesehen sind. Bei den Ausführungen nach den Fig. 1 bis 3 werden die beiden Bauelemente von zwei konzentrischen Gehäusen gebildet, von denen das innere der Zentrie­ rung, Zuordnung und Halterung von Chassis 5, Stator 3 und Rotor 4 dient, welche dadurch den bereits betriebs­ fähigen, vom äußeren Gehäuse unabhängigen Einschub bil­ den. Das äußere Gehäuse 19, 55 dichtet die Vakuumpumpe nach außen ab und dient der Verbindung mit den zu eva­ kuierenden Kammern, sei es über Anschlussflansche oder dadurch, dass es bereits Bestandteil der Einrichtung mit den zu evakuierenden Kammern ist.

Besonders zweckmäßig ist es, beim inneren Einschub das innere Gehäuse durch ein Zugankersystem zu ersetzen. Dieses ermöglicht eine kompaktere Gestaltung des inne­ ren Einschubs. Außerdem können vom Zugankersystem zu­ sammengehaltene Bauteile einfacher hergestellt werden. Beispielsweise übernehmen die Zuganker die Zentrierung von Statorringen, so dass diese selbst nicht mehr mit Zentriermitteln ausgerüstet sein müssen.

Die Fig. 4 und 5 zeigen Ausführungsbeispiele (Fig. 4: Längsschnitt durch einen Einschub 27; Fig. 5: Quer­ schnitt durch einen Einschub 27 in Höhe der Öffnung 35) für einen inneren Einschub 27 mit einem Zugankersystem 61. Dieses umfasst drei bis sechs (oder mehr) Zuganker 62 sowie Bohrungen und Gewinde in den Bauteilen (Chassis 5, Stator 3), die vom Zugankersystem 61 zu einer Baueinheit zusammengefügt werden sollen.

Die Fig. 4 und 5 lassen erkennen, dass sich die Öff­ nung 35 über den gesamten Umfang des Einschubs 27 er­ streckt und nur durch die Zuganker 62 unterbrochen ist. Der Zugang der Gasmoleküle zum Einlass 29 der Pumpstufe 13 (in Fig. 5 in Draufsicht dargestellt) ist dadurch nahezu ungehindert frei. Die Befestigung des äußeren Gehäuses - sei es das zweite Gehäuse 18, das weitere Funktionen eines Pumpgehäuses erfüllt, oder ein Gehäuse 55, das Bestandteil eines Gerätes mit zu evakuierenden Kammern ist - erfolgt am Flansch 21 des Chassis 5.

Fig. 4 lässt den Aufbau besonders vorteilhaft gestal­ teter Zuganker 62 erkennen. Sie sind zweiteilig ausge­ bildet. Die vorvakuumseitigen Zugankerabschnitte 63 mit ihren Köpfen 64 durchsetzen die Statorringe der Pump­ stufe 13 und das äußere Statorelement 33 der Pumpstufe 14. Ihre mit einem Gewinde versehenen Enden sind in den Flansch 21 des Chassis 5 eingeschraubt. Die Länge der Köpfe 64 bestimmt die axiale Ausdehnung der Öffnung 35.

Im Bereich ihrer hochvakuumseitigen Stirnseite sind die Köpfe 64 jeweils mit einem Innengewinde versehen, in die jeweils hochvakuumseitige Zugankerabschnitte 65 einschraubbar sind. Ihre Köpfe 66 liegen dem obersten Statorring der Pumpstufe 13 auf. In übrigen durchsetzen sie die Statorringe der Pumpstufe 12 und bewirken dadurch im eingeschraubten Zustand nicht nur eine Verbindung der Hochvakuumstufe 12 mit den übrigen Stufen 13 und 14 sondern auch eine Zentrierung der Statorringe.

