DE19623236A1 - Verfahren und Vorrichtung für die Drehzahlmessung an Turboladern - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft in einem ersten Aspekt ein Verfahren zum Messen der Bewegung eines Teils im Innen­ raum eines Gehäuses und nahe an der Innenoberfläche einer Gehäusewand vorbei, wobei ein im wesentlichen rechtwinklig zur Bewegungsrichtung des Teils wirkendes Permanentmagnet­ feld auf den der Innenoberfläche zugewandten, elektrisch leitenden Bereich des Teils einwirkt und wobei beim Vorbei­ bewegen des Teils Induktionssignale außerhalb des Innenraums gemessen werden.

Bei bekannten Meßverfahren der Drehzahl an Turboladern läuft auf der Turbinendrehachse des Turboladers ein Permanentma­ gnet mit, dessen Magnetfeld bis an die Innenoberfläche des Gehäuses geführt ist. Auf der Außenseite des Turboladerge­ häuses befindet sich eine Induktionsspule, in der bei jedem Durchgang des Magnetfeldes (S/N) ein Induktionssignal er­ zeugt wird. Die Frequenz dieser Induktionssignale entspricht der Drehzahl des Turboladers.

Aufgrund der auf der Kompressorseite von großen Turboladern auftretenden hohen Temperaturen von 160-180°C und mehr wer­ den Turboladergehäuse vorzugsweise aus (magnetischem) Grau­ gußeisen hergestellt, so daß dieses bekannte Meßverfahren, zumindest auf der Außenseite des Gehäuses, nicht verwendet werden kann.

Konstruktionsmäßig wird außerdem ein möglichst kleines Träg­ heitsmoment des Magneten, d. h. möglichst kleiner Radius und kleines Gewicht, gefordert, während meßtechnisch dagegen die Induktionsspule möglichst nahe an den Magneten herangebracht werden soll. Je weiter nämlich die Induktionsspüle vom Ma­ gneten entfernt ist, desto schwieriger ist es, ein definier­ tes Signal zu erhalten. Je nach Bauart des Turboladers sind verschiedene Konstruktionen bekannt.

Ein anderes Meßverfahren, die Drehzahl in einem Gerät von außen festzustellen, ist beispielsweise durch den Automotive Wheel Speed Sensor von Matsushita Automation Controls be­ kanntgeworden.

Bei diesem Meßverfahren wird eine Magnetspule mit einem hochfrequenten Wechselstrom erregt und so ein ebenfalls hochfrequentes (primäres) Magnetfeld erzeugt. Bei Vorhanden­ sein eines flächenmäßig etwas ausgedehnten Körpers vor der Stirnfläche der Spule werden in ihm um die verlängerte Spu­ lenachse herum ringförmig verlaufende Wechselströme in oder nahe der Oberfläche angeregt, sogenannte Wirbelströme. Diese Wirbelströme erzeugen ihrerseits ein (sekundäres) Magnet­ feld, welches dem primären Magnetfeld entgegenwirkt, wodurch das System gedämpft wird. Diese Dämpfung wird meßtechnisch ausgewertet.

Soll mit diesem Wirbelstrom-Meßverfahren z. B. die Drehzahl in einem Gerät bestimmt werden, läuft auf der Drehachse ein nicht-magnetisches Metallrad mit möglichst breiten und fla­ chen Erhebungen (Zähnen) mit. Da sich nur die Zähne nah ge­ nug an der Magnetspule vorbeibewegen, können sich nur in de­ ren Zähne Wirbelströme ausbilden. Aus der auftretenden Dämp­ fung läßt sich die Drehzahl des Metallrads errechnen.

