DE19639436A1 - Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahlkopf zum Ausführen eines Aufzeich
nungsvorgangs durch Ausüben von Druck auf in einen Behälter eingefüllte
Tinte, damit die Tinte aus dem Behälter ausgestoßen und versprüht werden
kann, und sie betrifft auch ein Herstellverfahren für einen solchen Kopf.
Herkömmlicherweise ist ein Tintenstrahl-Aufzeichnungsverfahren bekannt, bei
dem ein Aufzeichnungsvorgang dadurch ausgeführt werden kann, daß eine
Aufzeichnungsflüssigkeit ausgestoßen und versprüht wird. Dieses Tinten
strahl-Aufzeichnungsverfahren weist mehrere Vorteile auf: Es kann Ausdru
cken mit relativ hoher Geschwindigkeit bei geringem Geräuschpegel ausge
führt werden, das Druckgerät kann miniaturisiert werden, Farbaufzeichnungs
prozesse werden leicht ausgeführt usw.
Betreffend Tintenstrahlköpfe, wie sie beim Tintenstrahl-Aufzeichnungsver
fahren verwendet werden, wurden herkömmlicherweise verschiedene Anordnungen
vorgeschlagen. Zum Beispiel verfügt ein derartiger Tintenstrahlkopf über eine
Anordnung, bei der Druck indirekt über eine Membran dadurch ausgeübt wird,
daß ein piezoelektrisches Element einer in der Ebene liegenden Verformung
unterworfen wird, was zu Tintenausstoßung führt.
Bei der vorstehend angegebenen herkömmlichen Anordnung bestehen jedoch die
folgenden Probleme. Bei diesem Tintenstrahlkopf wird das piezoelektrische
Element einer in der Ebene liegenden Verformung unterzogen, um ausreichend
Druck zum Ausstoßen von Tinte zu erzielen. In diesem Fall muß, um Tinte
auszustoßen, das Ausmaß der Verformung des piezoelektrischen Elements er
höht werden, z. B. dadurch, daß piezoelektrische Materialien aufeinander
gestapelt werden oder daß ein Bimorpher piezoelektrischer Aktor mit ver
gleichsweise großen Abmessungen verwendet wird. Eines der sich ergebenden
Probleme besteht darin, daß ein piezoelektrisches Element und eine Druck
kammer erforderlich sind, die viel größer als die Düsenschrittweite sind,
was den Tintenstrahlkopf voluminös macht und es auch erschwert, einen Kopf
mit mehreren Düsen auszubilden, bei dem Düsen integriert sind. Das andere
Problem besteht darin, daß es schwierig ist, da der Druck dadurch indirekt
auf die Tinte ausgeübt wird, daß die Membran unter Verwendung des piezo
elektrischen Elements in Schwingung versetzt wird, die vom piezoelektri
schen Element erzeugte mechanische Energie wirkungsvoll in Ausstoßenergie
für Tintentröpfchen umzusetzen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Tintenstrahlkopf zu schaf
fen, der eine große Tintenausstoßkraft und eine große Ausstoßgeschwindig
keit liefert, während er kompakte Größe aufweist. Außerdem soll ein Verfah
ren zum Herstellen eines derartigen Tintenstrahlkopfs geschaffen werden.
Diese Aufgabe ist hinsichtlich des Tintenstrahlkopfs durch die Lehre von
Anspruch 1 und hinsichtlich des Herstellverfahrens für einen solchen durch
die Lehre von Anspruch 9 gelöst.
Beim erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopf unterteilt die aus einem piezoelek
trischen Material bestehende Aufbaukomponente das Innere des Behälters in
fluiddichtem Zustand. Daher wird, wenn die Aufbaukomponente aufgrund einer
durch die Spannungsanlegeeinrichtung angelegten Spannung verformt wird, die
innerhalb des Behälters enthaltene Tinte direkt durch die Aufbaukomponente
unter Druck gesetzt. So ist es, im Unterschied im Fall bei herkömmlichen
Anordnungen, möglich, Tinte einfach auszustoßen, ohne aufgestapelte piezo
elektrische Materialien oder einen bimorphen piezoelektrischen Aktor zu
verwenden, die vergleichsweise große Abmessungen aufweisen. Daher ermög
licht es die erfindungsgemäße Anordnung, Tinte sicher auszustoßen, während
kleine Abmessungen eines Tintenstrahlkopfs aufrechterhalten bleiben. Ferner
ist es möglich, da die Tinte innerhalb des Behälters durch die Aufbaukompo
nente direkt unter Druck gesetzt wird, die durch die Aufbaukomponente er
zeugte mechanische Energie wirkungsvoll in Ausstoßenergie für Tintentröpf
chen umzusetzen. Darüber hinaus ist verhindert, da die Aufbaukomponente das
Innere des Behälters fluiddicht unterteilt, daß im Behälter enthaltene
Tinte in andere Räume ausleckt. Daher ermöglicht es die erfindungsgemäße
Anordnung, eine größere Tintenausstoßkraft und eine größere Tintenausstoß
geschwindigkeit zu erzielen, wenn die genannte Aufbaukomponente verformt
wird.
Ferner kann, wenn die genannte Aufbaukomponente so konzipiert ist, daß sie
mehrere Schichten aufweist und Elektroden, die Spannungen an es anlegen, so
auf jeder Schicht angebracht sind, daß sie diese einbetten, der Abstand
zwischen den Elektroden in jeder Schicht verkürzt werden. Demgemäß ist es
selbst dann, wenn die an jede Schicht angelegte Spannung erniedrigt wird,
möglich, die Aufbaukomponente ausreichend zu verformen und den Energieverb
rauch entsprechend zu verringern.
Insbesondere dann, wenn die genannte Aufbaukomponente so konzipiert ist,
daß sie elliptische Form aufweist, ist verhindert, daß die auf es bei
einer Verformung wirkende Belastung in einem speziellen Bereich konzen
triert wird. Daher ermöglicht es diese Anordnung, Ermüdungen der Aufbaukom
ponente zu verringern und demgemäß einen Tintenstrahlkopf mit langer Le
bensdauer zu schaffen.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird die Aufbaukomponente als Film auf
einem Substrat hergestellt. Dann wird eine Temperaturänderung vorgenommen,
bis die Zugspannungen in der Aufbaukomponente die Elastizitätsgrenze über
schritten haben. Wenn in diesem Fall das Substrat in einem Zustand geätzt
wird, in dem in der Aufbaukomponente interne Druckspannungen bestehen, wird
die Aufbaukomponente so verformt, daß die internen Druckspannungen aufge
hoben sind. So ermöglicht es das erfindungsgemäße Verfahren, auf einfache
Weise eine Aufbaukomponente herzustellen, die vorab verformt wurde.