Claims (27)

1. Reibungsvakuumpumpe (1) mit Chassis (5), Stator (3), Rotor (4) und Gehäuse, dadurch gekennzeich­ net, dass das Gehäuse aus zwei Gehäuseteilen (18; 19, 55) besteht, dass das erste, innere Gehäuse (18) im wesentlichen zylindrisch ausgebildet ist, den Stator (3) umgibt und mit einer Durchtritts­ öffnung (28, 35) für die in die Pumpe eintretenden Gase ausgerüstet ist und dass das zweite Gehäuse (19, 55) eine das erste Gehäuse mit den darin be­ findlichen Bauteilen der Pumpe aufnehmende Bohrung (22) sowie Verbindungsöffnungen (36, 37, 44) auf­ weist.

2. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das zweite Gehäuse (19) mit ei­ nem Anschlussflansch (39, 43) ausgerüstet ist.

3. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der Anschlussflansch (39) seit­ lich am zweiten Gehäuse (19) angeordnet ist.

4. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das zweite Gehäuse (55) Be­ standteil des Gehäuses oder von Gehäuseteilen ei­ ner Einrichtung (51) ist, die eine zu evakuierende Kammer aufweist.

5. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich im Bereich der Hochvakuumseite der Pumpe zwischen innerem Gehäuse (18) und äußerem Gehäuse (19, 55) eine Dichtung (24) befindet.

6. Reibungsvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass inneres und äuße­ res Gehäuse (18; 19, 55) im Bereich der Vorvakuum­ seite der Pumpe mit Flanschen ausgerüstet sind, die am Chassis (5) lösbar befestigt sind.

7. Reibungsvakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) hochvakuumseitig mit einem nach innen gerichteten Rand (20) ausgerüstet ist.

8. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der nach innen gerichtete Rand (20) einen ersten, hochvakuumseitig angeordneten Statorring bildet.

9. Reibungsvakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der hoch­ vakuumseitigen Stirnseite des inneren Gehäuses (18) eine stufenförmige Verjüngung (23) der Boh­ rung (22) des äußeren Gehäuses (19, 55) zugeordnet ist.

10. Reibungsvakuumpumpe nach den Ansprüchen 5 und 9, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der Stirnseite des inneren Gehäuses (18) und der von der Durchmesserverjüngung gebildeten Stufe (23) des äußeren Gehäuses (19, 55) ein O-Ring (24) be­ findet.

11. Reibungsvakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das hoch­ vakuumseitig gelegene Ende des inneren Gehäuses (18) eine Durchtrittsöffnung (28) für die in die Pumpe eintretenden Gase bildet.

12. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 11, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) mit mindestens einer weiteren stormabwärts gelegenen Durchtrittsöffnung (35) für eintretende Gase aus­ gerüstet ist.

13. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 11 oder 12, da­ durch gekennzeichnet, dass im äußeren Gehäuse (19, 55) ein oder mehrere Verbindungskanäle ausgebildet sind, die die Verbindung zwischen den Durchtritts­ öffnungen (28, 35) und einer oder mehreren zu eva­ kuierenden Kammern (52 bis 55) herstellen.

14. Einrichtung mit einer evakuierbaren Kammer (52 bis 55) und mit einem Gehäuse (55) sowie mit einer ebenfalls ein Gehäuse aufweisenden Reibungsvakuum­ pumpe, die mit der evakuierbaren Kammer verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse der Reibungsvakuumpumpe (1) aus zwei Gehäuseteilen (18; 19, 55) besteht, dass das erste, innere Ge­ häuse (18) im wesentlichen zylindrisch ausgebildet ist, den Stator (3) umgibt und mit einer Durch­ trittsöffnung (28, 35) für die in die Pumpe ein­ tretenden Gase ausgerüstet ist und dass das zweite Gehäuse (19, 55) eine das erste Gehäuse mit den darin befindlichen Bauteilen der Pumpe aufnehmende Bohrung (22) sowie Verbindungsöffnungen (36, 37, 43) aufweist, dass das zweite Gehäuse (19) mit ei­ nem Anschlussflansch (39, 43) ausgerüstet ist und dass die Einrichtung über dem Flansch (39, 43) mit der Reibungsvakuumpumpe in Verbindung steht.

