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Die
Erfindung betrifft ein Belichtungsgerät zum Bestrahlen von Dice-Band,
insbesondere ein Belichtungsgerät
zum Bestrahlen eines Dice-Bandes, um die Klebkraft des auf das Dice-Band
aufgebrachten Klebstoffes zu schwächen.
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Das
Ausschneiden (Dicen) von IC-Chips für integrierte Schaltungen aus
einem Halbleiter-Wafer erfolgt bislang von einem Wafer, der auf
der Oberseite eines Dice-Bandes festgelegt ist. Zum Befestigen eines
solchen Halbleiter-Wafers wird ein lichthärtender Kleber auf das Dice-Band
aufgebracht. Nach erfolgtem Zerschneiden wird der Kleber mit Licht
oder Strahlen bestrahlt, um den Kleber zu härten und dabei seine Klebkraft
herabzusetzen, worauf die IC-Chips abgenommen werden.
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Hierbei
sind Belichtungsgeräte
für Dice-Band
eingesetzt worden, um den genannten Kleber mit Licht zu bestrahlen.
Ein Beispiel für
ein derartiges Belichtungsgerät
ist in dem
US-Patent 4.718.967 beschrieben.
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Bei
einem Belichtungsgerät
dieser Art ist die Lichtquelle normalerweise eine Hochdruck-Quecksilberlampe,
eine Halogen-Metalldampflampe o. dgl. Diese Lichtquellen besitzen
anfänglich
eine hohe Belichtungsintensität,
jedoch läßt nach
einiger Zeit die Belichtungsintensität mit dem Verbrauch der Lampenelektroden
allmählich
nach.
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Diese
bekannten Belichtungsgeräte
werden deshalb unter Berücksichtigung
des Nachlassens von Anfang an mit hoher Leistung betrieben, um auch dann
eine ausreichende Bestrahlungsintensität zu haben, wenn die Lampe
schwächer
wird. Dementsprechend wird die Lampe, wenn sie neu ist, mit einer höheren Leistung
als notwendig betrieben, was wiederum dazu führt, daß das Dice-Band mit Licht von höherer Strahlungsintensität bestrahlt
wird, als erforderlich ist.
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Wenn
jedoch die Bestrahlungsintensität
der Lampe zu hoch ist, können
der Halbleiter-Wafer und das Dice-Band beschädigt werden. Wenn sich außerdem die
Strahlungsintensität
des Lichtes zur Bestrahlung des Dice-Bandes wegen des Schwächerwerdens
der Lampe ändert,
d. h. verringert, muss die von dem Belichtungsgerät abgegebene
Lichtmenge in Abhängigkeit
von der Abschwächung
geregelt werden, was umfangreiche Steuer- bzw. Regelvorgänge erfordert.
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Die
US 47 18 967 beschreibt
ein Belichtungsgerät
sowie ein zugehöriges
Verfahren zum Bestrahlen eines Dice-Bandes mit einem darauf aufgebrachten
Kleber. Hierzu ist eine Lichtquelle zum Abstrahlen von Licht auf
das Dice-Band vorgesehen, um die Klebkraft des Klebers herabzusetzen.
Weiterhin ist eine Energiequelle zum Zuführen von elektrischer Energie
zu der Lichtquelle vorgesehen. Die Steuerung der Belichtungsdauer
und Belichtungsintensität
erfolgt mechanisch mittels einer Blende sowie über die Bewegungsgeschwindigkeit
relativ zu der Lichtquelle.
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Die
JP 06-19 65 55 A beschreibt
ein UV-Beleuchtungssystem, bei dem die Beleuchtungsstärke einer
UV-Lampe durch einen Sensor gemessen und über einen Prozessor und eine
Blende eine bestimmte Beleuchtungsstärke eingestellt wird.
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Aus
der
GB 20 04 090 A ist
es bekannt, die Intensität
einer Quecksilberdampflampe über
die Spannung eines Lichtsensors zu steuern.
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Die
JP 06-03 69 84 A beschreibt
eine Anordnung für
die Photolithographie, bei welcher die Intensität einer Quecksilberdampflampe über die
Spannung eines Lichtsensors gesteuert wird.
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Hiervon
ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Belichtungsgerät zu schaffen und
ein Verfahren anzugeben, mit welchem ein Dice-Band mit Licht von
einer bestimmten, vorgegebenen Strahlungsintensität bestrahlt
werden kann.
