DE19548405A1

DE19548405A1 - Belichtungsvorrichtung zum Ausbilden von Black-Matrices in Kathodenstrahlröhren

Info

Publication number: DE19548405A1
Application number: DE19548405A
Authority: DE
Inventors: Dong-Hee Han
Original assignee: Samsung Display Devices Co Ltd
Current assignee: Samsung SDI Co Ltd
Priority date: 1994-12-26
Filing date: 1995-12-22
Publication date: 1996-06-27
Also published as: CN1134598A; MY113741A; GB9526189D0; JPH08279338A; US5685760A; GB2296781A; KR960025943A; CN1052108C; KR100312698B1; JP2783990B2; GB2296781B

Description

Hintergrund der Erfindung Feld der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein eine Be lichtungsvorrichtung zum Fixieren einer Black-Matrix um den auf der Innenfläche einer CRT-Frontschale aufgebrachten Leuchtstoff herum und insbesondere eine strukturelle Ver besserung in einer solchen Belichtungsvorrichtung zum deut lichen Reduzieren der Fertigungszeit und Verbessern der Er tragsfähigkeit von CRTs.

Beschreibung des Standes der Technik

Das typische Verfahren zum Herstellen von Kathodenstrahl röhren (CRT) weist einen Schritt des Ausbildens und Anbrin gens einer Schattenmaske auf. Die Schattenmaske mit einer Dicke von 1-1,5 mm und mit einigen hunderttausend Streifen wird durch einen Preßvorgang ausgebildet, bevor die Schat tenmaske auf einer Glasplatte angebracht wird. Nach dem An bringen der Schattenmaske auf der Glasplatte wird ein Rei nigungsschritt zum Entfernen von Verunreinigungen, wie bei spielsweise Staub, der sich sowohl auf der Platte als auch auf der Schattenmaske abgesetzt hat, durchgeführt. Dem obigen Reinigungsschritt folgt ein Schritt zur Ausbildung einer Black-Matrix. In dem Schritt zur Ausbildung einer Black-Matrix wird Polyvinylalkohol (PVA) auf der Innen fläche der Platte aufgebracht. Die Platte mit sowohl der Schattenmaske als auch dem PVA wird wiederum belichtet, um dadurch eine Black-Matrix auf der Platte zu fixieren. An schließend wird ein Schritt zum Ausbilden einer Leucht schicht durchgeführt. In diesem Schritt wird ein roter, ein grüner und ein blauer Leuchtstoff auf der Innenfläche der Platte aufgebracht und fixiert und somit eine Leuchtschicht auf der Innenfläche der Platte ausgebildet. Dem obigen Schritt zum Ausbilden einer Leuchtschicht folgt ein Vakuum- Abscheidungsschritt, in welchem auf der Leuchtschicht eine Reflexionsschicht abgeschieden wird. Anschließend wird ein Schritt zur Röhrenausbildung durchgeführt. In diesem Schritt wird ein Glastrichter luftdicht an der obigen Platte befestigt. Dem Schritt zur Röhrenausbildung folgt ein Schritt des Anordnens einer Elektronenkanone, welche im Hals des Trichters eine Vielzahl von Gittern und Kathoden aufweist. Die Röhre wiederum wird vor einem Abdichten der Röhre evakuiert. Das CRT-Fertigungsverfahren endet mit einem Kontrollschritt, in welchem verschiedene Leistungsdaten des sich ergebenden CRT überprüft werden, nachdem der befestigte Abschnitt zwischen der Platte und dem Trichter zur Verhinderung einer inneren Explosion bandagiert wurde.

In dem obigen CRT-Fertigungsverfahren wird zum Ausbilden der Black-Matrix auf der Innenfläche der Platte eine Be lichtungsvorrichtung verwendet. Ein Beispiel der typischen Belichtungsvorrichtung ist in Fig. 1 gezeigt. Wie in der Zeichnung dargestellt, umfaßt die Belichtungsvorrichtung eine Belichtungsquelle 2 aus einer auf der Innenwand eines Gehäuses 1 angebrachten Quecksilberdampflampe. Über der Lichtquelle 2 in dem Gehäuse 1 ist eine bewegliche Ver schlußeinrichtung 3 zum teilweisen Abschneiden des von der Lichtquelle 2 emittierten Lichtes angeordnet. Rot-, Grün- und Blau-Kompensationslinsen 4, welche das durch die Ver schlußeinrichtung 3 hindurchgehende Licht durch Brechung kompensieren, sind auf einem durch einen Motor 5 angetrie benen Drehtisch fest angebracht.

