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Die
Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für Festkörperlaser.
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Im
Stand der Technik ist ein Festkörperlaser bekannt,
der eine Laserdiode aufweist, einen reflektierenden Spiegel, ein
Festkörperlaser-Oszillatorelement
und einen Ausgangsspiegel, und zwar in dieser Reihenfolge.
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Der
Laserstrahl von der Laserdiode weist eine Wellenlänge auf,
die sich von der Wellenlänge des
Laserstrahls von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
unterscheidet. Der reflektierende Spiegel, der zwischen der Laserdiode
und dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
angeordnet ist, läßt einen Hauptanteil
des Laserstrahls von der Laserdiode durchgehen, während er
einen Hauptanteil des Laserstrahls von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
reflektiert. Auf diese Weise wird das Festkörperlaser-Oszillatorelement
wirksam durch den Laserstrahl von der Laserdiode angeregt, der durch
den reflektierenden Spiegel hindurchgeht, und wird der Laserstrahl
in dem Festkörperlaser-Oszillatorelement zur Resonanz
zwischen dem reflektierenden Spiegel und dem Ausgangsspiegel gebracht.
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Wenn
eine Laserdiode allein verwendet wird, wird sie auf die nachstehend
beschriebene Weise an einem Substrat befestigt. Zunächst wird
die Laserdiode zeitweilig beweglich auf das Substrat aufgelegt, welches
festgesetzt ist, und wird dann mit Energie versorgt, um Licht auszusenden.
Ein Meßinstrument wird
zur Ermittlung der optischen Achse des ausgesandten Laserstrahls
verwendet. Auf der Grundlage dieses Meßergebnisses wird die Position
der Laserdiode so eingestellt, daß die optische Achse in Übereinstimmung
mit einer vorbestimmten Bezugsachse gebracht wird, worauf die Laserdiode
auf dem Substrat befestigt wird (vgl. die
japanischen Patentveröffentlichungen Nr. 46,747/1995 und
Nr.
105,575/1995 ).
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Alternativ
hierzu kann die Laserdiode an einem vorbestimmten Ort befestigt
werden, während das
Substrat beweglich gehaltert wird. Die Laserdiode wird zur Lichtaussendung
mit Energie versorgt, und während
dessen wird ein Meßinstrument
zur Ermittlung eines Punktes verwendet, an welchem die Lichtemission
auftritt. Die Position des Substrats wird dann so eingestellt, daß ein Bezugspunkt
auf dem Substrat in Ausrichtung mit dem Punkt der Lichtemission
gebracht wird, woraufhin die Laserdiode an dem Substrat befestigt
wird (vgl. die
japanische offengelegte
Patentanmeldung Nr. 18,164/1996 ).
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Bei
jeder der voranstehend geschilderten Anordnungen wird die Laserdiode
allein verwendet, oder wird deren Laserstrahl direkt für einen
gewünschten
Einsatzzweck verwendet. In diesem Zusammenhang ist die Orientierung
der optischen Achse des Laserstrahls wesentlich, der von der Laserdiode
ausgesandt wird.
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Im
Gegensatz hierzu werden bei einem Festkörperlaser, der einen reflektierenden
Spiegel aufweist, ein Festkörperlaser-Oszillatorelement
und einen Ausgangsspiegel, die hintereinander zusätzlich zur
Laserdiode vorgesehen sind, eine Anbringung von Bauteilen abgesehen
von der Laserdiode, oder der Laserdiode, des reflektierenden Spiegels
und des Festkörperlaser-Oszillatorelements
und auch des Ausgangsspiegels auf einem Substrat vorgenommen, während die
Positionen dieser Bauteile mit Hilfe nur einer Kamera festgelegt
werden. Wenn die Montage jedoch unter Verwendung einer Kamera erfolgt,
um die Positionen der Bauteile festzulegen, ist dann, selbst wenn
die Bauteile wie der Ausgangsspiegel oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement exakt
auf dem Substrat angeordnet worden wären, eine geringfügige Fehlausrichtung
zwischen den optischen Achsen einzelner Bauteile unvermeidlich. Dies
führt dann
dazu, daß es
schwierig ist, eine exakte Ausrichtung zwischen den optischen Achsen sämtlicher
Bauteile zu erzielen, was zu einer Beeinträchtigung des Wirkungsgrades
des Festkörperlasers
führt.
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Aus
der
DE 39 25 201 A1 ist
ein Laserdioden-gepumpter Festkörperlaser
bekannt, bei welchem die Laserdiode, das Oszillatorelement bzw.
aktive Element mit reflektierender Oberfläche oder reflektierendem Spiegel
sowie Ausgangsspiegel auf einer optischen Bank angebracht werden,
die aus einem einstückigen
Bauteil aus Halbleitermaterial der Gruppe III bis V des periodischen
Systems der Elemente auf mikromechanischem Weg hergestellt ist. Hierbei
ist zumindest ein Teil der optischen, elektrooptischen oder mechanischen
Elemente oder deren Halterung elektrisch derart ansteuerbar oder
bewegbar, dass ihre Position relativ zur Basis veränderbar ist,
und ist zumindest ein Sensor vorgesehen, der die Auswirkung der
Positionsveränderung
auf die Funktion wenigstens eines Teils eines Mikrosystems erfasst,
und ein elektrisches Signal zur Steuerung von Positionsveränderungen
der insbesondere optischen Elemente oder deren Halterungen liefert.
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Angesichts
der voranstehenden Überlegungen
besteht ein Ziel der Erfindung in der Bereitstellung eines Herstellungsverfahrens
für einen
Festkörperlaser,
welches es ermöglicht,
eine exakte Ausrichtung der optischen Achsen des Festkörperlaser-Oszillatorelements,
des Ausgangsspiegels und dergleichen zu erleichtern, um eine erhöhte Ausgangsleistung
zu erzielen.
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Das
Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung umfaßt
folgende Schritte: Durchführung
der Montage einer Laserdiode auf einem Substrat, wobei die Montage
der Laserdiode auf dem Substrat den Schritt der Festlegung der Laserdiode
an einer vorgegebenen Position auf dem Substrat umfaßt; Erzeugung
einer Lichtemission von der Laserdiode; Messung des Lichts, welches
von der Laserdiode ausgesandt wird, mit einem Meßinstrument, und – auf der
Grundlage des Ergebnisses einer derartigen Messung – Bewegung
der Laserdiode zu einer Position und Anordnung an dieser, an welcher eine
maximale Ausgangsleistung erzielt wird, oder an welcher eine Bezugsposition
auf dem Meßinstrument mit
der optischen Achse des ausgesandten Lichts übereinstimmt; Durchführung der
Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
mit einer reflektierenden Oberfläche
an einer vorgegebenen Position auf dem Substrat, an welcher das
Oszillatorelement befestigt wird; und Durchführung der Montage eines Ausgangsspiegels,
welche die Schritte umfaßt, eine
Lichtemission von der Laserdiode hervorzurufen, um das Festkörperlaser-Oszillatorelement
anzuregen, Messung des Laserstrahls, der von dem Ausgangsspiegel
abgegeben wird, mit dem Meßinstrument,
und Bewegung, auf der Grundlage des Ergebnisses einer derartigen
Messung, des Ausgangsspiegels zu einer Position, an welcher eine
maximale Ausgangsleistung erhalten wird, oder an welcher die optische
Achse des Laserstrahls zu einer Bezugsposition auf dem Meßinstrument
ausgerichtet ist, und Befestigung des Ausgangsspiegels auf dem Substrat an
dieser Position.
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Beim
Schritt der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements
wird eine Laserdiode, die an dem Substrat befestigt ist, zum Aussenden
von Licht veranlaßt,
und wird Licht, welches durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit einer reflektierenden Oberfläche
hindurchgeht, oder Licht, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
ausgestrahlt wird, mit dem Meßinstrument
gemessen. Auf der Grundlage des Ergebnisses einer derartigen Messung
wird das Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit der reflektierenden Oberfläche
zu einer Position bewegt, an welcher eine maximale Ausgangsleistung erhalten
wird, oder an welcher die optische Achse des Lichts zu einer Bezugsposition
auf dem Meßinstrument
ausgerichtet ist, und wird das Oszillatorelement auf dem Substrat
an dieser Position befestigt.
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Die
vorliegende Erfindung verwendet ein Festkörperlaser-Oszillatorelement mit einer reflektierenden
Oberfläche.
Gemäß einer
weiteren Zielrichtung der Erfindung sind jedoch der reflektierende Spiegel
und das Festkörperlaser-Oszillatorelement voneinander
getrennt ausgebildet. In diesem Fall wird die Montage einer Laserdiode
auf dem Substrat durchgeführt.
