DE19710946A1 - Thermopile-Sensor und Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor - Google Patents
Thermopile-Sensor und Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-SensorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Thermopile-Sensor sowie insbesondere ein Strahlungs
thermometer oder einen Bewegungsmelder mit einem Thermopile-Sensor.
Aus der US-A-4,722,612 ist ein Infrarot-Thermometer mit Thermopiles bekannt. Das
Thermopile ist auf eine scheibenförmige isolierende Folie aufgebracht, wobei die Warm
stellen in der Mitte der Folie angeordnet und von den Kaltstellen kreisförmig umgeben
sind. Die Folie ist über ein ringförmiges wärmeleitendes Substrat gespannt, wobei sich
das Thermopile auf der Oberseite und das Substrat an der Unterseite der Folie befinden.
Die Warmstellen des Thermopile liegen im Bereich der zentralen Öffnung des ringförmi
gen Substrats, wogegen die Kaltstellen des Thermopile in dem Bereich der Folie liegen,
der vom Substrat getragen wird. Daher sind bei dem bekannten Thermopile die Kalt
stellen thermisch viel besser mit dem Substrat gekoppelt als die Warmstellen und haben
deshalb auch eine vielfach höhere Wärmekapazität als die Warmstellen.
Wenn das bekannte Infrarot-Thermometer bei veränderlichen Umgebungstemperaturen
eingesetzt wird, tritt eine Temperaturdifferenz zwischen dem Gehäuse des Infrarot-Ther
mometers und dem Thermopile-Sensor auf, wodurch sich der zu messenden Wär
mestrahlung die Wärmestrahlung des Thermometergehäuses überlagert und die Messung
verfälscht. Außerdem tritt dann auch eine Temperaturdifferenz innerhalb des Thermo
pile-Sensors auf, weil natürlich zuerst das Gehäuse des Thermopile-Sensors aufgrund
von Wärmeleitung und/oder Konvektion eine Temperaturänderung erfährt, die sich dann
nach innen bis zum Thermopile fortsetzt. Wird beispielsweise das Gehäuse des Thermo
pile-Sensors durch das Gehäuse des Infrarot-Thermometers erwärmt, erwärmt das
Sensorgehäuse sehr schnell die im Thermopile-Sensor befindliche Luft, die ihrerseits
aber nur die Warmstellen des Thermopile durch Konvektion erwärmt. Denn bei dem
bekannten Thermopile-Sensor sind die Kaltstellen mit dem Substrat thermisch stark
gekoppelt, das wegen seiner hohen Wärmekapazität durch die Luft praktisch nicht
erwärmt wird. Natürlich wird aber auch das Substrat und somit auch die Kaltstellen
erwärmt, jedoch vergleichsweise langsam durch Wärmeleitung vom Gehäuse des
Thermopile-Sensors her. Daher ändern sich die Temperaturen der Kalt- und Warmstellen
unterschiedlich schnell, d. h. es entstehen auch innerhalb des Thermopile Temperatur
gradienten, die die Temperaturmessung verfälschen. Zur Kompensation dieser Meßfehler
enthält das bekannte Infrarot-Thermometer zwei baugleiche Thermopiles, von denen das
eine der zu messenden Strahlung ausgesetzt ist, das andere jedoch nicht, und die
elektrisch gegeneinander geschaltet sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Thermopile-Sensor anzugeben, der bei
einfachem Aufbau gegen Temperaturgradienten unempfindlich ist. Ferner ist es Aufgabe
der Erfindung ein Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor anzugeben, das
bei ebenfalls einfachem Aufbau gegen Schwankungen der Umgebungstemperatur
unempfindlich ist.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Thermopile-Sensor
so konstruiert ist, daß sich bei Umgebungstemperaturänderungen die Kalt- und Warm
stellen des Thermopile gleich schnell erwärmen bzw. abkühlen. Dies wird dadurch
erreicht, daß Unterschiede in der Wärmekapazität zwischen den auf einer Halterung
angeordneten Kalt- und Warmstellen durch entsprechende Unterschiede in der Wärmei
solation der Kalt- bzw. Warmstellen gegenüber dem Gehäuse ausgeglichen sind, d. h. das
Verhältnis aus Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit im Bereich der Warmstellen
ungefähr dem Verhältnis aus Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit im Bereich der
Kaltstellen entspricht. Daher bewirkt ein Wärmetransport vom Sensorgehäuse her eine
gleichmäßige Temperaturänderung der Kalt- und Warmstellen, so daß sich innerhalb des
Thermopile keine Temperaturgradienten ausbilden, die die Messung verfälschen könnten.
Der Wärmetransport zwischen dem Gehäuse und dem Thermopile erfolgt sowohl durch
Wärmeleitung längs der Halterung des Thermopile als auch durch Konvektion und
Strahlung. Die Wärmekapazität der Kalt- bzw. Warmstellen setzt sich aus einem durch
die Masse und die Materialien der jeweiligen Stelle bestimmten Anteil und einem von der
Halterung herrührenden Anteil zusammen.
