DE19848474C1

DE19848474C1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung keramischer Formkörper mittels Setterplatten und Verendung des Verfahrens zur Herstellung keramischer Mehrschichthybride

Info

Publication number: DE19848474C1
Application number: DE19848474A
Authority: DE
Inventors: Ulrich Eisele
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1998-10-21
Filing date: 1998-10-21
Publication date: 2000-01-13
Anticipated expiration: 2018-10-22
Also published as: WO2000024051A1; US6808676B1; EP1135799A1

Abstract

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung keramischer Formkörper, insbesondere keramischer Folien oder mit Leiterbahnen, Schaltelementen und/oder Durchkontaktierungen versehener Mehrlagenhybriden (19), vorgestellt. Die keramischen Formkörper liegen zunächst als Grünkörper vor und enthalten dabei auch organische Hilfsstoffe, beispielsweise als Binder. Während des Sinterns und/oder Entbinderns der keramischen Formkörper werden diese zwischen porösen Setterplatten (20, 21) zusammengedrückt, in deren Poren ein katalytisch aktiver Stoff eingebracht ist, so daß die beim Sintern und/oder Entbindern entstehenden, gasförmigen organischen Ausheizprodukte der Grünkörper beim Entweichen durch die porösen Setterplatten katalytisch umsetzt werden. Die Setterplatten können weiterhin mit Trennschichten versehen sein, die ebenfalls den katalytisch aktiven Stoff enthalten können. Das vorgeschlagene Verfahren führt zu einer erheblichen Zeitersparnis beim Sintern und/oder Entbindern der keramischen Formkörper.

Description

Die Erfindung geht aus von Verfahren und einer zugehörigen Vorrichtung zur Herstellung keramischer Formkörper sowie der Verwendung der Verfahren zur Herstellung keramischer Mehrschichthybride nach der Gattung der übergeordneten An sprüche.

Stand der Technik

Aus DE 43 09 005 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung von Mehrlagen-Hybriden aus mehreren keramischen Grünkörperfolien bekannt, wobei die Grünkörperfolien organische Hilfstoffe als Binder bzw. Sinterhilfsmittel enthalten und mit Leiterbahnen und Durchkontaktierungen versehen sind. Das Zusammenpressen des Stapels der Grünkörperfolien beim Sintern und Entbindern erfolgt über zwei poröse keramische Setterplatten, um eine möglichst geringe Schrumpfung und Wölbung innerhalb der Grünkörperfolien zu gewährleisten. Um eine einfache Trennung zwischen Setterplatten und Mehrlagen- Hybrid nach dem Sintern zu erreichen, wurden die Setterplatten weiterhin mit einer porösen Trennschicht beispielsweise aus Aluminiumoxid versehen, die über Schlickerguß oder Siebdruck aufgebracht werden kann. Die organischen Hilfstoffe in Form des Binders oder Sinteradditivs werden während des Entbinderns bzw. Sinterns beispielsweise in einer Heißpresse unter axialem Druck weit gehend pyrolisiert bzw. entweichen als organische Ausheiz produkte. Das Entweichen erfolgt dabei unter anderem über die porösen Setterplatten bzw. die aufgebrachten porösen Trennschichten, die gasdurchlässig sind. Geschwindigkeitsbe stimmend für die Dauer des Entbinder- bzw. Sinterprozesses sind die Schädigung der keramischen Folien durch zu schnel len Ausbrand der organischen Hilfstoffe, die Diffusion der aufgebrochenen, abgespaltenen oder teilverbrannten organi schen Ausheizprodukte durch die Setterplatten und der maxi male Anteil an Kohlenwasserstoffen in der Ofenatmosphäre, um unterhalb der Explosionsgrenzwerte zu bleiben.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, das bestehende Verfahren derart weiterzuentwickeln, daß die erforderliche Zeitdauer für den Sinter- bzw. Entbinderprozeß der kerami schen Formkörper deutlich verkürzt wird, ohne daß beispiels weise die Explosionsgrenzwerte in der Ofenatmosphäre über schritten werden.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merk malen der übergeordneten Ansprüche hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, daß durch das Einbringen eines ka talytisch aktiven Stoffes in die Poren der porösen Setter platten und/oder in die Poren der porösen Trennschichten zu mindest teilweise eine katalytische Umsetzung der beim Aus heizen der Grünkörper entweichenden gasförmigen Ausheizpro dukte erreicht wird. Die Ausheizprodukte sind insbesondere Zersetzungsprodukte der organischen Hilfsstoffe und enthal ten unter anderem Kohlenwasserstoffe.