Mit diesem Wirbelstrom-Meßverfahren kann die Drehzahl bis zum Stillstand des Metallrads bzw. der Drehachse gemessen werden. Allerdings darf sich zwischen der Magnetspule und dem Zahnrad keine Gehäusewand aus elektrisch leitendem Mate­ rial befinden, weil diese unmittelbar eine Dämpfung bewirken würde. Das Gehäuse darf auch nicht aus magnetischem Material bestehen, da sonst keine Signale aus dem Innenraum mehr ge­ messen werden können. Außerdem muß, damit in den Oberflächen der Zähne überhaupt Wirbelströme erzeugt werden können, die Oberfläche der Zähne ausreichend flächenhaft ausgedehnt sein.

Ein weiteres bekanntes Meßverfahren, um z. B. Drehzahlen au­ ßerhalb eines Innenraums feststellen zu können, ist eine ka­ pazitive Messung innerhalb einer Bohrung in der Innenseite einer Gehäusewand. Dieses Meßverfahren wird insbesondere bei Gehäusen aus magnetischem Material eingesetzt. Diese kapazi­ tive Messung erfordert aber eine Versorgungsspannung am Meß­ ort und erlaubt wegen der gemessenen hochohmigen Signale ei­ ne Signal-Auswertung nur direkt am Meßort, die aber sehr starkem Temperatureinfluß unterliegt.

Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, ein Meßverfahren der eingangs genannten Art derart weiterzubil­ den, daß auch bei nicht-flächenmäßig ausgedehnten Körpern, wie z. B. bei einer Kompressorschaufel eines Turboladers, ei­ ne Bewegung innerhalb eines Gehäuses möglichst einfach be­ stimmt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß überraschend einfach da­ durch gelöst, daß das Permanentmagnetfeld außerhalb des In­ nenraums erzeugt wird und daß die Dicke des Teils in dem der Innenoberfläche zugewandten Bereich in Bewegungsrichtung des Teils kleiner als 10 mm, vorzugsweise kleiner als 1 mm, be­ sonders bevorzugt kleiner als 0,1 mm ist.

Man ist bisher davon ausgegangen, daß sich Wirbelströme ent­ sprechend dem bekannten Wirbelstrom-Meßverfahren nur in oder nahe einer rechtwinklig zu den wirkenden Magnetfeldlinien flächenhaft ausgedehnten Oberfläche ausbilden können. Bei der erfindungsgemäß vorgeschlagenen geringen Dicke von bis zu weniger als 0,1 mm und der damit nicht-flächenhaften Oberfläche eines Teils ist die Ausbildung von Wirbelströmen nicht zu erwarten, so daß folglich die trotzdem auftretenden Induktionssignale aus dem Innenraum eines Gerätes äußerst überraschend sind.

Das erfindungsgemäße Meßverfahren hat damit den wesentlichen Vorteil, daß keine Magnete an der Drehachse z. B. von Turbo­ ladern erforderlich sind. Die Bewegungsmessung eines sich bewegenden Teils kann - bei geeigneter Materialwahl und Wandstärke - auch durch die Gehäusewand erfolgen. Anders als das hochfrequente Magnetfeld beim bekannten Wirbelstrom-Meß­ verfahren durchdringt das Permanentmagnetfeld auch Gehäuse­ wände aus elektrisch leitendem, nicht-magnetischen Material bis zu einer gewissen materialabhängigen Wandstärke. Bei ei­ ner Gehäusewand aus Aluminium sind zumindest bis zu einer Wandstärke von 30 mm auswertbare Signale aus dem Innenraum zu empfangen.

Das erfindungsgemäße Meßverfahren benötigt keine eigene Spannungsversorgung. Die gemessenen Induktionssignale sind niederohmig, d. h. stabil und störfest, und können problemlos zu einem temperaturverträglichen Ort weitergeleitet und aus­ gewertet werden.