Der erfindungsgemäße Thermopile-Sensor hat den Vorteil, daß er weder eine aufwendi
ge thermische Stabilisierung durch Kopplung mit isothermischen Körpern großer Wärme
kapazität noch aufwendige Korrektureinrichtungen durch beispielsweise ein zweites
spannungsmäßig entgegengesetzt geschaltetes Thermopile benötigt. Daher lassen sich
mit diesem Thermopile-Sensor sehr kleine, einfache Meßspitzen aufbauen, beispiels
weise für Strahlungsthermometer zur Körpertemperaturmessung im Ohr. Der erfindungs
gemäße Thermopile-Sensor ist insbesondere auch für Strahlungsthermometer ohne
Lichtleiter oder mit einem kurzen oder ins Thermometergehäuse integrierten Lichtleiter
geeignet.
Vorzugsweise sind die Kalt- und Warmstellen gegenüber dem Gehäuse des Thermopile-Sen
sors im wesentlichen gleich gut wärmeisoliert und weisen mit ihrer Halterung auch
im wesentlichen dieselbe Wärmekapazität auf. Durch symmetrische Anordnung der Kalt- und
Warmstellen in Bezug auf das Gehäuse ergibt sich besonders einfach die erwünsch
te gleichgroße Wärmeisolierung.
Bei einer bevorzugten Ausführung eines erfindungsgemäßen Thermopile-Sensors weist
die Halterung eine schlecht wärmeleitende Membran mit vorzugsweise kleiner Wärme
kapazität und einen Rahmen auf, der die Membran trägt. Auf der Membran sind sowohl
die Kalt- als auch die Warmstellen angeordnet, wobei diese sich in einem Bereich der
Membran befinden, der keinen Kontakt mit dem Rahmen hat. Die Membran dient somit
auch der Wärmeisolation zwischen den Kalt- und Warmstellen und dem Gehäuse.
Beim erfindungsgemäßen Thermopile-Sensor sind die Warmstellen der zu messenden
Strahlung stärker ausgesetzt als die Kaltstellen oder umgekehrt. Dies kann beispiels
weise durch eine Blende erreicht werden, die die Kaltstellen im Strahlengang abdeckt,
oder dadurch, daß die Kaltstellen mit einer Wärmereflexionsschicht versehen sind, die
Warmstellen dagegen mit einer Wärmeabsorptionsschicht. Bei einer anderen Ausführung
sind die Kalt- und Warmstellen innerhalb des Gehäuses des Thermopile-Sensors un
symmetrisch angeordnet, so daß die durch eine Strahlungseintrittsöffnung in den Sensor
eintretende Strahlung praktisch nur die Warmstellen erreicht. Vorzugsweise sind jedoch
die Kalt- und Warmstellen innerhalb des Gehäuses des Thermopile-Sensors symmetrisch
angeordnet aber die Strahlungseintrittsöffnung unsymmetrisch.
Ein erfindungsgemäßes Strahlungsthermometer verwendet den oben kurz beschriebenen
Thermopile-Sensor. Der Thermopile-Sensor ist so im Strahlengang des Strahlungs
thermometers angeordnet, daß die Warmstellen der zu messenden Strahlung stärker
ausgesetzt sind als die Kaltstellen oder umgekehrt. Bei einer bevorzugten Ausführung
weist dazu das Strahlungsthermometer Mittel auf, die die Kaltstellen im Strahlengang
des Strahlungsthermometers abdecken. Dies kann beispielsweise durch eine Blende
geschehen. Bei anderen Ausführungen ist der Thermopile-Sensor im Strahlengang des
Strahlungsthermometers unsymmetrisch angeordnet.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen für Thermopile-Sen
soren und ein Infrarot-Thermometer erläutert, die in den Zeichnungen dargestellt
sind. Weitere Ausgestaltungen sowie ein Bewegungsmelder sind in der Beschreibung
beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine prinzipielle Darstellung eines ersten erfindungsgemäßen Thermo
pile-Sensorelements;
Fig. 2 einen Querschnitt durch das Sensorelement nach Fig. 1;
Fig. 3 eine prinzipielle Darstellung eines zweiten erfindungsgemäßen Thermo
pile-Sensorelements;
Fig. 4 einen Querschnitt durch das Sensorelement nach Fig. 3;
Fig. 5 eine prinzipielle Darstellung eines erfindungsgemäßen Infrarot-Thermometers.