Die Umsetzung der entweichenden Ausheizprodukte erfolgt vorzugsweise in weniger brennbare oder nicht brennbare Gase, so daß durch das erfindungsgemäße Verfahren pro Zeiteinheit mehr organische Hilfsstoffe ausgeheizt werden können als bisher, ohne daß beispielsweise die Explosionsgrenzwerte für Kohlenwasserstoffe in der Ofenatmosphäre erreicht werden. Dies führt zu einer erheblichen Zeitersparnis beim Sintern und/oder Entbindern der Grünkörper und damit einer Verkürzung der Ofenzyklen, was eine deutliche Kostenreduktionen und einen wesentlich geringeren Investitionsbedarf in Ofenanlagen bedeutet.

Weiterhin diffundieren katalytisch umgesetzte niedermolekulare Oxidations- bzw. Ausheizprodukte schneller durch die porösen Setterplatten und die gegebenenfalls vorhandenen Trennschichten als nichtumgesetzte, hochmolekulare Ausheizprodukte, was eine weitere Zeitersparnis bei der Produktion bedeutet. Im übrigen können durch das erfindungsgemäße Verfahren bestehende Anlagen zur katalytischen Nachverbrennung der über die Setterplatten aus dem keramischen Grünkörper abgeführten Abgase kleiner ausgelegt werden.

Der katalytisch aktive Stoff kann neben den porösen Setterplatten auch in die porösen Trennschichten eingebracht worden sein, was verfahrenstechnische Vorteile mit sich bringt. Weiterhin genügt es bei einer entsprechenden Aktivität des eingebrachten katalytisch aktiven Stoffes in einigen Fällen auch, wenn dieser sich nur in den porösen Trennschichten befindet, was zu einem deutlich verringerten Materialbedarf dieser teilweise teuren Materialien führt. Ebenso kann es für manche Zwecke ausreichend sein, wenn der katalytisch aktive Stoff lediglich in die Oberfläche der porösen Setterplatten bzw. Trennschichten, beispielsweise durch Aufsprühen oder Imprägnieren, eingebracht worden ist. Auch dies vermindert die Materialkosten.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Weiterbildungen der Erfin dung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen aufgeführ ten Maßnahmen.

So verwendet eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens Ausgangsstoffe, die sich spätestens im Laufe einer thermischen Nachbehandlung der Setterplatten bzw. der Trennschichten zu metallischen nanoskaligen Partikeln umwandeln und sich in den Poren der Setterplatten bzw. der Trennschichten befinden.

Sehr vorteilhaft ist auch die Auswahl einer Metallsalzlösung als Ausgangsstoff zum Einbringen des katalytisch aktiven Stoffes, bei der nach der thermischen Nachbehandlung keine unerwünschten, insbesondere anorganischen Rückstände in den Setterplatten oder Trennschichten verbleiben.

Zur schnelleren Abfuhr gasförmiger Ausheiz- bzw. Umsetzungsprodukte können die Setterplatten vorteilhaft mit zusätzlichen Gasaustrittsöffnungen versehen sein, die insbesondere parallel zur Oberfläche der Setterplatten angeordnet sind.

Zeichnung

Die einzige Figur zeigt eine Prinzipskizze eines keramischen Mehrlagenhybrides aus einem Stapel keramischer Folien zwischen zwei porösen Setterplatten die von dem Stapel der Folien über poröse Trennschichten getrennt sind.