Für ein vollständigeres Verständnis der Art und der Vorteile der Erfindung
ist auf die folgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beige
fügten Zeichnungen Bezug zu nehmen.
Fig. 1(a) ist eine Draufsicht, die schematisch den Aufbau eines erfindungs
gemäßen Tintenstrahlkopfs zeigt;
Fig. 1(b) ist eine Schnittansicht, die
einen Zustand zeigt, bei dem eine aufgewölbte Aufbaukomponente noch keiner
Aufwölbverformung im Tintenstrahlkopf unterzogen wurde; und
Fig. 1(c) ist
eine Schnittansicht, die einen Zustand zeigt, bei dem die sich aufwölbende
Aufbaukomponente im Tintenstrahlkopf einer Aufwölbverformung zur Seite der
Druckkammer hin unterworfen wurde.
Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht eines Tintenstrahlkopfs
mit Mehrkopfstruktur.
Fig. 3 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die detailliert den
Aufbau eines kastenförmigen Körpers im Tintenstrahlkopf zeigt.
Fig. 4 ist eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf.
Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie X-X in Fig. 4.
Fig. 6(a) bis 6(g) sind Schnittansichten, die Herstellprozesse für den
kastenförmigen Körper von Fig. 3 veranschaulichen.
Fig. 7(a) bis 7(c) sowie wie Fig. 8(a) bis 8(c) sind Ansichten entsprechend
denen der Fig. 1(a) bis 1(c), jedoch für zwei andere Konstruktionen erfin
dungsgemäßer Tintenstrahlköpfe;
Fig. 9 ist eine Schnittansicht eines Substrats und einer auf diesem ausge
bildeten sich aufwölbenden Aufbaukomponente.
Fig. 10 ist ein Kurvenbild, das die Mechanische-Spannungen-Verformungs-Hysteresekurve
einer sich aufwölbenden Aufbaukomponente zeigt, die einer
Wärmebehandlung unterzogen wurde.
Fig. 11 ist eine Schnittansicht einer sich aufwölbenden Aufbaukomponente,
die einer Aufwölbungsverformung unterworfen wurde.
Fig. 12(a) bis 12(c), Fig. 13(a) bis 13(c) sowie Fig. 14(a) bis 14(c) sind
Ansichten entsprechend denen der Fig. 1(a) bis 1(c), jedoch für drei weite
re Konstruktionen erfindungsgemäßer Tintenstrahlköpfe, wobei beim Tinten
strahlkopf gemäß Fig. 12 die sich aufwölbende Aufbaukomponente aus aufein
andergestapelten Schichten besteht, sie beim Kopf gemäß Fig. 13 elliptisch
ist und sie beim Kopf gemäß Fig. 14 rund ist.
Die folgende Beschreibung erörtert unter Bezugnahme auf die Fig. 1(a) bis
1(c) ein Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 1(a) ist eine Draufsicht auf einen Tintenstrahlkopf 10 gemäß dem vor
liegenden Ausführungsbeispiel. Fig. 1(b) und 1(c) sind Schnittansichten des
Tintenstrahlkopfs 10. Dieser Tintenstrahlkopf 10 besteht aus einer sich
aufwölbenden Aufbaukomponente 1 (im folgenden kurz als Aufwölbungselement
bezeichnet), einem Behälter 4, Elektroden 9a und 9b zum Anlegen einer Span
nung an das Aufwölbungselement 1, Befestigungselementen 3, die zum Befesti
gen des Aufwölbungselements 1 am Behälter 4 verwendet werden, einem Schalt
er 8 und einer externen Spannungsquelle 9 (Spannungsanlegeeinrichtung).
Der Behälter 4 besteht aus einem kastenförmigen Körper mit einem Tintenein
laß 5a und einer Düsenplatte 7, die die Oberseite des kastenförmigen Kör
pers 5 abdeckt und eine Tintenausstoßöffnung 7a aufweist. Die Tintenaus
stoßöffnung 7a verfügt über sich verjüngende Form, d. h., daß sie zu ihrer
Spitze hin nach außen schmäler wird.
Das Aufwölbungselement 1 besteht aus einem piezoelektrischen Material wie
z. B. PZT (Feststofflösung aus PbZnO₃ und PbTiO₃). Ferner hat das Aufwöl
bungselement 1 die Form einer Rechteckplatte, und sie unterteilt das Innere
des Behälters 4 in fluiddichtem Zustand in einen unteren Raum 6b und eine
Druckkammer 6a. Darüber hinaus sind, was die Randkanten derjenigen Fläche
des Aufwölbungselements 1 betrifft, die der Düsenplatte 7 innerhalb des
Behälters 4 gegenübersteht, mindestens zwei entgegengesetzte Enden in einer
Richtung an den Befestigungselementen 3 befestigt. Demgemäß wird das Auf
wölbungselement 1 auf das Anlegen und Wegnehmen einer Spannung an Elektro
den 9a und 9b, die so angebracht sind, daß sie das Aufwölbungselement 1
einbetten, Aufwölbungsverformungen unterzogen. Beim vorliegenden Ausfüh
rungsbeispiel wird, wenn eine Spannung von der Spannungsquelle 9 angelegt
wird, das Aufwölbungselement 1 einer Aufwölbungsverformung zur Seite der
Druckkammer 6a hin unterworfen, so daß Tintentröpfchen 100a aus der Tin
tenausstoßöffnung 7a ausgestoßen werden. Hierbei werden das Anlegen und
Wegnehmen der Spannung durch Ein- und Ausschaltvorgänge des Schalters 8
ausgeführt, wobei die Spannungsversorgung durch die Spannungsquelle 9 er
folgt.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 1(a) bis 1(c) erfolgt nun eine Erläuterung
zum Betrieb des Tintenstrahlkopfs des vorliegenden Ausführungsbeispiels.