Das in den Fig. 1 und 2 schematisch dargestellte Thermopile-Sensorelement 1 weist
einen Rahmen 2 auf, auf dem eine dünne Membran 3 befestigt ist. Auf der Membran
befindet sich ein Thermopile 10, d. h. mehrere Thermoelemente, die je eine Kaltstelle 11
und eine Warmstelle 12 aufweisen. Die Kaltstellen sind vom Rahmen ungefähr genau so
weit entfernt wie die Warmstellen, wobei sich die Kaltstellen 11 auf der einen Hälfte der
Membran 3 befinden, und die Warmstellen 12 auf der anderen Hälfte. Die beiden Hälften
sind zumindest im Bereich der Kalt- bzw. Warmstellen mit je einer Absorptionsschicht
15 oder einer gut wärmeleitenden Schicht bedeckt, so daß sich die Kaltstellen 11 unter
der einen und die Warmstellen 12 unter der anderen Schicht befinden. Diese Schichten
bewirken eine Erhöhung der Empfindlichkeit des Sensorelements. Die Thermoelemente
sind elektrisch hintereinander geschaltet, und über zwei gleich lange Anschlußdrähte 13
mit auf dem Rahmen 2 befindlichen Anschlußpunkten 14 verbunden. Ein Umgebungs
temperatursensor 4 ist gut wärmeleitend am Rahmen 2 befestigt.
Die Absorptionsschichten 15 verbessern die Strahlungsabsorption des Thermopile. Bei
einer anderen Ausführung eines erfindungsgemäßen Thermopile-Sensorelements sind nur
die Warmstellen 12 mit einer Absorptionsschicht bedeckt, bei einer weiteren die Warm
stellen 12 mit einer Absorptionsschicht und die Kaltstellen 11 mit einer
Wärmereflexionsschicht bedeckt.
Bei einem nicht in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel eines erfindungs
gemäßen Thermopile-Sensorelements sind die Thermoelemente gleichmäßig über prak
tisch die gesamte Fläche der Membran verteilt, d. h. die Warm- und Kaltstellen liegen
jeweils dicht nebeneinander. Auf diese Weise lassen sich besonders viele Thermo
elemente auf einer relativ kleinen Membran unterbringen, da die Verbindungsleiter
zwischen den Kalt- und Warmstellen sehr kurz gehalten sein können. Die Warmstellen
sind einzeln oder mehrere nebeneinanderliegende Warmstellen mit einer gemeinsamen
Wärmeabsorptionsschicht bedeckt, wogegen die Kaltstellen einzeln oder mehrere
nebeneinanderliegende Kaltstellen mit einer gemeinsamen Wärmereflexionsschicht
bedeckt sind.
Die Membran besteht vorzugsweise aus einem schlecht wärmeleitenden Material und
weist außerdem eine geringe Wärmekapazität auf. Durch die symmetrische Anordnung
der Kalt- und Warmstellen auf der Membran erfolgt bei einer Erwärmung des Rahmens
durch die wenn auch nur geringe Wärmeleitfähigkeit der Membran eine gleichmäßige
Erwärmung der Kalt- und Warmstellen, so daß allein aufgrund der erfindungsgemäßen
Anordnung der Kalt- und Warmstellen allenfalls sehr kleine Temperaturgradienten
innerhalb der Thermoelemente des Thermopile auftreten können.
Die Membran 3 ist vorzugsweise dünner als 1 µm und besteht überwiegend aus Silizium
oxid und Siliziumnitrid oder Siliziumoxinitrid. Die Thermoelemente bestehen beispiels
weise aus Poly-Silizium/Aluminium oder p-Poly-Silizium/n-Poly-Silizium. Der Rahmen 2
besteht vorzugsweise aus Silizium. Er kann daher als Substrat für elektronische Bau
elemente dienen; beispielsweise können auf dem Rahmen Verstärker zur Verstärkung
der vom Thermopile abgegebenen Signale ausgebildet sein. Da diese Verstärker eine
gewisse Verlustwärme erzeugen, sind sie symmetrisch zum Thermopile auf dem Rah
men plaziert, so daß sie keine Wärmegradienten im Thermopile hervorrufen können.
In den Fig. 3 und 4 ist ein anderes erfindungsgemäßes Thermopile-Sensorelement 1'
schematisch dargestellt, der sich von dem in den Fig. 1 und 2 dargestellten
Thermopile-Sensorelement 1 nur durch einen Steg 20 unterscheidet, der unter der
Membran 3 zwischen den Kalt- und Warmstellen angeordnet ist. Bei einer bevorzugten
Ausführung ist der Steg 20 wärmeleitend mit dem Rahmen 2 verbunden, oder Teil des
Rahmens 2. Durch diesen Steg wird die Wärmeleitung zwischen den Kalt- und Warm
stellen herabgesetzt, und dadurch das dynamische Verhalten des Sensors verbessert.
Außerdem erhöht der Steg 20 die mechanische Stabilität der Membran 3, indem er sie
in der Mitte abstützt.