Das erfindungsgemäße Meßverfahren ist von der Gehäuseform des Gerätes unabhängig und eignet sich zum Erfassen von pe­ riodischen oder nicht-periodischen, wie z. B. einmaligen, so­ wie von linearen oder rotierenden Bewegungsvorgängen eines Teils.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des erfin­ dungsgemäßen Meßverfahrens werden die gemessenen Induktions­ signale einzeln oder gruppenweise ausgewertet. Die Kurven­ form eines Meßsignals hängt z. B. auch von der Frequenz ab, so daß sich z. B. der elektrische Widerstand im Meß-Strom­ kreis durch den Skineffekt bei höheren Frequenzen vergrößern könnte. Auf die Meßgenauigkeit haben diese Effekte aber kei­ nen Einfluß, solange die Drehzahl aus der Wiederholfrequenz der Kurve ermittelt werden kann. Besonders einfach ist die Grundfrequenz zu ermitteln, wenn die Messung unabhängig von der speziellen Kurvenform des Meßsignals erfolgt und nur das Auftreten eines Meßsignals gezählt wird.

Ganz besonders bevorzugt wird das erfindungsgemäße Meßver­ fahren zum Messen der Drehzahl eines Turboladers angewandt. Bei Turboladern in Pkw′s können Drehzahlen bis zu 200 000 min^-1 auftreten, so daß bisher aufgrund von auf der Drehach­ se angeordnetem Permanentmagneten sehr hohe Zentrifugalkräf­ te auftraten. Die Kompressorschaufeln bestehen meist aus Aluminium und weisen Wandstärken von bis unter 0,5 mm auf. Ein Konstrukteur z. B. von Turboladern ist von den Zwängen, die ihm die Drehzahlmessung bisher zusätzlich auferlegt ha­ ben, durch das erfindungsgemäße Meßverfahren vollkommen frei.

Die Erfindung betrifft in einem zweiten Aspekt eine Meßan­ ordnung, insbesondere zur Durchführung des erfindungsgemäßen Meßverfahrens, mit einem sich im Innenraum und nahe an der Innenoberfläche eines Gehäuses vorbeibewegenden Teil, mit einem Permanentmagneten, dessen Magnetfeld auf den der In­ nenoberfläche zugewandten, elektrisch leitenden Bereich des Teils einwirkt, und mit einem Sensor, der beim Vorbeibewegen des Teils Induktionssignale außerhalb des Innenraums mißt.

Bei bekannten Meßanordnungen ist an der Drehachse des Turbo­ laders ein Permanentmagnet angeordnet, dessen Pole (S/N) bei jeder Umdrehung der Turbinenwelle in der außerhalb des Ge­ häuses angeordneten Induktionsspule ein Induktionssignal er­ zeugen. Dieses Magnetfeld wird über eine Induktionsspule au­ ßen auf der Gehäusewand nachgewiesen. Das Gehäuse darf am Meßort der Induktionsspule nicht magnetisch sein, da sonst keine Signale aus dem Innenraum mehr gemessen werden können.

Dem zweiten Aspekt der Erfindung liegt ebenfalls die oben genannte Aufgabe zugrunde.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß überraschend einfach da­ durch gelöst, daß der Permanentmagnet außerhalb des Innen­ raums angeordnet ist und daß die Dicke des Teils in dem der Innenoberfläche zugewandten Bereich in Bewegungsrichtung des Teils kleiner als 10 mm, vorzugsweise kleiner als 1 mm, be­ sonders bevorzugt kleiner als 0,1 mm ist.

Die mit dieser erfindungsgemäßen Meßanordnung zu erzielenden Vorteile entsprechen den bereits oben hinsichtlich des er­ findungsgemäßen Meßverfahrens aufgezählten Vorteilen.

Bei einer ganz bevorzugten ersten Ausführungsform ist der Magnet in einer zum Innenraum offenen Öffnung der Gehäuse­ wand angeordnet. Diese Anordnung des Magneten ermöglicht es, die Gehäusewand aus einem magnetischen Material, beispiels­ weise aus Grauguß herzustellen. Grauguß eignet sich aufgrund der auf der Kompressorseite eines großen Turboladers auftre­ tenden hohen Temperaturen besonders gut. Aber auch bei nicht-magnetischen Materialien wie z. B. Aluminium kann der Magnet in einer Öffnung angeordnet sein.

Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung dieser ersten Aus­ führungsform kennzeichnet sich dadurch, daß der Magnet in der Öffnung von nicht-magnetischem Material umgeben ist. Wenn der Magnet paßbündig in der Öffnung sitzen würde, er­ gibt sich bei magnetischer Gehäusewand ein "magnetischer Kurzschluß". Daher ist der Öffnungsquerschnitt der Öffnung sehr viel größer als der Querschnitt des Magneten und der Magnet durch nicht-magnetisches Material gegenüber der Ge­ häusewand "magnetisch isoliert". Als nicht-magnetisches Ma­ terial eignet sich unmagnetischer Edelstahl oder aber ein hitzebeständiger Kunststoff.

Bei einer besonders bevorzugten Weiterbildung dieser ersten Ausführungsform ist der Magnet zu der Innenoberfläche der Gehäusewand bündig oder gegenüber der Innenoberfläche in der Öffnung zurückversetzt angeordnet. Experimente haben ge­ zeigt, daß trotz einer Zurückversetzung des Magneten gegen­ über der Innenoberfläche von bis zu 7 mm auswertbare Signale aus dem Innenraum mit dem Sensor gemessen werden konnten.

Bei einer besonders vorteilhaften Weiterbildung dieser Aus­ führungsformen ist die Öffnung bündig zur Innenoberfläche der Gehäusewand durch nicht-magnetisches Material verschlos­ sen, wodurch die Innenoberfläche glatt fortgesetzt und das Strömungsfeld eines das Gehäuse durchströmenden Fluids nicht beeinflußt wird. Der bündige Verschluß der Öffnung kann be­ sonders einfach erreicht werden, wenn die Öffnung mit einem, vorzugsweise hitzebeständigen Kunstharz ausgefüllt wird.

Eine ganz besonders bevorzugte zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Meßverfahrens kennzeichnet sich dadurch, daß die Gehäusewand aus nicht-magnetischem Material besteht und daß der Magnet auf der Außenoberfläche der Gehäusewand angebracht ist. Eine nicht-magnetische und elektrisch nicht­ leitende Gehäusewand beeinträchtigt das Primärmagnetfeld nicht.

Die Gehäusewand kann auch aus elektrisch leitendem Material, vorzugsweise aus Aluminium, bestehen. Eine Gehäusewand aus nicht-magnetischem, aber elektrisch leitendem Material be­ einflußt erst ab einer bestimmten materialabhängigen Dicke den Empfang auswertbarer Signale aus dem Innenraum mit ei­ nem Sensor. Durch ein Aluminiumgehäuse hindurch wurden trotz einer Dicke von 30 mm mit einer Induktionsspule auf der Au­ ßenseite des Gerätes noch deutliche, d. h. auswertbare Meßsi­ gnale gemessen.

Da sich bei dieser Ausführungsform alle Teile der Meßanord­ nung außerhalb des Gerätes befinden, ist die Meßanordnung besonders vorteilhaft als Hand-Meßgerät, z. B. als Handdreh­ zahlmesser, einsetzbar.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der Sen­ sor eine Induktionsspule, die den Magneten umgibt oder die getrennt vom Magneten angeordnet ist. Die getrennte Anord­ nung hat den Vorteil, daß die Induktionsspule und der Magnet auf der Außenseite des Gerätes voneinander unabhängig so "justiert" werden können, bis ein deutliches Signal mit der Induktionsspule gemessen wird.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn in weiterer Ausführungs­ form der Magnet ein Stabmagnet oder ein Hufeisenmagnet ist. Insbesondere ist bei einem Hufeisenmagneten eine leichte Einstellung des Permanentmagnetfeldes durch Drehen des Mag­ neten um seine Längsachse möglich.

