DE19722110C2

DE19722110C2 - Abgedichtete Kontaktvorrichtung, Verfahren zur Herstellung der abgedichteten Kontaktvorrichtung und Verfahren für ein dichtes Verschließen

Info

Publication number: DE19722110C2
Application number: DE19722110A
Authority: DE
Inventors: Tsukasa Hojo; Ryuji Otani; Toru Kuwata; Shusuke Matsumura
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-05-28
Filing date: 1997-05-27
Publication date: 2003-06-12
Anticipated expiration: 2017-05-28
Also published as: KR970076938A; US6085964A; KR100298142B1; US6204460B1; DE19722110A1; JP3543488B2; JPH09320411A

Description

Diese Erfindung bezieht sich in der Hauptsache auf eine abge dichtete oder hermetisch abgeschlossene Kontaktvorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 sowie auf ein dazugehö riges Herstellungsverfahren gemäß Anspruch 20.

Herkömmlicherweise ist eine abgedichtete Kontaktvorrichtung Aa, in welcher ein ortsfester Kontakt 2 und ein bewegbarer Kontakt 3 in einem einen gasdichten Raum E aufweisenden Ge häuse 1 angeordnet sind, so ausgestaltet, wie in der Japani schen Patentschrift Nr. Hei 5-28457 beschrieben und in der beigefügten Fig. 35 gezeigt ist. Hiernach ragt ein Ent- oder Belüftungsrohr 7a vom Gehäuse 1 vor, wird das Innere des Ge häuses 1 mittels des Rohres 7a evakuiert oder wird Gas in das Gehäuse eingeführt, worauf dann das Be- oder Entlüftungsrohr 7a zusammengepreßt wird, so daß es dicht verschlossen wird.

Da bei dieser Ausgestaltung das Lüftungsrohr 7a zur Anwendung kommt, ragt dieses Lüftungsrohr vom Gehäuse 1 vor. Deshalb ruft das Lüftungsrohr 7a viele Probleme und Schwierigkeiten bei einem Einbau, Verpacken, einer Lagerung u. dgl. der abge dichteten Kontaktvorrichtung Aa hervor.

Herkömmlicherweise, wie in der US 4 309 816 A, wird ein Be- oder Entlüftungsstutzen an der Kontaktvorrichtung vorgesehen, wodurch zum Be- oder Entlüften ein dem Be- oder Entlüftungs stutzen angepasstes Rohr des Be- oder Entlüfters aufgesetzt wird. Diese Art der Steckverbindung setzt voraus, daß das Rohr des Be- oder Entlüfters dem Be- oder Entlüftungsstutzen in der Form angepaßt ist.

Demzufolge ist es Aufgabe der Erfindung eine abgedichtete Kontaktverbindung und ein Verfahren zum Herstellen der abge dichteten Kontaktvorrichtung zu schaffen, bei denen eine Kom patibilität zwischen Kontaktvorrichtung und Be- oder Entlüf ter gesichert ist.

Die Aufgabe wird mit einer abgedichteten Kontaktvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und mit einem Verfahren zum Herstellen einer abgedichteten Kontaktvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 20 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unter ansprüchen angegeben.

Mit Blick auf die obigen Probleme ist es ein Ziel dieser Er findung, eine abgedichtete oder hermetisch abgeschlossene Kontaktvorrichtung zu schaffen und ein Verfahren zur Herstel lung dieser abgedichteten Kontaktvorrichtung anzugeben, wo durch eine Ausgestaltung oder ein Aufbau zur Ausbildung eines gasdichten Raumes daran gehindert wird, von einem Gehäuse vorzustehen, so daß am Gehäuse ein Vorsprung oder Ansatz nicht gebildet wird.

Fig. 1 und 2 sind eine Schnittdarstellung einer Ausführungs form nach dem ersten Aspekt der Erfindung;

Fig. 3 und 4 sind eine Schnittdarstellung nach dem zweiten Aspekt der Erfindung;

Fig. 5 ist eine Schnittdarstellung einer Ausführungsform nach dem dritten Aspekt der Erfindung;

Fig. 6 und 7 sind Schnittdarstellungen nach dem vierten As pekt der Erfindung;

Fig. 8 ist eine Schnittdarstellung einer Ausführungsform nach dem fünften Aspekt der Erfindung;

Fig. 9 und 10 sind Perspektivdarstellungen einer Ausführungs form nach dem sechsten Aspekt der Erfindung;

Fig. 11 ist eine Schnittdarstellung einer Ausführungsform nach dem siebenten Aspekt der Erfindung;

Fig. 12 ist eine schematische Perspektivdarstellung einer Lüftungsöffnung nach einem achten Aspekt der Erfindung;

Fig. 13a und 13b sind schematische Schnittdarstellungen, die eine Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem achten Aspekt der Erfindung zeigen;

Fig. 14a bis 14f zeigen Schritte zum Verschließen einer Lüf tungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem neunten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 14a, 14c und 14e schematische Schnittdarstellungen zeigen, während die Fig. 14b, 14d und 14f schematische Perspektivdarstellungen sind;

Fig. 15a bis 15f zeigen Schritte zum Verschließen einer Lüf tungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem zehnten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 15a, 15c und 15e schematische Schnittdarstellungen zeigen, während die Fig. 15b, 15d und 15f schematische Perspektivdarstellungen sind;

Fig. 16a bis 16h zeigen Schritte zum Verschließen einer Lüf tungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem elften Gesichts punkt der Erfindung, wobei die Fig. 16a, 16d und 16f Schnitt darstellungen sind, während die Fig. 16b, 16e und 16g schema tische Perspektivdarstellungen zeigen, und wobei die Fig. 16c eine Perspektivdarstellung bei Betrachtung von der Un terseite ist und die Fig. 16h eine Darstellung zur Erläute rung einer Methode zur Ausbildung der Lüftungsöffnung ist;

Fig. 17a bis 17e erläutern die Ausbildung und das Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem zwölften Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 17a und 17b Darstellungen zur Erläuterung der Ausbildung und des Ver schließens sind, während die Fig. 17c, 17d und 17e Perspektiv ansichten zeigen;

Fig. 18a und 18b sind Darstellungen zur Erläuterung der Aus bildung und des Verschließens einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem dreizehnten Gesichtspunkt der Er findung;

Fig. 19a und 19b sind Darstellungen zur Erläuterung des Ver dünnens oder Schwächens eines Bereichs, in welchem eine Lüf tungsöffnung ausgebildet ist, in einer Ausführungsform nach dem vierzehnten Aspekt der Erfindung;

Fig. 20 ist eine Darstellung zur Erläuterung des Schwächens eines Bereichs, in welchem eine Lüftungsöffnung ausgebildet ist, in einer Ausführungsform nach dem vierzehnten Aspekt der Erfindung;

Fig. 21a und 21b sind schematische Perspektivdarstellungen zur Erläuterung der Ausbildung und des Verschließens einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem fünfzehnten Aspekt der Erfindung;

Fig. 22a bis 22f zeigen die Ausbildung einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem sechzehnten Aspekt der Er findung, wobei die Fig. 22a, 22c und 22e Perspektivdarstel lungen sind, während die Fig. 22b, 22d und 22f Schnittdarstel lungen zeigen;

Fig. 23a bis 23d zeigen eine Ausführungsform nach dem siebzehn ten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 23a eine auseinander gezogene Perspektivdarstellung ist, die Fig. 23b eine Schnitt darstellung eines Metalldeckels ist, die Fig. 23c eine Per spektivdarstellung des Zustandes, in dem eine Lüftungsöffnung ausgebildet ist, zeigt, und die Fig. 23d eine Schnittdar stellung ist;

Fig. 24 ist eine Darstellung zur Erläuterung des Verschlie ßens einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungform nach dem achtzehnten Aspekt der Erfindung;

Fig. 25 ist eine Darstellung zur Erläuterung des Verschließens einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem neun zehnten Aspekt der Erfindung;

Fig. 26a bis 26f zeigen das Verschließen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem zwanzigsten Aspekt der Er findung, wobei die Fig. 26a, 26c und 26e Schnittdarstellungen sind und die Fig. 26b, 26d sowie 26f Perspektivdarstellungen eines Metallteils zeigen;

Fig. 27a bis 27c zeigen die Ausbildung und das Verschließen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem einundzwanzigsten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 27a eine Perspektivdarstellung eines Stopfens ist, die Fig. 27b eine Schnittdarstellung zur Ausbildung der Lüftungsöffnung ist und die Fig. 27c eine Schnittdarstellung zum Verschlie ßen der Lüftungsöffnung zeigt;

Fig. 28a bis 28c zeigen die Ausbildung und das Verschließen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem zwei undzwanzigsten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 28a eine auseinandergezogene Perspektivdarstellung ist, die Fig. 28b in einer Perspektivdarstellung die Ausbildung der Lüftungs öffnung zeigt und die Fig. 28c eine Perspektivdarstellung ist, die das Verschließen der Lüftungsöffnung zeigt;

Fig. 29a bis 29c sind Perspektivdarstellungen zum Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem achtundzwanzigsten Aspekt der Erfindung;

Fig. 30a und 30b sind Schnittdarstellungen, die das Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem neunundzwanzigsten Aspekt der Erfindung zeigen;

Fig. 31a und 31b sind Schnittdarstellungen, die das Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung in einer Ausführungsform nach dem dreißigsten Aspekt der Erfindung zeigen;

Fig. 32a bis 32d zeigen eine Ausführungsform nach dem einund dreißigsten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 32a bis 32c Schritte zur Ausbildung sowie zum Verschließen einer Lüftungs öffnung veranschaulichen und die Fig. 32d eine schematische Schnittdarstellung der Gesamtheit zeigt;

Fig. 33a bis 33d zeigen eine Ausführungsform nach dem zwei unddreißigsten Aspekt der Erfindung, wobei die Fig. 33a bis 33c Schritte zur Ausbildung sowie zum Verschließen einer Lüftungsöffnung veranschaulichen und die Fig. 33d eine schematische Schnittdarstellung der Gesamtheit zeigt;

Fig. 34a bis 34d zeigen eine Ausführungsform nach dem drei unddreißigsten Aspekt der Erfindung zur Ausbildung sowie zum Verschließen einer Lüftungsöffnung, wobei die Fig. 34a und 34b Darstellungen zur Erläuterung der Ausbildung und des Verschließens der Öffnung sind, die Fig. 34c eine Perspektiv darstellung zeigt und die Fig. 34d eine schematische Schnitt darstellung der Gesamtheit ist;

Fig. 35 ist eine Schnittdarstellung einer herkömmlichen bei spielhaften Kontaktvorrichtung.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Nachfolgend werden Ausführungsformen bzw. -beispiele der Er findung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen be schrieben.

Ausführungsform 1

Die Fig. 1 und 2 sind Schnittdarstellungen von abgedichteten Kontaktvorrichtungen A in Ausführungsformen gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, umfaßt ein Gehäuse 1 einen Behäl terkörper 4, der aus einem hitzebeständigen und isolierenden Material, z. B. Aluminiumoxid-Keramikwerkstoff, gefertigt ist sowie eine kastenartige Gestalt hat, wobei die eine Seitenflä che offen ist. Mit dem Bodenteil des Behälterkörpers 4 sind zwei stationäre Elektroden 10 in gasdichter Weise verbunden. Durch den Behälterkörper 4, die stationären Elektroden 10, einen Faltenbalg 8, einen Metalldeckel 6, der aus 42-Legie rung od. dgl. hergestellt und in dessen Mitte ein Durchgangs loch 6a und in dem an geeigneter Stelle eine Lüftungsöffnung 7 ausgebildet ist, sowie ein Balg-Druckorgan 12 mit einem Auflager 9 usw. wird ein gasdichter Raum E ausgestaltet.