Diese Montage umfaßt
den Schritt der Festlegung einer Laserdiode an einer gegebenen Position
auf dem Substrat. Auf diesen Schritt folgt dann das Erzeugen einer
Lichtemission von der Laserdiode, Messung des von der Laserdiode
ausgesandten Lichts mit einem Meßinstrument, und Bewegung des
Meßinstruments
zu und Anordnung des Meßinstruments
an einem Ort, an welchem eine maximale Ausgangsleistung erzielt
wird, oder an welchem eine Bezugsposition auf dem Meßinstrument mit
der optischen Achse des Lichts ausgerichtet ist. Daraufhin folgt
die Montage eines reflektierenden Spiegels und die Montage eines
Festkörperlaser-Oszillatorelements,
wodurch der reflektierende Spiegel und das Festkörperlaser-Oszillatorelement an vorbestimmten Positionen
auf dem Substrat befestigt werden. Hierauf folgt die Montage des
Ausgangsspiegels. Diese Montage des Ausgangsspiegels umfaßt die Schritte
des Hervorrufens einer Lichtemission von der Laserdiode, um das
Festkörperlaser-Oszillatorelement
anzuregen, Messung des Laserstrahls, der von dem Ausgangslicht geliefert
wird, mit dem Meßinstrument,
und Bewegung, auf der Grundlage des Ergebnisses dieser Messung,
des Ausgangsspiegels zu einer Position, an welcher eine maximale Ausgangsleistung
erzielt wird, oder an welcher die optische Achse des Laserstrahls
zu einer Bezugsposition auf dem Meßinstrument ausgerichtet ist,
wodurch der Ausgangsspiegel auf dem Substrat an dieser Position
befestigt wird.
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Es
wird darauf hingewiesen, daß zumindest bei
einem der Montagevorgänge
für den
reflektierenden Spiegel und das Festkörperlaser-Oszillatorelement
eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen wird, und Licht,
welches durch den reflektierenden Spiegel geht, oder Licht, welches
durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, oder Licht, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
ausgestrahlt wird, mit dem Meßinstrument
gemessen wird, und auf der Grundlage des Ergebnisses dieser Messung
zumindest entweder der reflektierende Spiegel oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement
zu einer Position bewegt wird, an welcher eine maximale Ausgangsleistung
erzielt wird, oder an welcher die optische Achse des Lichts zu einer
Bezugsposition auf dem Meßinstrument
ausgerichtet ist, und der Spiegel oder das Oszillatorelement dann
an diesem Ort befestigt wird.
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Bei
der ersten Zielrichtung der Erfindung wird während der Montage der Laserdiode
eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen, und wird von
der Laserdiode ausgesandtes Licht mit einem Meßinstrument gemessen. Das Meßinstrument
wird zu einer Position bewegt, an welcher eine maximale Ausgangsleistung
erhalten wird, oder an welcher eine Bezugsposition auf dem Meßinstrument
mit der optischen Achse des ausgesandten Lichts ausgerichtet ist,
und wird an dieser Position angeordnet. In diesem Zustand ist das
Meßinstrument
positioniert und bleibt in Ruhe auf der optischen Achse des Lichts,
welches von der Laserdiode ausgesandt wird.
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Während der
darauffolgenden Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements wird von der auf dem
Substrat befestigten Laserdiode eine Lichtemission hervorgerufen.
Licht, welches durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit einem reflektierenden Spiegel hindurchgeht, wird mit dem Meßinstrument
gemessen, und das Oszillatorelement wird zu einer Position bewegt,
an welcher eine maximale Ausgangsleistung erzielt wird, oder an
welcher die optische Achse des Lichts zu einer Bezugsposition auf
dem Meßinstrument
ausgerichtet ist, und wird an dem Substrat in dieser Position befestigt.
In diesem Zustand ist das Festkörperlaser-Oszillatorelement mit
einer reflektierenden Oberfläche
positioniert, und wird auf der optischen Achse befestigt, welche
die Laserdiode und das Meßinstrument
verbindet.
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Nachdem
das Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit der reflektierenden Oberfläche
an der Position festgelegt ist, folgt die Montage des Ausgangsspiegels,
bei welcher von der Laserdiode eine Lichtemission hervorgerufen
wird, um das Festkörperlaser-Oszillatorelement
anzuregen. Licht von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
wird dann in Resonanz zwischen der reflektierenden Oberfläche und dem
Ausgangsspiegel versetzt, und der Laserstrahl von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement,
der durch den Ausgangsspiegel hindurchgelangt ist, wird mit dem
Meßinstrument
gemessen, und der Ausgangsspiegel wird zu einer Position bewegt,
an welcher eine maximale Ausgangsleistung erhalten wird, oder an
welcher die optische Achse des Laserstrahls zu einer Bezugsposition
auf dem Meßinstrument ausgerichtet
ist, worauf der Ausgangsspiegel an dieser Position an dem Substrat
befestigt wird.
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Es
wird deutlich, daß das
Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit der reflektierenden Oberfläche
und der Ausgangsspiegel nunmehr auf einer optischen Achse positioniert
sind, welche die Laserdiode und das Meßinstrument verbindet. Daher
wird die exakte Ausrichtung zwischen der optischen Achse der Laserdiode,
der optischen Achse des Festkörperlaser-Oszillatorelements
und der optischen Achse des Ausgangsspiegels erleichtert, wodurch
eine verbesserte Laserstrahlausgangsleistung erhalten wird, verglichen
mit dem Ergebnis, das bei einem herkömmlichen Herstellungsverfahren
erzielt wird.
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Bei
der zweiten Zielrichtung der Erfindung, bei welcher der reflektierende
Spiegel und das Festkörperlaser-Oszillatorelement
getrennt voneinander ausgebildet sind, wird zunächst die Montage der Laserdiode
vorgenommen. Es wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen,
und von der Laserdiode abgegebenes Licht wird mit einem Meßinstrument
gemessen. Das Meßinstrument
wird dann zu einer Position bewegt und dort angeordnet, an welcher
eine maximale Ausgangsleistung erzielt wird, oder an welcher die
Bezugsposition auf dem Meßinstrument
zur optischen Achse des ausgesandten Lichtes ausgerichtet ist. Auf
diese Weise ist das Meßinstrument
nunmehr auf der optischen Achse des Lichts angeordnet, das von der
Laserdiode ausgesandt wird.
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Dann
folgt die Montage entweder des reflektierenden Spiegels oder die
Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements,
wobei das entsprechende andere Bauteil daraufhin montiert wird.
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Während der
Montage des reflektierenden Spiegels wird eine Lichtemission von
der Laserdiode hervorgerufen, die nunmehr auf dem Substrat festgelegt
ist, wird durch den reflektierenden Spiegel hindurchgelangtes Licht
mit dem Meßinstrument
gemessen, und wird der reflektierende Spiegel zu einer Position
bewegt, an welcher eine maximale Ausgangsleistung erhalten wird,
oder an welcher die optische Achse des Lichts zu einer Bezugsposition
auf dem Meßinstrument
ausgerichtet ist, worauf der reflektierende Spiegel in dieser Position
an dem Substrat befestigt wird.
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Während der
Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements
wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen, die nunmehr
auf dem Substrat befestigt ist, wird Licht, welches durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgegangen ist, oder Licht, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
ausgesandt wird, mit dem Meßinstrument
gemessen, und wird das Festkörperlaser-Oszillatorelement
zu einer Position bewegt, an welcher eine maximale Ausgangsleistung
erhalten wird, oder an welcher die optische Achse des Lichts zu
einer Bezugsposition auf dem Meßinstrument ausgerichtet
ist, worauf das Festkörperlaser-Oszillatorelement
an dem Substrat an dieser Position befestigt wird.
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Wenn
sowohl die Montage des reflektierenden Spiegels als auch die Montage
des Festkörperlaser-Oszillatorelements
beendet sind, ist zumindest entweder der reflektierende Spiegel
oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement
auf einer optischen Achse angeordnet und befestigt, welche die Laserdiode
und das Meßinstrument
verbindet.
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Die
darauffolgende Operation ist die gleiche wie jene, die voranstehend
im Zusammenhang mit der ersten Zielrichtung der Erfindung geschildert
wurde. Wenn die Montage des Ausgangsspiegels beendet ist, ist zumindest
entweder der reflektierende Spiegel oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement, ebenso
wie der Ausgangsspiegel, auf der optischen Achse angeordnet und
befestigt, welche die Laserdiode und die Ausgangsspiegel verbindet.