Als erstes wird Tinte 100 durch den Tinteneinlaß 5a in die Druckkammer 6a
eingefüllt. Als nächstes wird der Schalter 8 so eingeschaltet, daß von der
Spannungsquelle 9 über die Elektroden 9a und 9b an den jeweiligen Enden des
Aufwölbungselements 1 in der Polarisationsrichtung (+ an der Oberseite und
- an der Unterseite) des Aufwölbungselements 1 eine umgekehrte Vorspannung
angelegt wird. Dann versucht sich das Aufwölbungselement 1 aufgrund des
piezoelektrischen Effekts innerhalb seiner Ebenen auszudehnen. Da jedoch
mindestens zwei entgegengesetzte Enden in einer Richtung unter den Randkan
ten des Aufwölbungselements 1 an den Befestigungselementen 3 befestigt
sind, sammeln sich innerhalb des Aufwölbungselements 1 Druckkräfte an. Wenn
die Druckkraft die Aufwölbungsbelastung des Aufwölbungselements 1, die
durch das Material, die Form und die Abmessungen desselben bestimmt ist,
überschreitet, wird das Aufwölbungselement einer großen Aufwölbungsverfor
mung rechtwinklig zu seiner Fläche nach oben unterworfen, d. h. zur Seite
der Druckkammer 6a, wie es in Fig. 1(c) dargestellt ist. Die innerhalb der
fluiddicht abgetrennten Kammer 6a enthaltene Tinte wird durch die Aufwöl
bungsverformung des Aufwölbungselements 1 unter Druck gesetzt. Dadurch wird
die Tinte 100 als Tintentröpfchen 100a durch die Tintenausstoßöffnung 7a
der Düsenplatte 7 ausgestoßen.
Wenn der Schalter 8 abgeschaltet wird, um das Anlegen der Spannung zu been
den, zieht sich das Aufwölbungselement 1 zusammen und kehrt in seinen Ur
sprungszustand zurück, wie es in Fig. 1(b) dargestellt ist. Derartige wie
derholte Ein- und Ausschaltvorgänge des Schalters 8 ermöglichen es, Tinten
tröpfchen 100a auszustoßen, wodurch ein Ausdrucken auf einen Aufzeichnungs
träger möglich ist.
Bei dieser Anordnung erzeugt das Aufwölbungselement 1, dessen Randkanten
teilweise befestigt sind, eine große Verformung in der aus der Ebene her
ausgehenden Richtung, und zwar selbst dann, wenn die Verformung in Richtung
der Ebene klein ist. Daher ist es möglich, Tintentröpfchen 100a selbst
dann, wenn die Abmessungen des Tintenstrahlkopfs 10 klein sind, sicher
auszustoßen. Darüber hinaus ist, da das Aufwölbungselement 1 auch die Funk
tion hat, die Druckkammer 6a in abgedichtetem Zustand zu halten, verhin
dert, daß die Tinte 100 in den unteren Raum 6b ausleckt. Daher liefert
diese Anordnung eine große Tintenausstoßkraft und eine große Tintenausstoß
geschwindigkeit, während die Kompaktheit der Vorrichtung aufrechterhalten
bleibt. Ferner ist es möglich, da das Aufwölbungselement die Tinte 100
direkt unter Druck setzt, die durch das Aufwölbungselement 1 erzeugte me
chanische Energie wirkungsvoll in Ausstoßenergie der Tintentröpfchen 100a
umzusetzen. Ferner ist es möglich, da kein großes piezoelektrisches Mate
rial, wie es bei herkömmlichen Anordnungen benötigt wurde, mehr erforder
lich ist, einen mehrdüsigen Kopf mit integrierten Düsen einfach herzustel
len.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein Tintenstrahlkopf 10 veran
schaulicht, der mit einem Aufwölbungselement 1 in Form einer Rechteckplatte
versehen ist; jedoch soll die Form des Aufwölbungselements 1 nicht auf
diese Form beschränkt sein.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 5 erörtert die folgende Beschreibung
einen Tintenstrahlkopf 20, in dem Tintenstrahlköpfe 10 gemäß dem Ausfüh
rungsbeispiel 1 integriert sind. Fig. 2 ist eine perspektivische Explosi
onsansicht des Tintenstrahlkopfs 20. Ferner ist Fig. 3 eine perspektivische
Explosionsansicht, die detailliert den Aufbau eines kastenförmigen Körpers
15 zeigt. Ferner ist Fig. 4 eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf 20 von
Fig. 2, und Fig. 5 ist eine Schnittansicht entlang der Linie X-X in Fig. 4.
Wie es in Fig. 2 veranschaulicht ist, besteht der Tintenstrahlkopf 20 aus
einem kastenförmigen Körper 15, der untere Räume im Behälter ausbildet,
einem Abstandshalter 16, der mehrere Druckkammern (Tintenspeicherkammern)
im oberen Teil des kastenförmigen Körpers 15 bildet, und einer Düsenplatte
17 mit mehreren Tintenausstoßöffnungen 17a, die einen oberen Teil des Be
hälters bildet. So verfügt der Tintenstrahlkopf 20 über einen Mehrkopfauf
bau.
Wie es in Fig. 3 veranschaulicht ist, besteht der kastenförmige Körper 15
aus einem Substrat 18, das einen wesentlichen Teil desselben bildet, und
aus einem Aufwölbungselement 11, das über Befestigungselemente 13 an der
Oberseite des Substrats 18 angeordnet ist. Ferner ist ein Paar Elektroden
19a und 19b so angebracht, daß sie das Aufwölbungselement 11 einbetten.
Der in Fig. 2 dargestellte Abstandshalter 16 besteht aus einer rostfreien
Kupferplatte mit einer Dicke von z. B. 10 bis 50 µm. Hierbei sind vier
Öffnungen 16a, die eine Druckkammer und einen Tinteneinlaß bilden, durch
Stanzen hergestellt, und Trennwände 16b trennen die jeweiligen Öffnungen
16a voneinander. Die Randkanten des Aufwölbungselements 11 sind durch die
Trennwände 16b und die Befestigungselemente 13 befestigt (siehe Fig. 3).
Die aus einem Glasmaterial mit einer Dicke von z. B. 0,2 mm bestehende
Düsenplatte 17 verfügt über vier Tintenausstoßöffnungen 17a, von denen jede
zur Oberseite hin verjüngt ist, d. h., daß jede Kegel- oder Trichterform
aufweist, wie es in Fig. 5 veranschaulicht ist. Jede Tintenausstoßöffnung
17a wird durch Ätzen unter Verwendung von Fluorwasserstoffsäure herge
stellt. Die Düsenplatte 17 wird mittels eines nichtleitenden Klebers über
den Abstandshalter 16 mit dem kastenförmigen Körper 15 verbunden.
Das Substrat 18 besteht z. B. aus einem einkristallinen Siliziumsubstrat
mit vorgegebener Kristallfläche (100). Wie es in Fig 3 veranschaulicht ist,
ist das Substrat 18 mit einem sich verjüngenden Lochbereich 18a versehen,
der das Substrat 18 durchdringt. Das Aufwölbungselement 12 besteht aus
einem piezoelektrischen Material wie PZT. Ferner bestehen die Elektroden
19a und 19b aus Platin (Pt) mit elektrischer Leitfähigkeit. Wie es in Fig.