Insbesondere ist der Metalldeckel 6 mit dem oberen Öffnungs rand des Behälterkörpers 4 über einen oberen Flanschring 11, welcher ein Metallteil ist, so verbunden, um die obere Öffnung zu verschließen. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist durch Verklemmen des Endabschnitts mit dem Balg-Druckorgan 12 gasdicht verbunden, während der untere Endabschnitt des Fal tenbalgs 8 in gasdichter Weise mit einer bewegbaren Stange 13 verbunden ist. Auf diese Art wird der gasdichte Raum E hergestellt. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlossen. In Abhängigkeit von der Art der abge dichteten Kontaktvorrichtung A kann, um die Kontaktleistung zu verbessern, Wasserstoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit beispielsweise 1,9612 bar (2 at) in den Raum über die Lüftungsöffnung 7 vor dem Verschließvorgang eingefüllt werden. Die stationären Elektroden 10 sind z. B. aus einem Kupfermaterial gefertigt und haben eine im wesent lichen mehrfach abgestufte Zylindergestalt. Am Kopf einer je den der Elektroden 10 ist ein ortsfester Kontakt 2 angebracht. Die stationären Elektroden 10 sind in gasdichter Weise über einen unteren Flanschring 14 aus 42-Legierung od. dgl. ein gebaut. Die Bezugszahl 15 bezeichnet ein bewegbares Kontakt glied, das aus Kupfermaterial hergestellt ist und eine im we sentlichen flache, plattenartige Gestalt hat. An Endabschnit ten des bewegbaren Kontaktglieds 15 sind jeweils bewegbare Kontakte 3 befestigt, die voneinander so beabstandet sind, daß sie mit den Kontakten 2 in Berührung kommen können, von denen sie abgehoben werden können. Das bewegbare Kontaktglied 15 wird durch eine von einer (nicht dargestellten) äußeren Antriebseinheit aufgebrachte Kraft über die bewegbare Stan ge 13 gegen die ortsfesten Kontakte 2 gepreßt. Wenn die An triebskraft am bewegbren Kontaktglied 15 aufgehoben wird, wird das Kontaktglied 15 durch die Wirkung einer Rückstell feder von den ortsfesten Kontakten 2 getrennt.

Wie in Fig. 2 gezeigt ist, enthält ein Gehäuse 1 einen Behäl terkörper 4 aus einem hitzebeständigen und isolierenden Mate rial, wie Aluminiumoxid-Keramikwerkstoff, und hat eine zylin drische Gestalt. Eine Bodenplatte 17, die eine stationäre Elektrode 10 mit einem ortsfesten Kontakt 2 hält, ist in gas dichter Weise mit dem unteren Öffnungsrand des Behälterkör pers 4 verbunden. Die Bodenplatte dient als ein Metalldeckel 6, der aus Metallmaterial hergestellt ist, wobei ein Durch gangsloch 6a im Zentrum des Deckels und eine Lüftungsöffnung 7 an einer geeigneten Stelle ausgebildet sind. Eine obere, aus einem Metallmaterial gefertigte Platte 18 ist mit einem Faltenbalg 8 gasdicht verbunden und in der Platte 18, die mit dem oberen Öffnungsrand des Behälterkörpers 4 gasdicht verbunden ist, ist im Zentrum ein Durchgangsloch 18a ausge bildet. Auf diese Weise wird im Gehäuse 1 ein gasdichter Raum E ausgestaltet.

Insbesondere ist die Bodenplatte 17, die als der Metalldeckel 6 dient, gasdicht mit dem unteren Öffnungsrand des Behälter körpers 4 verbunden, während die stationäre Elektrode 10 gas dicht am Durchgangsloch 6a, das im Zentrum der Bodenplatte 17 ausgebildet ist, in die Bodenplatte 17 eingesetzt ist. Ein Durchgangsloch 18a, in das ein Trägerelement 19 einzusetzen ist, welches als ein Teil einer bewegbaren Elektrode ausge staltet ist, ist in der oberen Platte 18 ausgearbeitet. Am unteren Endabschnitt des Trägerelements 19 ist ein bewegbarer Kontakt 3 befestigt. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist gasdicht mit einem Zylinderbauteil 20 verbunden, das gas dicht an der oberen Platte 18 angebracht ist, und der untere Endabschnitt des Faltenbalgs ist gasdicht mit dem Trägerele ment 19 verbunden. Auf diese Weise wird der gasdichte Raum E ausgestaltet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlossen.

Wie oben beschrieben wurde, ist der Metalldeckel 6 gasdicht mit dem offenen Öffnungsrand des Behälterkörpers 4 des Ge häuses 1 verbunden, wobei die Lüftungsöffnung 7 im Metall deckel 6 ausgebildet ist. Da die Lüftungsöffnung 7 dicht ver schlossen wird und vom Metalldeckel 6 kein Teil vorragt, wird die Anordnung bzw. der Aufbau zur Ausbildung des gasdichten Raumes E an einem Vorstehen vom Gehäuse 1 gehindert.

Ausführungsform 2

Die Fig. 3 und 4 sind Schnittdarstellungen einer abgedichte ten Kontaktvorrichtung A in Ausführungsformen gemäß dem zwei ten Aspekt der Erfindung.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, enthält ein Gehäuse 1 einen aus einem hitzebeständigen und isolierenden Material, z. B. Alu miniumoxid-Keramikwerkstoff, gefertigten Behälterkörper 4, und es hat eine kastenförmige Gestalt, wobei die eine Stirn fläche offen ist. Mit dem Bodenteil des Behälterkörpers 4 sind zwei stationäre Elektroden 10 gasdicht verbunden. Die eine der stationären Elektroden 10 besitzt in einem geeigne ten Teil eine Lüftungsöffnung 7. Durch den Behälterkörper 4, die stationären Elektroden 10, einen Faltenbalg 8, einen aus 42-Legierung od. dgl. hergestellten Metalldeckel 6, ein Balg- Druckorgan 12 mit einem Auflager 9 usw. wird ein gasdichter Raum gebildet. Insbesondere ist der Metalldeckel 6 mit dem oberen Öffnungsrand des Behälterkörpers 4 über einen oberen Flanschring 11, der ein Metallteil ist, so verbunden, um die Öffnung zu verschließen. Das eine Ende oder der obere Endab schnitt des Faltenbalgs 8 ist durch Verklemmen des Endab schnitts mit dem Balg-Druckorgan 12 gasdicht verbunden, der untere Endabschnitt des Faltenbalgs ist gasdicht mit einer bewegbaren Stange 13 verbunden. Auf diese Weise wird der gas dichte Raum E ausgestaltet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlossen. In Abhängigkeit von der Art der abgedichteten Kontaktvorrichtung A kann, um die Kontaktleistung zu verbessern, Wasserstoff oder ein haupt sächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit etwa 1,96 bar beispielsweise in den Raum E vor dem Verschließvorgang über die Lüftungsöffnung 7 eingefüllt werden. Die stationären Elektroden 10 sind z. B. aus einem Kupfermaterial gefertigt und haben eine im wesentlichen mehrfach abgestufte Zylinder gestalt. Am Kopf einer jeden der Elektroden 10 ist ein orts fester Kontakt 2 ausgebildet. Über einen unteren Flanschring 14 aus 42-Legierung od. dgl. sind die stationären Elektroden 10 gasdicht eingebaut. Ein bewegbares Kontaktglied 15 ist aus einem ebenen Kupfermaterial gefertigt und zu einer im wesent lichen flachen Plattengestalt ausgebildet. An Endbereichen des bewegbaren Kontaktglieds 15 sind jeweils bewegbare Kontak te 3 befestigt, die voneinander so beabstandet sind, daß sie mit den ortsfesten Kontakten 2 in Berührung kommen können, von denen sie zu trennen sind. Das bewegbare Kontaktglied 15 wird gegen die ortsfesten Kontakte 2 durch eine Kraft ge drückt, die von einer (nicht dargestellten) äußeren Antriebs einheit über die bewegbare Stange 13 aufgebracht wird. Wenn die Antriebskraft vom bewegbaren Kontaktglied 15 entlastet wird, wird das Kontaktglied 15 durch die Wirkung einer Rück stellfeder 16 von den ortsfesten Kontakten 2 getrennt.

Wie die Fig. 4 zeigt, ist ein Behälterkörper 4 aus einem hit zebeständigen und isolierenden Material, z. B. Aluminiumoxid- Keramikwerkstoff, gefertigt. Eine stationäre Elektrode 10, in der an geeigneter Stelle eine Lüftungsöffnung 7 ausgebil det ist, und eine Bodenplatte 17 aus einem Metallmaterial, z. B. 42-Legierung, in deren Zentrum ein Durchgangsloch 6a aus gebildet ist, sind in der unteren Öffnung des Behälterkörpers 4 angeordnet. Eine obere Platte 18 aus z. B. 42-Legierung ist in ihrem Zentrum mit einem Durchgangsloch 18a versehen. Die obere Metallplatte 18 trägt einen Faltenbalg 8 und ist in der oberen Öffnung des Behälterkörpers 4 angebracht. Insbesonde re ist die Bodenplatte 17 gasdicht mit dem unteren Öffnungs rand des Behälterkörpers 4 verbunden, während die stationäre Elektrode 10 mit der Bodenplatte 17 im zentralen Durchgangs loch 6a gasdicht vereinigt ist. Die obere Platte 18 ist in gasdichter Weise mit der oberen Öffnung des Behälterkörpers 4 verbunden. In der oberen Platte 18 ist ein Durchgangsloch 18a ausgearbeitet. in das ein aus Kupfermaterial gefertigtes Trägerelement 19, das als ein Teil einer bewegbaren Elektro de ausgestaltet ist, einzusetzen ist. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist gasdicht mit einem Zylinderbauteil 20 verbunden, das gasdicht in die obere Platte 18 eingesetzt ist, und der untere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist gasdicht mit dem Trägerelement 19 verbunden. Auf diese Weise wird ein gasdichter Raum E gebildet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlossen.

Ausführungsform 3

Die Fig. 5 ist eine Schnittdarstellung einer abgedichteten Kontaktvorrichtung A in einer Ausführungsform nach dem dritten Aspekt der Erfindung.

Ein Gehäuse 1 enthält einen aus hitzebeständigem und isolieren den Material, wie Aluminiumoxid-Keramikwerkstoff, gefertigten Behälterkörper von kastenförmiger Gestalt, wobei eine Stirn seite offen ist. Mit dem Bodenteil des Behälterkörpers 4 sind zwei stationäre Elektroden 10 gasdicht verbunden. Durch den Behälterkörper 4, die stationären Elektroden 10, einen Fal tenbalg 8, einen aus 42-Legierung od. dgl. gefertigten Me talldeckel 6, in dessen Zentrum ein Durchgangsloch 6a ausge staltet ist, ein Balg-Druckorgan 12 mit einem Auflager 9 usw. wird ein gasdichter Raum E gebildet.

Über einen ein Metallteil darstellenden oberen Flanschring 11 ist der Metalldeckel 6 mit dem oberen Öffnungsrand des Be hälterkörpers 4 verbunden, um die Öffnung abzuschließen. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist durch Verklem men des Endabschnitts mit dem Balg-Druckorgan 12 gasdicht mit dem Metalldeckel 6 verbunden, während der untere Endabschnit des Faltenbalgs 8 gasdicht mit einer bewegbaren Stange 13 ver einigt ist, in der in einem geeigneten Bereich eine Lüftungs öffnung 7 ausgestaltet ist. Auf diese Weise wird der gasdichte Raum E gebildet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöff nung 7 dicht verschlossen. In Abhängigkeit von der Art der ab gedichteten Kontaktvorrichtung A kann, um die Kontaktleistung zu steigern, Wasserstoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit z. B. etwa 1,96 bar in den Raum über die Lüftungsöffnung 7, bevor diese dicht verschlossen wird, ein gefüllt werden. Die stationären Elektroden 10 sind z. B. aus einem Kupfermaterial gefertigt und haben eine im wesentlichen mehrstufige Zylindergestalt. Am Kopf einer jeden stationären Elektrode 10 ist ein ortsfester Kontakt 2 aufgebracht. Die stationären Elektroden 10 werden über einen unteren Flansch ring aus 42-Legierung od. dgl. in gasdichter Weise eingebaut. Ein bewegbares Kontaktglied 15 ist aus Kupfermaterial herge stellt und hat eine im wesentlichen flache, plattenförmige Ge stalt. An Endabschnitten des bewegbaren Kontaktglieds 15 sind bewegbare Kontakte fest angebracht, die voneinander so beab standet sind, daß sie mit den ortsfesten Kontakten 2 in Be rührung kommen können, von denen sie getrennt werden können. Das bewegbare Kontaktglied 15 wird gegen die ortsfesten Kon takte 2 durch eine Kraft gedrückt, die von einer äußeren (nicht dargestellten) Antriebseinheit über die aus rostfreiem Stahl gefertigte bewegbare Stange 13 aufgebracht wird. Wenn die Wirkung der Antriebskraft am bewegbaren Kontaktglied 15 aufgehoben wird, wird das Kontaktglied durch die Kraft einer Rückstellfeder 16 von den ortsfesten Kontakten 2 getrennt.