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Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe durch die Merkmalskombinationen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Die
jeweiligen Unteransprüche
zeigen weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
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Das
erfindungsgemäße Belichtungsgerät besteht
aus einer Lichtquelle zum Abgeben von Licht zur Bestrahlung eines
auf ein Dice-Band aufgebrachten lichthärtenden Klebers, um diesen
zu härten,
aus einer Energiequelle zum Zuführen
von elektrischer Energie zu der Lichtquelle, einer Einrichtung zum Einstellen
der Grund-Strahlungsintensität,
und aus einer Einrichtung zum Steuern der von der Energiequelle
zugeführten
Energie, um die Strahlungsintensität des abgegebenen Lichtes auf
die Grund-Strahlungsintensität zu bringen.
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In
diesem Zusammenhang ist festzuhalten, dass der Begriff "Licht" in der vorliegenden
Anmeldung sichtbares Licht, ultraviolettes Licht (UV), Radiation,
Elektronenstrahlung u. ä.
umfassen soll. Ferner soll der Begriff Strahlungsintensität die Stärke je Flächeneinheit
von sichtbarem Licht, ultraviolettem Licht, Radiation, Elektronenstrahlung
u. ä. bezeichnen.
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Durch
eine Einrichtung zum Bewegen des Dice-Bandes relativ zu der Lichtquelle
während
des Bestrahlens des Bandes mit Licht ist es außerdem möglich, die gesamte Fläche des
Bandes gleichmäßig zu bestrahlen.
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Darüber hinaus
kann durch Einstellen der Geschwindigkeit der durch eine solche
Einrichtung erzeugten Bewegung die Lichtmenge (Strahlungsintensität x Bestrahlungszeit)
zum Bestrahlen des Dice-Bandes eingestellt werden.
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand eine Ausführungsbeispiels in Verbindung
mit der Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt:
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1 eine
schematisierte Darstellung einer beipielsweisen Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Gerätes,
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2 ein
Blockdiagramm des Schaltungsaufbaus für das Gerät gem. 1,
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3 den
Grundriß einer
Kammer zur Aufnahme eines Werkstückes,
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4 einen
Schnitt in der Linie IV-IV von 3,
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5 das
in 1 gezeigte Gerät
im Grundriß,
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6 das
Anfangsbild eines Berührungsfeldes,
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7 ein
eingestelltes Bild eines Berührungsfeldes,
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8 ein
Ablaufdiagramm zur Erläuterung der
Arbeitsweise des in 1 gezeigten Gerätes.
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1 zeigt
ein Ultraviolett-Belichtungsgerät entsprechend
einer Ausführungsform
der Erfindung. Wie ersichtlich, befindet sich im Inneren des Körpers 1 eines
Belichtungsgerätes
ein Lampengehäuse 3, und
in dem Lampengehäuse 3 ist
innerhalb eines Reflektors 7 eine Hochdruck-Quecksilberlampe (oder eine
Halogen-Metalldampflampe) 5 als Lichtquelle untergebracht.
In der oberen Seite des Lampengehäuses 3 ist ein Schlitz 3a ausgebildet,
um den Austritt des von der Lampe 5 ausgehenden Lichtes
zu ermöglichen,
wobei der Schlitz 3a durch eine Klappe 9 geöffnet und
verschlossen wird. Über
dem Schlitz 3a befindet sich eine zur Aufnahme eines Werkstücks W ausgebildete
Kammer 11, die entlang einer an dem Gerätekörper 1 befestigten
Führung 13 frei
verschiebbar ist.
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Wie
in 2 gezeigt, ist das Werkstück W ein Halbleiter-Wafer 21 mit
einem darin ausgebildeten IC-Schaltkreis, welcher an einem Dice-Band 19 mittels
eines darauf aufgebrachten UV-lichthärtenden Klebers befestigt ist.
Der äußere Umfangsbereich
des Dice-Bandes 19 ist ferner durch einen ringförmigen Rahmen 23 verstärkt.