Bei einer anderen Ausführung der oben beschriebenen Thermopile-Sensorelemente sind
zur Erhöhung der Empfindlichkeit die Kalt- und/oder Warmstellen vergrößert ausgebildet
im Vergleich zu den Verbindungsleitern.
Das in Fig. 5 schematisch dargestellte Strahlungsthermometer 40 weist ein Gehäuse 41
mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster 42 auf, von dem ausgehend sich ein Licht
leiter 43 ins Innere des Gehäuses 41 zu einem Thermopile-Sensor hin erstreckt. Be
sonders vorteilhaft ist es, wenn der Lichtleiter 43 bis direkt an den Thermopile-Sensor
heranreicht, so daß dieser nur den Lichtleiter 43 sieht. Dadurch können Meßfehler
vermieden werden, die durch Strahlung hervorgerufen werden, die von Gehäuseteilen
emittiert wird, die sich auf einer anderen Temperatur befinden als der Thermopile-Sen
sor. Ferner kann beispielsweise durch Vergolden auch die Emissivität des Lichtleiters
43 verkleinert werden.
Der Thermopile-Sensor weist ein Gehäuse 18 mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster
19 auf, in dem sich ein Thermopile-Sensorelement 1, 1' befindet. Die zu detektierende
Strahlung wird so auf das Thermopile-Sensorelement 1, 1' geleitet, daß der überwiegen
de Teil der Strahlung auf die Warmstellen des Thermopile auftrifft, und somit eine
Temperaturdifferenz zwischen den Warm- und Kaltstellen des Thermopile entsteht, was
ein entsprechendes Sensorausgangssignal erzeugt. Dazu sind entweder im oder am
Thermopile-Sensor (in Fig. 5 nicht dargestellte) geeignete Mittel vorgesehen, die die
Kaltstellen des Thermopile abdecken, oder das Thermopile-Sensorelement 1, 1' ist im
Gehäuse 18 hinter dem Fenster 19 entsprechend unsymmetrisch, d. h. seitlich ver
schoben angeordnet, so daß die einfallende Strahlung sie nicht erreichen kann. Bei einer
anderen Ausführung ist der Thermopile-Sensor entsprechend unsymmetrisch, d. h. seit
lich verschoben am Ende des Lichtleiters 43 angeordnet.
Ein vollständig symmetrischer Aufbau des Strahlengangs eines Strahlungsthermometers
ist bei Verwendung des oben beschriebenen Thermopile-Sensorelements möglich, bei
dem die Warmstellen mit einer anderen Schicht versehen sind als die Kaltstellen. Be
sonders vorteilhaft ist es, die Warmstellen mit einer Absorptionsschicht und die Kalt
stellen mit einer Reflexionsschicht zu versehen.
Bei einem in den Figuren nicht dargestellten Bewegungsmelder wird das Thermopile-Sen
sorelement mit Blenden und/oder mit fokussierenden Elementen versehen, so daß ein
warmes oder kaltes Objekt, das sich vor dem Fenster vorbeibewegt, abwechselnd von
den Kalt- und den Warmstellen des Sensorelements gesehen wird, und somit ein ent
sprechendes Sensorausgangssignal entsteht. Der prinzipielle Aufbau und die Funktions
weise entspricht einem Bewegungsmelder mit zwei in Serie geschalteten Thermopile-Sen
sorelementen. Allerdings ist der erfindungsgemäße Sensor einfacher und preis
werter, und überdies die Empfindlichkeit der beiden Sensorhälften identisch.
Claims (17)
1. Thermopile-Sensor mit einem Gehäuse, einem Thermopile mit mindestens einer
Kalt- und mindestens einer Warmstelle, und einer Halterung für die Kalt- und die
Warmstellen,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Thermopile und seine Halterung die Beziehung CK/CW≈λK/λw erfüllen;
mit CK Wärmekapazität der Kaltstellen (11) und ihrer Halterung;
CW Wärmekapazität der Warmstellen (12) und ihrer Halterung;
λK Wärmeleitfähigkeit in der Umgebung der Kaltstellen (11); und
λW Wärmeleitfähigkeit in der Umgebung der Warmstellen (12).
daß das Thermopile und seine Halterung die Beziehung CK/CW≈λK/λw erfüllen;
mit CK Wärmekapazität der Kaltstellen (11) und ihrer Halterung;
CW Wärmekapazität der Warmstellen (12) und ihrer Halterung;
λK Wärmeleitfähigkeit in der Umgebung der Kaltstellen (11); und
λW Wärmeleitfähigkeit in der Umgebung der Warmstellen (12).
2. Thermopile-Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Warmstellen (12) und die Kaltstellen (11) im wesentlichen gleich gut
gegenüber dem Gehäuse wärmeisoliert sind und zusammen mit ihrer Halterung
auch im wesentlichen dieselbe Wärmekapazität aufweisen, d. h. daß gilt: λK ≈ λW
und CK ≈ CW.