Die obige Belichtungsvorrichtung umfaßt zudem ein Filter 6. Dieses Filter 6 ist über den Kompensationslinsen 4 angeord net und wird zum Steuern der Belichtungsintensität des emittierten Lichtes verwendet. Die Oberseite des Gehäuses 1 hat eine Öffnung 1a. Eine Platte P, welche dem von der Lichtquelle 2 emittierten Licht ausgesetzt ist, sitzt auf der Öffnung 1a. Auf der Innenfläche der Platte P ist eine Schattenmaske M mit einigen hunderttausend Streifen aufge bracht.

Wenn die Platte P, welche auf ihrer Innenfläche mit PVA versehen ist und auf dem PVA mit der Schattenmaske M verse hen ist, auf der Öffnung 1a des Gehäuses 1 sitzt, wie in Fig. 1 gezeigt, wird das von der Lichtquelle 2 emittierte Licht auf die Innenfläche der Platte P gelenkt, nachdem es durch die Verschlußeinrichtung 3, die Kompensationslinsen 4 und das Filter 6 hindurchgegangen ist. Das auf die Innen fläche der Platte P abgelenkte Licht geht durch die Strei fen der Schattenmaske M hindurch, um den PVA zu fixieren und dadurch die Black-Matrix auf der Innenfläche der Platte auszubilden.

In der obigen Belichtungsvorrichtung müssen die Rot-, Grün- und Blau-Kompensationslinsen 4 in geeigneter Weise gedreht werden, um so vor dem Belichtungsvorgang ein optisches System zu bilden. Deshalb braucht der die obige Vorrichtung verwendende Belichtungsprozeß viel Zeit und reduziert damit die Produktivität deutlich. Da es zudem unmöglich ist, die Qualität der sich ergebenden Black-Matrices gleichmäßig zu erhalten, ist der Qualitätsunterschied der Produkte im Streuungsdiagramm der Produkte auffallend.

In einem Versuch, dem obigen Problem abzuhelfen, schlägt die japanische Offenlegungsschrift Nr. Heisei. 4-22043 eine Belichtungsvorrichtung vor, die dazu geeignet ist, ganz allgemein zum Ausbilden verschiedener Typen von Black- Matrices von Farb-CRTs verwendet zu werden.

Die obige japanische Belichtungsvorrichtung ist in Fig. 2 gezeigt. Wie in dieser Zeichnung dargestellt ist, umfaßt die Vorrichtung ein Plattenausrichtungsteil 7, auf welchem eine Platte P mit Schattenmaske M so sitzt daß sie genau ausgerichtet ist. Die obige Vorrichtung umfaßt zudem zwei Linsentypen, das heißt, eine erste Linse 8a und zweite Lin sen 8b. Die erste Linse 8a wird durch Zusammensetzen zweier optischer Belichtungssysteme in ein optisches System gebil det und wird gemeinsam für die Primärfarben R, G und B ver wendet. Die zweiten Linsen 8b werden ausschließlich für die jeweiligen Primärfarben verwendet. Die zweiten Linsen 8b werden auf einem austauschbaren Linsenhalter 8 gehalten, welcher die Position der zweiten Linsen 8b in Übereinstim mung mit Black-Matrix-Typen gegenüber sowohl der Platte P als auch der Lichtquelle verändert. Die Vorrichtung umfaßt ferner eine Lichtquellen-Antriebseinheit 9, welche die Po sition der Lichtquelle in Übereinstimmung mit Black-Matrix- Typen verstellt. Mit der obigen Konstruktion setzt die Be lichtungsvorrichtung die Innenfläche der Platte P in geeig neter Weise dem von der Lichtquelle emittierten Licht aus, um dadurch verschiedene Typen von Black-Matrices ausgebildet werden.