Die grundsätzlichen Ausgestaltungen des ersten bis dritten Aspekts der Erfindung können durch solche verwirklicht werden, die in den Figuren der Ausführungsform 1 gezeigt sind, oder können auf verschiedene Arten modifiziert werden.

Ausführungsform 4

Die Fig. 6 und 7 sind Schnittdarstellungen von abgedichte ten Kontaktvorrichtungen A in Ausführungsformen gemäß dem vierten Aspekt der Erfindung.

In Fig. 6 umfaßt ein Gehäuse 1 einen Behälterkörper 4 aus einem hitzebeständigen und isolierenden Material, wie Alu miniumoxid-Keramikwerkstoff, und hat eine kastenartige Ge stalt, wobei eine Stirnseite offen ist. Mit dem Bodenteil des Behälterkörpers 4 sind zwei stationäre Elektroden 10 gasdicht verbunden. An einer geeigneten Stelle des Behälterkörpers 4 wird dieser von einem Loch durchsetzt. Ein Metallteil 7b mit einem Loch ist in gasdichter Weise in das erstgenannte Loch eingebaut, so daß eine Lüftungsöffnung 7 gebildet wird. Von dem Behälterkörper 4, den stationären Elektroden 10, einem Faltenbalg 8, einem aus 42-Legierung od. dgl. gefertigten Metalldeckel 6, in dessen Zentrum ein Durchgangsloch 6a aus gearbeitet ist, einem Balg-Druckorgan 12 mit einem Auflager 9 usw. wird ein gasdichter Raum E gebildet.

Über einen oberen Flanschring 11, der ein Metallteil ist, wird der Metalldeckel 6 mit dem oberen Öffnungsrand des Be hälterkörpers 4 verbunden, um die Öffnung zu verschließen. Das eine Ende oder der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist durch Verklemmen des Endabschnitts mit dem Balg-Druckor gan 12 gasdicht mit dem Metalldeckel 6 verbunden, während das andere Ende oder der untere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 gasdicht mit einer bewegbaren Stange 13 verbunden ist. Auf diese Weise wird der gasdichte Raum E gebildet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlossen. In Abhängigkeit von der Art der abgedichteten Kontaktvorrich tung A kann, um die Kontaktleistung zu verbessern, Wasser stoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit z. B. etwa 1,96 bar über die Lüftungsöffnung 7, bevor diese dicht verschlossen wird, in den Raum E eingeleitet werden. Die stationären Elektroden sind z. B. aus einem Kupfer material gefertigt und haben eine im wesentlichen mehrstufige Zylindergestalt. Ein ortsfester Kontakt 2 ist am Kopf einer jeden Elektrode 10 angebracht. Die stationären Elektroden 10 sind über einen unteren Flanschring 14 aus 42-Legierung od. dgl. gasdicht eingebaut. Ein Kontaktglied 15, das bewegbar ist, ist aus flachem Kupfermaterial gefertigt und zu einer im wesentlichen ebenen, plattenförmigen Gestalt ausgebildet. An Endabschnitten des bewegbaren Kontaktglieds 15 sind jeweils bewegbare Kontakte 3 befestigt, die mit einem solchen Abstand voneinander angeordnet sind, daß sie mit den ortsfesten Kon takten 2, von denen sie getrennt werden können, in Berührung kommen können. Das bewegbare Kontaktglied 15 wird durch eine von einer (nicht dargestellten) externen Antriebseinheit auf gebrachten Kraft über die bewegbare Stange 13 gegen die orts festen Kontakte 2 gedruckt. Wenn die Antriebskraft aufgehoben wird, kann das bewegbare Kontaktglied 15 durch die Wirkung einer Rückstellfeder 16 von den ortsfesten Kontakten 2 ge trennt werden.

Gemäß der Fig. 7 umfaßt ein Gehäuse 1 einen Behälterkörper 4 aus einem hitzebeständigen und isolierenden Material, z. B. Aluminiumoxid-Keramikwerkstoff, und besitzt eine zylindrische Gestalt. In einem passenden Teil des Behälterkörpers 4 ist ein Loch ausgebildet. Ein Metallteil 7b mit einem Loch ist in gasdichter Weise in das erstgenannte Loch eingebaut, wo durch eine Lüftungsöffnung 7 gebildet wird. Eine stationäre Elektrode 10 und eine aus einem Metallmaterial gefertigte Bo denplatte 17, in deren Zentrum ein Durchgangsloch 6a ausgear beitet ist, sind in der unteren Öffnung des Behälterkörpers 4 angeordnet. Ein Faltenbalg 8 und eine obere Platte 18 aus einem Metallmaterial, in deren Zentrum ein Durchgangsloch 18a ausgebildet ist, sind in der oberen Öffnung des Behäl terkörpers 4 angeordnet. Insbesondere ist die Bodenplatte 17 gasdicht mit dem unteren Öffnungsrand des Behälterkörpers 4 verbunden, wobei die stationäre Elektrode 10 gasdicht mit der Bodenplatte 17 im zentralen Durchgangsloch dieser Plat te 17 vereinigt ist. Die obere Platte 18 ist gasdicht mit dem oberen Öffnungsrad des Behälterkörpers 4 verbunden. In der oberen Platte 18 ist ein Durchgangsloch 18a ausge staltet, in das ein als ein Teil der bewegbaren Elektrode ausgebildetes Trägerelement 19 einzusetzen ist. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist gasdicht mit einem Zylin derbauteil 20 verbunden, das gasdicht mit der oberen Platte 18 vereinigt ist, und der untere Endabschnitt des Falten balgs 8 ist gasdicht mit dem Trägerelement 19 verbunden. Auf diese Weise wird ein gasdichter Raum E ausgestaltet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht ver schlossen.

Ausführungsform 5

Die Fig. 8 zeigt eine Ausführungsform nach dem fünften Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung dieser Ausfüh rungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen be zeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nach folgend wird lediglich eine Vorrichtung zum dichten Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung 7, was ein Merkmal der Ausführungs form ist, beschrieben.

Ein aus 42-Legierung geformter oberer Flanschring 11 wird durch Hartlöten od. dgl. am oberen Öffnungsrand des Behälter körpers 4, der aus einem hitzebeständigen und isolierenden Ma terial, wie Keramikmaterial, gefertigt ist und eine kastenar tige Gestalt hat, ausgebildet. Ein Metalldeckel 6, in dem an geeigneter Stelle eine Lüftungsöffnung 7 offen ist, wird in gasdichter Weise mit einem oberen Teil des oberen Flanschrin ges 11 verbunden. Wenn ein Metallmaterial mit einem kleinen linearen Ausdehnungskoeffizienten, z. B. 42-Legierung, bei dem oberen Flanschring 11 verwendet wird, ist der Unterschied im linearen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem oberen Flansch ring 11 und dem Behälterkörper 4 klein, so daß deshalb Risse, Verformungen u. dgl., die auf thermische Effekte bei einem Löten zurückzuführen sind, reduziert werden können. Falls ein Material (z. B. 42-Legierung), das im linearen Ausdehnungsko effizienten zum Behälterkörper 4 sowie zum oberen Flanschring 11 gleichartig ist, bei dem Metalldeckel 6 verwendet wird, kann die gasdichte Verbindung zwischen dem oberen Flanschring 11 und dem Metalldeckel 6 ohne Schwierigkeiten hergestellt werden.

Ausführungsform 6

Die Fig. 9 und 10 zeigen Ausführungsformen nach dem sechsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung der Aus führungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen be zeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nach folgend wird lediglich das Verfahren zum dichten Verschließen einer Lüftungsöffnung, was ein Merkmal der Ausführungsformen ist, beschrieben. Die Fig. 9 und 10 sind vergrößerte Perspektiv darstellungen der Umgebung der in den Fig. 1 bis 5 gezeigten Lüftungsöffnung 7.

Gemäß Fig. 9 wird ein kreisförmiges Loch mit einem geringen Durchmesser von z. B. etwa 0,2 bis 0,3 mm durch ein Arbeitsver fahren, z. B. eine Laserstrahlbearbeitung oder Bohren, ausge bildet, wodurch die Lüftungsöffnung 7 erzeugt wird. Nach Aus bildung der Öffnung wird das Innere des Gehäuses 1 über die Öffnung evakuiert, und die Peripherie der Lüftungsöffnung 7 wird durch Erhitzen geschmolzen. Das heißt, die Peripherie der kreisförmigen Öffnung wird durch Erhitzen in einer kreis förmigen Gestalt geschmolzen. Auf diese Weise fließt das ge schmolzene Metall in die Öffnung und verschließt diese Öffnung 7 völlig, so daß die Öffnung oder das Loch in einer gasdichten Weise verschlossen wird.

Gemäß Fig. 10 wird durch ein Bearbeitungsverfahren, z. B. eine Laserstrahlbearbeitung, eine Schlitzöffnung von geringer Breite mit etwa 0,2 mm ausgebildet, wodurch eine Lüftungsöff nung 7 erzeugt wird. In diesem Fall wird der Bereich längs der Schlitzöffnung durch Erhitzen geschmolzen, so daß die Lüftungsöffnung 7 in einer gasdichten Weise verschlossen wird.

Gemäß den oben geschilderten Verfahren wird der Verschließvor gang durch Schmelzen der Lüftungsöffnung 7 selbst ausgeführt, wodurch eine Wirkung hervorgebracht wird, daß kein zusätzli ches Teil erforderlich ist.

Die in Rede stehenden Ausführungsformen können bei der Ausfüh rungsform 2 oder 3 zur Anwendung kommen, d. h., die Lüftungsöff nung 7 kann in der stationären Elektrode 10 oder der bewegba ren Stange 13 ausgestaltet werden, und die Öffnung wird in derselben Weise wie bei den in Rede stehenden Ausführungsfor men verschlossen.

Ausführungsform 7

Die Fig. 11 zeigt eine Ausführungsform nach dem neunten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 iden tisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nach folgend wird lediglich eine Vorrichtung zum dichten Verschlie ßen einer Lüftungsöffnung 7, was ein Merkmal der Ausführungs form ist, beschrieben.

Gemäß der Fig. 11 wird eine abgedichtete Kontaktvorrichtung A in einer Kammer 21 angeordnet. Bei der abgedichteten Kontakt vorrichtung A wird ein Metalldeckel 6, in dem die Lüftungsöff nung 7 zum Zuführen oder Absaugen von Gas ausgebildet ist, als eines der Bauteile verwendet. Die Kammer 21 ist an eine Vakuumpumpe 24 über ein Vakuumventil 22 und an einen Gaszylin der 25 über ein Gasventil 23 angeschlossen. Durch geeignete Betätigung der Ventile 22 und 23 wird das Innere der Kammer 21 entweder in ein Vakuummilieu oder in ein Milieu, wobei ein Gas eingeleitet ist, versetzt. Hierbei bewirkt die Aus gestaltung, wobei eine Lüftungsöffnung 7 im Metalldeckel 6 ausgebildet ist, auch, daß das Innere der abgedichteten Kon taktvorrichtung 6 entweder ein Vakuummilieu oder ein Gas ent haltendes Milieu aufweist. Eine Schweißelektrode 27 ist mit tels eines Bauteils, z. B. eines O-Rings, in der Kammer 21 an geordnet, so daß sie unter Aufrechterhalten der Gasdichtheit verschiebbar ist. Am inneren Ende der Schweißelektrode ist eine Kappe 26 angebracht. Nachdem das Innere der abgedichte ten Kontaktvorrichtung 6 in einen vorbestimmten Milieuzustand, wie oben beschrieben wurde, versetzt ist, wird die Schweißelek trode 27 abgesenkt, wobei die am vorderen Ende der Elektrode angebrachte Kappe 26 gegen den Metalldeckel 6 gepreßt wird, um die Lüftungsöffnung 7 abzudecken. Dann wird eine Schweiß stromquelle 28 in Betrieb gesetzt, so daß zwischen der Schweißelektrode 27 und dem Metalldeckel 6 ein Strom fließt. Im Ergebnis wird die Kappe 26 an den Metalldeckel 6 geschweißt, so daß der gasdichte Abschluß der abgedichteten Kontaktvorrich tung 6 fertiggestellt wird.