3. Thermopile-Sensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Halterung mindestens eine Membran (3) aufweist, auf der die Kalt- und die
Warmstellen angeordnet sind, und daß die Membran eine kleine Wärmekapazität
und eine kleine Wärmeleitfähigkeit aufweist.
4. Thermopile-Sensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Halterung ferner einen Rahmen (2) aufweist, der die Membran (3) trägt,
und daß die Kalt- und Warmstellen sich in einem Bereich der Membran (3) befin
den, der keinen Kontakt mit dem Rahmen (2) hat.
5. Thermopile-Sensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen den Kaltstellen (11) und den Warmstellen (12) eine Wärmesenke
(20) ausgebildet ist, die mit dem Rahmen (2) wärmeleitend verbunden ist oder Teil
des Rahmens (2) ist.
6. Thermopile-Sensor nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membran (3) überwiegend aus Siliziumoxid und Siliziumnitrid oder Silizium
oxinitrid und der Rahmen (2) im wesentlichen aus Silizium besteht, und daß auf
dem Rahmen (2) elektronische Schaltkreise, insbesondere Verstärker, angeordnet
sind.
7. Thermopile-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die Warmstellen (12) eine Wärmeabsorptionsschicht oder eine gut wärme
leitende Schicht aufgebracht ist.
8. Thermopile-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die Kaltstellen (11) eine Wärmereflexionsschicht aufgebracht ist.
9. Thermopile-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kalt- und Warmstellen symmetrisch innerhalb des Gehäuses angeordnet
sind.
10. Thermopile-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß entweder die Kalt- und Warmstellen oder ein Strahlungseintrittsfenster un
symmetrisch im Gehäuse angeordnet sind.
11. Thermopile-Sensor nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die Kaltstellen (11) eine Wärmeabsorptionsschicht oder eine gut wärmelei
tende Schicht aufgebracht ist.
12. Thermopile-Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß mit der Halterung ein Umgebungstemperatursensor (4) wärmeleitend verbun
den ist.
13. Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor nach einem der vorher
gehenden Ansprüche.
14. Strahlungsthermometer nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Thermopile-Sensor so im Strahlengang des Strahlungsthermometers
angeordnet ist, daß die Warmstellen der zu messenden Strahlung stärker ausge
setzt sind als die Kaltstellen oder umgekehrt.
15. Strahlungsthermometer nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß Mittel vorhanden sind, die die Kaltstellen im Strahlengang des Strahlungs
thermometers abdecken.
16. Strahlungsthermometer nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Thermopile-Sensor unsymmetrisch im Strahlengang des Strahlungsthermo
meters angeordnet ist.
17. Bewegungsmelder mit mindestens einem Thermopile-Sensor nach einem der
Ansprüche 1 bis 10.
Priority Applications (16)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19710946A DE19710946A1 (de) | 1997-03-15 | 1997-03-15 | Thermopile-Sensor und Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor |
EP98913649A EP0966660B1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor |
KR10-1999-7008139A KR100507716B1 (ko) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | 서모파일 센서 및 서모파일 센서가 구비된 복사 온도계 |
AT98913649T ATE266858T1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor |
ES98913649T ES2221162T3 (es) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Sensor de termopila y termometro de radiacion con sensor de termopila. |
DE59814433T DE59814433D1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-Sensor und Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor |
JP54007898A JP2001527644A (ja) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | サーモパイル・センサ及びサーモパイル・センサを備えた輻射温度計 |
CN98803219A CN1104634C (zh) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | 热电堆传感器及带有热电堆传感器的辐射测温装置 |
DE59811385T DE59811385D1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor |
PCT/EP1998/001247 WO1998041828A1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor |
AT03009102T ATE457447T1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor |
US09/180,811 US6203194B1 (en) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile sensor for radiation thermometer or motion detector |
EP03009102A EP1333259B1 (de) | 1997-03-15 | 1998-03-05 | Thermopile-Sensor und Strahlungsthermometer mit einem Thermopile-Sensor |