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Wie
aus
1 ersichtlich, besitzt die Kammer
11 einen
verjüngten
Teil zum Halten des Werkstückes
W, und einen Deckel
15 zum Abdecken des verjüngten Teils,
so daß die
Kammer
11 einen verschlossenen Behälter bilden kann. Im Bodenteil
der Kammer
11 ist ferner ein lichtdurchlässiges Fenster aus
ultraviolett-durchlässigem
Glas ausgebildet. Wenn in dieser Anordnung ein Werkstück bestrahlt werden
soll, wird die Kammer mit Stickstoff gefüllt, damit das durch das Lichtdurchlässige Fenster
tretende Licht das Werkstück
W in einer sauerstofffreien Umgebung bestrahlen kann. Eine detaillierte
Erläuterung
einer solchen Kammer findet sich in dem
US-Patent 4.718.967 desselben Erfinders.
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1 zeigt
ferner einen Schiebedeckel 17, durch den der Körper 1 des
Belichtungsgerätes
zur freien Zugänglichkeit
geöffnet
und geschlossen werden kann. Wenn ein Knopf 17a des Schiebedeckels 17 zum
Verschieben des Schiebedeckels 17 in der durch den Pfeil
angedeuteten Richtung, d. h. horizontal nach rechts in 1,
ergriffen wird, wird der Schiebedeckel 17 geöffnet, um
das Werkstück
W einsetzen oder herausnehmen zu können. Unter dem Gehäuse 3 ist
außerdem eine
Kühlleitung 25 angeordnet,
die einen Kühlventilator
aufweist und an einen Auslaß 27 angeschlossen
ist.
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Wie
aus dem Blockdiagramm der 2 für den Schaltungsaufbau
des Belichtungsgerätes
ersichtlich, versorgt die mit einem Wechselrichter versehene Energiequelle 29 die
Lampe 5 mit einem Rechteck-Wechselstrom. Im Boden des Spiegels 7 ist
zur Kühlung
ein Schlitz 7a ausgebildet, durch welchen auch das von
der Lampe 5 abgestrahlte Licht geht, um in das Ende eines
Lichtleiters 31 einzutreten, der das so aufgenommene Licht
zu einem Lichtsensor 33 leitet. Der Lichtsensor 33 kann
beispielsweise eine Silizium-Fotodiode oder dergleichen aufweisen.
Hierbei ist anzumerken, daß zwar
in der beispielsweisen Ausführungsform
der 2 der Lichtaufnahmeteil des Lichtsensors 33 unmittelbar
unter der Lampe 5 angeordnet ist, jedoch ist die Anordnung des
Lichtaufnahmeteils des Lichtsensors 33 nicht auf eine solche
Ausführung
beschränkt,
sondern er kann auch an anderen Stellen innerhalb des Körpers 1,
wie z. B. über
der Lampe 5, untergebracht werden.
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Ferner
ist ein Antrieb 35 vorgesehen, der die Kammer 11 entlang
der Führung 13 in
Richtung des Pfeiles A (2) bewegt und z. B. aus einer
Anordnung bestehen kann, die die Drehbewegung eines Motors in eine
lineare Bewegung mittels einer Kugelumlaufspindel, eines Zahnstangengetriebes
oder eines Riemengetriebes umwandelt. Außerdem ist eine Steuerung 37 vorgesehen,
die die Energiequelle 29 und den Antrieb 35 entsprechend
den von dem Lichtsensor 33 kommenden Signalen ansteuert
und z. B. aus einem Mikrocomputer mit einer CPU und einem Speicher
besteht.
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Eine
Bedienungseinheit 39 dient dazu, die Bewegungsgeschwindigkeit
der Kammer 11 einzugeben und den Betriebszustand des Gerätes anzuzeigen.
Durch das Einstellen der Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer 11 ist
es dabei möglich,
die Lichtmenge (Strahlungsintensität x Bestrahlungszeit) zum Bestrahlen
des Dice-Bandes 19 einzustellen. Auf diese Weise wird es möglich, die
Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer 11 in Abhängigkeit
von der Größe und dem
Typ des Halbleiter-Wafers oder dem Typ des Dice-Bandes beliebig
abzuwandeln. Eine genauere Beschreibung der Bedienungseinheit 39 folgt noch.
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Eine
Einheit 41, die z. B. aus einem Potentiometer o. dgl. besteht,
ist innerhalb des Gerätekörpers 1 untergebracht
und dient zum Einstellen der Grund-Strahlungsintensität. Wenn
das Potentiometer betätigt
wird, ändert
sich die von der Energiequelle 29 abgegebene Energie, was
wiederum eine Änderung
in der Strahlungsintensität
der Lampe 5 verursacht; die Strahlungsintensität der Lampe 5 wird
dabei von dem Lichtsensor 33 erfaßt und der erfaßte Wert
wird als die Grund-Strahlungsintensität gespeichert.