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Daher
wird eine exakte Ausrichtung zwischen der optischen Achse der Laserdiode,
der optischen Achse zumindest entweder des reflektierenden Spiegels
oder des Festkörperlaser-Oszillatorelements,
und der optischen Achse des Ausgangsspiegels erleichtert, wodurch
ein verbesserter, abgegebener Laserstrahl erzielt wird, verglichen
mit den Ergebnissen, die unter Verwendung eines herkömmlichen Herstellungsverfahren
erzielt werden.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele
näher erläutert, aus
welchen weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung deutlich
werden. Es zeigen:
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1 eine
Perspektivansicht einer beispielhaften Ausführungsform einer Bondierungsvorrichtung 1,
die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendet
wird;
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2 eine
Perspektivansicht zur Erläuterung
des Herstellungsverfahrens gemäß der Erfindung;
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3 verschiedene
Variationen eines Herstellungsverfahrens, welches die Montage einer
Laserdiode, die Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements und die Montage eines
Ausgangsspiegels umfaßt;
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4 verschiedene
Variationen eines Herstellungsverfahrens, welches die Montage einer
Laserdiode, die Montage eines reflektierenden Spiegels, die Montage
eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
und die Montage eines Ausgangsspiegels umfaßt;
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5 verschiedene
Variationen bei einem weiteren Herstellungsverfahren, welches die
Montage einer Laserdiode, die Montage eines reflektierenden Spiegels,
die Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
und die Montages eines Ausgangsspiegels umfaßt; und
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6 verschiedene
Variationen eines Herstellungsverfahrens, welches die Montage einer
Laserdiode, die Montage eines reflektierenden Spiegels, die Montage
eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
und die Montage eines Ausgangsspiegels umfaßt.
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Unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen werden nachstehend verschiedene Ausführungsformen
der Erfindung beschrieben. In 1 wird eine Bondierungsvorrichtung 1 dazu
verwendet, einen quadratisch ausgebildeten Festkörperlaser mit kleinen Abmessungen
von 2 bis 3 mm auf einer Seite an einem Substrat 2 zu befestigen
(zu bondieren). Die Bondierungsvorrichtung 1 weist einen
X-Y-Tisch 3 auf, auf welchem das Substrat 2 angeordnet
wird, der im Stand der Technik wohl bekannt ist, und der in der Horizontalebene
in zueinander senkrechten Richtungen X und Y verschoben werden kann.
Die Bondierungsvorrichtung 1 weist weiterhin ein Bondierungswerkzeug 4 auf,
welches ebenfalls im Stand der Technik bekannt ist, und welches
so arbeitet, daß es durch
Anziehung verschiedene Bauteile, beispielsweise ein Festkörperlaser-Oszillatorelement,
in horizontalen Positionen oberhalb des X-Y-Tisches 3 haltert.
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Es
ist eine erhöhte
Aufnahme 5 vorhanden, auf welcher das Substrat 2 angeordnet
wird, und sind mehrere Tabletts 6 vorgesehen, in welchen
Bauteile aufgenommen werden, die entsprechend ihrer unterschiedlichen
Eigenschaften geordnet sind, und ein Klebemittelbehälter 7,
der einen Vorratsbehälter
für unter
Ultraviolettbestrahlung aushärtendes
Harz aufweist, auf der oberen Oberfläche des X-Y-Tisches 3. Der
X-Y-Tisch 3 kann in der Richtung X und Y durch einen X-Motor 8 bzw.
einen Y-Motor 9 verschoben werden, wodurch die Aufnahme 5,
die Tabletts 6 und der Klebemittelbehälter 7 geeignet direkt
unterhalb des Anziehungskopfes 4A des Bondierungswerkzeuges 4 angeordnet
werden können.
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Das
Bondierungswerkzeug 5 ist auf einem Hebemechanismus 11 angebracht,
der in einem nicht dargestellten Gestell angebracht ist, und kann
nach oben und unten in Vertikalrichtung (der Z-Richtung) mit Hilfe
des Hebemechanismus 11 bewegt werden. Der Hebemechanismus 11 wird
durch eine Steuerung 12 gesteuert, welche daher dazu fähig ist,
das Bondierungswerkzeug 5 über den Hebemechanismus 11 anzuheben.
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Der
Anziehungskopf 4A des Bondierungswerkzeuges 4 ist
um die Vertikalachse, nämlich
die Z-Achse, mit Hilfe eines Z-Achsen-Drehservomotors 13 drehbar.
Wenn der Motor 13 in Bewegung gesetzt wird, kann der Anziehungskopf 4A entweder
vorwärts
oder rückwärts in der
Horizontalebene gedreht werden, wodurch der Drehwinkel in der Horizontalebene,
der von einem Bauteil eingenommen wird, welches an dem Boden des
Kopfes angezogen ist, eingestellt werden kann.
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Der
Anziehungskopf 4A ist weiterhin um die Y-Achse mit Hilfe
eines Y-Achsen-Drehservomotors 14 drehbar. Wenn der Servomotor 14 in
Bewegung gesetzt wird, kann der Anziehungskopf 4A um die Y-Achse
verschwenkt werden.
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Eine
erste Kamera 16, die vertikal nach unten sieht, ist an
dem Bondierungswerkzeug 4 angebracht, und befindet sich
an einem vorgegebenen Ort oberhalb des X-Y-Tisches 3. Die
erste Kamera 16 ist dazu ausgelegt, ein Bild der Anordnung
des Substrats auf der Aufnahme 5 aufzunehmen, wenn der X-Y-Tisch 3 so
angetrieben wird, daß das
Substrat 2 auf der Aufnahme 5 zu einem Ort direkt
unterhalb der Kamera gebracht wird. Ein von dem Substrat 2 aufgenommenes
Bild wird der Steuerung 12 zugeführt.
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Die
Steuerung 12 arbeitet so, daß sie Offsets in der X- und
der Y-Richtung bestimmt, sowie einen Drehoffset in der Horizontalebene
des Substrats 2, welches tatsächlich in Bezug auf eine Bezugsposition
angeordnet wird, die das Substrat 2 eigentlich einnehmen
sollte, auf der Grundlage des Bildes, welches von der ersten Kamera 16 zugeführt wird.
Die Steuerung 12 ist weiterhin dazu ausgebildet, den Offset
eines Bauteils zu bestimmen, welches durch Anziehung an dem Anziehungskopf 4A festgehalten wird,
in Bezug auf einen Bezugsdrehwinkel in der Horizontalebene.
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Wenn
die voranstehenden Offsets bestimmt wurden, arbeitet die Steuerung 12 so,
daß sie
den X-Motor 8 und den Y-Motor 9 soweit antreibt,
wie dies den Offsets des Substrats 2 in X- und Y-Richtung entspricht,
um die Position des Substrats 2 zu korrigieren, und treibt
darüber
hinaus den Z-Achsen-Servomotor 13 so
an, wie das dem Drehoffset des Substrats 2 entspricht,
und eines Bauteils, um die Drehwinkelposition in der Horizontalebene
des Bauteils zu korrigieren. Auf diese Weise kann die Steuerung 2 das
Bauteil in einer vorbestimmten Position in Bezug auf das Substrat 2 anordnen.
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Ein
Meßinstrument 18 ist
an einem vorgegebenen Ort auf dem X-Y-Tisch 3 angebracht,
um die Lichtintensität
zu messen. Bei der vorliegenden Ausführungsform umfaßt das Meßinstrument 18 Photodioden
mit vier Lichtrezeptoren (nicht dargestellt) mit identischem Aufbau,
die symmetrisch auf einer gemeinsamen Ebene angeordnet sind. Dies
erlaubt nicht nur eine Messung der Lichtintensität, sondern auch der optischen
Achse des Lichts. Daher kann die optische Achse des Lichts aus dem
relativen Anteil von Werten bestimmt werden, die durch die jeweiligen
Lichtrezeptoren ermittelt werden. Es wird jedoch darauf hingewiesen,
daß das
Meßinstrument 18 nicht auf
die Verwendung von Photodioden beschränkt ist, sondern auch Thermoelemente
oder pyroelektrische Köpfe
zu diesem Zweck verwendet werden können. Wenn nur die Ausgangsleistung
gemessen werden soll, kann ein einzelner Lichtrezeptor verwendet
werden, der Abmessungen aufweist, die zumindest gleich der Fläche sind,
die von den vier Lichtrezeptoren abgedeckt wird.