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---|---|---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19942214A1 (de) * | 1999-09-03 | 2001-03-08 | Braun Gmbh | Beheizbarer Infrarot-Sensor und Infrarot-Thermometer mit einem derartigen Sensor |
EP1296122A2 (de) * | 2001-09-10 | 2003-03-26 | PerkinElmer Optoelectronics GmbH | Sensor zum berührungslosen Messen einer Temperatur |
DE10256997A1 (de) * | 2002-05-31 | 2003-12-11 | Braun Gmbh | Infrarot-Strahlungssensor |
DE10321639A1 (de) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Heimann Sensor Gmbh | Infrarotsensor mit optimierter Flächennutzung |
WO2005121727A1 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co. Kg | Sensor |
WO2005121728A2 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co. Kg | Sensorelement |
DE102007041548A1 (de) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Abb Ag | Anwesenheitsmelder |
US7994599B2 (en) | 2005-06-27 | 2011-08-09 | Meas Deutschland Gmbh | Device for the detection of electromagnetic waves and method for producing such a device |
EP2775465A1 (de) * | 2013-03-06 | 2014-09-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Gefahrenmelder mit einem kontaktlos arbeitenden Wärmestrahlungssensor zur Ermittlung einer Umgebungstemperatur |
EP2974649A1 (de) * | 2014-07-16 | 2016-01-20 | Legrand France | Vorrichtung zur erfassung von infrarotstrahlen, und verfahren zur bestimmung einer präsenzmeldung und einer bewegungsmeldung |
DE112016001157B4 (de) | 2015-03-12 | 2021-09-16 | Omron Corporation | Sensorgehäuse |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL126224A0 (en) * | 1998-09-15 | 1999-05-09 | Gerlitz Jonathan | Ear thermometer and detector therefor |
DE19842403B4 (de) * | 1998-09-16 | 2004-05-06 | Braun Gmbh | Strahlungssensor mit mehreren Sensorelementen |
JP3723386B2 (ja) * | 1999-09-17 | 2005-12-07 | 光磊科技股▲ふん▼有限公司 | マイクロタイプサーモパイル素子における熱隔離形成方法と構造 |
JP2001349787A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Seiko Epson Corp | 赤外線検出素子および測温計 |
DE10033589A1 (de) * | 2000-07-11 | 2002-01-31 | Bosch Gmbh Robert | Mikrostrukturierter Thermosensor |
JP4009046B2 (ja) * | 2001-04-10 | 2007-11-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 赤外線センサ |
US6637931B2 (en) * | 2001-07-19 | 2003-10-28 | Oriental System Technology Inc. | Probe for use in an infrared thermometer |
US6828560B2 (en) * | 2002-01-31 | 2004-12-07 | Delphi Technologies, Inc. | Integrated light concentrator |
DE10323707A1 (de) * | 2003-05-22 | 2004-12-30 | Daimlerchrysler Ag | System zur Objekt-Erfassung für Fahrzeuge |
DE10341142A1 (de) * | 2003-09-06 | 2005-03-31 | Braun Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation des thermischen Einflusses eines Temperaturgradienten im Sensorgehäuse eines Strahlungssensors auf die Meßgenauigkeit |
KR100759013B1 (ko) | 2006-03-02 | 2007-09-17 | 주식회사 이노칩테크놀로지 | 비접촉식 적외선 온도 센서 및 이의 제조 방법 |
KR100769587B1 (ko) | 2006-04-25 | 2007-10-23 | 주식회사 이노칩테크놀로지 | 비접촉식 적외선 온도 센서 |
DE102006023181A1 (de) * | 2006-05-17 | 2007-11-22 | Siemens Ag | Sensoranordnung zur Messung einer subjektiven Temperatur |
DE102006023182A1 (de) * | 2006-05-17 | 2007-11-22 | Siemens Ag | Sensoranordnung zur Erfassung von Kennwerten der Umgebung und Verfahren zur Generierung entsprechender Ausgangssignale |
US20080273572A1 (en) * | 2006-06-02 | 2008-11-06 | James Madison University | Thermal detector for chemical or biological agents |
WO2008113015A1 (en) | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Entegris, Inc. | System and method for non-intrusive thermal monitor |
EP2347233A4 (de) * | 2008-10-23 | 2017-12-20 | KAZ Europe SA | Kontaktfreies medizinisches thermometer mit streustrahlungsabschirmung |
US8136984B1 (en) * | 2009-04-20 | 2012-03-20 | Fluke Corporation | Portable IR thermometer having thermal imaging capability |
DE102009045302A1 (de) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Robert Bosch Gmbh | Mikrostrukturierter Sensor zur Detektion von IR-Strahlung |
US20120067391A1 (en) * | 2010-09-20 | 2012-03-22 | Ming Liang Shiao | Solar thermoelectric power generation system, and process for making same |
TWI418969B (zh) | 2010-12-01 | 2013-12-11 | Ind Tech Res Inst | 自驅動型熱電電耗偵測裝置及方法 |
US10018510B2 (en) | 2013-04-22 | 2018-07-10 | Excelitas Technologies Singapore Pte. Ltd. | Motion and presence detector |
US9377365B2 (en) * | 2013-04-22 | 2016-06-28 | Excelitas Technologies Singapore Pte. Ltd. | Thermal sensor module with lens array |
JP6398807B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2018-10-03 | オムロン株式会社 | 温度差測定装置 |