Wenn beispielsweise zum Einstellen der Grund-Strahlungsintensität ein übliches
Beleuchtungsmeßgerät zum Messen
der Strahlungsintensität an
der Stelle des eingesetzten Werkstückes W bei offenem Schieber 9 benutzt
wird, wird die Einheit 41 zum Einstellen der Grund-Strahlungsintensität so betätigt, daß die gemessene
Strahlungsintensität
auf einen gewünschten
Wert gebracht wird (z. B. 120 mW/cm2). Danach
wird der Ausgang des Lichtsensors 33 in der Steuerung 37 als
die Grund-Strahlungsintensität
gespeichert. Es ist jedoch auch möglich, eine Einheit 41 zum
Einstellen der Grund-Strahlungsintensität mit mehreren vorgegebenen
Werten zu verwenden, die von dem Benutzer in Abhängigkeit von dem für das Werkstück W benutzten
Dice-Band ausgewählt
werden können.
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Nunmehr
erfolgt anhand eines spezifischen Beispiels eine genauere Erläuterung
der Kammer 11 und der Bedienungseinheit 39. Wie
aus 3 und 4 ersichtlich, ist die Kammer 11 auf
zwei Führungsschienen 13 verschiebbar,
die an der Oberseite einer oberen Platte 2 befestigt sind,
welche ihrerseits ein Bauteil des Gerätekörpers 1 bildet. In
der Kammer 11 ist eine Öffnung 11a ausgebildet,
um den Eintritt von Licht in die Kammer 11 zu ermöglichen,
und innerhalb der Öffnung 11a wird
ein lichtdurchlässiges Fenster 43 aus
Quarzglas gehalten. Über
dem Rand der Öffnung 11a liegt
ein Ring 45, der mit Aluminium beschichtet und deshalb
elektrisch leitend ist, und innerhalb des Ringes 45 ist
eine Maskenscheibe 47 vorgesehen, die den Belichtungsbereich
definiert. Das Werkstück
W ist dabei über
der Maskenscheibe 47 und dem Ring 45 angebracht
und von oben durch den Deckel 15 abgedeckt. Das Gewicht
des Deckels 15 dient hierbei dazu, diesen über eine
Silikongummi-Dichtung 49 in seiner Lage auf der Kammer 11 zu halten.
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Der
das Werkstück
W aufnehmende Raum besteht aus einem ersten, durch den Deckel 15 definierten
Raum und einem zweiten, durch das lichtdurchlässige Fenster 43 definierten
Raum, die miteinander über
Schlitze in dem Ring 45 in Verbindung stehen.
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Das
erfindungsgemäße Belichtungsgerät ist ferner
mit einer Desoxidiereinrichtung ausgestattet, um den Sauerstoff
aus dem Inneren der Kammer 11 zu entfernen. Hierfür sind in
dem Deckel 15 ein Zufuhranschluß 15a zum Einleiten
von Stickstoffgas in das Innere der Kammer 11 und ein Auslaßanschluß 15b zum
Abziehen von Sauerstoff ausgebildet, wobei die Anschlüsse 15a und 15b mit
einem Stickstoffvorrat bzw. einer Vakuumpumpe (nicht dargestellt)
verbunden sind.
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Wie
in 3 dargestellt, sind an der oberen Platte 2 bei
der Kammer 11 zwei Riemenscheiben 51, 53 vorgesehen,
zwischen denen ein Riemen 55 liegt. Die Riemenscheibe 51 wird
von einem Motor 57 gedreht, und ein Ende der Kammer 11 ist
mittels eines Anschlußstückes 59 aus
Metall an dem Riemen 55 festgelegt, so daß beim Drehen
des Motors 57 zum Antreiben des Riemens 55 die
Kammer 11 auf den Schienen 13 bewegt wird. Auf
diese Weise ist es durch Steuern der Drehzahl des Motors 57 möglich, die
Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer 1 zu steuern. Der Motor 57,
die Riemenscheiben 51, 53, und der Riemen 55 bilden
auf diese Weise den in 2 gezeigten Antrieb 35.