Gemäß dem obigen Verfahren kann, auch wenn die Lüftungsöffnung 7 zum Zuführen oder Absaugen von Gas eine relativ große Ab messung hat, ein gasdichter Verschluß ohne Schwierigkeiten ausgeführt werden. Deshalb kann die für ein Evakuieren erfor derliche Zeit verkürzt werden, und die Produktivität im Schritt des gasdichten Verschließens kann gesteigert werden.

Ausführungsform 8

Die Fig. 12 und 13 zeigen Ausführungsformen nach dem dreizehn ten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsformen ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 iden tisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nach folgend werden lediglich die Ausbildung einer Entlüftungsöff nung 7 und eine Vorrichtung zum Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsformen sind, beschrieben. Die Fig. 12, 13a und 13b sind vergrößerte Darstellungen der Umgebung der in den Fig. 1 bis 5 gezeigten Entlüftungsöffnung 7.

Gemäß der Fig. 12 wird eine schlitzartige Lüftungsöffnung 7 innerhalb des Metalldeckels 6 durch ein Bearbeitungsverfahren, z. B. einem Verfahren zum Einschneiden und Herausheben, ge bildet. Gemäß der Fig. 13a oder 13b wird durch ein Bearbeitungs verfahren, z. B. Bohren oder Ausfräsen, eine Lüftungsöffnung 7 von kleinem Durchmesser hergestellt, und ein Metallauftrag in Gestalt einer Erhebung 6f wird an der Peripherie der Öff nung ausgebildet. Nachdem die Lüftungsöffnung 7 auf diese Weise hergestellt ist, wird das Innere des Gehäuses 1 über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert. Dann wird die Peripherie der Lüftungsöffnung 7 durch Erhitzen geschmolzen, um so die Öffnung zu verschließen. Im Fall der Fig. 12 wird die Erhe bung 6f in der Nähe der schlitzartigen Lüftungsöffnung durch Erhitzen längs dieser schlitzartigen Öffnung geschmolzen. Im Fall der Fig. 13a und 13b wird die Erhebung 6f am Umfang der Lüftungsöffnung 7 durch Erhitzen geschmolzen. Auf diese Weise fließt das geschmolzene Metall in das Loch und verschließt die Lüftungsöffnung 7 vollständig, um auf diese Weise einen gasdichten Verschluß der Öffnung zu erzielen.

Gemäß diesem Verfahren wird die Erhebung 6f an der Lüftungsöff nung 7 durch Erhitzen geschmolzen, und insofern kann ein Auf trag in ausreichender Weise gebildet werden. Das ist für einen gasdichten Abschluß von Vorteil.

Ausführungsform 9

Die Fig. 14a bis 14f zeigen eine Ausführungsform nach dem vierzehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungs form 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterblei ben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Entlüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, be schrieben.

Gemäß der Fig. 14 ist ein Behälterkörper 4 mit einer kasten artigen Gestalt, bei dem eine Fläche offen ist, aus einem hitzebeständigen und isolierenden Material, z. B. Aluminium oxid-Keramikwerkstoff, gefertigt. Zwei stationäre Elektroden 10 sind in gasdichter Weise mit dem Bodenteil des Behälter körpers 4 verbunden. Durch den Behälterkörper 4, die statio nären Elektroden 10, einen Faltenbalg 8, einen aus 42-Legie rung od. dgl. gefertigten Metalldeckel 6, in dessen Zentrum ein Durchgangsloch 6a ausgebildet und in dem an einer geeig neten Stelle eine Lüftungsöffnung 7 hergestellt ist, ein Balg- Druckorgan 12 mit einem Auflager 9 usw. wird ein gasdichter Raum E ausgebildet. Insbesondere ist der Metalldeckel 6 mit dem oberen Öffnungsrand des Behälterkörpers 4 über einen ein Metallteil darstellenden oberen Flanschring 11 so verbunden, daß die Öffnung verschlossen wird. Der obere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 ist durch Verklemmen dieses Endabschnitts mit dem Balg-Druckorgan 12 gasdicht verbunden, während der untere Endabschnitt des Faltenbalgs 8 in gasdichter Weise mit einer bewegbaren Stange 13 verbunden ist. Die stationären Elektroden 10 sind beispielsweise aus einem Kupfermaterial gefertigt und haben eine im wesentlichen mehrfach abgestufte Zylindergestalt. Am Kopf einer jeden der stationären Elektro den 10 ist ein ortsfester Kontakt 2 ausgebildet. Die statio nären Elektroden 10 sind über einen unteren Flanschring 14 aus 42-Legierung od. dgl. gasdicht eingesetzt.

Ein bewegbares Kontaktglied 15 besteht aus einem Kupfermate rial und ist zu einer im wesentlichen ebenen Plattengestalt ausgearbeitet. An Endabschnitten des bewegbaren Kontaktglieds 15 sind bewegbare Kontakte 3 jeweils fest angebracht, die voneinander so beabstandet sind, daß sie mit den ortsfesten Kontakten 2 in Berührung kommen können, von denen sie getrennt werden können. Das bewegbare Kontaktglied 15 wird durch eine Kraft, die von einer externen (nicht dargestellten) Antriebs einheit erzeugt wird, über die bewegbare Stange 13 gegen die ortsfesten Kontakte 2 gedrückt. Wenn die Antriebskraft am bewegbaren Kontaktglied 15 aufgehoben wird, wird dieses durch die Wirkung einer Rückstellfeder 16 von den ortsfesten Kontakten 2 getrennt.

Abhängig von der Art der abgedichteten Kontaktvorrichtung A kann, um die Kontaktleistung zu steigern, Wasserstoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit z. B. etwa 1,96 bar in den Raum E über die Lüftungsöffnung 7 vor deren Verschließen eingeleitet werden.

Auf diese Weise wird der gasdichte Raum E gebildet. Nach einem Evakuieren wird die Lüftungsöffnung 7 dicht verschlos sen.

Die im Metalldeckel 6 befindliche Lüftungsöffnung 7 wird von einem ausgeklinkten, herausgestellten Teil 6e gebildet. Abhän gig von der Art der abgedichteten Kontaktvorrichtung A wird, um die Kontaktleistung zu steigern, das Innere der Vorrich tung über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert, und Wasserstoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas kann mit z. B. etwa 1,96 bar über die Lüftungsöffnung 7 in den Raum in einem Zustand, wie er in den Fig. 14a und 14b gezeigt ist, eingeführt werden. Danach wird das herausgestellte Teil 6e von außen einem Preßdruck unterworfen, um mechanisch plastisch verformt zu werden, so daß die Abmessung der Lücke oder des Schlitzes in einem in Fig. 14c sowie 14d gezeigten Zustand vermindert wird. Der Schlitzbereich wird dann beispielsweise mit einem Laser angestrahlt, so daß das Metall im Umfangs bereich des Schlitzes geschmolzen wird, wodurch der Schlitz in einem in Fig. 14e und 14f gezeigten Zustand durch gas dichtes Schweißen verschlossen wird.

Gemäß diesem Verfahren wird die Lüftungsöffnung 7 durch das hochgestellte Teil 6e gebildet. Deshalb kann während eines Evakuierens und einer Gaseinführung eine große Öffnungsquer schnittsfläche gewährleistet werden, so daß folglich die für ein Evakuieren und ein Einführen von Gas erforderliche Zeit verkürzt werden kann. Da der Spalt oder Schlitz in seiner Größe z. B. durch eine mechanische plastische Verformung des herausgestellten Teils 6e verkleinert werden kann, kann das Metall im Umfangsbereich der Lüftungsöffnung 7 unter Verwen dung einer Wärmequelle, z. B. einer Laservorrichtung, mit dem Ergebnis geschmolzen werden, daß das Verschweißen ausgeführt werden kann, um eine gasdichte Ausgestaltung ohne eine zu sätzliche Anwendung eines Metallelements zu erzeugen.

Ausführungsform 10

Die Fig. 15a bis 15f zeigen eine Ausführungsform nach dem fünf zehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugs zahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüf tungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Verschließen der Öff nung, die Merkmale der Ausführungsform sind, beschrieben.

Die im Metalldeckel 6 angeordnete Lüftungsöffnung 7 wird von einem herausgestellten Teil 6e gebildet. Das herausgestellte Teil 6e ist so gestaltet, daß es zum Innern des Behälterkör pers 4 gerichtet ist. In Abhängigkeit von der Art der abge dichteten Kontaktvorrichtung A wird, um die Kontaktleistung zu verbessern, das Innere der Vorrichtung über die Entlüftungs öffnung 7 evakuiert, und durch die Entlüftungsöffnung 7 kann in einem in den Fig. 15a und 15b gezeigten Zustand Wasser stoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas mit z. B. 1,96 bar in den Raum E eingeführt werden. Anschließend wird das Fußteil des herausgestellten Teils 6e örtlich durch Lasereinstrahlung od. dgl. erhitzt, und während eines Abküh lens wird dieser Bereich des herausgestellten Teils 6e durch eine Kontraktion des örtlich erhitzten Bereichs verformt, wodurch die Größe des Schlitzes in einem in den Fig. 15c und 15d gezeigten Zustand vermindert wird. Der Schlitzbereich wird dann beispielsweise durch einen Laser bestrahlt, und das Metall am Umfang des Schlitzes wird geschmolzen, so daß der Schlitz durch gasdichtes Verschweißen verschlossen wird, womit die Lüftungsöffnung 7 in einem in den Fig. 15e und 15f gezeigten Zustand dicht abgeschlossen wird.

Gemäß diesem Verfahren wird die Lüftungsöffnung 7 durch das herausgestellte Teil 6e gebildet. Während eines Evakuierens und Einführens von Gas kann deshalb eine große Öffnungsquer schnittsfläche gewährleistet werden, so daß folglich die zum Evakuieren und Einführen von Gas erforderliche Zeit verkürzt werden kann. Das herausgestellte Teil 6e kann in einer berüh rungsfreien Weise durch z. B. Lasereinstrahlung verformt wer den, um so die Abmessung des Schlitzes zu vermindern. Unter Anwendung einer Wärmequelle, z. B. einer Laservorrichtung, kann das Metall im Umfangsbereich der Öffnung geschmolzen werden, um ohne zusätzliche Verwendung eines Metalls eine gasdichte Ausgestaltung zu erzeugen.

Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem fünfzehnten Aspekt kann modifiziert werden.

Ausführungsform 11

Die Fig. 16a bis 16h zeigen eine Ausführungsform nach dem sechzehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbil dung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Ver schließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, beschrieben.

Die in einem Metalldeckel 6 angeordnete Lüftungsöffnung 7 wird von einem herausgestellten Teil 6e gebildet. Nach einem Herausstellen, wie in den Fig. 16c und 16h gezeigt ist, wird das herausgestellte Teil 6e z. B. durch eine Preßvorrichtung einem Preßdruck ausgesetzt, so daß die Dicke vermindert und die Breite vergrößert wird, wodurch ein überdeckendes Teil 6h erzeugt wird, das breiter ist als die durch den Ausstellvor gang erzeugte Öffnung.