Ausführungsbeispiele

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Figur im folgenden näher erläutert. Ein keramischer Formkörper, der beispielsweise eine keramische Folie, ein Stapel keramischer Folien oder ein keramisches Mehrlagenhybrid 10 aus keramischen Folien 1, 2, 3, 4, 5 sein kann, das mit in der Figur nicht dargestellten Leiterbahnen, Schaltelementen und Durchkontaktierungen versehen ist, befindet sich zwischen zwei porösen Setterplatten 20, 21, die oberflächlich auf der dem Mehrlagenhybrid 10 zugewandten Seite mit porösen Trennschichten 30, 31 versehen sind. Die Setterplatten 20, 21 sind zur schnelleren Abführung entweichender Gase mit Gasaustrittsöffnungen 22 beispielsweise in Form von parallel zur Oberfläche der Platten verlaufenden Kanälen versehen. Der keramische Formkörper bzw. das Mehrschichthybrid 10 liegt zunächst als Grünkörper vor und enthält dabei neben keramischen Bestandteilen auch organische Hilfsstoffe beispielsweise in Form von Bindern, Sinteradditiven, Weichmachern und Resten von Lösungsmitteln.

Die Setterplatten 20, 21 bestehen aus porösen keramischen Materialien und sind gasdurchlässig für organische Ausheizprodukte, die beim Entbindern und/oder Sintern der keramischen Formkörper entstehen. Bevorzugt sind sie gasdurchlässig für niedermolekulare gasförmige Oxidationsprodukte wie CO, CO₂ und H₂O, sowie einfache Kohlenwasserstoffe wie CH₄.

Der Vorgang des Sintern und/oder Entbinderns des Mehrschichthybrids 10 erfolgt in einer Heißpresse unter axialem Druck, wobei die Setterplatten 20, 21 insbesondere verhindern, daß eine Sinterschwindung des Mehrlagenhybrids 10 in der Ebene der Setterplatten 20, 21 auftritt. Da die Handhabung der entbinderten Mehrlagenhybride 10 aufgrund ihrer Fragilität sehr schwierig ist, muß der gesamte Entbinder- und Sintervorgang in der Heißpresse erfolgen, obwohl typi scherweise von 11,5 h Branddauer weniger als eine Stunde für die eigentliche Drucksinterung benötigt wird. Während der übrigen Zeit erfolgt im wesentlichen die Entbinderung des Mehrlagenhybrids 10 durch allmähliches Ausheizen, wobei die organischen Hilfsstoffe weitgehend thermisch zersetzt werden oder sich unzersetzt aus dem Grünkörper verflüchtigen und durch die gasdurchlässigen Setterplatten nach außen abge führt werden. Geschwindigkeitsbestimmend für den Entbinder vorgang ist somit im wesentlichen die Zeit für die Diffusion der gecrackten oder teilverbrannten organischen Bestandteile durch die Setterplatten 20, 21. Da die organischen Bestand teile einen hohen Anteil an Kohlenwasserstoffverbindungen enthalten, muß aus Gründen der Betriebssicherheit (Explosi onsschutz) der Entbindervorgang so erfolgen, daß die Konzen tration an Kohlenwasserstoffen in der Ofenatmosphäre stets unterhalb der Explosionsgrenzwerte bleibt.

Die porösen Trennschichten 30, 31 vereinfachen das Ablösen des fertig gesinterten Mehrlagenhybrids 10 von den Setter platten 20, 21. Sie enthalten beispielsweise im wesentlichen keramische Bestandteile wie Aluminiumoxid und werden vor zugsweise über Siebdruck oder Schlickerguß auf die Setter platten 20, 21 aufgebracht. Das erfindungsgemäße Verfahren kann aber auch ohne die Trennschichten 30, 31 ausgeführt werden. Die porösen Trennschichten 30, 31 sind wie die Set terplatten 20, 21 gasdurchlässig für organische Ausheizpro dukte aus dem keramischen Grünkörper.

Kern der Erfindung ist das Einbringen eines katalytisch ak tiven Stoffes in die Setterplatten 20, 21 und/oder die Trennschichten 30, 31 vor dem Beginn des eigentlichen Ver fahrens des Sinterns und/oder Entbinderns der keramischen Formkörper, um die Durchführung dieses Entbindervorgangs zu beschleunigen.