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Das
Meßinstrument 18 ist
auf der oberen Oberfläche
eines Y-Z-Bewegungsschlittens 19 angeordnet, der so angeordnet
ist, daß er
in Bezug auf den X-Y-Tisch 3 entlang der Y- und X-Richtung
bewegt werden kann. Der Y-Z-Bewegungsschlitten 19 kann
durch einen Y-Richtungsservomotor 20 und einen Z-Richtungsservomotor 21 auf
geeignete Weise angetrieben werden, damit die Lichtintensität an verschiedenen
Positionen in Y- und Z-Richtung bestimmt werden kann, und diese
Meßwerte
werden der Steuerung 12 zugeführt.
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Die
Steuerung 12 speichert Meßwerte, die von dem Meßinstrument 18 eingegeben
werden, entsprechend der Bewegung des Y-Z-Bewegungsschlittens 19,
und kann den Y-Richtungsservomotor 20 und
den Z-Richtungsservomotor 21 entsprechend den Meßergebnissen
antreiben, um das Meßinstrument 18 zu
einem Ort zu bewegen, an welchem ein maximaler Ausgangswert der
Summe einzelner Werte erhalten wird, die von den einzelnen Lichtrezeptoren
gemessen werden, oder an welchem die Einzelwerte, die von den verschiedenen
Lichtrezeptoren gemessen werden, gleichzeitig den gleichen Wert aufweisen.
Wenn die einzelnen Werte, die von den jeweiligen Lichtrezeptoren
gemessen werden, gleich werden, so bedeutet dies, daß sich die
optische Achse des Lichts in der zentralen Position in Bezug auf die
verschiedenen Lichtrezeptoren befindet, und daher stellt diese zentrale
Position eine Bezugsposition für
die optische Achse dar. Die Anordnung ist so getroffen, daß dann,
wenn die maximale Ausgangsleistung erhalten wird, die optische Achse
im wesentlichen mit der Bezugsposition übereinstimmt.
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Wenn
die optische Achse bestimmt werden soll ist es nicht immer erforderlich,
daß die
einzelnen Werte, die von den jeweiligen Lichtrezeptoren gemessen
werden, gleich sind. Statt dessen kann eine Relativbeziehung zwischen
den jeweiligen Lichtrezeptoren vorher festgelegt werden, und wenn
das Verhältnis
der Messungen von den jeweiligen Lichtrezeptoren mit dem so eingerichteten
Verhältnis übereinstimmt,
kann das Meßinstrument
auf die optische Achse der Laserdiode bewegt werden. Hierbei liegt
die optische Achse des Lichts exzentrisch in Bezug auf die Zentrumsposition
der Lichtrezeptoren, jedoch stellt diese Position die Bezugsposition
für die optische
Achse dar.
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Nachstehend
wird ein Herstellungsverfahren für
einen Festkörperlaser
unter Verwendung der voranstehend geschilderten Bondierungsvorrichtung 1 im
einzelnen unter Bezugnahme auf eine Vorgehensweise Nr. 1 beschrieben,
die in dem Diagramm von 3 dargestellt ist. In diesem
Diagramm bezeichnet "LD" eine Laserdiode,
und ist mit "Element" ein Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit einer reflektierenden Oberfläche
bezeichnet.
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Bevor
der Bondierungsvorgang eingeleitet wird, wird ein Substrat 2 zugeführt. Das
Substrat 2 ist im allgemeinen ein Siliziumsubstrat, jedoch
kann auch ein Glassubstrat oder ein Keramiksubstrat verwendet werden.
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Während des
Schritts der Zufuhr eines Substrats liefert eine nicht dargestellte
Zufuhrvorrichtung ein Substrat 2 auf die Aufnahme 5 des
X-Y-Tisches 3. Die Plazierung des zugeführten Substrats 2 wird durch
die erste Kamera 16 aufgenommen, und jeder Positionsoffset
des Substrats 2 in Bezug auf eine Bezugsposition auf der
Aufnahme 5 wird von der Steuerung 12 gespeichert.
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Nach
dem Substratzufuhrschritt findet der Schritt der Montage einer Laserdiode
statt. In diesem Schritt wird der X-Y-Tisch 3 so angetrieben,
daß er ein
bestimmtes unter den Tabletts 6, in welchem eine bestimmte
Laserdiode 23 enthalten ist, zu einem Ort direkt unterhalb
des Bondierungswerkzeuges 4 bewegt. Dann wird das Bondierungswerkzeug 4 abgesenkt,
und haltert der Anziehungskopf 4A die Laserdiode 13,
die von ihm angezogen wird. Das Bondierungswerkzeug 4 wird
dann nach oben bewegt, und der X-Y-Tisch 3 wird so bewegt,
daß die
zweite Kamera 17 an einen Ort direkt unterhalb des Anziehungskopfes 4A gebracht
wird. Die zweite Kamera 17 nimmt ein Bild der Laserdiode 23 auf,
wenn diese von dem Anziehungskopf 4A festgehalten wird,
und jeder Offset der Laserdiode 23 in ihrem Zustand, in welchem
sie angezogen ist, in Bezug auf den Bezugswinkel für die Drehung
innerhalb der Horizontalebene, wird in der Steuerung 12 gespeichert.
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Nachdem
die zweite Kamera 17 ein Bild der Laserdiode aufgenommen
hat, wird der X-Y-Tisch 3 erneut bewegt, um den Klebemittelbehälter 7 zu
einem Ort direkt unterhalb des Anziehungskopfes 4A zu bringen.
Dann wird das Bondierungswerkzeug 4 abgesenkt, um bei Ultraviolettbestrahlung
aushärtendes
Harz 24 auf die untere Endoberfläche der Laserdiode 23 aufzubringen.
Nach dem Anbringen des Harzes 24 wird der X-Y-Tisch 3 so
bewegt, daß das Substrat 2 an
einen Ort direkt unterhalb der Laserdiode 23 gebracht wird,
die von dem Anziehungskopf 4A gehaltert wird.
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Wie
voranstehend geschildert berücksichtigt die
Steuerung 12 jeglichen Positionsoffset des Substrats 2 sowie
jeglichen Positionsoffset der Laserdiode 23, um die Bewegung
des X-Y-Tisches 3 und den Drehwinkel der Laserdiode 23 in
der Horizontalebene so zu ändern,
daß die
Laserdiode 23 exakt an einer vorbestimmten Position in
Bezug auf das Substrat 2 angeordnet werden kann.
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Wenn
die Laserdiode 23 an einer vorbestimmten Position in Bezug
auf das Substrat 2 angeordnet ist, wird das Bondierungswerkzeug 4 zu
einer bestimmten Höhe
abgesenkt, um die Haftoberfläche der
Laserdiode 23, die mit dem bei Ultraviolettbestrahlung
aushärtenden
Harz 24 beschichtet ist, in Berührung mit dem Substrat 2 zu
bringen.
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In
diesem Zustand findet eine Bestrahlung mit Ultraviolettstrahlen
von einer UV-Bestrahlungsvorrichtung statt, die nicht dargestellt
ist, um das bei Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harz 24 zum Aushärten zu
veranlassen, wodurch die Laserdiode 23 an ihrem Ort befestigt
wird. Wenn das Harz 24 ausgehärtet ist, und die Laserdiode 23 am
Substrat 2 befestigt ist, wird die Anziehung beendet, die
durch den Anziehungskopf 4A auf die Laserdiode 23 ausgeübt wird,
und wird das Bondierungswerkzeug 4 nach oben bewegt. Hiermit
ist die Befestigung der Laserdiode beendet.
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Nach
Befestigung der Laserdiode werden Anschlüsse (nicht gezeigt) der befestigten
Laserdiode mit einer gedruckten Verdrahtung auf der Rückseite
des Substrats 2 über
Leitungsdrähte 25 verbunden.
Jede bekannte Drahtverbindungsvorrichtung, nicht dargestellt, kann
dazu verwendet werden, die Verbindung zwischen den Anschlüssen der
Laserdiode 23 und der gedruckten Verdrahtung über die
Leitungsdrähte 25 herzustellen.
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Wenn
die Anschlüsse
der Laserdiode 23 mit der gedruckten Verdrahtung über die
Leitungsdrähte 25 verbunden
sind, läßt man einen
Strom durch die gedruckte Verdrahtung zur Laserdiode 23 fließen, um diese
zu veranlassen, Licht auszusenden. Der Y-Richtungsservomotor 20 wird
dann in Gang gesetzt, um eine schrittweise Hin- und Herbewegung
in der Y-Richtung des Meßinstruments 18 in
Bezug auf die Laserdiode 23 zu verursachen, während das
abgegebene Licht mit dem Meßinstrument 18 gemessen
wird.