In Abhängigkeit von der Art der abgedichteten Kontaktvorrich tung A wird, um die Kontaktleistung zu steigern, das Innere der Vorrichtung über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert, und Wasserstoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas kann mit z. B. etwa 1,96 bar in den Raum mittels der Lüf tungsöffnung 7 in einem in den Fig. 16a und 16b gezeigten Zustand eingeführt werden. Danach wird der Fußbereich des herausgestellten Teils 6e örtlich mittels Lasereinstrahlung od. dgl. erhitzt, und dieser Bereich des herausgestellten Teils 6e wird während eines Kühlens des örtlich erhitzten Bereichs durch Kontraktion verformt, wodurch die Abmessung des Schlitzes in einem in den Fig. 16d und 16e gezeigten Zu stand vermindert wird. Der Schlitzbereich wird dann z. B. durch einen Laser bestrahlt, wodurch das Metall am Umfang des Schlitzes geschmolzen wird, so daß durch gasdichtes Schweißen in einem in den Fig. 16f und 16g gezeigten Zustand der Schlitz völlig verschlossen wird.

Gemäß diesem Verfahren wird das herausgestellte Teil 6e z. B. durch eine Preßvorrichtung einem Preßdruck ausgesetzt, so daß die Dicke vermindert und die Breite vergrößert wird, um so das überdeckende Teil 6h zu erzeugen. Wenn der Fußbereich des herausgestellten Teils 6e z. B. durch Lasereinstrahlung örtlich erhitzt wird und eine Kontraktion des örtlich erhitz ten Bereichs während eines Abkühlens bewirkt, daß das her ausgestellte Teil 6e verformt wird, um so die Größe des Schlitzes zu reduzieren, überlappt das überdeckende Teil 6h die Kante der als Ergebnis des Vorgangs zum Herausstellen gebildeten Öffnung. Folglich kann das Verschweißen, um eine gasdichte Ausgestaltung hervorzubringen, ohne Schwierigkei ten ausgeführt werden, und die Zuverlässigkeit im Schweißen wird gesteigert.

Ausführungsform 12

Die Fig. 17a bis 17e zeigen eine Ausführungsform nach dem siebzehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsformen 1 und 10 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Be schreibung unterbleiben kann. Nachfolgend wird lediglich das Verfahren zum dichten Verschließen einer Lüftungsöffnung 7, was ein Merkmal der Ausführungsform ist, beschrieben.

Zuerst wird, wie in Fig. 17a gezeigt ist, ein herausgestell tes Teil 6e in einer Metallplatte 6d mit einer Dicke t von z. B. 0,5 mm ausgebildet, so daß ein einwärts ausgebogenes Höhenmaß h in der Dickenrichtung 0,7 mm beträgt. Wie in Fig. 17b gezeigt ist, wird der Metallbereich an der Peripherie des herausgestellten Teils 6e zur Außenseite hin durch eine plastische Verformung zuvor zum Vorstehen gebracht, um ein aufgestelltes Höhenmaß j von 0,7 mm oder mehr zu erlangen. Abhängig von der Art der abgedichteten Kontaktvorrichtung A wird, um die Kontaktleistung zu verbessern, das Innere der Vorrichtung über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert, und Wasser stoff oder ein hauptsächlich Wasserstoff enthaltendes Gas kann mit z. B. etwa 1,96 bar mittels der Lüftungsöffnung 7 in den Raum eingeführt werden. Danach wird der Fußbereich des herausgestellten Teils 6e durch Lasereinstrahlung od. dgl. örtlich erhitzt, und durch Kontraktion des örtlich er hitzten Bereichs während eines Abkühlens wird dieser Bereich des herausgestellten Teils 6e verformt, so daß die Größe des Schlitzes verringert wird, wie in Fig. 17c gezeigt ist. Der Schlitzbereich wird dann mittels z. B. eines Lasers be strahlt, und das Metall im Umfangsbereich des Schlitzes wird geschmolzen, so daß der Schlitz durch gasdichtes Schwei ßen vollkommen verschlossen wird, wie in den Fig. 17d und 17e gezeigt ist.

Gemäß dieser Ausführungsform ragt das herausgestellte Teil nicht von der unteren Fläche der Metallplatte 6d vor. Wenn unter der Metallplatte 6d beispielsweise ein anderes Bauteil vorhanden ist, so wird das herausgestellte Teil an einer stö renden Beeinflussung gegenüber diesem Bauteil gehindert. Der verformte Teil, der vorsteht, wirkt als eine Rippe, um so zu verhindern, daß der Umfangsbereich durch eine Schweißver ziehung verformt wird.

Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem siebzehnten Aspekt der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 13

Die Fig. 18a und 18b zeigen eine Ausführungsform nach dem achtzehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Aus bildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausfüh rungsform sind, beschrieben.

Ein kreisförmiges Loch mit einem kleinen Durchmesser von z. B. etwa 0,2 bis 0,3 mm wird in einer schrägen Richtung ge bohrt, so daß die Lüftungsöffnung 7 erzeugt wird. Nach Aus bildung des Lochs wird das Innere des Behälterkörpers 4 über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert, und die Nachbarschaft (die Seite, von der aus das Loch gebildet wird) der Lüftungs öffnung des Metalldeckels 6 wird unter Verwendung einer Wärme quelle, z. B. einer Laservorrichtung, durch Erhitzen geschmol zen, um so ein Schweißen auszuführen, wie in Fig. 18a ange deutet ist. Auf diese Weise fließt das geschmolzene Metall in den Bereich der Lüftungsöffnung und verschließt diese völlig, so daß die Öffnung gasdicht abgeschlossen wird, wie in Fig. 18b gezeigt ist.

Gemäß dieser Ausführungsform wird die Lüftungsöffnung unter einer Neigung freigemacht. Auch wenn die Einstrahlung von einer Wärmequelle, z. B. einer Laservorrichtung, rechtwinklig zum Metalldeckel 6 aufgebracht wird, kann deshalb ein gasdich ter Abschluß ohne Schwierigkeiten verwirklicht werden.

Ausführungsform 14

Die Fig. 19a und 19b zeigen eine Ausführungsform nach dem neunzehnten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungs form 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterblei ben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, beschrieben. Die Fig. 19 zeigt einen Schnitt durch das in Fig. 9 darge stellte Durchgangsloch.

Zuerst wird, wie in Fig. 19a gezeigt ist, der Umfang der Lüf tungsöffnung einem Preßdruckvorgang unterworfen, und dann wird die Peripherie der Öffnung so gepreßt, daß sie eine verminderte Dicke erlangt, wie in Fig. 19b dargestellt ist. Nachdem die Lüftungsöffnung 7 auf diese Weise ausgebildet ist, wird das Innere des Behälterkörpers 4 über die Lüftungs öffnung 7 evakuiert. Hierauf wird die Peripherie der Lüftungs öffnung 7 durch Erhitzen geschmolzen und die Lüftungsöffnung 7 gänzlich verschlossen, so daß ein gasdichter Abschluß er langt wird.

Die Fig. 20 zeigt ein Beispiel, wobei ein spanabhebender Vor gang unter Verwendung eines Schaftfräsers L od. dgl. als die Methode zum Verdünnen oder Schwächen des Metalldeckels 6 zur Anwendung kommt.

Gemäß dieser Ausführungsform erniedrigt die verminderte Dicke des Umfangsbereichs der Lüftungsöffnung 7 den Widerstand, der auf die durch die Lüftungsöffnung 7 durchtretende Luft ausgeübt wird. Deshalb kann das Innere des Behälterkörpers 4 ohne Schwierigkeiten evakuiert werden, und die für ein Eva kuieren erforderliche Zeit kann verkürzt werden.

Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem neunzehnten Aspekt der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 15

Die Fig. 21a und 21b zeigen eine Ausführungsform gemäß dem zwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist identisch zu derjenigen der Ausführungsform 1. Dieselben Bauteile werden durch die glei chen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unter bleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Verschlie ßen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, be schrieben.

Ein oberer Flanschring 11, der ein Metallteil ist, wird in der Öffnung eines Behälterkörpers 4 ausgebildet, welcher aus Keramikmaterial besteht und bei den Ausführungen nach dem ersten bis dritten Aspekt der Erfindung beschrieben worden ist. Der obere Flanschring ist mit der gesamten Peripherie des Metalldeckels 6 verbunden, so daß ein gasdichter Raum E erzeugt wird. Bei dieser Ausführungsform wird im voraus keine Öffnung im Metalldeckel 6 ausgebildet, und im Schritt des Verbindens des oberen Flanschringes 11 mit der gesamten Peri pherie des Metalldeckels 6 bleibt ein Teil der Peripherie unverbunden, so daß eine schlitzartige Lüftungsöfffnung 7 ausgestaltet wird, wie in Fig. 21a gezeigt ist. Das Innere des Gehäuses 1 wird über die schlitzartige Lüftungsöffnung 7, die in dem unverbundenen Bereich 6i ausgestaltet ist, evaku iert. Anschließend wird: der Abschnitt längs der schlitzarti gen Lüftungsöffnung 7 durch Erhitzen geschmolzen, so daß die Öffnung 7 gänzlich verschlossen wird, um in gasdichter Weise abgeschlossen zu sein, wie in Fig. 21b gezeigt ist. In den Figuren bezeichnet 6m einen verbundenen Abschnitt oder Be reich, während 6i einen unverbundenen Bereich angibt.

Gemäß dieser Ausführungsform bleibt ein Teil des verbundenen Bereichs zwischen dem oberen Flansch 11 und dem Metalldeckel 6 unverbunden, so daß hier eine schlitzartige Lüftungsöffnung 7 ausgestaltet wird. Deshalb ist es nicht notwendig, im Metall deckel 6 ein Loch auszubilden, weshalb der Schritt zum Aus bilden des Lochs entfallen kann. Bei dem Schritt zum dichten Verschließen ist es möglich, einen Prozeß ähnlich dem anzu wenden, der in dem vorausgehenden Schritt des Verbindens des oberen Flansches mit der gesamten Peripherie des Metalldeckels 6 ausgeführt wird.

Ausführungsform 16

Die Fig. 22a bis 22f zeigen Ausführungsformen nach dem ein- undzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Aus gestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbil dung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform darstellen, beschrieben.

Die Fig. 22a zeigt eine Ausgestaltung, wobei Metallpulver 30 in eine Öffnung eines Metalldeckels 6 gepackt und eine porö se Struktur durch Pressen od. dgl. gebildet wird, so daß die Lüftungsöffnung 7 durch eine Anzahl von Poren oder kleinen Öffnungen ausgebildet wird. Die Fig. 22b ist eine Schnittdar stellung der Ausgestaltung. Wenn in diesem Fall die Tempera tur und der Druck so eingestellt werden, daß sie niedriger als diejenigen bei der Ausbildung eines herkömmlichen gesin terten Metalls sind, werden Metallpartikel an einem vollstän digen Verbinden miteinander gehindert und kann ein provisori scher Sinterzustand, der eine erhebliche Luftdurchlässigkeit aufweist, erlangt werden.

Die Fig. 22c zeigt eine Ausgestaltung, wobei eine Lüftungsöff nung 7 durch Einsetzen eines porösen Strangpreßmaterials 29 mit einer sog. Wabenstruktur, die eine Anzahl von Öffnungen von sechseckigem Querschnitt besitzt, in eine Öffnung eines Metalldeckels 6 ausgebildet wird. Die Fig. 22d ist eine Schnittdarstellung dieser Ausgestaltung.

Die Fig. 22e zeigt eine Ausgestaltung, bei der eine Lüftungs öffnung 7 gebildet wird, indem ein Bündel von Drahtteilchen 31 mit einem beispielsweise kreisförmigen Querschnitt in eine Öffnung eines Metalldeckels 6 eingepackt wird. Die Lüf tungsöffnung 7 kann durch eine Anzahl von Poren oder kleinen Öffnungen 7d, die zwischen den Drahtteilchen 31 ausgebildet sind, gewährleistet werden. Die Fig. 22f ist eine Schnittdar stellung dieser Ausgestaltung.

Da gemäß dieser Ausführungsform viele kleine Öffnungen (Poren) 7d zur Anwendung kommen, kann die Lüftungsöffnung 7 auf ein fache Weise gasdicht nach dem Vorgang des Zuführens und Ab saugens eines Gases verschlossen werden, wobei die Zuverläs sigkeit des dichten Abschlusses erhöht wird.