Dazu eignen sich katalytisch aktive Edelmetalle wie Palladi um, Rhodium oder Platin. Die konkrete Auswahl des kataly tisch aktiven Stoffes richtet sich im Einzelfall nach der Art der organischen Hilfsstoffe und deren Menge, sowie den angewandten Sinter- oder Entbindertemperaturen, wobei stets die katalytische Aktivität des jeweiligen Materials und des sen Kosten zu berücksichtigen sind. Der katalytisch aktive Stoff dient im einzelnen dazu, beim Sintern und/oder Entbin dern die aus dem Grünkörper entweichenden organischen Hilfs stoffe katalytisch umzusetzen. Dazu ist es sehr vorteilhaft, wenn er sich in den Poren der porösen Materialien der Set terplatten 20, 21 und/oder der porösen Trennschichten 30, 31 befindet, wo er leicht für die entweichenden Gase zugänglich ist und eine entsprechend hohe Aktivität entfalten kann. Der katalytisch aktive Stoff setzt die in den entweichenden Aus heizprodukten enthaltenen organischen Kohlenstoffverbindun gen katalytisch um, indem er sie beispielsweise oxidiert oder hochmolekulare organische Kohlenstoffverbindungen zu niedermolekularen Kohlenstoffverbindungen umsetzt. Insbeson dere dient er zur Oxidation leicht brennbarer Kohlenwasser stoffe in unbrennbare oder nicht explosive Verbindungen, die dann über die Poren in den Setterplatten 20, 21 und/oder der Trennschichten 30, 31 sowie über die Gasaustrittsöffnungen 22 abgeführt werden.

Das Einbringen des katalytisch aktiven Stoffes in die Set terplatten 20, 21 bzw. die Trennschichten 30, 31 kann durch Eintauchen der Setterplatten 20, 21 in eine entsprechende Metallsalzlösung oder durch Besprühen der Oberfläche der Setterplatten 20, 21 mit dieser Lösung erfolgen. Dabei kön nen die Setterplatten 20, 21 zuvor bereits mit den Trenn schichten 30, 31 versehen worden sein, so daß der kataly tisch aktive Stoff auch in die Trennschichten 30, 31 einge bracht wird.

Durch Eintauchen wird erreicht, daß der katalytisch aktive Stoff im wesentlichen gleichmäßig innerhalb der Setterplat ten 20, 21 und gegebenenfalls auch der Trennschichten 30, 31 verteilt ist. Beim Besprühen insbesondere der dem kerami schen Grünkörper zugewandten Seite der porösen Platten be findet sich der katalytisch aktive Stoff weitgehend ober flächlich auf den Setterplatten 20, 21 bzw. den Trennschich ten 30, 31. Der Fachmann muß im Einzelfall anhand einiger einfacher Versuche prüfen, welches Verfahren jeweils am zweckmäßigsten ist. Das Besprühen hat den Vorteil, daß die verbrauchte Menge an katalytisch aktivem Material relativ gering ist, was geringere Materialkosten bedeutet. Anderer seits ist infolge der oberflächlichen Verteilung nur ein kleiner Teil des Volumens der Setterplatten 20, 21 kataly tisch aktiv, was eine entsprechend langsamere oder unvoll ständigere katalytische Umsetzung der organischen Ausheiz produkte bedeutet. Da sich die in Frage kommenden kataly tisch aktiven Materialien aber auch hinsichtlich ihrer kata lytischen Aktivität unterscheiden, muß der Fachmann durch Vorversuche im Einzelfall ein Optimum zwischen den Material kosten und der örtlichen Verteilung des katalytisch aktiven Stoffes, sowie dem Grad der katalytischen Umsetzung und der sich ergebenden Zeit zum Entbindern finden.

In weiteren Ausführungsbeispielen wird der katalytisch akti ve Stoff nur in die Trennschichten 30, 31 beispielsweise durch nachträgliches Besprühen eingebracht, wobei im Einzel fall wieder verfahrenstechnische Vorteile und Nachteile ge gen Materialkosten und den erzielten Zeitgewinn beim Entbin dern abzuwägen sind.