4 veranschaulicht ist, ist die Elektrode 19a über einen Schalter mit dem
positiven Anschluß jeder Spannungsquelle 19 verbunden, und die Elektrode
19b ist mit dem negativen Anschluß jeder Spannungsquelle 19 verbunden.
Demgemäß wird das Anlegen und Wegnehmen von Spannung durch Ein- und Aus
schaltvorgänge des Schalters 12 ausgeführt.
Da der Tintenstrahlkopf 20 auf dieselbe Weise wie der beim Ausführungsbei
spiel 1 betrieben wird, wird hier die zugehörige Erläuterung weggelassen.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 6(a) bis 6(g) erörtert die folgende Beschrei
bung Herstellprozesse für den im Tintenstrahlkopf 20 angebrachten kasten
förmigen Körper 15.
Als erstes werden, wie es in Fig. 6(a) veranschaulicht ist, Siliziumo
xid(SiO₂)-Schichten 14, von denen jede eine Dicke von 2 µm aufweist und 6
bis 8% Phosphor (P) enthält (nachfolgend als PSG(Phosphosilikatglas)-
Schichten 14 bezeichnet) auf der Vorder- und Rückseite des Substrats 18,
das aus einkristallinem Silizium mit vorbestimmter Kristallfläche (100)
besteht, unter Verwendung eines LPCVD(chemische Dampfniederschlagung bei
niedrigem Druck)-Apparats hergestellt.
Danach wird, wie es in Fig. 6(b) veranschaulicht ist, eine Elektrode 19a,
die aus Pt mit einer Dicke von 0,2 µm besteht, als Film auf der Oberfläche
der PSG-Schicht 14 hergestellt und einem Musterungsprozeß unterworfen.
Anschließend wird, wie es in Fig. 6(c) veranschaulicht ist, das Aufwöl
bungselement 11, das aus PZT mit einer Dicke von 3 µm besteht, als Film auf
der Elektrode 19a hergestellt.
Danach wird, wie es in Fig. 6(d) veranschaulicht ist, eine Elektrode 19b,
die aus Pt mit einer Dicke von 0,2 µm besteht, als Film auf der Oberfläche
des Aufwölbungselements 11 hergestellt und einem Musterungsprozeß unter
worfen. Anschließend wird, wie es in Fig. 6(e) veranschaulicht ist, die
PSG-Schicht 14 an der Rückseite des Substrats 18 einem Musterungsprozeß
unterworfen. Dann wird, wie es in Fig. 6(f) veranschaulicht ist, das Sili
ziumsubstrat 18 einem anisotropen Ätzprozeß unter Verwendung der gemuster
ten PSG-Schicht 14 als Maske unterworfen, um den das Substrat 18 durchdrin
genden, sich verjüngenden Lochbereich 18a herzustellen.
Schließlich wird, wie es in Fig. 6(g) veranschaulicht ist, die PSG-Schicht
14 unter Verwendung des sich verjüngenden Lochbereichs 18a des geätzten
Substrats 18 als Maske geätzt. So werden durch die verbleibenden PSG-Schichten
14 Befestigungselemente 13 gebildet, und es ist ein kastenförmig
er Körper 15 mit gewünschtem Aufbau erhalten.
Bei dieser Anordnung werden der kastenförmige Körper 15, der Abstandshalter
16 und die Düsenplatte 17 einstückig ausgebildet, und gleichzeitig wird
eine Anzahl von Köpfen, die individuell steuerbar sind, hergestellt; da
durch ist es möglich, kompakte Köpfe mit geringen Kosten herzustellen.
Darüber hinaus ermöglicht es eine derartige Mehrkopfanordnung, die Funktio
nen des Tintenstrahlkopfs 20 zu verbessern.
Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ist zum Vereinfachen der Erläuterung
eine Anordnung mit vier Köpfen veranschaulicht. Jedoch soll die Anzahl von
Köpfen nicht auf diese Zahl, wie sie beim Tintenstrahlkopf 20 des vorlie
genden Ausführungsbeispiels vorliegt, beschränkt sein, sondern sie kann bei
erfindungsgemäßen Köpfen nach Wunsch festgelegt werden.
Bei den vorstehend angegebenen Ausführungsbeispielen 1 und 2 wird eine
umgekehrte Vorspannung bezogen auf die Polarisationsrichtung des Aufwöl
bungselements 1 oder 11 angelegt. Bei diesen Anordnungen wird die Polarisa
tionsrichtung umgekehrt, wenn die angelegte Spannung zu hoch ist. Dann kann
sich das Aufwölbungselement 1 oder 11 nicht in seiner Ebene ausdehnen,
wodurch keine Tinte ausgestoßen werden kann. Nun erfolgt für das vorliegen
de Ausführungsbeispiel eine Erläuterung für einen Tintenstrahlkopf 30, bei
dem eine Vorspannung in Vorwärtsrichtung bezogen auf die Polarisationsrich
tung des Aufwölbungselements 1 angelegt wird, um Tinte auszustoßen. Zum
Vereinfachen der Erläuterung sind diejenigen Elemente, die dieselben Funk
tionen wie entsprechende bei den Ausführungsbeispielen 1 und 2 verwendete
Elemente aufweisen, mit denselben Bezugszahlen gekennzeichnet, und hier
wird eine zugehörige Beschreibung weggelassen.
Fig. 7(a) ist eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf 30 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels. Die Fig. 7(b) und 7(c) sind Schnittansichten des
Tintenstrahlkopfs 30. Das vorliegende Ausführungsbeispiel unterscheidet
sich vom Ausführungsbeispiel 1 dadurch, daß eine Vorspannung in Vorwärts
richtung in bezug auf die Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1
angelegt wird und daß das Aufwölbungselement 1 beim Fehlen einer Spannung
einer Aufwölbungsverformung zur Seite der Druckkammer 6a hin unterworfen
ist. Dann wird das Aufwölbungselement 1 auf das Anlegen und Wegnehmen einer
Spannung über die Elektroden 9a, 9b, die wieder so angebracht sind, daß
sie das Aufwölbungselement 1 einbetten, in der Ebene liegenden Verformungen
unterworfen. Die restliche Anordnung stimmt mit der beim Ausführungsbei
spiel 1 überein.
Der Tintenstrahlkopf 30 des vorliegenden Ausführungsbeispiels wird wie
folgt betrieben: Als erstes wird, wie es in Fig. 7(b) dargestellt ist, eine
Vorspannung in Vorwärtsrichtung bezogen auf die Polarisationsrichtung des
Aufwölbungselements 1 angelegt (- an der Oberseite und + an der Untersei
te), wozu der Schalter 8 eingeschaltet wird. In diesem Fall versucht sich
das Aufwölbungselement 1 aufgrund des piezoelektrischen Effekts in der
Ebene zusammenzuziehen, so daß es, da es zuvor einer Aufwölbungsverformung
zur Seite der Druckkammer 6a hin unterworfen war, nun in einem Zustand
gehalten wird, in dem es dieser Aufwölbungsverformung nicht mehr unter
liegt, wie dies in Fig. 7(b) dargestellt ist.