Ausführungsform 17

Die Fig. 23a bis 23d zeigen eine Ausführungsform nach dem zweiundzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Aus führungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend wird lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 sowie eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, beschrieben. Die Fig. 23a bis 23d zeigen eine vergrö ßerte Darstellung der Öffnung 6j für die Lüftungsöffnung 7, die in den Fig. 1 bis 5 dargestellt ist.

Ein Stopfenbauteil 32, das in die in einem Metalldeckel 6 ausgestaltete Öffnung 6j eingepaßt werden soll, hat eine äußere Gestalt, die im wesentlichen mit derjenigen der Öff nung 6j übereinstimmt. Im Außenumfang des Stopfenbauteils 32 sind zahlreiche Kehlen oder Riefen 32a ausgebildet. Wenn das Stopfenbauteil in die Öffnung 6j eingepaßt wird, wird inso fern durch die Kehlen 32a eine feine Lüftungsöffnung 7 aus gestaltet. Nachdem das Innere des Behälterkörpers 4 über die Lüftungsöffnung 7 evakuiert ist, wird der Bereich längs der Lüftungsöffnung 7 durch Erhitzen geschmolzen, wodurch die Öffnung in gasdichter Weise abgeschlossen wird.

Gemäß dieser Ausführungsform wird die feine oder winzige Lüf tungsöffnung 7 durch das getrennte Stopfenbauteil 32 gebildet. Im Vergleich mit dem Prozeß zur Ausgestaltung von Poren im Metalldeckel 6 läßt diese Ausführungsform insofern die feine Lüftungsöffnung einfacher und wirtschaftlicher erlangen. Wenn die Kehlen 32a längs des Außenumfangs des Stopfenbau teils 32, das im wesentlichen konisch ist, angeordnet sind, kann das Stopfenbauteil durch Erhitzen unter Bewegen einer Wärmequelle auf einer Kreisbahn geschmolzen werden. Folglich kann ein gasdichter Abschluß auf einfache Weise geschaffen werden.

Ausführungsform 18

Die Fig. 24 zeigt eine Ausführungsform nach dem dreiundzwan zigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausgestal tung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Be zugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterblei ben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschlie ßen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform darstellen, beschrieben.

Eine abgedichtete Kontaktvorrichtung A wird an einer vorbe stimmten Stelle in einer geschlossenen Kammer 33 angeordnet. Die Kammer 33 besitzt eine Auslaßöffnung 36, die über ein Evakuierventil 34 an eine Vakuumpumpe 35 angeschlossen ist, sowie eine Einlaßöffnung 39, die über ein Gaszufuhrventil 37 an einen Gaszylinder 38 angeschlossen ist. Ein Glasfenster 40, durch das ein Laserstrahl von der Außenseite her einge leitet werden kann, ist über der Lüftungsöffnung 7 der abge dichteten Kontaktvorrichtung A ausgebildet.

Wenn das Evakuierventil 34 geöffnet wird, wird das Innere der Kammer 33 durch den Betrieb der Vakuumpumpe 35 in einen erheblichen Unterdruckzustand gebracht. Hierbei führt die Ausgestaltung, in welcher die Lüftungsöffnung 7 vorgesehen ist, auch dazu, daß das Innere der abgedichteten Kontaktvor richtung A einen erheblichen Unterdruckzustand erlangt. Falls das Evakuierventil 34 geschlossen und dann das Gaszufuhrven til 37 geöffnet wird, nehmen das Innere der geschlossenen Kammer 33 und der abgedichteten Kontaktvorrichtung A einen gasgefüllten Zustand vom Gaszylinder 38 her an. Nachdem das Innenmilieu der abgedichteten Kontaktvorrichtung A in einen vorbestimmten Zustand versetzt ist, wie oben beschrieben wur de, wird von der Außenseite über das Glasfenster 40 ein La serstrahl zum Einfallen auf die Lüftungsöffnung 7 gebracht, wodurch die Lüftungsöffnung 7 verschweißt wird. Als Ergebnis ist die abgedichtete Kontaktvorrichtung A vollkommen dicht verschlossen. Auch bleibt, nachdem die Vorrichtung aus der geschlossenen Kammer 33 entnommen ist, das Innenmilieu der Vorrichtung auf diesem vorbestimmten Zustand.

Da gemäß dieser Ausführungsform die abgedichtete Kontaktvor richtung A insgesamt in die geschlossene Kammer 33 einge bracht wird, kann die Möglichkeit des Auftretens einer Ex plosion infolge der Mischung des Gases und der Luft während der Lasereinstrahlung eliminiert werden, so daß folglich das Verfahren sicherer wird.

Ausführungsform 19

Die Fig. 25 zeigt eine Ausführungsform nach dem vierund zwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Ausge staltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbil dung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dich ten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungform sind, beschrieben.

Ein Anschlußbauteil 41 wird an einem Metalldeckel 6 einer abgedichteten Kontaktvorrichtung A, in dem die Lüftungsöff nung 7 ausgebildet ist, unter Verwendung eines Abdichtmate rials bei Aufrechterhaltung der Gasdichtheit angebracht. Das Anschlußbauteil 41 hat eine Auslaßöffnung 36, die über ein Evakuierventil 34 an eine Vakuumpumpe 35 angeschlossen ist, und eine Einlaßöffnung 39, die über ein Gaszufuhrven til 37 mit einem Gaszylinder 38 in Verbindung steht. Ein Glasfenster 40, durch das von außen her ein Laserstrahl zum Einfallen gebracht werden kann, ist über der Lüftungsöff nung 7 der abgedichteten Kontaktvorrichtung A ausgebildet.

Wenn das Evakuierventil 34 geöffnet wird, wird durch den Betrieb der Vakuumpumpe 35 das Innere des Anschlußbauteils 41 dazu gebracht, einen erheblichen Unterdruckzustand anzu nehmen. Hierbei bewirkt der Aufbau, in dem die Lüftungsöff nung 7 vorgesehen ist, auch, daß das Innere der abgedichteten Kontaktvorrichtung A einen erheblichen Unterdruckzustand an nimmt. Bei Schließen des Evakuierventils 34 und öffnen des Gaszufuhrventils 37 werden durch den Gaszylinder 38 die In nenräume des Anschlußbauteils 41 sowie der abgedichteten Kontaktvorrichtung A in einen gasgefüllten Zustand versetzt. Nachdem das Innenmilieu der abgedichteten Kontaktvorrichtung A auf einen vorbestimmten Zustand gebracht ist, wie oben beschrieben wurde, wird durch das Glasfenster 40 der Laser strahl von der Außenseite her zum Einstrahlen auf die Lüf tungsöffnung 7 gebracht, so daß die Lüftungsöffnung 7 ver schweißt wird. Als Ergebnis wird die abgedichtete Kontakt vorrichtung A komplett verschlossen. Das Innenmilieu der Vor richtung wird, auch nachdem das Anschlußbauteil 41 von der Vorrichtung abgenommen ist, in diesem Zustand aufrechter halten.

Da gemäß dieser Ausführungsform die Zufuhr und das Absaugen von Gas über das Anschlußbauteil 41 ausgeführt werden, kann der Evakuierungsbereich kleiner gehalten werden. Deshalb kann die für ein Evakuieren erforderliche Zeit verkürzt wer den, und die Produktionsleistung im Schritt des gasdichten Verschließens kann gesteigert werden.

Ausführungsform 20

Die Fig. 26a bis 26f zeigen Ausführungsformen nach dem fünf- undzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzliche Aus gestaltung der Ausführungsformen ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend wird lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 wie auch eine Vorrichtung zum dich ten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungs form sind, beschrieben.

Die Fig. 26a und 26b zeigen eine Art zum Anbringen eines abgestuften oder abgesetzten Stopfens 42a, der als ein Me tallteil 42 dient, die Fig. 26c und 26d zeigen eine Art zum Anbringen einer Kugel 42b, die als das Metallteil 42 dient, und die Fig. 26e sowie 26f zeigen eine Art des Anbringens eines angefasten Stopfens 42c, der als das Metallteil 42 dient. Der abgestufte Stopfen 42a, die Kugel 42b und der angefaste Stopfen 42c, die als das Metallteil 42 dienen, werden als eine Abdeckung verwendet. Nachdem diese Abdeckung in die Lüftungsöffnung 7 eines Metalldeckels 7 eingesetzt ist, wird durch Schweißen oder Hartlöten ein gasdichter Ver schluß realisiert.

Im Fall des abgestuften Stopfens 42a wirkt der Kopf, wenn der Stopfen in den Metalldeckel 6 eingepaßt wird, als ein überdeckendes Teil in bezug auf den Metalldeckel 6. Dadurch kann eine Begrenzung im Einsetzen des Stopfens ohne Schwie rigkeiten beherrscht und der Schweißvorgang auf einfache Weise ausgeführt werden.

Die Kugel 42b weist das Merkmal auf, daß sie auf einfache Weise mit Bezug zur Lüftungsöffnung 7 des Metalldeckels 6 positioniert werden kann. Vorzugsweise wird der Vorgang des Positionierens des als eine Abdeckung tätigen Metallteils 42 mit Bezug zur Lüftungsöffnung 7 im gleichen Schritt wie demjenigen eines Evakuierens oder Einführens von Gas ausge führt. Um das zu erfüllen, muß der Einpaßvorgang beispiels weise in der geschlossenen Kammer 33 durchgeführt werden. Deshalb ist es schwierig, einen solchen Vorgang in einer komplizierten und akkuraten Weise auszuführen. Wenn die Kugel 42b als Abdeckung verwendet wird, kann jedoch das Positionieren durchgeführt werden, indem einfach beispiels weise die über der Lüftungsöffnung 7 gehaltene Kugel fal lengelassen wird. Der angefaste Stopfen 42c weist einen Vor teil insofern auf, als die Gestalt einfach ist und folglich der Stopfen ohne Schwierigkeiten hergestellt werden kann.

In allen Fällen wird das als eine Abdeckung dienende Metall teil 42 aufgebracht, worauf anschließend das Metallteil 42 mit dem Metalldeckel 6 verschweißt wird, so daß die Gasdicht heit gewährleistet ist. Das Schweißverfahren ist nicht auf das bei der Ausführungsform nach dem neunten Aspekt der Er findung beschriebene elektrische Widerstandsschweißen be schränkt und schließt verschiedene Schweißverfahren, wie mittels eines Laser-, optischen Strahls und eines Licht bogenschweißens wie auch ein Hartlöten, ein.

Ausführungsform 21

Die Fig. 27a bis 27c zeigen eine Ausführungsform nach dem sechsundzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschrei bung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung und einer Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausfüh rungsform sind, beschrieben.

Die Fig. 27a ist eine Perspektivdarstellung eines Stopfens oder Verschlußteils 43, die Fig. 27b zeigt einen Zustand, wobei der Stopfen 43 provisorisch an einer Öffnung 6j eines Metalldeckels 6 gehalten ist, und die Fig. 27c zeigt einen Zustand, wobei der Stopfen 43 durch Pressen in den innersten Bereich der Öffnung 6j des Metalldeckels 6 eingesetzt und die Öffnung 6j in dem Zustand ist, um durch Verschweißen des Flansches des Stopfens 43 abgedichtet zu werden.

An einem in den Fig. 27a bis 27c gezeigten Ansatz oder Vor sprung 43a des Stopfens 43 sind Lücken oder Ausnehmungen 43b in einer Umfangsrichtung und mit regelmäßigen Abständen aus gestaltet. Wie in Fig. 27b gezeigt ist, bleibt deshalb die Lüftungsöffnung 7 an der Peripherie des Ansatzes 43a des Stopfens 43, der teilweise in die Öffnung 6j des Metalldec kels 6 eingesetzt und provisorisch gehalten ist, erhalten. Über die Lüftungsöffnung 7 kann frei eine Evakuierung oder eine Gaseinführung vorgenommen werden. Unter dem Zustand, wobei die Evakuierung oder Gaseinführung abgeschlossen ist, wird der Stopfen 43 weiter unter Druck eingeführt, wie in Fig. 27c gezeigt ist, so daß der Flansch des Stopfens 43 zu verschweißen ist, wodurch die Lüftungsöffnung 7 dicht abge schlossen wird.