Ganz besonders bevorzugt ist es, die erfindungsgemäße Meßan­ ordnung zur Messung der Drehzahl eines Turboladers zu ver­ wenden. Die erfindungsgemäßen Meßanordnung erlaubt ein leichtes Nachrüsten bei älteren Turboladern, ist unabhängig von der Form des Ladergehäuses und ergibt ein niederohmiges stabiles (störfestes) Signal, weil der Sensor ein aktiver, versorgungsfreier Signalgeber ist und das Signal zu einem temperaturverträglichen Ort zur Auswertung weitergeleitet werden kann.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Be­ schreibung und Zeichnung. Ebenso können die vorstehend ge­ nannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale erfin­ dungsgemäß jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in be­ liebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaf­ ten Charakter für die Schilderung der Erfindung.

Es zeigen:

Fig. 1 einen Axialschnitt durch ein geschlossenes Turbo­ ladergehäuse, auf dessen Außenseite eine Meßan­ ordnung angebracht ist, wobei nur eine Kompres­ sorschaufel einer Kompressorturbine gezeigt ist;

Fig. 2 in einer der Fig. 1 entsprechenden Ansicht zweite Ausführungsform einer Meßanordnung, die in einer Öffnung im Turboladergehäuse angeordnet ist;

Fig. 3 in perspektivischer Seitenansicht die Meßanord­ nungen der Fig. 1 und 2;

Fig. 4 eine weitere Ausführungsform der Meßanordnung mit einem Hufeisenmagneten und geschlossenem Außenge­ häuse;

Fig. 5 ein Meßdiagramm mit gemessener (b) und ausgewer­ teter (a) Kurvenform bei einer Drehzahl eines Turboladers;

Fig. 6 mehrere Induktionsmeßkurven bei verschiedenen Drehzahlen des Turboladers, wobei die Zeitskalen für die einzelnen Meßkurven nicht identisch sind.

In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 1 ein Turboladergehäuse allgemein bezeichnet. In dem Innenraum 5 des Gehäuses 1 dre­ hen sich Kompressorschaufeln 6 in Drehrichtung 8 um eine Drehachse 7, wobei in der Zeichnung nur eine Kompressor­ schaufel dargestellt ist. Das äußere Ende der Kompressor­ schaufel 6 bewegt sich nahe an der Innenoberfläche 4 der Ge­ häusewand 2 vorbei. Auf die Außenoberfläche 3 der Gehäuse­ wand 2 ist ein Stabmagnet 9 aufgesetzt, dessen Südpol S im gezeigten Ausführungsbeispiel der Gehäusewand 2 zugewandt ist. Um den Stabmagneten 9 herum ist eine Induktionsspule 10 angeordnet.

Die Kompressorschaufel 6 besteht zumindest in dem der Innen­ oberfläche 4 zugewandten Bereich aus elektrisch leitendem Material, z. B. aus Aluminium. Die Gehäusewand 2 besteht bei dieser Ausführungsform aus nicht-magnetischem aber elek­ trisch leitendem Material, vorzugsweise aus Aluminium. Die Dicke der Gehäusewand 2 ist konstruktiv vorgegeben. Der Stabmagnet 9 und die Induktionsspule 10 können aber so ge­ staltet werden, daß dennoch auswertbare Induktionssignale erzielt werden.

Fig. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Meßanordnung zum Messen der Drehzahl eines Turboladers, bei der der Stab­ magnet 9 und die ihn umgebende Induktionsspule 10 in einer zum Innenraum 5 hin offenen Bohrung 11 der Gehäusewand 2′ angeordnet sind. Die Gehäusewand 2′ des Gehäuses 1 besteht aus magnetischem oder nicht-magnetischem Material.

Der Stabmagnet 9 kann gegenüber der Innenoberfläche 4 um ein Maß D nach außen versetzt und in der Bohrung 11 nicht paß­ bündig angeordnet, sondern von der Gehäusewand 2 beabstandet werden. Dadurch ist der Stabmagnet 9 im Falle einer magneti­ schen Gehäusewand 2′ "magnetisch isoliert".