Um eine homogene und sehr feine Verteilung des katalytisch aktiven Stoffes in den Setterplatten 20, 21 bzw. den Trenn schichten 30, 31 oder in den entsprechenden Oberflächen zu gewährleisten, werden diese vorzugsweise in einer wäßrigen Metallsalzlösung getränkt, die mindestens eines der Metall salze PtCl₆, PdCl₂, RhCl₃, Platinacetat, Rhodiumacetat oder Palladiumacetat enthält. Die Konzentration des katalytisch aktiven Stoffes in dieser Metallsalzlösung liegt vorzugswei se zwischen 0,1 g/l bis 30 g/l. Als besonders vorteilhaft haben sich Konzentrationen von 1 g/l bis 15 g/l herausge stellt. In diesem Fall werden in eine 1 kg schwere Setter platte 20 bei Verwendung einer Platin-Lösung, die 10 g Pla tin auf 1 Liter Lösung enthält, ca. 0,6 g Platin in die Set terplatte 20 eingebracht. Bei Verwendung einer Lösung, die 6 g Palladium auf 1 Liter Lösung enthält, werden ca. 0,4 g Palladium je Platte eingebracht.

Nach dem Besprühen oder Eintauchen der Setterplatten 20, 21 findet zweckmäßig eine thermische Nachbehandlung der Setter platten 20, 21 mit dem eingebrachten katalytisch aktiven Stoff statt. Diese Nachbehandlung dauert je nach Größe der Platten, der Art des eingebrachten Metalls und der verwende ten Metallsalzlösung von 30 min bis zu 5 h bei einer Tempe ratur von 100°C bis 700°C. Sie erfolgt bevorzugt in einer Gasatmosphäre, die den katalytisch aktiven Stoff nicht oxi diert, wie beispielsweise Luft oder Stickstoff. Bei einigen, relativ leicht oxidierbaren katalytisch aktiven Materialien ist es zur Vermeidung einer Oxidation jedoch günstig, wenn man in einer reduzierenden Gasatmosphäre arbeitet. Im Falle von Platin, Rhodium und Palladium genügt es beispielsweise, wenn die thermische Nachbehandlung bei 500°C über 2 h an Luft durchgeführt wird.

Die Verwendung organischer Metallverbindungen wie beispiels weise die genannten Acetate empfiehlt sich besonders für An wendungen, bei denen keine Rückstände der eingebrachten Me tallsalzlösung nach der thermische Nachbehandlung in den Setterplatten 20, 21 bzw. den Trennschichten 30, 31 verblei ben sollen, da diese Verbindungen sich bei der thermischen Nachbehandlung weitgehend rückstandsfrei thermisch zerset zen.

Als besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn der katalytisch aktive Stoff in Form von gleichmäßig verteilten nanoskaligen metallischen Kolloiden von beispielsweise Pla tin, Rhodium oder Palladium in den Poren der porösen Setter platten bzw. der Trennschichten vorliegt. Die Größe dieser Kolloide liegt vorteilhaft zwischen 3 nm bis 100 nm, um mög lichst hohe spezifische Oberflächen und somit eine effektive Bekeimung der Setterplatten 20, 21 oder der Trennschichten 30, 31 zu erzielen.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper, insbesondere keramischer Folien oder mit Leiterbahnen, Schaltelementen und/oder Durchkontaktierungen versehener Mehrlagenhybride (10), die zunächst als Grünkörper vorliegen und organische Hilfsstoffe enthalten, wobei die Grünkörper beim Sintern und/oder Entbindern zwischen porösen Setterplatten (20, 21) liegen, durch die beim Sintern und/oder Entbindern entstehende, gasförmige organische Ausheizprodukte der Grünkörper entweichen, dadurch gekennzeichnet, daß poröse Setterplatten (20, 21) verwendet werden, in deren Poren ein katalytisch aktiver Stoff eingebracht worden ist, der die entweichenden gasförmigen organischen Ausheizprodukte aus den Grünkörpern katalytisch umsetzt.

2. Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper, insbesondere keramischer Folien oder mit Leiterbahnen, Schaltelementen und/oder Durchkontaktierungen versehener Mehrlagenhybride (10), die zunächst als Grünkörper vorliegen und organische Hilfsstoffe enthalten, wobei die Grünkörper beim Sintern und/oder Entbindern zwischen porösen Setterplatten (20, 21) liegen, die mit porösen Trennschichten (30, 31) versehen sind, wobei durch die porösen Setterplatten (20, 21) und die porösen Trennschichten (30, 31) beim Sintern und/oder Entbindern entstehende, gasförmige organische Ausheizprodukte der Grünkörper entweichen, dadurch gekennzeichnet, daß poröse Trennschichten (30, 31) verwendet werden, in deren Poren ein katalytisch aktiver Stoff eingebracht worden ist, der die entweichenden gasförmigen organischen Ausheizprodukte aus den Grünkörpern katalytisch umsetzt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff auch in die Poren der porösen Setterplatten (20, 21) eingebracht worden ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff in die Oberfläche oder gleichmäßig innerhalb der porösen Setterplatten (20, 21) und/oder der Trennschichten (30, 31) eingebracht worden ist.

5. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff organische Kohlenstoffverbindungen oxidiert.

6. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff hochmolekulare organische Kohlenstoffverbindungen zu niedermolekularen organischen Kohlenstoffverbindungen umsetzt.

7. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff mindestens eines der Elemente Platin, Palladium oder Rhodium enthält.

8. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff in Form von Kolloiden mit Größen von 3 nm bis 100 nm vorliegt.

9. Verfahren nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive Stoff in die porösen Setterplatten (20, 21) und/oder die porösen Trennschichten (30, 31) durch ein Tränken oder Besprühen mit einer Lösung eingebracht worden ist, die den katalytisch aktiven Stoff enthält, wobei nach dem Einbringen eine thermische Nachbehandlung der porösen Setterplatten (20, 21) oder der porösen Setterplatten (20, 21) mit den aufgebrachten porösen Trennschichten (30, 31) durchgeführt wurde.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung mit dem katalytisch aktiven Stoff eine Metallsalzlösung ist.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallsalzlösung eine wäßrige Lösung ist, die mindestens eines der Metallsalze PtCl₆, PdCl₂, RhCl₃, Platinacetat, Palladiumacetat oder Rhodiumacetat enthält.

12. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung den katalytisch aktiven Stoff in einer Konzentration von 0,1 g/l bis 30 g/l enthält.

13. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 12, durch gekennzeichnet, daß die thermische Nachbehandlung in einer Gasatmosphäre erfolgte, die den katalytisch aktiven Stoff nicht oxidiert oder die den katalytisch aktiven Stoff reduziert.

14. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die thermische Nachbehandlung über einen Zeitraum von 30 min bis 5 h bei einer Temperatur von 100°C bis 700°C erfolgte.

15. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Setterplatten (20, 21) Gasaustrittsöffnungen (22) aufweisen und mit einem katalytisch aktiven Stoff versehen sind.

16. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch mindestens zwei poröse, einen katalytisch aktiven Stoff aufweisende Setterplatten (20, 21) oder durch mindestens zwei poröse Setterplatten (20, 21) die mit porösen, einen katalytisch aktiven Stoff aufweisenden Trennschichten (30, 31) versehen sind, die den Grünkörper beim Sintern und/oder Entbindern zusammendrücken.

17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Setterplatten (20, 21) oder die porösen Setterplatten (20, 21) mit den porösen Trennschichten (30, 31) für niedermolekulare gasförmige Oxidationsprodukte, insbesondere für CO, CO₂, H₂O, CH₄ sowie einfache Kohlenwasserstoffe, durchlässig sind.

18. Verwendung des Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 14 zur Herstellung keramischer Mehrschichthybride (10) aus Stapeln von mehreren, mit Leiterbahnen, Schaltelementen und/oder Durchkontaktierungen versehenen, justiert übereinander angeordneten Grünkörperfolien (1, 2, 3, 4, 5).