Wenn der eine Gestalt, wie in den Fig. 27a bis 27c gezeigt ist, aufweisende Stopfen 43 verwendet wird, kann dieser im voraus provisorisch am Metalldeckel 6 fixiert werden. Die nachfolgenden Schritte erfordern keine Tätigkeiten eines Zuführens, Festspannens sowie Positionierens des Stopfens 43 u. dgl., und sie machen lediglich relativ einfache Tätigkei ten eines Einsetzens des Stopfens 43 unter Druck und des an schließenden Verschweißens von diesem notwendig. Deshalb ist es möglich, ein Verfahren vorzusehen, das einfach bei spielsweise auch in der Kammer 21 oder 33 zum Einbringen von Gas ausgeführt werden kann, so daß die Produktionslei stung gesteigert werden kann.

Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform des sechsundzwanzigsten Aspekts der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 22

Die Fig. 28a bis 28c zeigen eine Ausführungsform nach dem siebenundzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundsätzli che Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschrei bung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale dieser Ausfüh rungsform sind, beschrieben.

Die Fig. 28 ist eine auseinandergezogene Perspektivdarstel lung eines Metalldeckels 6, in dem eine Öffnung 6j ausgebil det ist, und eines Stopfens 43 mit einem Ansatz oder Vor sprung 43a an seiner Rückfläche. Die Fig. 28b zeigt einen Zustand, in welchem die eine Kante des Stopfens 43, die zu der Seite entgegengesetzt ist, an welcher der Ansatz 43a ausgebildet ist, angrenzend an die Öffnung 6j des Metalldec kels 6 angeschweißt ist. Hierbei wird der Vorsprung 43a des Stopfens 43 gegen den Metalldeckel 6 gedrückt und der plat tenförmige Stopfen 43 wird elastisch verformt sowie so ange schweißt, um zur Öffnung 6j hin einer Belastung zu unterlie gen. Insofern wird zwischen dem Metalldeckel 6 und dem Stop fen 43 ein Spalt sichergestellt, so daß die Lüftungsöffnung 7 ausgebildet wird. Über die Lüftungsöffnung 7 können ein Evakuieren oder Einführen von Gas ausgeführt werden. Die Fig. 28 zeigt einen Zustand, in welchem, nachdem das Eva kuieren oder Einführen von Gas derartig beendet ist, der Ansatz 43a des Stopfens 43 durch einen Laserstrahl bestrahlt wird. Hierbei wird der elastisch verformte Stopfen 43 durch seine Federkraft gegen den Metalldeckel 6 gedrückt, so daß der Spalt zwischen dem Metalldeckel 6 und dem Stopfen im we sentlichen geschlossen wird. Danach wird der Außenumfangsab schnitt des Stopfens 43 unter Anwendung eines Lasers od. dgl. weiter verschweißt, so daß der gasdichte Abschluß fertigge stellt wird.

Gemäß dieser Ausführungsform können der Metalldeckel 6 und der Stopfen 43 im voraus provisorisch aneinander befestigt werden, wobei dazwischen ein Spalt sichergestellt wird. Die anschließenden Schritte erfordern keine solchen Tätigkeiten wie ein Zuführen, Festspannen und Positionieren des Stopfens 43, sie erfordern lediglich berührungsfreie Tätigkeiten, um ein Laserschweißen auszuführen. Daher ist es möglich, ein Verfahren zu schaffen, das ohne Schwierigkeiten beispielswei se auch in der Kammer 21 oder 33 für ein Einführen von Gas ausgeführt werden kann und bei dem die Produktionsleistung gesteigert werden kann.

Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem siebenundzwanzigsten Aspekt der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 23

Die Fig. 29a bis 29c zeigen eine Ausführungsform nach dem achtundzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Aus führungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschrei bung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausfüh rungsform sind, beschrieben.

Die Fig. 29a ist eine Perspektivdarstellung, die einen Me talldeckel 6 mit einer durch eine Öffnung 6j ausgestalteten Lüftungsöffnung 7 und ein bandartiges Element, bei welchem mehrere Stopfen trennbar über Trennstücke 44 verbunden sind, zeigt. Nachdem über die Lüftungsöffnung 7 ein Evaku ieren oder Einführen von Gas ausgeführt ist, wird der er ste Stopfen 43 in eine Position über der Lüftungsöffnung 7 gebracht, wie in Fig. 29b gezeigt ist. Danach wird die Pe ripherie des Stopfens durch z. B. einen Laser verschweißt, wie in Fig. 29c gezeigt ist. Gleichzeitig mit dem oder unmit telbar nach dem Schweißvorgang wird das zugeordnete Trenn stück 34 mittels des Lasers od. dgl. durchgeschnitten, wo durch der gasdichte Verschluß vervollständigt wird.

Gemäß dieser Ausführungsform werden die Stopfen 43 kontinu ierlich zugeführt, wodurch die Produktionsleistung im Schritt des gasdichten Verschließens gesteigert werden kann.

Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem achtundzwanzigsten Aspekt der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 24

Die Fig. 30a und 30b zeigen eine Ausführungsform nach dem neunundzwanzigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Aus führungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschrei bung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Aus bildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausfüh rungsform darstellen, beschrieben.

Die Fig. 30a zeigt einen Metalldeckel 6 mit einer durch eine Öffnung 6j gebildeten Belüftungsöffnung 7 und einen Stopfen 43, an dessen Peripherie ein Hartlötmaterial 45 im voraus aufgebracht ist. Wenn das Lötmaterial 45 in Form einer Paste am Stopfen 43 angebracht oder in Form eines Flachmaterials provisorisch mit dem Stopfen 43 verbunden wird, so können das Lötmaterial und der Stopfen als eine Einheit zugeführt werden. Nachdem mittels der Lüftungsöffnung 7 ein Evakuieren oder ein Einführen von Gas ausgeführt ist, wird der Stopfen 43 an der Lüftungsöffnung 7 des Metalldeckels 6 angebracht, wie in Fig. 30b gezeigt ist. In diesem Zustand werden die Einheit aus Metalldeckel 6 und Stopfen 43 oder derjenige Teil, an welchem die beiden Bauteile miteinander verbunden sind, örtlich erhitzt, so daß ein Hartlöten ausgeführt wird. Als Ergebnis wird ein gasdichter Verschluß vervollständigt.

Gemäß dieser Ausführungsform ist es nicht erforderlich, solche Tätigkeiten wie ein Zuführen und Aufbringen eines Lötmaterials in der Kammer 21 oder 33 für ein Evakuieren und ein Einführen von Gas vorzunehmen. Im Gegensatz zu dem Fall, wobei ein Schweißen ausgeführt wird, erfordert der Vorgang zum Positionieren des Stopfens 43 sowie des Heizteils keine hohe Genauigkeit, weshalb die Produktivität im Schritt des gasdichten Verschließens gesteigert werden kann.

Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform nach dem neunundzwanzigsten Aspekt der Erfindung kann modifiziert werden.

Ausführungsform 25

Die Fig. 31a und 31b zeigen eine Ausführungsform nach dem dreißigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestal tung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausführungs form 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die glei chen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung un terbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform sind, beschrieben.

Gemäß der Fig. 31a wird ein von einem Stopfenträger 46 ge haltener Stopfen 43 unmittelbar über der Lüftungsöffnung 7 eines Metalldeckels 6 positioniert. Nachdem ein Evakuieren oder ein Einführen von Gas über die Lüftungsöffnung 7 des Metalldeckels 6 ausgeführt ist, wird der Stopfenträger 46 abgesenkt und der Stopfen 43 in die Lüftungsöffnung 7 einge setzt. Hierbei besteht die Lagebeziehung zwischen der Lüf tungsöffnung 7 und dem Stopfen 43 lediglich in einem sol chen Zustand, daß der Stopfen mechanisch unter Druck in die Öffnung eingesetzt ist, wobei eine Gasdichtheit für eine lange Zeit nicht aufrechterhalten werden kann. Jedoch kann in diesem Zustand die Bedingung, daß das Innere der abge dichteten Kontaktvorrichtung A für eine kurze Zeit in einem solchen Grad oder unter einem solchen Ausmaß, daß die Lei stungsfähigkeit der Vorrichtung nicht beeinträchtigt wird, bleibt, aufrechterhalten werden. Deshalb wird die abgedich tete Kontaktvorrichtung A aus der Kammer 21 entnommen, wor auf der Stopfen 43, ohne daß lange Zeit verstreicht, an den Metalldeckel 6 unter Verwendung von z. B. einem Laser, ge schweißt wird, wie in Fig. 31b gezeigt ist, so daß eine voll ständige Gasdichtheit gewährleistet ist.

Gemäß dieser Ausführungsform ist es nicht erforderlich, Tätig keiten wie jene eines Zuführens und Aufbringens eines Löt materials in der Kammer 21 für ein Evakuieren und eine Gas zufuhr auszuführen, und insofern ist es möglich, ein Verfah ren zu schaffen, das sicher ist und eine hohe Produktivität im gasdichten Verschließen aufweist.

Ausführungsform 26

Die Fig. 32a bis 32d zeigen eine Ausführungsform nach dem einunddreißigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Aus gestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Ausfüh rungsform 1 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nac 05951 00070 552 001000280000000200012000285910584000040 0002019722110 00004 05832hfolgend wird lediglich das Verfahren zum Abdichten einer Lüftungsöffnung 7, das ein Merkmal der Ausführungsform ist, beschrieben.

Um die Luftdurchlässigkeit zu erhöhen, wird in einer Metall platte 6 ein ausgeklinktes, herausgestelltes Teil 6e durch Ausbilden eines Schlitzes von z. B. 0,2 mm oder mehr ausgebil det, wie in Fig. 32a gezeigt ist. Nachdem ein Lüftungsvor gang, z. B. ein Evakuieren, ausgeführt ist, wird das heraus gestellte Teil 6e mechanisch plastisch verformt, um den Spalt auf 0,1 mm oder weniger zu verkleinern, so daß die Lüftungsöffnung 7 verschlossen wird, wie in Fig. 32b gezeigt ist. Danach wird die Peripherie der Öffnung von verminderter Größe durch Erhitzen beispielsweise mittels Lasereinstrahlung geschmolzen. Der Spalt wird durch das geschmolzene Metall verschlossen, wodurch die Öffnung abgedichtet wird, wie in Fig. 32c gezeigt ist.

Bei diesem Verfahren erzeugt das herausgestellte Teil 6e ein hohes Lüftungsvermögen, und die Öffnung kann auf einfache Weise dicht durch Schmelzen verschlossen werden, wobei das herausgestellte Teil 6e zu seiner ursprünglichen Position zurückgeführt wird. Da die Lüftungsöffnung 7 von dem her ausgestellten Teil 6e in der Heißschmelzrichtung (in einer zur Fläche der Metallplatte rechtwinkligen Richtung) nicht gesehen werden kann, kann die Öffnung auf einfache Weise abgedichtet werden.

Ausführungsform 27

Die Fig. 33a bis 33d zeigen eine Ausführungsform nach dem zweiunddreißigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Aus führungsformen 1 und 26 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Be schreibung unterbleiben kann. Nachfolgend werden lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und eine Vorrichtung zum Abdichten der Öffnung, die Merkmale der Ausführungs form sind, beschrieben.

Um die Luftdurchlässigkeit zu erhöhen, wird in einer Metall platte 6d durch Ausbilden eines Schlitzes von z. B. 0,2 mm oder mehr ein herausgestelltes Teil 6e erzeugt, wie in Fig. 33a gezeigt ist. Nachdem ein Lüftungsvorgang, z. B. eine Eva kuierung, ausgeführt ist, wird der Fußbereich des herausge stellten Teils 6e durch Einstrahlen von einem Laser örtlich mit dem Ergebnis erhitzt, daß das herausgestellte Teil durch Wärmekontraktion verformt wird. Die Verformung wird konti nuierlich weitergeführt, bis der Schlitz oder Spalt d des herausgestellten Teils 6e auf 0,1 mm oder weniger reduziert ist, so daß die Lüftungsöffnung 7 so geschlossen ist, wie in Fig. 33b gezeigt ist. Anschließend wird die Peripherie des Schlitzes von reduzierter Größe durch Erhitzen mittels z. B. einer Lasereinstrahlung geschmolzen. Durch das geschmol zene Metall wird der Schlitz verschlossen, wodurch die Öffnung abgedichtet wird, wie in Fig. 33c gezeigt ist.