US9951552B2 (en) * | 2015-05-26 | 2018-04-24 | Guardian Glass, LLC | Glazing with heat flux sensor and/or methods of making the same |
JP6269612B2 (ja) * | 2015-08-05 | 2018-01-31 | 株式会社デンソー | 放射熱センサ |
DE102016209315A1 (de) * | 2016-05-30 | 2017-11-30 | Robert Bosch Gmbh | Thermoelektrische Anordnung, insbesondere thermoelektrische Sensoranordnung, sowie entsprechendes Herstellungsverfahren |
WO2021006034A1 (ja) * | 2019-07-05 | 2021-01-14 | 住友電気工業株式会社 | 光センサ |
USD1015533S1 (en) | 2019-11-07 | 2024-02-20 | 623 Medical, Llc | Vapocoolant device |
CN112013951A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-01 | 中国电子科技集团公司第三研究所 | 一种热温差式质点振速传感器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE865990C (de) * | 1941-09-24 | 1953-02-05 | Honeywell Regulator Co | Strahlungspyrometer |
US4456919A (en) * | 1980-12-30 | 1984-06-26 | Horiba, Ltd. | Thermopile type detector with temperature sensor for cold junction |
US4722612A (en) * | 1985-09-04 | 1988-02-02 | Wahl Instruments, Inc. | Infrared thermometers for minimizing errors associated with ambient temperature transients |
DE3707631A1 (de) * | 1987-03-10 | 1988-09-22 | Manfred Dipl Ing Klonz | Vielfachthermoelement mit sehr kleinem temperaturkoeffizienten als monolithisch integrierter chip fuer praezise temperaturdifferenzmessungen bei strahlungssensoren und vielfachthermokonvertern |
DE4102524A1 (de) * | 1990-01-30 | 1991-08-01 | Citizen Watch Co Ltd | Infrarotsensor |
US5141330A (en) * | 1991-02-05 | 1992-08-25 | The Board Of Governors For Higher Education, State Of Rhode Island And Providence Plantations | Thin-film quadrant temperature sensor for use in a system to control the alignment of a CO2 laser beam |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2627530A (en) | 1952-05-29 | 1953-02-03 | Leeds & Northrup Co | Ambient-temperature compensated device |
GB751758A (en) | 1952-12-23 | 1956-07-04 | Siemens Ag | Process for the manufacture of multiple thermo-couples |
US4257822A (en) * | 1979-01-02 | 1981-03-24 | Gomez Ernesto E | Continuous thermopile |
JP2582260B2 (ja) * | 1987-05-22 | 1997-02-19 | 秀俊 横井 | 熱電対式温度センサ |
JPH01231747A (ja) | 1988-03-10 | 1989-09-18 | Toshiba Corp | リワインダの制御装置 |
US5045123A (en) * | 1988-05-17 | 1991-09-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thermopile |
US5229612B1 (en) * | 1990-08-01 | 1998-04-14 | Exergen Corp | Radiation detector with remote temperature reference |
AU674798B2 (en) | 1993-10-25 | 1997-01-09 | Teijin Limited | Purified human chondrocalcin, process for producing the same, and utilization thereof |
US5695283A (en) * | 1994-07-01 | 1997-12-09 | Wahl Instruments, Inc. | Compensating infrared thermopile detector |
US5707148A (en) * | 1994-09-23 | 1998-01-13 | Ford Global Technologies, Inc. | Catalytic calorimetric gas sensor |
US5626139A (en) * | 1994-09-23 | 1997-05-06 | Artech Industries, Inc. | Tympanic thermometer |
US5689087A (en) * | 1994-10-04 | 1997-11-18 | Santa Barbara Research Center | Integrated thermopile sensor for automotive, spectroscopic and imaging applications, and methods of fabricating same |
US5824947A (en) * | 1995-10-16 | 1998-10-20 | Macris; Chris | Thermoelectric device |
-
1997
- 1997-03-15 DE DE19710946A patent/DE19710946A1/de not_active Ceased
-
1998
- 1998-03-05 AT AT98913649T patent/ATE266858T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-03-05 ES ES98913649T patent/ES2221162T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 WO PCT/EP1998/001247 patent/WO1998041828A1/de active IP Right Grant
- 1998-03-05 EP EP03009102A patent/EP1333259B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 AU AU68274/98A patent/AU6827498A/en not_active Abandoned
- 1998-03-05 KR KR10-1999-7008139A patent/KR100507716B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-03-05 CN CN98803219A patent/CN1104634C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 AT AT03009102T patent/ATE457447T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-03-05 DE DE59814433T patent/DE59814433D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 DE DE59811385T patent/DE59811385D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 EP EP98913649A patent/EP0966660B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-05 JP JP54007898A patent/JP2001527644A/ja active Pending
- 1998-03-05 US US09/180,811 patent/US6203194B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-10 TW TW087103506A patent/TW384395B/zh not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-05-25 HK HK00103120A patent/HK1024053A1/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE865990C (de) * | 1941-09-24 | 1953-02-05 | Honeywell Regulator Co | Strahlungspyrometer |