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Die
Steuerung 20 speichert die Größe eines Ausgangssignals, welches
von dem Meßinstrument 18 abgegeben
wird, entsprechend der Bewegung des Y-Z-Bewegungsschlittens 19,
und wählt
eine Position aus, an welchem ein maximales Ausgangssignal unter
den gespeicherten Werten erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal abgeben. Der
Y-Z-Bewegungsschlitten 19 und das Meßinstrument 18 werden
zu jener Position bewegt, an welcher das maximale Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal abgeben, wodurch der Y-Richtungsservomotor 20 abgeschaltet
wird.
-
Auf
diese Weise wird das Meßinstrument 18 zu
einer Position in der Y-Richtung bewegt, an welcher ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die optische Achse
des Lichtes mit einer Bezugsposition auf dem Meßinstrument übereinstimmt,
oder an welche die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche
Ausgangssignal abgeben, und hält
dort an, wodurch es in Bezug auf die Laserdiode 23 positioniert
wird.
-
Wenn
kein Eingangssignal von dem Meßinstrument 18 ankommt,
stellt die Steuerung 12 fest, daß es sich bei der Laserdiode 23 um
eine defekte Laserdiode handelt, die kein Licht aussenden kann, und
führt keine
weiteren Schritte durch. Das Substrat 2 und die Laserdiode 23,
die bereits montiert wurden, werden entfernt, und der Vorgang wird
von dem Substratzufuhrschritt aus unter Verwendung eines neuen Substrats 2 wiederholt.
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Daraufhin
setzt die Steuerung 12 den Z-Richtungsservomotor 21 in
Betrieb, um den Y-Z-Bewegungsschlitten 19 und das Meßinstrument 18 nach
oben und unten über
einen bestimmten Schritthub in Bezug auf die Laserdiode 23 zu
bewegen, während
das Ausgangssignal von dem Meßinstrument 18 festgestellt
wird. Auf entsprechende Weise wie voranstehend beschrieben wird
das Meßinstrument 18 zu
einer Position bewegt, an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten
wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche
Ausgangssignal liefern, und hält
an dieser Position an, wodurch es positioniert wird.
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Das
Meßinstrument 18 ist
nunmehr an einer Position in der Y-Richtung positioniert, an welcher ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren
gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern, und darüber hinaus
an einer Position in der Z-Richtung, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Auf diese Weise kann das Meßinstrument 18 auf
der optischen Achse des Lichts von der Laserdiode 23 positioniert
werden.
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Wenn
auf die voranstehend geschilderte Weise das Meßinstrument 18 auf
der optischen Achse der Laserdiode 23 positioniert wurde,
geht dann der Vorgang zur Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements über.
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Bei
der vorliegenden Ausführungsform
ist ein Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 als
YAG-Slab ausgebildet, also als Quader, der an seinem hinteren Ende
eine reflektierende Oberfläche 27 aufweist.
Alternativ hierzu kann das Festkörperlaser-Oszillatorelement
als YAG-Stab, YLF-Slab, YLF-Stab, YVO4-Slab, YVO4-Stab oder dergleichen
ausgebildet sein.
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Das
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
wird vorher einem Bestimmten unter den Tabletts 6 zugeführt, und
wird durch Anziehung am Anziehungskopf 4A festgehalten,
damit das unter Ultraschallbestrahlung aushärtende Harz 24 an
seiner unteren Endoberfläche
angebracht werden kann, ähnlich
wie voranstehend im Zusammenhang mit der Montage der Laserdiode
erwähnt.
Wenn das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 an einer
vorbestimmten Position in Bezug auf das Substrat 2 positioniert
ist, wird das Bondierungswerkzeug 4 bis zu einer vorbestimmten
Höhe herunterbewegt,
wodurch die Haftoberfläche
des Festkörperlaser-Oszillatorelements 26,
auf welche das unter Ultraschallbestrahlung aushärtende Harz 24 aufgebracht
ist, in Kontakt mit dem Substrat 2 gebracht wird.
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Die
Vorgehensweise bis zu diesem Punkt ist ebenso wie bei der Montage
der Laserdiode.
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Wenn
sich unter Ultraschallbestrahlung aushärtende Harz 24, das
auf die Haftoberfläche
des Festkörperlaser-Oszillatorelements 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
aufgebracht wurde, in Berührung
mit dem Substrat 2 bewegt, wird der Y-Richtungsmotor 9 in
Gang gesetzt, um eine schrittweise Hin- und Herbewegung in der Y-Richtung
des X-Y-Tisches 3 hervorzurufen, und daher eine entsprechende
Bewegung des Substrats 2 und der Laserdiode 23 in
Bezug auf das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche,
so daß Licht, welches
durch das Oszillatorelement 26 hindurchgeht, oder Ausgangslicht,
welches von dem Oszillatorelement 26 abgestrahlt wird,
von dem Meßinstrument 18 gemessen
wird, welches an der vorbestimmten Position angeordnet ist. Es wird
darauf hingewiesen, daß zu
diesem Zeitpunkt das unter Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harz 24 zwischen
dem Substrat 2 und dem Oszillatorelement 26 angeordnet ist,
während
es beide berührt,
jedoch bleibt, da die Bewegung des Oszillatorelements 26 in
Bezug auf das Substrat 2 minimal ist, das Harz 24 in
Kontakt sowohl mit dem Substrat 2 als auch dem Oszillatorelement 26,
während
es dazwischen angeordnet ist.
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Die
Steuerung 12 speichert die Größe eines Ausgangssignals, welches
von dem Meßinstrument 18 eingegeben
wird, entsprechend der Bewegung des X-Y-Tisches 3, und
wählt eine
Position aus, an welcher ein maximaler Ausgangswert unter gespeicherten
Werten erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren
gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern. Der X-Y-Tisch 3,
das Substrat 2 und die Laserdiode 23 werden zu
jener Position bewegt, an welcher das maximale Ausgangssignal erhalten
wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern, worauf der Y-Richtungsmotor 9 abgeschaltet wird.
Auf diese Weise wird das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche an
der Position in der Y-Richtung angeordnet, an welcher ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern.
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Daraufhin
setzt die Steuerung 12 den Y-Achsen-Drehservomotor 14 in
Gang, um eine schrittweise Drehung des Festkörperlaser-Oszillatorelements 26 mit der
reflektierenden Oberfläche
hervorzurufen, welches durch den Anziehungskopf 4A angezogen wird,
entweder in Vorwärts-
oder in Rückwärtsrichtung
um die Y-Achse, während
die Steuerung das Ausgangssignal von dem Meßinstrument 18 empfängt. Auf
entsprechende Weise wie voranstehend geschildert werden der Anziehungskopf 4A und
das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
zu einer Position bewegt, die einen Drehwinkel aufweist, an welchem
das maximale Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern,
worauf der Y-Achsen-Drehservomotor 14 abgeschaltet wird.
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Daraufhin
setzt die Steuerung 12 den Hebemechanismus 11 in
Gang, um das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche über einen
Schritthub nach oben und unten in Z-Richtung zu bewegen, und bewegt
das Oszillatorelement 26 in eine Position, an welcher ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren
gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal abgeben.
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Dann
setzt die Steuerung 12 den Z-Achsen-Drehservomotor 13 in
Gang, um eine Drehung des Festkörperlaser-Oszillatorelements 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
hervorzurufen, entweder in Vorwärts-
oder in Rückwärtsrichtung
um die Z-Achse, um einen schrittweisen Hub, und ordnet das Oszillatorelement 26 an
einer Position an, die einen Drehwinkel aufweist, an welchem ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern.
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Das
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
ist dann an einer Position in der Y-Richtung angeordnet, an welcher ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal abgeben,
an einer Position, die einen Drehwinkel um die Y-Achse aufweist, an
welchem ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem
die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
liefern, an einer Position in der Z-Richtung, an welcher ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren
gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern, und an einer Position mit
einem Drehwinkel um die Z-Achse, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal abgeben. Hierdurch kann das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit der
reflektierenden Oberfläche
auf der optischen Achse der Laserdiode 23 angeordnet werden.
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Nachdem
auch die voranstehend geschilderte Art und Weise das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
auf der optischen Achse angeordnet wurde, erfolgt eine Bestrahlung
mit Ultraviolettstrahlen von einer UV-Bestrahlungsvorrichtung, die
auf das unter Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harz 24 gerichtet
wird, das auf diese Art und Weise ausgehärtet wird, wodurch das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
an dem Substrat 2 befestigt wird. Wenn das Harz 24 vollständig ausgehärtet ist, wird
die durch den Anziehungskopf 4A auf das Oszillatorelement 26 einwirkende
Anziehung aufgehoben, und wird das Bondierungswerkzeug 4 nach
oben bewegt, wodurch die Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements mit der reflektierenden
Oberfläche beendet
ist.