15. Einrichtung mit einer evakuierbaren Kammer (52 bis 55) und mit einem Gehäuse (55) sowie mit einer ebenfalls ein Gehäuse aufweisenden Reibungsvakuum­ pumpe, die mit der evakuierbaren Kammer verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse aus zwei Gehäuseteilen (18; 19, 55) besteht, dass das erste, innere Gehäuse (18) im wesentlichen zylin­ drisch ausgebildet ist, den Stator (3) umgibt und mit einer Durchtrittsöffnung (28, 35) für die in die Pumpe eintretenden Gase ausgerüstet ist und dass das zweite Gehäuse (19, 55) eine das erste Gehäuse mit den darin befindlichen Bauteilen der Pumpe aufnehmende Bohrung (22) sowie Verbindungs­ öffnungen (36, 37, 43) aufweist, dass das zweite Gehäuse (19) mit einem Anschlussflansch (39, 43) ausgerüstet ist und dass das äußere Gehäuse (19) der Reibungsvakuumpumpe Bestandteil des Gehäuses oder eines Gehäuseteiles (55) der Einrichtung selbst ist.

16. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich­ net, dass die Reibungsvakuumpumpe mehrstufig aus­ gebildet ist, dass die Kammern (52, 53, 54) seit­ lich neben der Reibungsvakuumpumpe angeordnet sind und die Kammern über Durchtrittsöffnungen (28, 35) im inneren Gehäuse (18) und Verbindungsöffnungen (36, 37) im gemeinsamen Gehäuse (55) mit dem Ein­ lass (26, 29) von Reibungspumpenstufen (12, 13, 14) verbunden sind.

17. Reibungsvakuumpumpe mit Chassis (5), Stator (3), Rotor (4) und Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass Bestandteil der Pumpe ein zu einer Einheit (22) zusammengefügter Einschub ist.

18. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 17, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Funktionselemente der Pumpe von einem inneren Gehäuse (18) oder anderen Bau­ teilen (Zuganker, Klammern oder dgl.) in Form ei­ nes Einschubs zusammengehalten werden.

19. Reibungsvakuumpumpe mit Chassis (5), Stator (3), Rotor (4) und Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass für die Erfüllung der Funktionen des Gehäuses zwei Bauelemente (18; 19, 55; 61) vorgesehen sind, dass das erste, innere Bauelement (18, 61) der Zu­ ordnung, Zentrierung und Halterung von Chassis (5), Stator (3) und Rotor (4) dient und mit diesen Bauteilen eine Einheit bildet, und dass das zweite Bauelement ein diese Einheit aufnehmendes Gehäuse (19, 55) ist.

20. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 19, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das erste Bauelement von einem Zugankersystem (61) gebildet wird.

21. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 20, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Zugankersystem (61) mehrere Zuganker (62) umfasst, die den Stator (3) mit dem Chassis (5) verbinden.

22. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Zuganker (62) den Stator (3) achsparallel durchsetzen.

23. Reibungsvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 19 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (3) Statorringe umfasst.

24. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 22 und Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) die Statorringe durchsetzen.

25. Reibungsvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 19 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) zweiteilig ausgebildet sind und jeweils aus einem vorvakuumseitigen Zugankerabschnitt (63) mit Kopf (64) und einem hochvakuumseitigen Zugankerab­ schnitt (65) mit Kopf (66) bestehen.

26. Reibungsvakuumpumpe nach Anspruch 25, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Länge des Kopfes (64) des vorvakuumseitigen Zugankerabschnittes (63) die axiale Ausdehnung einer Durchtrittsöffnung (35) zwischen Hochvakuumstufe (12) und Vorvakuumstufe (13 bzw. 13, 14) bestimmt.

27. Reibungsvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass die Köpfe (64) der vorvakuumseitigen Zugstandenabschnitte (63) jeweils stirnseitig mit einem Gewinde ausge­ rüstet sind, in das die hochvakuumseitigen Zugan­ kerabschnitte (65) einschraubbar sind.