Diese magnetische Isolation kann z. B. durch die Anordnung des Stabmagneten 9 in einer Zwischenhülse aus nicht-magneti­ schem, aber elektrisch leitendem Material, wie z. B. Alumini­ um, oder, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, durch Einbettung in Kunststoff 12 erfolgen. Da im Innenraum 5 durch die Kompres­ sion des den Turbolader durchströmenden Gases hohe Tempera­ turen auftreten, ist der Kunststoff 12 hitzebeständig. Der Kunststoff 12 in der Bohrung 11 setzt die Innenoberfläche 4′ der Gehäusewand 2 glatt fort, so daß im Innenraum 5 keine Strömungsturbulenzen auftreten.

In Fig. 3 ist die Funktionsweise der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Meßanordnungen schematisch dargestellt. Die vom Südpol S des Stabmagneten 9 nach unten austretenden Feldli­ nien des (primären) Magnetfelds B treffen auf die Oberseite 13 der sich am Stabmagnet 9 vorbeibewegenden Turbinenschau­ fel 6 im wesentlichen rechtwinklig auf. Die sich in Dreh­ richtung 8 bewegende Kompressorschaufel 6 weist eine Ge­ schwindigkeitskomponente v rechtwinklig zum Magnetfeld B auf. Aufgrund der Lorenzkraft F = qv × B wird in der Ober­ seite 13 ein Induktionsstrom I induziert. Die Dicke der Kom­ pressorschaufel 6 im Bereich der Oberseite 13 ist mit d be­ zeichnet und beträgt im Ausführungsbeispiel 0,2 mm. Dieser Induktionsstrom I erzeugt seinerseits ein sekundäres Magnet­ feld, das dem Magnetfeld B des Stabmagneten 9 entgegenwirkt und in der Induktionsspule 10 eine Induktionsspannung U_ind induziert.

Fig. 4 zeigt eine weitere Meßanordnung, bei der der auf die Außenoberfläche 3 aufgesetzte Magnet als Hufeisen-Magnet 14 ausgebildet ist. Die Induktionsspule 15 befindet sich auf dem Nordpolschenkel des Hufeisenmagneten 14.

Fig. 5 zeigt die von der Induktionsspule 10 aufgenommene In­ duktionsspannung U_ind über der Meßzeit bei einer Drehzahl f=3400 des Turboladers. Die Kompressorschaufeln 6 bestanden aus einer Aluminiumknetlegierung, ihre Dicke d in Bewegungs­ richtung betrug 0,2 mm, der Abstand der Kompressorschaufeln 6 von der Gehäusewand 2 0,5 mm und das Material des Gehäuses war Grauguß GG 20. Der Sensor in Form eines Stabmagneten 9 und einer Induktionsspule 10 war in einer zum Innenraum 5 offenen Bohrung 11 bündig eingesetzt, und die gemessenen In­ duktionssignale mit einem Faktor von 100 bis 200 verstärkt.

Das obere Meßsignal (b) zeigt den gemessenen Induktionsspan­ nungsverlauf in der Induktionsspule 10, wobei man bei Bewe­ gung einer Kompressorschaufel 6 am Magneten 9 bzw. an der Induktionsspule 10 vorbei ein Signal erhält. Die untere Meß­ kurve (a) in Fig. 5 zeigt das meßtechnisch weiterverarbeite­ te Meßsignal, was leicht auszuwerten ist. Aus der Zeitspanne δt zwischen zwei Meßsignalen und der Anzahl der Schaufeln ergibt sich die Drehzahl.

In dem Diagramm der Fig. 6 sind mehrere weiterverarbeitete Meßsignale bei unterschiedlichen Drehzahlen f=2200 . . . 12 300 des Turboladers gezeigt. Die Kurvenform der einzelnen Meßsi­ gnale sind kompliziert und nicht gleich. Die Induktionsspule 10 stellt einen induktiven Widerstand dar, so daß die Kur­ venform eines Meßsignals auch von der Frequenz abhängt. Auch könnte sich der elektrische Widerstand im Stromkreis der In­ duktionsspule durch den Skineffekt bei höheren Frequenzen vergrößern. Auf die Meßgenauigkeit haben diese Effekte aber keinen Einfluß, solange man die Drehzahl f aus der Wieder­ holfrequenz des Meßsignals ermitteln kann.

