DE19638669A1 - Herstellungsverfahren von Kunststoffgehäusen für auf Trägerrahmen befestigten Chips - Google Patents

Herstellungsverfahren von Kunststoffgehäusen für auf Trägerrahmen befestigten Chips

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Umhüllen von Chips mit einem Kunststoffgehäuse, wobei die Chips mittels einer Befestigungsschicht auf einem Trägerrahmen befestigt sind und über Kontaktdrähte mit Außenanschlüssen verbunden sind.
Zum Umhüllen von Bauelementen bzw. Chips mit einem Kunst­ stoffgehäuse wird beispielsweise das Transfer-Molding Verfah­ ren angewendet. Dabei wird die erhitzte Kunststoffmasse di­ rekt auf den Chips bzw. den Trägerrahmen aufgebracht. Nach dem Erkalten des Kunststoffs kommt es häufig zum Ablösen des Kunststoffs von den Oberflächen der Trägerrahmen und der Chips. An den dabei entstehenden Spalten zwischen Kunststoff und Chip bzw. Trägerrahmen kann es zu thermischen bzw. korro­ sionsbedingten Problemen kommen. Teilweise entstehen Risse im Kunststoffgehäuse. Hier kann Feuchtigkeit eindringen. Durch die Feuchtigkeit können die Bond-Kontakte und Kontaktpads korrodieren, was zur Beeinträchtigung des Kontaktwiderstandes führt. Außerdem kann es beim Ablösen des Kunststoffes von der Oberfläche zu mechanischen Spannungen kommen. Das kann im Ex­ tremfall bis hin zum Ablösen der Bond-Kontakte von den Kon­ takt-Pads bzw. zum Zertrennen der dünnen Metalldrähten füh­ ren.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Umhüllen von auf einem Trägerrahmen befestigten Chips mit ei­ nem Kunststoffgehäuse anzugeben, bei dem diese Nachteile nicht auftreten.
Die Aufgabe wird durch ein Herstellungsverfahren gemäß Pa­ tentanspruch 1 gelöst. Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Erfindungsgedankens sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand des in der einzigen Figur der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Die Figur zeigt einen Chip 3, der mittels einer Befestigungs­ schicht 6, beispielsweise einem Zinnlot oder leitfähigen Kle­ ber, auf einen Trägerrahmen 1 aufgebracht ist. Das Befestigen der Chips über ein Lot oder Kleber auf dem Trägerrahmen wird als Die-Bonding bezeichnet. Zusätzlich ist der Chip an seiner Oberseite über Kontaktdrähte 4 mit Außenanschlüssen 7, bei­ spielsweise über eine Metallspinne, verbunden. Zur Kontaktie­ rung der Chipoberseite mit den Außenanschlüssen über Kontakt­ drähte wird üblicherweise das Nailhead-Bonding Verfahren bzw. das Wedge-Bonding Verfahren bzw. eine Mischung von beiden an­ gewendet. Alternativ ist auch denkbar, die Außenanschlüsse direkt auf den Chips zu kontaktieren. Eine derartige Technik wird allgemein als Lead-On-Chip-(LOC-)Montage bezeichnet. Nach dem Bonden und noch vor dem Aufbringen des Kunststoffge­ misches wird eine haftunterstützende Schicht 5 auf die Chip­ oberfläche und auf die Oberfläche des Trägerrahmen aufge­ bracht. Als haftunterstützende Schicht wird hier ein Polyimid verwendet, welches mit einem Lösungsmittel in einem Verhält­ nis 1 : 9 verdünnt ist. Polyimid ist eine organische Verbin­ dung, die bei Raumtemperatur zähflüssig ist und überlicher­ weise als isolierende Passivierungsschicht oder zum Planari­ sieren verwendet wird. Es gibt auch photosensitive Polyimide, die sich ähnlich wie Photolacke strukturieren lassen. Das Po­ lyimid wird in einer Dicke von etwa 0,5 µm bis etwa 50 µm auf den Oberflächen aufgetragen und dann ausgehärtet. Anschlie­ ßend wird das Kunststoffgemisch für das Gehäuse auf den Trä­ gerrahmen und den Chips aufgebracht und ausgehärtet.
Die haftunterstützende Schicht erhöht die Haftungsfestigkeit des Kunststoffgemisches auf der Chipoberfläche und auf dem Trägerrahmen. Das Ablösen des Kunststoffs nach dem Erkalten von der Oberfläche des Chips und des Trägerrahmens wird somit verhindert. Korrosion von Anschlußdrähten, Bond-Kontakten und Kontaktpads findet nicht statt, da keine Feuchtigkeit ein­ dringen kann. Dadurch wird die Zuverlässigkeit und die Ro­ bustheit der Kunststoffgehäuse gegenüber Feuchtigkeit, ther­ mischen und korrosiv bedingten Außeneinflüssen verbessert, was zu einer längeren Lebensdauer des Gehäuses führt. Zudem wird eine mechanische Beanspruchung des Zinnlots zwischen Chip und Trägerrahmen bei einer thermischen Belastung eben­ falls verringert. Die Ausbeute von mit diesem Verfahren her­ gestellten Chips mit Kunststoffgehäusen ist deutlich größer. Somit lassen sich-diese Bauteile preisgünstiger fertigen.
Die Verwendung eines Polyimids als haftunterstützende Schicht ist auch für ähnliche Anwendungen möglich. Beispielsweise kann das Herstellungsverfahren auch zur Verbesserung der Haf­ tungsfestigkeit von Epoxidharz-Gehäusen verwendet werden. Statt eines Polyimids als haftunterstützendes Mittel ist auch die Verwendung einer Aminosilanverbindung möglich. Die Ver­ wendung eines Polyimids oder einer Aminosilanverbindung ist für Glas, Quarz, Nitrit, Aluminium sowie verschiedenen Metal­ len als Material von Trägerrahmen oder Chip möglich.
Bezugszeichenliste
1 Trägerrahmen
2 Kunststoffgehäuse
3 Chip
4 Drahtkontakte zwischen Chipoberseite und Außenanschlüssen
5 haftunterstützende Schicht/Mittel; Polyimid, Aminosilanverbindung
6 Befestigungsschicht; Zinnlot, leitfähiger Kleber
7 Außenanschlüsse

Claims (4)

1. Verfahren zum Umhüllen von Chips (3) mit einem Kunststoff­ gehäuse (2), wobei die Chips mittels einer Befestigungs­ schicht (6) auf einem Trägerrahmen (1) befestigt sind und über Kontaktdrähte (4) mit Außenanschlüssen (7) verbunden sind, wobei zwischen Trägerrahmen (1) bzw. Chip (3) und Kunststoffgehäuse (2) eine haftunterstützende Schicht (5) aufgebracht ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die haftunterstützende Schicht (5) aus einem Polyimid be­ steht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die haftunterstützende Schicht (5) aus einer Aminosilan-Ver­ bindung besteht.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß dem haftunterstützenden Mittel (5) ein Lösungsmittel bei­ gemischt ist.
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