Anschließend wird, wenn der Schalter 8 abgeschaltet wird, die Kontraktion
des Aufwölbungselements innerhalb seiner Ebene aufgehoben, und es kehrt in
seinen Ursprungszustand zurück. Anders gesagt, wird, wie es in Fig. 7(c)
dargestellt ist, das Aufwölbungselement 1 einer großen Aufwölbungsverfor
mung zur Seite der Druckkammer 6a hin unterworfen. Diese Aufwölbungsverfor
mung setzt Tinte 100, die in fluiddichtem Zustand in der Druckkammer 6a
enthalten ist, unter Druck. So wird die Tinte 100 in Form von Tintentröpf
chen 100a aus der Tintenausstoßöffnung 7a der Düsenplatte 7 ausgestoßen.
Bei dieser Anordnung wird, da eine Vorspannung in Vorwärtsrichtung bezogen
auf die Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1 angelegt wird, die
Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1 selbst dann nicht umge
kehrt, wenn eine vergleichsweise hohe Spannung an es angelegt wird. Dadurch
ist es möglich, eine größere Spannung als dann anzulegen, wenn eine Vor
spannung in Rückwärtsrichtung angelegt wird.
Wie beim vorstehend angegebenen Ausführungsbeispiel 3 erfolgt eine Erläute
rung über einen Tintenstrahlkopf 40, bei dem eine Vorspannung in Vorwärts
richtung bezogen auf die Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1
angelegt wird, um Tinte auszustoßen. Um die Erläuterung zu vereinfachen,
sind wiederum diejenigen Elemente, die dieselben Funktionen wie bei den
Ausführungsbeispielen 1 bis 3 verwendete Elemente aufweisen, mit desselben
Bezugszahlen gekennzeichnet, und eine zugehörige Beschreibung wird wegge
lassen.
Fig. 8(a) ist eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf 40 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels. Ferner sind die Fig. 8(b) und 8(c) Schnittansichten
des Tintenstrahlkopfs 40. Der Tintenstrahlkopf 40 des vorliegenden Ausfüh
rungsbeispiels unterscheidet sich von dem des Ausführungsbeispiels 1 da
durch, daß eine Vorspannung in Vorwärtsrichtung bezogen auf die Polarisa
tionsrichtung des Aufwölbungselements 1 angelegt wird und daß dieses Auf
wölbungselement 1 bei fehlender Spannung einer Aufwölbungsverformung zu der
der Druckkammer 6a entgegengesetzten Seite unterworfen ist. Wenn über die
Elektroden 9a und 9b, die wieder so angebracht sind, daß sie das Aufwöl
bungselement 1 einbetten, das Anlegen und Wegnehmen einer Spannung erfolgt,
wird das Aufwölbungselement 1 Verformungen innerhalb seiner Ebene unterwor
fen. Die restliche Anordnung stimmt mit der beim Ausführungsbeispiel 1
überein.
Der Tintenstrahlkopf 40 des vorliegenden Ausführungsbeispiels wird wie
folgt betrieben: Als erstes ist, wie es in Fig. 8(b) dargestellt ist, das
Aufwölbungselement 1 so konzipiert, daß es dann, wenn der Schalter 8 abge
schaltet ist, einer Aufwölbungsverformung zur von der Druckkammer 6a abge
wandten Seite hin unterworfen ist. Wenn danach der Schalter 8 eingeschaltet
wird, zieht sich das Aufwölbungselement 1 in seiner Ebene zusammen, so daß
es in einen Zustand gelangt, in dem keine Aufwölbungsverformung vorliegt,
wie es in Fig. 8(c) dargestellt ist. Anders gesagt, wird beim vorliegenden
Ausführungsbeispiel die innerhalb der fluiddichten Druckkammer 6a enthalte
ne Tinte durch die Positionsänderung des Aufwölbungselements 1 vom aufge
wölben Zustand (verformter Zustand) in den nicht aufgewölbten Zustand (un
verformter Zustand) unter Druck gesetzt. So wird die Tinte 100 in Form von
Tintentröpfchen 100a aus der Tintenausstoßöffnung 7a der Düsenplatte 7
ausgestoßen.
Da bei dieser Anordnung eine Vorspannung in Vorwärtsrichtung bezogen auf
die Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1 angelegt wird, wird die
Polarisationsrichtung des Aufwölbungselements 1 selbst dann nicht umge
kehrt, wenn eine vergleichsweise hohe Spannung an es angelegt wird. Daher
ist es möglich, eine größere Spannung als im Fall anzulegen, bei dem eine
Vorspannung in Rückwärtsrichtung verwendet wird.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 9 bis 11 erörtert die folgende Beschreibung
ein Herstellverfahren für das vorstehend angegebene Aufwölbungselement, das
sich bei fehlender Spannung im aufgewölbten Zustand befindet.
Als erstes wird, wie es in Fig. 9 veranschaulicht ist, ein Aufwölbungsele
ment 41 mit der Dicke h1 als Film auf einem Substrat 42 mit der Dicke h2
hergestellt. In diesem Fall muß das Aufwölbungselement 41 wesentlich dün
ner als das Substrat 42 sein. Anders gesagt, muß die Bedingung h1 « h2
erfüllt sein. Das heißt, daß angenommen wird, daß sich der lineare Expan
sionskoeffizient α1 des Aufwölbungselements 41 vom linearen Expansionskoef
fizienten α2 des Substrats 42 unterscheidet.
Wenn das Substrat 42 einer Wärmebehandlung unterworfen wird, erfährt das
Aufwölbungselement 41 eine Variation entsprechend der Mechanische-Spannung-Verzerrungs-Hysteresekurve
von Fig. 10 und gelangt in einen Zustand, in dem
innere Druckspannungen erzeugt werden. Hierbei werden abhängig von den
Größen der linearen Expansionskoeffizienten α1 und α2 des Aufwölbungsele
ments 41 und des Substrats 42 zwei Wärmebehandlungsverfahren vorgeschlagen.
Danach werden Herstellverfahren für das Aufwölbungselement 41 und zugehöri
ge Prinzipien zugehörig zu den jeweiligen Wärmebehandlungsverfahren erör
tert.
- (1) Für diesen Fall sei angenommen, daß der lineare Expansionskoeffizient α1 des Aufwölbungselements 41 kleiner als der lineare Expansionskoeffizient α2 des Substrats 42 ist.