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Es
wird darauf hingewiesen, daß während der
Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements eine
Lichtemission von der Laserdiode 23 hervorgerufen wird.
Was zu diesem Zeitpunkt von dem Meßinstrument 18 gemessen
wird ist Licht von der Laserdiode 23, welches durch das
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
hindurchgelangt ist, oder Licht, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
ausgestrahlt wird, wenn es durch das Licht von der Laserdiode 23 angeregt
wird, oder die sogenannte Fluoreszenz.
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Die
Montage eines Ausgangsspiegels folgt auf die Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements.
Auf ähnliche
Weise wie voranstehend beschrieben in Bezug auf die Montage des
Festkörperlaser-Oszillatorelements
wird das unter Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harz 24 an
dem Ausgangsspiegel 28 angebracht, der dann an einer Position
in der Y-Richtung angeordnet wird, in welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern, an einer Position mit einem
Drehwinkel um die Y-Achse, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern, an einer Position in der Z-Richtung,
an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher
die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
liefern, und an einer Position mit einem Drehwinkel um die Z-Achse,
an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die
jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
liefern. Anders ausgedrückt
wird der Ausgangsspiegel an einer optimalen Position auf dem Substrat 2 angeordnet,
und wird, während
er in dieser Position gehalten wird, eine Bestrahlung des bei Ultraviolettbestrahlung
aushärtenden
Harzes 24 mit Ultraschall von der UV-Bestrahlungsvorrichtung durchgeführt, wodurch
der Ausgangsspiegel an dem Substrat 2 befestigt wird.
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Während der
Montage des Ausgangsspiegels wird ebenfalls eine Lichtemission von
der Laserdiode 23 hervorgerufen, jedoch wird darauf hingewiesen,
daß das,
was vom Meßinstrument 18 während der
Montage des Ausgangsspiegels gemessen wird, kein Licht von der Laserdiode 23 ist,
sondern ein Laserstrahl, der in Resonanz zwischen der reflektierenden
Oberfläche 27 und
dem Ausgangsspiegel 28 versetzt wird, und über den
Ausgangsspiegel 28 abgegeben wird.
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Wenn
der Ausgangsspiegel 28 in einer bestimmten Beziehung zum
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
angeordnet ist, wird er durch Licht von der Laserdiode 23 angeregt,
welches durch den reflektierenden Spiegel 23 hindurchgeht,
und wird das Licht in Resonanz innerhalb des Festkörperlaser-Oszillatorelements 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
versetzt, zwischen der reflektierenden Oberfläche 27 und dem Ausgangsspiegel 28.
Wenn die Resonanzenergie zunimmt, wird der Laserstrahl durch den
Ausgangsspiegel 28 hindurchgelassen, so daß er von
dem Meßinstrument 28 gemessen
wird.
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Wenn
die Montage des Ausgangsspiegels beendet ist, sind das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
und der Ausgangsspiegel 28 fest auf der optischen Achse
der Laserdiode 23 montiert. Daher sind das Oszillatorelement 28 und
der Ausgangsspiegel 28 auf der optischen Achse des Lichtes
angeordnet, welches von der Laserdiode ausgesandt wird, wodurch
man einen verbesserten abgegebenen Laserstrahl erzielt, verglichen
mit den Ergebnissen, die bei einem herkömmlichen Herstellungsverfahren
erhalten werden.
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Bei
der geschilderten Ausführungsform
wird nach einer Position gesucht, in welcher ein Festkörperlaser-Oszillatorelement
befestigt werden soll, während
dessen Montage, während
eine Lichtemission von der Laserdiode 23 hervorgerufen
wird, und das Licht von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit der
reflektierenden Oberfläche
durch das Meßinstrument 18 gemessen
wird. Allerdings wird darauf hingewiesen, daß die Erfindung nicht auf eine derartige
Anordnung beschränkt
ist, sondern daß das Laseroszillatorelement
auch an dem Substrat 2 unter Verwendung eines Positionierungsvorgangs
befestigt werden kann, der unter Verwendung einer Kamera stattfindet, ähnlich wie
beim Stand der Technik, wie dies bei Nr. 2 in dem in 3 dargestellten
Diagramm angegeben ist. In diesem Fall verbleibt die Möglichkeit,
daß die
optische Achse des Lichts von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
nicht mit der optischen Achse des Lichts von der Laserdiode 23 ausgerichtet
ist, jedoch ist der Offset zwischen diesen beiden minimal, und ebenso
die Verringerung der Ausgangsleistung. Dennoch kann die Ausgangsleistung
verbessert werden, verglichen mit dem Ergebnis, daß bei Verwendung
eines herkömmlichen
Herstellungsverfahrens erhalten wird.
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Untersucht
man dies genauer, so hängt
das Lichtabsorptionsvermögen
von den verschiedenen Festkörperlaser-Oszillatorelementen
ab. Ein Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit hohem Lichtabsorptionsvermögen
strahlt Licht in einem sehr begrenzten Frequenzbereich aus, während er
Licht mit anderen Frequenzen absorbiert, was zu einer verringerten Lichtintensität im Vergleich
mit einem Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit niedrigerem Lichtabsorptionsvermögen führt. Bei einem derartigen Festkörperlaser-Oszillatorelement
muß man
sich bei der Montage notwendigerweise allein auf den Einsatz einer
Kamera verlassen. Im Gegensatz hierzu absorbiert ein Festkörperlaser-Oszillatorelement
mit niedrigerem Lichtabsorptionsvermögen Licht, welches von der Laserdiode 23 ausgestrahlt
wird, in einem begrenzten Frequenzbereich, wogegen es den Rest,
genauer gesagt den Hauptanteil, des Lichts hindurchgehen läßt, was
zu einer verringerten Abnahme der Lichtintensität führt. In diesem Fall ist es
möglich,
das Meßinstrument
für die
Messung einzusetzen. Allerdings wird darauf hingewiesen, daß die Montage
absichtlich nur die Verwendung einer Kamera einsetzen kann, selbst
bei einem Festkörperlaser-Oszillatorelement,
welches eine Messung mit dem Meßinstrument
zuläßt.
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Bei
der geschilderten Ausführungsform
wird während
der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
eine Lichtemission von der Laserdiode 23 hervorgerufen,
die auf dem Substrat 2 befestigt ist, und wird das von
der Laserdiode 23 ausgesandte Licht von dem Meßinstrument 18 gemessen,
um das Meßinstrument 18 auf
der optischen Achse dieses Lichts anzuordnen. Allerdings ist die
Erfindung nicht auf eine derartige Anordnung beschränkt. Alternativ hierzu
kann, wie bei Nr. 3 in dem Diagramm von 3 angegeben
ist, während
der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
eine Lichtemission von der Laserdiode 23 hervorgerufen
werden, und kann das Licht von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
von dem Meßinstrument 18 gemessen
werden, um das Meßinstrument 18 auf
der optischen Achse des Lichts von dem Oszillatorelement 26 anzuordnen.
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Bei
der geschilderten Ausführungsform
wird eine Schrittfolge verwendet, die den Anfangsschritt der Montage
der Laserdiode aufweist, gefolgt von der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements, woran
sich der Schritt der Montage des Ausgangsspiegels anschließt. Allerdings
ist die Erfassung nicht auf diese Schrittfolge beschränkt, sondern
alternativ hierzu kann die Abfolge der Montage der Laserdiode und
der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements
vertauscht werden, solange der Schritt der Montage des Ausgangsspiegels
der letzte ist, wie bei Nr. 4 in dem Diagramm angegeben ist. In
diesem Fall wird das Meßinstrument 18 auf
der optischen Achse des Lichts von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
angeordnet. Wiederum verbessert dieses Herstellungsverfahren die
Laserstrahlausgangsleistung, verglichen mit jener, die unter Einsatz
des herkömmlichen
Herstellungsverfahrens erzielt wird.