Claims (12)

1. Verfahren zum Messen der Bewegung eines Teils (6) im Innenraum (5) eines Gehäuses (1) und nahe an der Innen­ oberfläche (4; 4′) einer Gehäusewand (2; 2′) vorbei, wobei ein i.w. rechtwinklig zur Bewegungsrichtung (8) des Teils (6) wirkendes Permanentmagnetfeld (B) auf den der Innenoberfläche (4; 4′) zugewandten, elektrisch leitenden Bereich des Teils (6) einwirkt und wobei beim Vorbeibewegen des Teils (6) Induktionssignale außerhalb des Innenraums (5) gemessen werden,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Permanentmagnetfeld (B) außerhalb des Innen­ raums (5) erzeugt wird und
daß die Dicke (d) des Teils (6) in dem der Innenober­ fläche (4; 4′) zugewandten Bereich in Bewegungsrichtung (8) des Teils (6) kleiner als 10 mm, vorzugsweise klei­ ner als 1 mm, besonders bevorzugt kleiner als 0,1 mm ist.

2. Meßverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gemessenen Meßsignale einzeln oder gruppenweise ausgewertet werden.

3. Meßverfahren nach Anspruch 1 oder 2 zum Messen der Drehzahl eines Turboladers.

4. Meßanordnung zum Messen der Bewegung eines Teils (6), insbesondere zur Durchführung des Meßverfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
mit einem sich im Innenraum (5) und nahe an der Innen­ oberfläche (4; 4′) einer Gehäusewand (2; 2′) vorbeibe­ wegenden Teil (6),
mit einem Permanentmagneten (9; 14), dessen Magnetfeld (B) auf den der Innenoberfläche (4; 4′) zugewandten, elektrisch leitenden Bereich des Teils (6) einwirkt,
und mit einem Sensor (10; 15), der beim Vorbeibewegen des Teils (6) Induktionssignale außerhalb des Innen­ raums (5) mißt,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Permanentmagnet (9; 14) außerhalb des Innen­ raums (5) angeordnet ist und
daß die Dicke (d) des Teils (6) in dem der Innenober­ fläche (4) zugewandten Bereich in Bewegungsrichtung (8) des Teils (6) kleiner als 10 mm, vorzugsweise kleiner als 1 mm, besonders bevorzugt kleiner als 0,1 mm ist.

5. Meßanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) in einer zum Innenraum (5) offenen Öffnung (11) der Gehäusewand (2′) angeordnet ist.

6. Meßanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9) in der Öffnung (11) von nicht-magne­ tischem Material (12), vorzugsweise von hitzebeständi­ gem Kunststoff, umgeben ist.

7. Meßanordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Magnet (9) zu der Innenoberfläche (4′) der Gehäusewand (2′) bündig oder gegenüber der In­ nenoberfläche (4′) in der Öffnung (11) zurückversetzt angeordnet ist.

8. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (11) bündig zur Innen­ oberfläche (4′) der Gehäusewand (2′) durch nicht-magne­ tisches Material (12), vorzugsweise durch temperaturbe­ ständiges Kunstharz, verschlossen ist.

9. Meßanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gehäusewand (2) aus nicht-magnetischem Material besteht und daß der Magnet (9; 14) auf der Außenober­ fläche (3) der Gehäusewand (2) angebracht ist.

10. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (10; 15) eine Indukti­ onsspule ist, die den Magneten (9; 14) umgibt oder die getrennt vom Magneten (9; 14) angeordnet ist.

11. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (9; 14) ein Stabmagnet, oder ein Hufeisenmagnet, ist.

12. Verwendung der Meßanordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 11 zur Messung der Drehzahl eines Turboladers.