Unter dieser Bedingung wird die Temperatur erhöht, bis die im Aufwölbungs
element 41 auftretenden Zugspannungen die Elastizitätsgrenzen überschrei
ten, und dann wird die Temperatur auf die Raumtemperatur zurückgeführt.
Dieses Verfahren wird nun unter Bezugnahme auf Fig. 10 im einzelnen erläu
tert.
In einem Zustand vor dem Ausführen der Temperaturänderung befindet sich das
Aufwölbungselement 41 hinsichtlich seiner Hysteresekurve auf einem Punkt O,
d. h. in einem unverformten und spannungsfreien Zustand. Dann, wenn die
Temperatur erhöht wird, dehnen sich sowohl das Substrat 42 als auch das
Aufwölbungselement 41 aus. Da jedoch das Substrat 42 einen größeren linea
ren Expansionskoeffizienten aufweist als das Aufwölbungselement 41, erfährt
das letztere eine Zugbelastung vom Substrat 42, mit dem Ergebnis, daß es
eine Zugverformung und Zugspannungen erfährt. Die Beziehung zwischen der
Zugverformung und der Zugspannung ist durch eine praktisch gerade Linie bis
zum Punkt A dargestellt. Wenn die Temperatur weiter erhöht wird, über
schreitet die Zugspannung ihre Elastizitätsgrenze, und es ergibt sich ein
gekrümmter Verlauf bis zu einem Punkt B, wie in Fig. 10 dargestellt. Wenn
dann die Wärmezufuhr beendet wird, hört die Expansion des Substrats 42 auf,
und es versucht in den unverformten Zustand zurückzukehren. In diesem Fall
kehrt das Aufwölbungselement 41 zum unverformten Zustand zurück, wobei es
einer geraden Linie ausgehend vom Punkt B parallel zur geraden Linie OA
folgt; daher wird, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, eine interne Druck
spannung σR ausgeübt.
- (2) Für diesen Fall sei angenommen, daß der lineare Expansionskoeffizient α1 des Aufwölbungselements 41 größer als der lineare Expansionskoeffizient α2 des Substrats 42 ist. Unter diesen Bedingungen wird die Temperatur er niedrigt, bis die im Aufwölbungselement 41 auftretende Zugspannung die Elastizitätsgrenze überschreitet, und dann wird die Temperatur auf die Raumtemperatur zurückgeführt. Was Spannungen und Verformungen betrifft, wie in Fig. 10 dargestellt, kann dieselbe Erläuterung wie zuvor mit dem Unter schied erfolgen, daß das Erhöhen und Erniedrigen der Temperatur gegenein ander vertauscht sind.
Wenn das Substrat 42 geätzt wird, wie in Fig. 11 dargestellt, während nach
dem Ausüben einer der beiden obenangegebenen Wärmebehandlungen noch interne
Druckspannungen im Aufwölbungselement 41 existieren, versucht das Aufwöl
bungselement 41, die internen Druckspannungen abzubauen, mit dem Ergebnis,
daß es eine Aufwölbungsverformung erfährt, wie es in Fig. 11 dargestellt
ist. So ermöglichen es die vorstehend angegebenen Verfahren, auf einfache
Weise ein Aufwölbungselement 41 herzustellen, das vorab einer Aufwölbungs
verformung unterworfen wurde.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 12(a) bis 12(c) erörtert die folgende Be
schreibung ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Hierbei sind
diejenigen Elemente, die dieselben Funktionen wie bei den Ausführungsbei
spielen 1 bis 4 verwendete Elemente aufweisen, mit denselben Bezugszahlen
gekennzeichnet, und eine zugehörige Erläuterung wird weggelassen.
Fig. 12(a) ist eine Draufsicht auf einen Tintenstrahlkopf 50 des vorliegen
den Ausführungsbeispiels. Die Fig. 12(b) und 12(c) sind Schnittansichten
des Tintenstrahlkopfs 50. Ein beim Tintenstrahlkopf 50 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels eingebautes Aufwölbungselement 1 besteht aus mehreren
Schichten. Ein Paar Elektroden 9a und 9b ist so an jeder Schicht ange
bracht, daß sie die Schicht einbetten; daher ist der Abstand zwischen den
Elektroden 9a und 9b verkürzt. So wird das Aufwölbungselement auf das Anle
gen und Wegnehmen einer Spannung über die Elektroden 9a und 9b hin in der
Ebene liegenden Verformungen unterworfen. Die andere Anordnung ist bei
diesem Ausführungsbeispiel dieselbe wie beim Ausführungsbeispiel 1. Darüber
hinaus ist das Ansteuerungsprinzip dasselbe wie beim Ausführungsbeispiel 1.
Hierbei ist, wenn die Länge des piezoelektrischen Materials mit l angenom
men wird, das Verformungsausmaß δ des piezoelektrischen Materials innerhalb
seiner Ebene durch die folgende Gleichung repräsentiert:
δ = d₃₁ · V · 1/h,
mit: d₃₁: Piezoelektrizitätskonstante,
V: Spannung und
h: Dicke des piezoelektrischen Materials.
δ = d₃₁ · V · 1/h,
mit: d₃₁: Piezoelektrizitätskonstante,
V: Spannung und
h: Dicke des piezoelektrischen Materials.
Die vorstehend angegebene Gleichung zeigt, daß die zum Verformen des pie
zoelektrischen Materials anzulegende Spannung um so kleiner ist, je gering
er die Dicke des piezoelektrischen Materials ist, d. h. je kleiner der
Abstand zwischen den Elektroden 9a und 9b ist. Daher ist es möglich, den
Energieverbrauch zu verringern, wenn das Aufwölbungselement 1 unter Verwen
dung von Schichten piezoelektrischen Materials hergestellt wird, die je
weils als dünne Schicht ausgebildet sind, so daß der Abstand zwischen den
Elektroden 9a und 9b verkürzt ist.
Außerdem kann der beim vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendete Schicht
aufbau des Aufwölbungselements 1 auch bei den vorstehend angegebenen Aus
führungsbeispielen 2 bis 4 verwendet werden. Dabei werden dieselben Effekte
erzielt, wie sie zuvor beschrieben wurden.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 13(a) bis 13(c) sowie die Fig. 14(a) bis
14(c) erörtert die folgende Beschreibung weitere Ausführungsbeispiele er
findungsgemäßer Tintenstrahlköpfe 60 bzw. 70. Hierbei sind diejenigen Ele
mente, die dieselben Funktionen wie die entsprechenden bei den Ausführungs
beispielen 1 bis 5 verwendeten Elemente aufweisen, mit denselben Bezugszah
len versehen, und eine zugehörige Beschreibung wird weggelassen.