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Weiterhin
bewegt sich bei der geschilderten Ausführungsform während des
Schrittes der Montage der Laserdiode das Meßinstrument 18 in
Bezug auf die Laserdiode 23, die an dem Substrat 2 befestigt
ist, um es auf der optischen Achse anzuordnen. Die Erfindung ist
jedoch nicht auf eine derartige Anordnung beschränkt. Alternativ hierzu kann
das Meßinstrument 18 an
einer vorbestimmten Position angeordnet werden, während die
Laserdiode 23, die durch Anziehung von dem Bondierungswerkzeug 4 gehaltert
wird, an einem Ort in der Y-Richtung angeordnet werden kann, an
welchem ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem
die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
liefern, an einem Ort mit einem Drehwinkel um die Y-Achse, an welchem
ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die
jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
liefern, an einem Ort in der Z-Richtung, an welchem ein maximales
Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern, und an einem Ort mit einem Drehwinkel
um die Z-Achse, an welchem ein maximales Ausgangssignal erhalten wird,
oder an welchem die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Unter Aufrechterhaltung dieses Zustands
kann die UV-Bestrahlungsvorrichtung das unter Ultraviolettbestrahlung
aushärtende
Harz 24 mit Ultraviolettstrahlung bestrahlen, um die Laserdiode
auf dem Substrat zu befestigen, wodurch das Meßinstrument 23 auf der
optischen Achse des Lichts von der Laserdiode angeordnet wird, auf ähnliche
Weise wie jene, die beim Schritt der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements
und beim Schritt der Montage des Ausgangsspiegels verwendet wird,
wie bei Nr. 5 in dem Diagramm angegeben ist. In diesem Fall muß, obwohl
dies nicht dargestellt ist, eine bekannte Vorrichtung an dem Teil
des Bondierungswerkzeuges 4 vorgesehen werden, welche die
Versorgung der Laserdiode 23 mit Strom gestattet. Auf diese
Weise kann ein Ergebnis, welches mit dem vergleichbar ist, das bei
der geschilderten Ausführungsform
erzielt wurde, während
des Schritts der Montage der Laserdiode erzielt werden.
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Bei
dem Herstellungsverfahren, welches den voranstehend geschilderten
Schritt der Montage der Laserdiode verwendet, wird eine Lichtemission
von der Laserdiode 23 hervorgerufen, und wird Licht von dem
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
von dem Meßinstrument 18 gemessen,
um nach einem Ort zu suchen, an welchem die Befestigung erfolgen
soll. Allerdings ist die Erfindung nicht auf eine derartige Anordnung
beschränkt,
sondern man kann sich auch auf eine Positionierung allein mit Hilfe
einer Kamera verlassen, um die Befestigung an dem Substrat 2 vorzunehmen,
wie bei Nr. 6 in dem Diagramm angegeben ist.
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Darüber hinaus
ist es nicht erforderlich, daß die
Ausführung
des Schrittes zur Montage des Ausgangsspiegels auf eine Schrittfolge
beschränkt
ist, in welcher dieser Schritt auf die Ausführung des Schritts der Montage
der Laserdiode und den Schritt der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements folgt.
Alternativ hierzu kann, solange der Schritt der Montage des Ausgangsspiegels
der letzte Schritt ist, die Reihenfolge der Ausführung der Schritte der Montage
der Laserdiode und der Montage des Festkörperlasers vertauscht werden,
wie bei den Nr. 7 und 9 in dem Diagramm angegeben ist. In diesem
Fall wird die Laserdiode 23 oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
zu einer Position bewegt und dort befestigt, an welcher Licht von
dem Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
ein Maximum annimmt, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren
gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern.
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Zusätzlich können, wie
bei den Nr. 8 und 10 angegeben, die Laserdiode 23 und das
Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 mit
der reflektierenden Oberfläche
auf dem Substrat 2 unter Verwendung einer Positionierung
allein mit Hilfe einer Kamera befestigt werden, und kann während des
darauffolgenden Schrittes der Montage des Ausgangsspiegels eine
Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen werden. Der Ausgangsspiegel kann
zu einer Position bewegt und dort befestigt werden, an welcher ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal abgeben.
Unter den verschiedenen voranstehend geschilderten Herstellungsverfahren
ist in diesem Fall die Änderung
der Ausgangsleistung am größten. Allerdings
läßt sich immer
noch eine verbesserte Laserstrahlausgangsleistung erzielen, verglichen
mit dem Ergebnis, das unter Verwendung des herkömmlichen Herstellungsverfahrens
erhalten wird.
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Bei
der geschilderten Ausführungsform
ist das Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 einstückig mit
der reflektierenden Oberfläche 27 versehen,
jedoch ist die Erfindung nicht auf eine derartige Anordnung beschränkt. Daher
kann die Erfindung auch ein Festkörperlaser-Oszillatorelement 26 verwenden, welches
nicht mit einer reflektierenden Oberfläche 27 versehen ist.
In diesem Schritt wird ein Schritt der Montage eines reflektierenden
Spiegels auf dem Substrat eingesetzt, getrennt von dem Schritt der Montage
des Festkörperlaser-Oszillatorelements, wie
dies bei Nr. 11 in dem Diagramm von 4 angegeben
ist.
-
In
diesem Schritt kann entweder der Schritt der Montage des Festkörperlaser-Oszillatorelements oder
der Schritt der Montage des reflektierenden Spiegels dem jeweils
anderen Schritt vorgehen, wie bei Nr. 12 in dem Diagramm angegeben
ist. Bei einem derartigen Herstellungsverfahren werden vergleichbare
Auswirkungen wie bei der voranstehend geschilderten Ausführungsform
erzielt.
-
Wie
bei den Nr. 13 bis 18 in dem Diagramm angegeben kann zumindest entweder
der reflektierende Spiegel oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement
an dem Substrat 2 durch eine Positionierung befestigt werden,
die mit Hilfe der Kamera allein durchgeführt wird. Ein derartiges Herstellungsverfahren
führt immer
noch zu einer verbesserten Laserstrahlausgangsleistung, verglichen
mit dem Ergebnis, das bei Einsatz des herkömmlichen Herstellungsverfahrens
erzielt wird.
-
Wie
bei den Nr. 19 bis 22 in dem Diagramm von 4 angegeben
wird zuerst der Schritt der Montage eines reflektierenden Spiegels
durchgeführt,
worauf entweder der Schritt der Montage einer Laserdiode oder der
Schritt der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
folgt, wobei dann der anderer entsprechende Schritt folgt, wodurch
die Laserdiode und das Festkörperlaser-Oszillatorelement auf
dem Substrat befestigt werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Lichtemission
von der Laserdiode hervorgerufen, um das Licht zu messen, welches durch
den reflektierenden Spiegel hindurchgeht, oder das Licht, welches
sowohl durch den reflektierenden Spiegel als auch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, oder das Licht, welches durch den reflektierenden
Spiegel hindurchgeht und von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
ausgestrahlt wird, wobei die Messung jeweils durch das Meßinstrument
erfolgt, welches dann zu einer Position bewegt wird, an welcher
ein maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die
jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal
abgeben, wodurch es in Bezug auf den reflektierenden Spiegel oder
das Festkörperlaser-Oszillatorelement positioniert
wird. Dann folgt der Schritt der Montage eines Ausgangsspiegels.
Während
dieses Schrittes wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen,
um das Festkörperlaser-Oszillatorelement anzuregen,
und wird von dem Ausgangsspiegel abgegebenes Licht von dem Meßinstrument
gemessen, wodurch der Ausgangsspiegel zu einer Position bewegt und
dort befestigt werden kann, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Auch ein derartiges Herstellungsverfahren
ist dazu wirksam, eine verbesserte Laserstrahlausgangsleistung zur
Verfügung
zu stellen, im Vergleich zu dem Ergebnis, das bei Einsatz eines
herkömmlichen
Herstellungsverfahrens erhalten wird.
-
Wie
bei den Nr. 23 bis 26 in dem Diagramm von 4 angegeben
ist, wird zuerst der Schritt der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements durchgeführt, worauf
entweder der Schritt der Montage einer Laserdiode oder der Schritt
der Montage eines reflektierenden Spiegels folgt, wobei der entsprechende
andere Schritt dann daraufhin durchgeführt wird, wodurch die Laserdiode
und der reflektierende Spiegel auf dem Substrat befestigt werden.
Zu diesem Zeitpunkt wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen,
um eine Messung durch das Meßinstrument
von Licht zu gestatten, welches durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement hindurchgeht, von
Licht, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
abgestrahlt wird, von Licht, welches sowohl durch den reflektierenden
Spiegel als auch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, oder von Licht, welches durch den reflektierenden Spiegel
hindurchgeht und von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
abgestrahlt wird. Das Meßinstrument
wird in eine Position bewegt, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Signal liefern, und wird auf diese Weise in Bezug auf das
Festkörperlaser-Oszillatorelement positioniert.
Während
eines darauffolgenden Schrittes der Montage eines Ausgangsspiegels
wird erneut eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen,
um das Festkörperlaser-Oszillatorelement
anzuregen, und wird von dem Ausgangsspiegel abgegebenes Licht durch
das Meßinstrument
gemessen. Der Ausgangsspiegel wird in eine Position bewegt und dort
befestigt, an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten wird,
oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Auch dieses Herstellungsverfahren
gestattet es, eine verbesserte Laserausgangsleistung zu erzielen,
im Vergleich zu einem Ergebnis, das unter Verwendung des herkömmlichen
Herstellungsverfahrens erhalten wird.