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Wie
aus 4 ersichtlich, ist in der Mitte des Deckels 15 ein
Schaft 61 angeordnet. Wenn sich die Kammer 11 in
ihrer Ausgangsstellung befindet, wie es in 1 in ausgezogenen
Linien und in 5 punktiert dargestellt ist,
ist der Schaft 61 durch eine (nicht dargestellte) Rand-Anhebevorrichtung
angehoben, und da der Deckel 15 von dem Schiebedeckel 17 gehalten
wird, bewegt sich der Deckel 15 zusammen mit dem Schiebedeckel 17,
wenn dieser verschoben wird. Wenn demzufolge der Schiebedeckel 17 geöffnet wird,
wird die Kammer 11 ebenfalls geöffnet, um ein Werkstück W darin
einlegen zu können. Wird
dann nach dem Einlegen des Werkstücks W der Schiebedeckel 17 geschlossen,
muß sich
der Deckel 15 zusammen mit dem Schiebedeckel 17 bewegen und
kehrt in seine Stellung über
der Kammer 11 zurück.
Wenn danach ein (noch zu beschreibender) Startschalter gedrückt wird,
kommt die o. g. Rand-Anhebevorrichtung außer Eingriff und ermöglicht es
dem Deckel 15, unter seinem Eigengewicht von oben auf die
Kammer 11 zu fallen, wodurch die Kammer 11 abgedichtet
wird. Gleichzeitig wird der Schiebedeckel 17 in der Verschlußstellung
festgelegt.
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Wie 5 zeigt,
besteht die in 2 angedeutete Bedienungseinheit 39 aus
einem Berührungsfeld 63,
einem Notschalter 65 und einem Startschalter 67.
Beim Drücken
des Notschalters 65 werden alle Abläufe des Geräts sofort gestoppt. Wird der Startschalter 67 gedrückt, dann
beginnt die Bestrahlung mit UV-Licht. Das Berührungsfeld 63 besteht aus
einer Flüssigkristall-Anzeige
o. dgl. und hat gem. 6 ein Anfangsbild, das den Betriebszustand
jedes Teiles in dem Gerät
anzeigt. Die einzelnen Angaben in 6 haben
dabei folgende Bedeutung: "Betriebszeit" gibt die abgelaufene
Betriebszeit der Lampe 5 an; "Spannung" bezeichnet die Betriebsspannung der
Lampe 5; "Leistung" bezeichnet die elektrische
Leistung der Lampe 5; "UV-Belichtung" gibt die Strahlungsintensität der Lampe 5 an; "Lichtintensität" gibt die von der
Lampe 5 abgegebenen Lichtmenge wieder; "Temperatur" zeigt die Temperatur in dem Lampengehäuse 3 an; "UV-Bestrahlungsgeschwindigkeit" zeigt die Bewegungsgeschwindigkeit
der Kammer 11 an; "N2-Ablaufzeit" gibt die Zeit an, während der
Stickstoffgas in das Innere der Kammer 11 eingeleitet wird.
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Wenn
dann die "Set"-Taste gedrückt wird, wechselt
die Anzeige in dem Berührungsfeld 63 zu der
in 7 gezeigten Darstellung. Wird dabei die Taste "Stickstoff-Ablaufzeit" gedrückt, dann
kann durch Betätigen
der Zifferntasten 71 die Zeit für die Stickstoffzufuhr eingegeben
werden. Wenn die Taste "Höchst-Temperatur" betätigt wird,
kann ebenfalls durch Betätigen
der Zifferntasten 71 die Maximaltemperatur für das Lampengehäuse 3 eingegeben
werden, wobei ein Alarm oder eine Warnung ausgegeben wird, wenn
die gegebene Temperatur die Maximaltemperatur erreicht oder übersteigt.
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Wenn
ferner die Taste "UV-Bestrahlungsgeschwindigkeit" betätigt wird,
kann mittels der Zifferntasten 71 die Bewegungsgeschwindigkeit
der Kammer 11 eingegeben werden. Da die Lampe 5 das Licht
mit einer bestimmten Strahlungsintensität abgibt, kann durch Ändern der
Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer 11 auf einfache Weise
die Lichtmenge (Strahlungsintensität x Bestrahlungszeit) geändert werden,
mit der das Werkstück
W bestrahlt wird.