Fig. 13(a) ist eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf 60 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels. Die Fig. 13(b) und 13(c) sind Schnittansichten des
Tintenstrahlkopfs 60. Ein Aufwölbungselement 1′, wie es im Tintenstrahlkopf
60 des vorliegenden Ausführungsbeispiels enthalten ist, ist so konzipiert,
daß es elliptische Form aufweist. Ferner wird dieses Aufwölbungselement 1′
beim Anlegen und Wegnehmen einer Spannung über Elektroden 9a und 9b, die
wiederum so angebracht sind, daß sie das Aufwölbungselement 1′ einbetten,
Aufwölbungsverformungen unterworfen. Die andere Anordnung und das Ansteue
rungsprinzip stimmen mit dem beim Ausführungsbeispiel 1 überein. Daher
können auch dann, wenn das Aufwölbungselement 1′ elliptische Form aufweist,
dieselben Effekte wie beim Ausführungsbeispiel 1 erzielt werden.
Wenn jedoch dieses Aufwölbungselement 1′ mit elliptischer Form verwendet
wird, existieren keine Ecken, in denen sich bei Aufwölbungsverformung Span
nungen konzentrieren, was unterschiedlich zum Fall beim Aufwölbungselement
1 mit Rechteckform ist. Daher ermöglicht es diese Anordnung, Ermüdungen im
Aufwölbungselement 1′ zu verringern und demgemäß einen Tintenstrahlkopf mit
langer Lebensdauer zu schaffen.
Ferner sorgt, wenn das Aufwölbungselement 1′ mit elliptischer Form und das
Aufwölbungselement 1 mit Rechteckform verglichen werden, das erstere beim
selben Energieverbrauch für eine größere Ausstoßkraft und eine größere
Ausstoßgeschwindigkeit, da bei Aufwölbungsverformungen keine Spannungskon
zentration in der Nähe von Ecken vorliegt.
Darüber hinaus ist Fig. 14(a) eine Draufsicht auf den Tintenstrahlkopf 70
mit einem Aufwölbungselement 1′, dessen Form näher an einer exakt runden
Form liegt, als dies beim vorstehend angegebenen Aufwölbungselement 1′ der
Fall ist. Die Fig. 14(b) und 14(c) sind Schnittansichten des Tintenstrahl
kopfs 70. Da das Ansteuerungsprinzip dasselbe wie beim vorigen Ausführungs
beispiel ist, wird die zugehörige Beschreibung weggelassen.
Da das Aufwölbungselement 1′ rund ist, sind Spannungskonzentrationen bei
Aufwölbungsverformungen sicher verhindert. Daher sind in diesem Fall die
vorstehend angegebenen Wirkungen weiter verbessert. So ist die runde Form
die geeignetste Form für das Aufwölbungselement 1′.
Elliptische oder runde Aufwölbungselemente 1′ sind auch bei den Ausfüh
rungsbeispielen 2 bis 5 verwendbar. Auch dann werden dieselben Wirkungen
erzielt, wie sie betreffend das eben angegebene Ausführungsbeispiel be
schrieben sind.
Claims (10)
1. Tintenstrahlkopf (10, 20, 30, 40, 50, 60) mit:
- - einem Behälter (4) mit einer Tintenausstoßöffnung (7a) in einem Wandabschnitt;
- - einer Aufbaukomponente (1, 1′) mit Randkanten, die an min destens zwei entgegengesetzten Enden an Wandflächen inner halb des Behälters befestigt sind und die das Innere des Be hälters fluiddicht unterteilt und sich verformen kann; und
- - einer Spannungsanlegeeinrichtung (9) zum Anlegen einer Spannung an die Aufbaukomponente;
dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbaukomponente aus piezo
elektrischem Material besteht und sie auf eine durch die
Spannungsanlegeeinrichtung angelegte Spannung hin ihre Form
ändert, um Tinte aus der Tintenausstoßöffnung auszustoßen.
2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Aufbaukomponente (1, 1′) beim Anlegen einer
Spannung durch die Spannungsanlegeeinrichtung (9) einer Auf
wölbungsverformung unterworfen wird, um Tinte aus der Tin
tenausstoßöffnung auszustoßen.
3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Aufbaukomponente (1, 1′) beim Wegnehmen einer
Spannung durch die Spannungsanlegeeinrichtung (9) einer Auf
wölbungsverformung unterworfen wird, um Tinte aus der Tin
tenausstoßöffnung auszustoßen.
4. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Aufbaukomponente (1, 1′) auf das Anlegen einer
Spannung durch die Spannungsanlegeeinrichtung (9) hin einer
Positionsänderung von einem verformten in einen unverformten
Zustand unterworfen wird, so daß Tinte aus der Tintenaus
stoßöffnung (7a) ausgestoßen wird.
5. Tintenstrahlkopf nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbaukomponente (1, 1′)
aus mehreren Schichten besteht, wobei jede Schicht von einem
Paar Elektroden (9a, 9b) eingebettet wird, die Spannung an
die Aufbaukomponente anlegen.
6. Tintenstrahlkopf nach einem der vorstehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch einen Mehrkopfaufbau mit mehreren Tin
tenspeicherkammern und mehreren Tintenausstoßöffnungen.
7. Tintenstrahlkopf nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Aufbaukomponente (1′) el
liptische Form hat.
8. Tintenstrahlkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß die Aufbaukomponente (1′) runde
Form aufweist.
9. Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfs mit
den folgenden Schritten:
- - Herstellen einer Aufbaukomponente (41) als Film auf einem Substrat (42);
- - Vornehmen einer Temperaturänderung, bis die Zugspannungen in der Aufbaukomponente die Elastizitätsgrenze überschritten haben; und
- - Ätzen des Substrats, während in der Aufbaukomponente noch interne Druckspannungen existieren.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7245966A JPH0985946A (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19639436A1 true DE19639436A1 (de) | 1997-04-17 |
DE19639436C2 DE19639436C2 (de) | 1998-12-24 |
Family
ID=17141491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19639436A Expired - Fee Related DE19639436C2 (de) | 1995-09-25 | 1996-09-25 | Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahlkopf |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5988799A (de) |
JP (1) | JPH0985946A (de) |
DE (1) | DE19639436C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999001284A1 (en) * | 1997-07-02 | 1999-01-14 | Xaar Technology Limited | Drop on demand ink jet printing apparatus |
US6626525B1 (en) | 1998-09-08 | 2003-09-30 | Fuji Xerox Co. Ltd | Actuator for an ink jet recording head |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10202874A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
US6270202B1 (en) * | 1997-04-24 | 2001-08-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Liquid jetting apparatus having a piezoelectric drive element directly bonded to a casing |
US20080316264A1 (en) * | 1997-07-15 | 2008-12-25 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead integrated circuit with nozzles in thin surface layer |
US6290861B1 (en) * | 1997-07-15 | 2001-09-18 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of manufacture of a conductive PTFE bend actuator vented ink jet printer |
JP3567464B2 (ja) * | 1997-10-14 | 2004-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 静電アクチュエータ及びそれを搭載した装置 |
KR100362363B1 (ko) * | 1998-06-12 | 2003-05-16 | 삼성전자 주식회사 | 램파를이용한잉크분사장치및그제조방법 |
JP3122646B2 (ja) * | 1998-12-18 | 2001-01-09 | 三菱電機株式会社 | 液噴出駆動装置及び液噴出駆動方法 |
US6340223B1 (en) * | 1999-06-28 | 2002-01-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and fabrication method of the same |
NZ510723A (en) * | 2001-03-23 | 2003-10-31 | Cool 123 Ltd | Lottery system |
US6903491B2 (en) * | 2001-04-26 | 2005-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric element, actuator, and inkjet head |
JP4304881B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2009-07-29 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
KR100433528B1 (ko) * | 2001-11-29 | 2004-06-02 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 |
DE10250917B3 (de) * | 2002-10-31 | 2004-06-03 | Siemens Ag | Verfahren zum Betrieb eines Einspritzventils mit einem piezoelektrischen Aktor sowie Steuergerät |
JP4077344B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2008-04-16 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びその製造方法 |
JP4466331B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2010-05-26 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
US20070051827A1 (en) * | 2005-09-08 | 2007-03-08 | Sheng-Chih Shen | Spraying device |
JP2010143048A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 |
JP2013163290A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置およびその制御方法 |
US9427966B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-08-30 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head, method for manufacturing same, and inkjet printer |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2166927A1 (de) * | 1970-09-09 | 1976-12-16 | Clevite Corp | Vorrichtung zur erzeugung eines troepfchenstrahles, insbesondere fuer tintentroepfchenschrieber |
EP0128456A2 (de) * | 1983-06-06 | 1984-12-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisch betriebener Schreibkopf |
US4584590A (en) * | 1982-05-28 | 1986-04-22 | Xerox Corporation | Shear mode transducer for drop-on-demand liquid ejector |
US4825227A (en) * | 1988-02-29 | 1989-04-25 | Spectra, Inc. | Shear mode transducer for ink jet systems |
US5255016A (en) * | 1989-09-05 | 1993-10-19 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer recording head |
DE4429904A1 (de) * | 1993-08-23 | 1995-03-02 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE19623620A1 (de) * | 1995-06-14 | 1996-12-19 | Sharp Kk | Tintenstrahlkopf mit einer Druckerzeugungsplatte und einer Verformungsschicht zur Verformung der Platte |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2527647C3 (de) * | 1975-06-20 | 1981-06-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mit Flüssigkeitströpfchen arbeitendes Schreibgerät |
US4383264A (en) * | 1980-06-18 | 1983-05-10 | Exxon Research And Engineering Co. | Demand drop forming device with interacting transducer and orifice combination |
AU553251B2 (en) * | 1981-10-15 | 1986-07-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Arrangement for ejecting liquid |
JPS6038163A (ja) * | 1983-08-11 | 1985-02-27 | Ricoh Co Ltd | インクジエツトヘツド |
JPS6068963A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-04-19 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | インク噴射記録装置 |
US4641153A (en) * | 1985-09-03 | 1987-02-03 | Pitney Bowes Inc. | Notched piezo-electric transducer for an ink jet device |
JP2687352B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1997-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録装置 |
JPS649745A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Ricoh Kk | Method for driving on-demand type ink jet head |
US4998120A (en) * | 1988-04-06 | 1991-03-05 | Seiko Epson Corporation | Hot melt ink jet printing apparatus |
JPH0230543A (ja) * | 1988-07-21 | 1990-01-31 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
JPH03108551A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-08 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
JPH03243357A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド |
JPH0428557A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Fujitsu Ltd | マルチノズルインクジェットヘッド |
US5534900A (en) * | 1990-09-21 | 1996-07-09 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
JPH04353458A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
US5666141A (en) * | 1993-07-13 | 1997-09-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ink jet head and a method of manufacturing thereof |
US5812163A (en) * | 1996-02-13 | 1998-09-22 | Hewlett-Packard Company | Ink jet printer firing assembly with flexible film expeller |
-
1995
- 1995-09-25 JP JP7245966A patent/JPH0985946A/ja active Pending
-
1996
- 1996-09-06 US US08/711,295 patent/US5988799A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-09-25 DE DE19639436A patent/DE19639436C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2166927A1 (de) * | 1970-09-09 | 1976-12-16 | Clevite Corp | Vorrichtung zur erzeugung eines troepfchenstrahles, insbesondere fuer tintentroepfchenschrieber |
US4584590A (en) * | 1982-05-28 | 1986-04-22 | Xerox Corporation | Shear mode transducer for drop-on-demand liquid ejector |
EP0128456A2 (de) * | 1983-06-06 | 1984-12-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoelektrisch betriebener Schreibkopf |
US4825227A (en) * | 1988-02-29 | 1989-04-25 | Spectra, Inc. | Shear mode transducer for ink jet systems |
US5255016A (en) * | 1989-09-05 | 1993-10-19 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printer recording head |
DE4429904A1 (de) * | 1993-08-23 | 1995-03-02 | Seiko Epson Corp | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE19623620A1 (de) * | 1995-06-14 | 1996-12-19 | Sharp Kk | Tintenstrahlkopf mit einer Druckerzeugungsplatte und einer Verformungsschicht zur Verformung der Platte |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
Patents Abstracts of Japan M-1141 mit JP 03-1 08 551 A * |
Patents Abstracts of Japan M-407 mit JP 60-68 963 A * |
Patents Abstracts of Japan M-819 mit JP 64-9 745 A * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999001284A1 (en) * | 1997-07-02 | 1999-01-14 | Xaar Technology Limited | Drop on demand ink jet printing apparatus |
US6422690B1 (en) | 1997-07-02 | 2002-07-23 | Xaar Technology Limited | Drop on demand ink jet printing apparatus, method of ink jet printing, and method of manufacturing an ink jet printing apparatus |
US6626525B1 (en) | 1998-09-08 | 2003-09-30 | Fuji Xerox Co. Ltd | Actuator for an ink jet recording head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0985946A (ja) | 1997-03-31 |
DE19639436C2 (de) | 1998-12-24 |
US5988799A (en) | 1999-11-23 |
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