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Wie
bei den Nr. 27 bis 34 im Diagramm von 5 angegeben
ist, wird während
des Schritte der Montage einer Laserdiode eine Laserdiode 23,
die durch Anziehung an dem Bondierungswerkzeug 4 gehaltert
wird, an einem Ort in der Y-Richtung angeordnet, an welchem ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern,
an einem Ort mit einem Drehwinkel um die Y-Achse, an welcher ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern,
an einem Ort in der Z-Richtung, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welchem die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern, und an einem Ort mit einem Drehwinkel
um die Z-Achse, an welchem ein maximales Ausgangssignal erhalten
wird, oder an welchem die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern, in Bezug auf das Meßinstrument 18,
welches vorher an einer vorbestimmten Position angeordnet wurde.
In diesem Zustand bestrahlt die UV-Bestrahlungsvorrichtung das unter
Ultraviolettbestrahlung aushärtende
Harz 24 mit Ultraviolettstrahlung, um die Laserdiode auf
dem Substrat 2 zu befestigen, wodurch das Meßinstrument 23 auf
der optischen Achse des Lichts von der Laserdiode 23 angeordnet
wird.
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Wie
bei den Nr. 35 bis 42 in dem Diagramm von 5 angegeben
ist, kann während
des Schritts der Montage einer Laserdiode die Laserdiode 23 an dem
Substrat 2 durch eine Positionierung befestigt werden,
welche unter Zuhilfenahme einer Kamera stattfindet. Der nachfolgende
Betrieb geht auf dieselbe Art und Weise weiter, wie dies voranstehend
im Zusammenhang mit den Nr. 27 bis 34 angegeben wurde.
-
Jedes
der voranstehend geschilderten Herstellungsverfahren gemäß den Variationen
Nr. 27 bis 42 führt
zu einer verbesserten Laserstrahlausgangsleistung, verglichen mit
dem Ergebnis, das unter Verwendung eines herkömmlichen Herstellungsverfahrens
erzielt wird.
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Wie
bei den Nr. 43 bis 48 in dem Diagramm von 6 angegeben
ist, wird zuerst der Schritt der Montage eines reflektierenden Spiegels
durchgeführt,
worauf entweder der Schritt der Montage einer Laserdiode oder der
Schritt der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements
folgt, und der jeweils andere Schritt daraufhin durchgeführt wird,
wodurch die Laserdiode und das Festkörperlaser-Oszillatorelement auf dem Substrat befestigt
werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen,
um durch das Meßinstrument
eine Messung des Lichts zu gestatten, welches durch den reflektierenden
Spiegel hindurchgeht, des Lichts, welches sowohl durch den reflektierenden
Spiegel als auch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, und des Lichts, welches durch den reflektierenden
Spiegel hindurchgeht und von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
abgestrahlt wird, und das Meßinstrument
wird in Bezug auf den reflektierenden Spiegel oder das Festkörperlaser-Oszillatorelement
angeordnet, indem es in eine Position bewegt wird, an welcher ein
maximales Ausgangssignal erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen
Lichtrezeptoren gleichzeitig das gleiche Ausgangssignal liefern.
Während
eines darauffolgenden Schrittes der Montage eines Ausgangsspiegels
wird eine Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen, um das Festkörperlaser-Oszillatorelement
anzuregen, und wird von dem Ausgangsspiegel abgegebenes Licht von
dem Meßinstrument
gemessen. Der Ausgangsspiegel wird in eine Position bewegt und dort
befestigt, an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten wird,
oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Ein derartiges Herstellungsverfahren
ist in der Hinsicht wirksam, daß eine
verbesserte Laserstrahlausgangsleistung erzielt wird, im Vergleich
zu einem Ergebnis, das unter Verwendung eines herkömmlichen Herstellungsverfahrens
erhalten wird.
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Wie
bei den Nr. 49 bis 54 in dem Diagramm von 6 angegeben
ist, wird zuerst der Schritt der Montage eines Festkörperlaser-Oszillatorelements durchgeführt, worauf
dann entweder der Schritt der Montage einer Laserdiode oder der
Schritt der Montage eines reflektierenden Spiegels folgt, und der
entsprechende andere Schritt daraufhin durchgeführt wird, wodurch die Laserdiode
und das Festkörperlaser-Oszillatorelement
auf dem Substrat befestigt werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine
Lichtemission von der Laserdiode hervorgerufen, um durch das Meßinstrument
eine Messung des Lichts zu gestatten, welches durch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, des Lichts, welches von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
ausgestrahlt wird, des Lichts, welches sowohl durch den reflektierenden
Spiegel als auch das Festkörperlaser-Oszillatorelement
hindurchgeht, oder des Lichts, welches durch den reflektierenden
Spiegel hindurchgeht und von dem Festkörperlaser-Oszillatorelement
abgestrahlt wird. Das Meßinstrument
wird in Bezug auf das Festkörperlaser-Oszillatorelement
dadurch positioniert, daß es
zu einer Position bewegt wird, an welcher ein maximales Ausgangssignal
erhalten wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig
das gleiche Ausgangssignal liefern. Während des darauffolgenden Schrittes
der Montage eines Ausgangsspiegels wird eine Lichtemission von der
Laserdiode hervorgerufen, um das Festkörperlaser-Oszillatorelement anzuregen, und wird
von dem Ausgangsspiegel abgegebenes Licht von dem Meßinstrument
gemessen. Der Ausgangsspiegel wird zu einer Position bewegt und
dort befestigt, an welcher ein maximales Ausgangssignal erhalten
wird, oder an welcher die jeweiligen Lichtrezeptoren gleichzeitig das
gleiche Ausgangssignal liefern. Auch dieses Herstellungsverfahren
ist in der Hinsicht wirksam, daß eine
verbesserte Laserstrahlausgangsleistung erzielt wird, verglichen
mit einem Ergebnis, das unter Verwendung eines herkömmlichen
Herstellungsverfahrens erreicht wird.
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Bei
der voranstehenden Beschreibung wird ein unter Ultraviolettbestrahlung
aushärtendes
Harz als Klebemittel verwendet, jedoch ist die Erfindung nicht auf
die Verwendung des unter Ultraviolettbestrahlung oder Ultraschallbestrahlung
aushärtenden Harzes
beschränkt.
Beispielsweise kann ein durch Wärmeeinwirkung
aushärtendes
Klebemittel verwendet werden, und durch Einsatz von Wärme erhärtet werden.
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Ein
nicht-linearer optischer Kristall wie beispielsweise BBO, LBO, KTP
oder dergleichen kann zwischen dem Festkörperlaser-Oszillatorelement und dem Ausgangsspiegel
angeordnet werden, um die Wellenlänge des Laserstrahls von dem
Festkörperlaser
umzuwandeln.
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Weiterhin
kann ein Q-Schalter, etwa ein optoakustisches Bauteil oder ein elektrooptisches
Bauteil, zwischen dem Festkörperlaser-Oszillatorelement und
dem Ausgangsspiegel oder zwischen dem nicht-linearen optischen Kristall
und dem Ausgangsspiegel angeordnet werden. Wenn der Q-Schalter verwendet
wird, so ist es erforderlich, eine geeignete Vorrichtung auf dem
Bondierungswerkzeug vorzusehen, welche eine Hochfrequenzspannung
an den Q-Schalter anlegt.
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Der
Schritt der Montage des nicht-linearen optischen Kristalls oder
des Q-Schalters auf dem Substrat 2 kann im wesentlichen
zur gleichen Zeit wie der Schritt der Montage eines Ausgangsspiegels durchgeführt werden,
oder es kann einer dieser Schritte dem anderen vorangehen. Allerdings
ist es erforderlich, daß der
Schritt der Montage des nicht-linearen optischen Kristalls oder
des Q-Schalters zumindest nach dem Schritt der Montage des Ausgangsspiegels
durchgeführt
wird, nämlich
nachdem ein Laserstrahl von dem Ausgangsspiegel 28 geliefert
wird.
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Zwar
wurde die Erfindung voranstehend im Zusammenhang mit verschiedenen
Ausführungsformen
beschrieben, jedoch wird darauf hingewiesen, daß eine Anzahl an Änderungen,
Modifikationen und Ersetzungen in Bezug auf die voranstehende Beschreibung
möglich
ist, ohne vom Wesen und Umfang der Erfindung abzuweichen, die sich
aus der Gesamtheit der vorliegenden Anmeldeunterlagen ergeben und
von den beigefügten
Patentansprüchen umfaßt sein
sollen.