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Schließlich ist
es durch Betätigung
der "Register"-Taste 73 möglich, jeden
der vorgenannten Werte in dem Speicher der Steuerung 37 zu
speichern.
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Nachfolgend
wird unter Bezugnahme auf den Ablaufplan der 8 die Betriebsweise
der vorstehend erläuterten
Ausführungsform
beschrieben.
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Wenn
zu Beginn der (nicht dargestellte) EIN-Schalter betätigt wird,
wird die Lampe
5 mit einem rechteckförmigen Wechselstrom von der
Energiequelle
29 beaufschlagt (Schritt
301). Die
elektrische Leistung wird dabei auf einen Bereitschaftswert geregelt,
der beispielsweise die Hälfte
der von der Energiequelle
29 abgegebenen Maximalleistung
beträgt.
Als nächstes
wird der Schiebedeckel
17 geöffnet und ein Werkstück W in
die Kammer
11 eingebracht (Schritt
302). Der Schiebedeckel
17 wird
dann geschlossen und der Startschalter
67 eingeschaltet (Schritt
303).
Damit fällt
der von dem Schiebedeckel
17 gehaltene Deckel
15 auf
die Oberseite der Kammer
11, um diese abzuschließen. Anschließend wird Stickstoff
in die Kammer
11 eingeleitet und Sauerstoff daraus entfernt,
und die Kammer
11 wird in die in
1 in der
gestrichelten Linie B dargestellte Bereitschaftsstellung bewegt
(Schritt
304). Wie in dem
US-Patent
4.718.967 näher
erläutert,
kann durch die Zufuhr von Stickstoff in die Kammer
11,
um den Sauerstoff auszutreiben, die Zeit verkürzt werden, die zum Härten des
auf das Dice-Band
19 aufgebrachten Klebers erforderlich
ist.
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Als
nächstes
wird die Klappe 9 geöffnet (Schritt 305)
und mit der Bestrahlung des Dice-Bandes 19 begonnen. Dabei
wird die Leistungsabgabe auf der Grundlage des von dem Lichtsensor 33 erfaßten Strahlungsintensitätswertes
geregelt (Schritt 306). Wenn der von dem Lichtsensor 33 erfaßte Wert unterhalb
der Grund-Strahlungsintensität
liegt, wird die von der Energiequelle 29 abgegebene Spannung und/oder
der Strom verstärkt,
um die von dem Sensor 33 erfaßte Strahlungsintensität auf die Grund-Strahlungsintensität anzuheben,
und wenn der Wert größer ist
als die Grund-Strahlungsintensität,
wird die von der Energiequelle 29 abgegebene Spannung und/oder
der Strom herabgesetzt, um die von dem Sensor 33 erfaßte Strahlungsintensität auf die
Grund-Strahlungsintensität
zu reduzieren. Auf diese Weise braucht dann, wenn die Lampe 5 neu
ist, diese mit einer verhältnismäßig geringen
Leistung beaufschlagt zu werden, und wenn die Lampe 5 schwächer wird,
kann in Abhängigkeit
vom Ausmaß des
Nachlassens eine höhere
Leistung zugeführt werden.
Dadurch wird es möglich,
durch eine Verringerung der von dem Gerät aufgenommenen Leistung Energie
einzusparen.
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Als
nächstes
wird der Antrieb 35, d. h. der Motor 57 eingeschaltet,
und die Kammer 11 wird mit der über das Berührungsfeld 63 eingegebenen
Geschwindigkeit bewegt (Schritt 307), um das ganze Dice-Band
gleichmäßig mit
Licht zu bestrahlen. Dann wird die Klappe 9 geschlossen
(Schritt 308) und die von der Energiequelle 29 abgegebene
Leistung geht auf den Bereitschaftswert, z. B. die Hälfte des Höchstwertes,
zurück.
Der Vorgang wird dann durch Entfernen des Werkstückes W aus dem Gerät abgeschlossen
(Schritt 309).
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Da,
wie dargelegt, das erfindungsgemäße Belichtungsgerät zur Abgabe
von Licht mit einer vorbestimmten Strahlungsintensität geregelt
werden kann, ist es möglich,
eine Beschädigung
des Halbleiterwafers und des Dice-Bandes zu verhindern. Zusätzlich kann
die Leistungsaufnahme des Belichtungsgerätes verringert werden.