Gemäß dieser Ausführungsform wird die Lüftungsöffnung 7 durch das herausgestellte Teil gebildet. Während einer Gas zufuhr und eines Absaugens kann deshalb eine große Öffnungs fläche gewährleistet werden, so daß folglich die für die Gaszufuhr und Gasabsaugung erforderliche Zeit verkürzt werden kann. Weil das herausgestellte Teil 6e unter Verwen dung einer Wärmequelle, z. B. einer Laservorrichtung, ver formt wird, kann die Handhabung der Vorrichtung ohne eine Berührung mit dem Metalldeckel 6 ausgeführt werden. Folg lich ist diese Methode für die Anwendung in der Kammer 21 und 33 eines Vakuum- oder Gasmilieus sehr zweckmäßig. Die Ausgestaltung, bei der der Schlitz oder Spalt in der Größe unter Anwendung einer Wärmequelle, z. B. einer Laservorrich tung, verkleinert wird, erlaubt es, den Vorgang zum gasdich ten Abschließen ohne die Anwendung eines zusätzlichen Ele ments ohne Schwierigkeiten durchzuführen.

Ausführungsform 28

Die Fig. 34a bis 34d zeigen eine Ausführungsform nach dem dreiunddreißigsten Aspekt der Erfindung. Die grundlegende Ausgestaltung der Ausführungsform ist zu derjenigen der Aus führungsformen 1 und 23 identisch. Dieselben Bauteile werden durch die gleichen Bezugszahlen bezeichnet, so daß deren Beschreibung unterbleiben kann. Nachfolgend wird lediglich die Ausbildung einer Lüftungsöffnung 7 und auch eine Vorrich tung zum dichten Verschließen der Öffnung, die Merkmale der Ausführungsform darstellen, beschrieben.

Zuerst wird in einer Metallplatte 6 einer Dicke t von 0,5 mm ein herausgestelltes Teil 6e (der Spalt d ist 0,2 mm) gebil det, wie in Fig. 34a gezeigt ist, so daß ein einwärts ausge bogenes Höhenmaß h 0,7 mm beträgt. Zur gleichen Zeit wird, wie in den Fig. 34b bis 34d gezeigt ist, das Metall im Peri pheriebereich des herausgestellten Teils 6e zur Außenseite des Behälters hin durch eine plastische Verformung zum Vor stehen gebracht, so daß ein aufgestelltes Höhenmaß j von 0,7 mm erlangt wird.

Gemäß dieser Ausführungsform steht das herausgestellte Teil 6e nicht von der unteren Fläche einer Metallplatte 6d vor. Wenn beispielsweise unter der Metallplatte 6d ein weiteres Bauteil vorhanden ist, so wird das herausgestellte Teil an einer Beeinflussung mit dem genannten Bauteil gehindert. Das verformte Teil, das vorsteht, wirkt als eine Rippe, um zu verhindern, daß die Peripherie durch einen Schweißverzug verformt wird.

Claims

1. Abgedichtete Kontaktvorrichtung, mit einem Behälter körper (4) aus Keramik, der durch einen Metalldeckel (6), der zwischen sich und dem Behälterkörper (4) einen Flanschring (11) einschließt, zu einem gasdichten Raum (E) verschlossen wird, mit zumindest einem in dem Behälterkör per (4) befestigten ortsfesten Kontakt (2) sowie zumindest einem bewegbaren Kontakt (3), gekennzeichnet, durch eine in der Außenhaut der Vorrichtung endende, anschluss stutzenfreie Lüftungsöffnung (7), die Oberflächenbündig verschlossen ist.

2. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) im Me talldeckel (6) vorgesehen ist.

3. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) in dem ortsfesten Kontakt vorgesehen ist.

4. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) in dem bewegbaren Kontakt vorgesehen ist.

5. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) eine durch ein Metallteil (7b) ausgebildete Lüftungsöffnung in dem Behälterkörper (4) ist.

6. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) dadurch erzeugt wird, dass beim Verschließen durch den Metalldeckel (6) ein Teil seiner Peripherie nicht mit dem Flanschring (11) verbunden ist.

7. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass in der Lüftungsöffnung (7) ge presste Metallpartikel (30) enthalten sind, die durch Pres sen eine poröse Struktur haben, so dass die Lüftungsöffnung (7) vor dem Verschließen durch eine Vielzahl kleiner Poren ausgebildet ist.

8. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, dass in der Lüftungsöffnung (7) ein poröses Strangpressmaterial (29) enthalten ist, das eine Wabenstruktur besitzt, so dass die Lüftungsöffnung (7) vor dem Verschließen durch eine Vielzahl kleiner Poren ausge bildet ist.

9. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 2, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) vor dem Verschließen schlitzartig ist.

10. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 2, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) vor dem Verschließen durch ein ausgeklinktes, herausgestelltes Teil (6e) ausgebildet wird.

11. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 2, da durch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) durch ein Stopfenbauteil (32, 42, 43) verschlossen wird.

12. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 11, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (32) mit zahlreichen Kehlen (32a) an seinem Außenumfang versehen ist.

13. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 11, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (42) an seinem Außenumfang abgestuft ist, so dass der abgestufte Bereich in die Lüftungsöffnung einpassbar ist.

14. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 11, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (42) eine Kugel ist.

15. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 11, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (42) an seinem Außenumfang angefast ist.

16. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 13, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (43) an dem Umfang des abgestuften Be reichs Ausnehmungen (43b) hat.

17. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 11, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (43) plattenförmig gestaltet ist und ei nen Vorsprung (43a) an einer dem Behälterkörper (4) zuge wandten Seite hat.

18. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 17, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (43) zu einem bandartigen Element aus miteinander durch Trennstücke (44) verbundenen Stopfenbau teilen gefertigt ist.

19. Abgedichtete Kontaktvorrichtung nach Anspruch 17, da durch gekennzeichnet, dass das Stopfenbauteil (43) an seiner Peripherie mit Hartlötma terial verbunden ist.

20. Verfahren zur Herstellung einer abgedichteten Kontakt vorrichtung, mit den Schritten:
Bereitstellen eines Gehäuses (1), das aus einem kera mischen Behälterkörper (4) besteht, wobei zumindest ein ortsfester Kontakt und ein bewegbarer Kontakt in dem Behäl terkörper (4) angeordnet sind;
Bereitstellen eines Metalldeckels (6) zum Verschließen des Behälterkörpers;
Ausbilden einer oberflächenbündigen Lüftungsöffnung (7) in dem Metalldeckel (6);
Verschließen des Behälterkörpers (4) durch den Metall deckel;
Absaugen eines in dem Behälterkörper (4) enthaltenden Gases über die Lüftungsöffnung in einer Kammer;
Zuführen eines gewünschten Gases über die Lüftungsöff nung;
luftdichtes Verschließen der Lüftungsöffnung in der Kammer.

21. Verfahren zur Herstellung einer abgedichteten Kontakt vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Lüftungsöffnung (7) in dem Metalldeckel (6) schlitzar tig ausgebildet wird, und dass das luftdichte Verschließen der Lüftungsöffnung in der Kammer ein Erhitzen in dem Bereich längs der Lüftungsöff nung enthält, wodurch die Öffnung in gasdichter Weise abge schlossen wird.

22. Verfahren zur Herstellung einer abgedichteten Kontakt vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Ausbildung der Lüftungsöffnung eine Vielzahl von kleinen Öffnungen gebildet werden, die mit dem Schritt des luftdichten Verschließen erhitzt werden.

23. Verfahren zur Herstellung einer abgedichteten Kontakt vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass ferner der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (32, 43) aus Metall umfasst wird, und dass der Schritt des
Ausbildens einer oberflächenbündigen Lüftungsöffnung (7) in dem Metalldeckel (6) derart erfolgt, dass sie im we sentlichen der Gestalt des Stopfenbauteils (42) angepasst ist, und dass vor dem Absaugen des in dem Behälterkörper enthaltenen Gases der Schritt
des Aufsetzens des Stopfenbauteils auf die Lüftungs öffnung vorausgeht, und dass beim luftdichten Verschließen der Lüftungsöffnung in der Kammer der Bereich längs der Lüftungsöffnung durch Erhitzen geschmolzen wird, wodurch die Öffnung in gasdichter Weise abgeschlossen wird.

24. Verfahren zur Herstellung einer abgedichteten Kontakt vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass ferner der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (32, 43,) aus Metall umfasst wird, und dass der Schritt des
Ausbildens einer oberflächenbündigen Lüftungsöffnung (7) in dem Metalldeckel (6) derart erfolgt, das sie im we sentlichen der Gestalt des Stopfenbauteils (42) angepasst ist, und dass nach dem zuführen des gewünschten Gases der Schritt
des Aufsetzen des Stopfenbauteils auf die Lüftungsöff nung folgt, und dass beim luftdichten Verschließen der Lüf tungsöffnung in der Kammer der Bereich längs der Lüftungs öffnung durch Erhitzen geschmolzen wird, wodurch die Öff nung in gasdichter Weise abgeschlossen wird.

25. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (32) ein Ausbilden zahlreicher Kehlen (32a) am Außenumfang des Stopfenbauteils enthält.

26. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (42) ein Ausbilden einer Abstufung am Außenumfang enthält, so dass der abgestufte Bereich in die Lüftungsöffnung (7) ein passbar ist.

27. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils ein Ausbilden einer Kugel (42b) enthält.

28. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (42) ein Ausbilden einer Fase in dem Stopfenbauteil an seinem Außenumfang enthält.

29. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (43) ein Ausbilden von Ausnehmungen (43b) an dem Umfang eines abgestuften Bereichs enthält.

30. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (43) ein Ausbilden einer plattenförmigen Gestalt mit einem Vor sprung (43a) an einer dem Behälterkörper (4) zugewandten Seite enthält.

31. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (43) ein Ausbilden eines bandartigen Elements aus miteinander verbundenen Stopfenstücken enthält, die durch Trennstücke (44) miteinander verbunden sind, und der Schritt des Ver schließens der Lüftungsöffnung ein Durchtrennen des Trenn stücks (44) an dem eingepassten Stopfenstück enthält.

32. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens eines Stopfenbauteils (43) ein Anbringen von Hartlötmaterial (45) an seiner Peripherie enthält.

33. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Ausbildens einer oberflächenbündigen schlitzartigen Lüftungsöffnung (7) ein Herausstellen eines Teils des Schlitzes enthält, um die Lüftungsöffnung zu bil den, und dass der Schritt des luftdichten Verschließen der Lüftungsöffnung ein örtliches Erhitzen eines Fußbereichs des herausgestellten Teils und ein Schmelzen des verblei benden Bereichs der Peripherie der Lüftungsöffnung enthält.

34. Verfahren gemäß Anspruch 20, mit den Schritten:
Bereitstellen eines Stücks einer Metallplatte;
Ausbilden eines herausgestellten Teils an der Metall platte, um die Öffnung in der Metallplatte auszugestalten;
Verformen des herausgestellten Teils, um die Öffnung zu schließen; und
luftdichtes Verschließen der Öffnung durch Schmelzen einer Peripherie dieser Öffnung durch Erhitzen.

35. Verfahren nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Verformens einen Schritt eines örtli chen Erhitzens eines Fußbereichs des herausgestellten Teils einschließt, um einen Bereich dieses herausgestellten Teils durch thermisches Verziehen zum Schließen der Öffnung zu verformen.

36. Verfahren nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des luftdichten Verschließens einen Schritt des Erhitzens eines verbleibenden Bereichs der Pe ripherie der Öffnung, um diesen zum Schmelzen zu bringen, einschließt.