US4456919A (en) * | 1980-12-30 | 1984-06-26 | Horiba, Ltd. | Thermopile type detector with temperature sensor for cold junction |
US4722612A (en) * | 1985-09-04 | 1988-02-02 | Wahl Instruments, Inc. | Infrared thermometers for minimizing errors associated with ambient temperature transients |
DE3707631A1 (de) * | 1987-03-10 | 1988-09-22 | Manfred Dipl Ing Klonz | Vielfachthermoelement mit sehr kleinem temperaturkoeffizienten als monolithisch integrierter chip fuer praezise temperaturdifferenzmessungen bei strahlungssensoren und vielfachthermokonvertern |
DE4102524A1 (de) * | 1990-01-30 | 1991-08-01 | Citizen Watch Co Ltd | Infrarotsensor |
US5141330A (en) * | 1991-02-05 | 1992-08-25 | The Board Of Governors For Higher Education, State Of Rhode Island And Providence Plantations | Thin-film quadrant temperature sensor for use in a system to control the alignment of a CO2 laser beam |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 3-95422 (A) in Patents Abstracts of Japan, Vol. 15/No. 278, 15. Juli 1991, P-1227 * |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19942214A1 (de) * | 1999-09-03 | 2001-03-08 | Braun Gmbh | Beheizbarer Infrarot-Sensor und Infrarot-Thermometer mit einem derartigen Sensor |
EP1801554A3 (de) * | 2001-09-10 | 2007-08-01 | PerkinElmer Optoelectronics GmbH | Sensor zum berührungslosen Messen einer Temperatur |
EP1296122A2 (de) * | 2001-09-10 | 2003-03-26 | PerkinElmer Optoelectronics GmbH | Sensor zum berührungslosen Messen einer Temperatur |
EP1296122A3 (de) * | 2001-09-10 | 2003-06-11 | PerkinElmer Optoelectronics GmbH | Sensor zum berührungslosen Messen einer Temperatur |
DE10256997A1 (de) * | 2002-05-31 | 2003-12-11 | Braun Gmbh | Infrarot-Strahlungssensor |
DE10321639A1 (de) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Heimann Sensor Gmbh | Infrarotsensor mit optimierter Flächennutzung |
DE102004028032B4 (de) * | 2004-06-09 | 2008-04-17 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co.Kg | Sensorelement |
US8215831B2 (en) | 2004-06-09 | 2012-07-10 | Excelitas Technologies Gmbh & Co. Kg | Sensor element |
DE102004028022B4 (de) * | 2004-06-09 | 2006-11-16 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co.Kg | Sensor |
WO2005121728A2 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co. Kg | Sensorelement |
WO2005121727A1 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co. Kg | Sensor |
US8366317B2 (en) | 2004-06-09 | 2013-02-05 | Excelitas Technologies Gmbh & Co. Kg | Sensor for detecting electromagnetic radiation |
WO2005121728A3 (de) * | 2004-06-09 | 2006-04-27 | Perkinelmer Optoelectronics | Sensorelement |
US7994599B2 (en) | 2005-06-27 | 2011-08-09 | Meas Deutschland Gmbh | Device for the detection of electromagnetic waves and method for producing such a device |
DE102007041548A1 (de) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Abb Ag | Anwesenheitsmelder |
EP2775465A1 (de) * | 2013-03-06 | 2014-09-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Gefahrenmelder mit einem kontaktlos arbeitenden Wärmestrahlungssensor zur Ermittlung einer Umgebungstemperatur |
US11322007B2 (en) | 2013-03-06 | 2022-05-03 | Siemens Schweiz Ag | Danger detector with a non-contact heat radiation sensor for detecting an open fire as well as to determine an ambient temperature |
EP2974649A1 (de) * | 2014-07-16 | 2016-01-20 | Legrand France | Vorrichtung zur erfassung von infrarotstrahlen, und verfahren zur bestimmung einer präsenzmeldung und einer bewegungsmeldung |
FR3023913A1 (fr) * | 2014-07-16 | 2016-01-22 | Legrand France | Dispositif de detection de rayonnement infrarouge et procede de determination d'une indication de presence ou de mouvement |
DE112016001157B4 (de) | 2015-03-12 | 2021-09-16 | Omron Corporation | Sensorgehäuse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1104634C (zh) | 2003-04-02 |
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---|---|---|
EP0966660B1 (de) | Thermopile-sensor und strahlungsthermometer mit einem thermopile-sensor | |
DE112006000959B4 (de) | Thermopile Infrarot Sensorarray | |
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Legal Events
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
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Owner name: BRAUN GMBH, 60326 FRANKFURT, DE |
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