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Da
ferner das Licht mit einer vorbestimmten Strahlungsintensität abgegeben
wird, kann die zur Bestrahlung des Werkstückes W eingesetzte Lichtmenge
leicht festgelegt werden. Durch die Vorwahl einer Geschwindigkeit
für die
Kammer 11 wird es nämlich
sehr einfach, die zur Bestrahlung des Werkstückes W verwendete Lichtmenge
zu regeln, so daß bei
jeder erneuten Bestrahlung dieselbe Lichtmenge aufgebracht werden
kann. Durch die Möglichkeit,
die Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer 11 zu variieren,
kann darüber
hinaus auf einfache Weise die von der Lampe abgegebene Lichtmenge
in Abhängigkeit
von der Größe des zuzuschneidenden IC-Chips
und der UV-Empfindlichkeit des Dice-Bandes festgelegt werden.
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Wenn
die erläuterte
Anordnung zum Regeln einer bestimmten Strahlungsintensität in einem
Gerät mit
einer Einrichtung zum Entfernen von Sauerstoff aus der Kammer eingesetzt
wird, kann auf einfache Weise die Klebkraft des Dice-Bandes eingestellt
werden.
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In
der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird das Werkstück W mit
Licht bestrahlt, während
es zusammen mit der Kammer bewegt wird. Die Erfindung ist jedoch
nicht auf eine solche Ausführungsform
beschränkt,
und es ist in gleicher Weise möglich,
das Werkstück
W festzulegen und die Lampe zu bewegen. Desgleichen kann auch ein
brauchbares Belichtungsgerät
ein Werkstück
ohne eine Relativbewegung zwischen dem Werkstück und der Lampe bestrahlen.
In diesem Fall kann die Lichtmenge durch Einstellen der Geschwindigkeit
der Klappe festgelegt werden. Mit dieser Art eines Belichtungsgerätes ist
es möglich,
jede Bestrahlung mit derselben Lichtmenge auszuführen, indem eine vorgegebene
Klappengeschwindigkeit für
die Lampe eingestellt wird, wodurch der Vorteil erzielt wird, daß die Lichtmenge
allein durch Regelung der Klappengeschwindigkeit eingestellt werden
kann.
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Die
Erfindung ermöglicht
es somit, ein Dice-Band mit Licht von einer vorgegebenen Strahlungsintensität zu bestrahlen.
Damit kann eine Beschädigung
des Halbleiterwafers und des Dice-Bandes infolge einer zu hohen
Strahlungsintensität
vermieden werden. Durch die Einstellung einer bestimmten Strahlungsintensität wird es
außerdem möglich, auf
einfache Weise die zur Bestrahlung eines Werkstückes aufgebrachte Lichtmenge
zu regeln, womit wiederum die Lichtmenge passend für die jeweilige
Art des Dice-Bandes festgelegt werden kann.
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Zusammengefaßt betrifft
die Erfindung ein Gerät
zum Bestrahlen eines Werkstückes
W, um die Klebkraft eines lichthärtenden
Klebers zu schwächen,
mit dem ein Halbleiterwafer 21 an ein Dice-Band 19 gebunden
ist. Das Gerät
weist dabei folgende Bauelemente auf: eine Kammer 11 zum
Halten des Werkstückes
W; eine Hochdruck-Quecksilberlampe 5 zum Bestrahlen des
Werkstückes;
eine Energiequelle 29 mit einem Wechselrichter zum Beaufschlagen
der Lampe mit einem Rechteckwellen-Wechselstrom; einen Spiegel 7 zum
Reflektieren des von der Lampe abgestrahlten Lichtes; Führungsschienen 13 für eine Bewegung
der Kammer 11; eine Bedienungseinheit 39 zum Einstellen
der Bewegungsgeschwindigkeit der Kammer auf den Schienen; einen
Lichtsensor 33 zum Erfassen der Strahlungsintensität des von
der Lampe abgegebenen Lichtes; eine Einheit 41 zum Einstellen
der Grund-Strahlungsintensität;
eine Steuerung 37 mit einem Mikrocomputer zum Steuern der
von der Energiequelle an die Lampe abgegebenen Leistung, damit die
Lampe Licht mit der eingestellten Grund-Strahlungsintensität abgibt;
und einen Antrieb 35, um die Kammer 11 mit der
in der Bedienungseinheit eingegebenen Geschwindigkeit zu bewegen.