Die obige japanische Belichtungsvorrichtung wechselt zwar in Übereinstimmung mit den auszubildenden verschiedenen Typen von Black-Matrices mit unterschiedlichen Größen die Linsen 8b etwas einfacher. Die R, G und B-Belichtungspro zesse unter Verwendung der obigen Vorrichtung sollen jedoch ausgeführt werden, während sich der Linsenhalter 8 bewegt, um die ausschließlich für die jeweiligen Primärfarben ver wendeten zweiten Linsen 8b anzuordnen. Der Belichtungspro zeß braucht somit viel Zeit und reduziert dadurch die Pro duktivität. Die obige Belichtungsvorrichtung scheitert auch daran, die Qualität der sich ergebenden Black-Matrices gleichförmig zu gestalten, so daß der Qualitätsunterschied der Produkte im Streuungsdiagramm der Produkte auffällig ist.

Zusammenfassung der Erfindung

Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Belichtungsvorrichtung für CRTs zu schaffen, in welcher die obigen Probleme überwunden werden können und welche die Belichtungsprozesse in der Reihenfolge von G, B und R-Belichtungsprozessen ausführt, um dadurch die Belich tungszeit deutlich zu reduzieren und die Produktivität zu verbessern.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Belichtungsvorrichtung für CRTs zu schaffen, welche gleich mäßige Black-Matrices ausbildet, und dadurch die Qualität der Produkte gleichförmig gestaltet.

Um die obige Aufgabe zu lösen, schafft die vorliegende Er findung eine Belichtungsvorrichtung zum Fixieren von Black- Matrices eines gegebenen Musters auf Innenflächen einer Platte, mit: einer Grün-, einer Blau- und einer Rot-Belich tungseinheit, die in einem Gehäuse nacheinander angeordnet sind, wobei jede Belichtungseinheit eine Lichtquelle, eine Verschlußeinrichtung zum teilweisen Abschneiden des von der Lichtquelle emittierten Lichtes, eine Kompensationslinse zum Kompensieren des durch die Verschlußeinrichtung hin durchgehenden Lichtes durch Brechung und ein Filter zum Steuern der Leuchtintensität des Lichtes aufweist; einer Einrichtung zum wahlweisen Einspannen einer Mehrzahl von auf den Belichtungseinheiten sitzenden Platten; und einer Einrichtung zum Fortbewegen der durch die Einspanneinrich tung eingespannten Platten um einen Pitch.

Die obige Belichtungsvorrichtung setzt eine Mehrzahl von Platten mit Schattenmasken einem G-, B- und R-Licht aus, während sich die Platten um einen Pitch fortbewegen, wo durch Black-Matrices auf den Innenflächen der Platten aus gebildet werden. Da die Belichtungsvorrichtung die Platten dem Licht aussetzt, während sich die Platten um einen Pitch fortbewegen, spart die Vorrichtung deutlich Fertigungszeit und reduziert Kosten. In der Belichtungsvorrichtung werden die Platten dem Licht unter den gleichen Bedingungen ausge setzt. Deshalb vereinheitlicht die Vorrichtung die Qualität der auf den Innenflächen der Platten ausgebildeten Black- Matrices und vereinheitlicht dadurch die Qualität der Fer tigprodukte.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Die obige und weitere Aufgaben, Merkmale und weitere Vor teile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgen den, detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den bei gefügten Zeichnungen besser verständlich. Es zeigen:

Fig. 1 eine Schnittansicht, die die Konstruktion einer Aus führungsform der typischen Belichtungsvorrichtung wieder gibt;

Fig. 2 eine Schnittansicht, die die Konstruktion einer wei teren Ausführungsform der typischen Belichtungsvorrichtung wiedergibt;

Fig. 3 eine Schnittansicht, die die Konstruktion einer Be lichtungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungs form der vorliegenden Erfindung wiedergibt; und

Fig. 4 eine Draufsicht der Belichtungsvorrichtung der vor liegenden Erfindung.

Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen.

Die Fig. 3 und 4 zeigen eine Belichtungsvorrichtung für CRTs in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Ausführungs form der vorliegenden Erfindung.

In den Zeichnungen bezeichnet das Bezugszeichen 10 ein Ge häuse der Belichtungsvorrichtung. Eine Mehrzahl von Belich tungseinheiten 20, 30 und 40 sind in dem Gehäuse 10, in je der Zeichnung von links nach rechts, in der Reihenfolge ei ner Grün-Belichtungseinheit 20, einer Blau-Belichtungsein heit 30 und einer Rot-Belichtungseinheit 40 angeordnet. Die Grün-Belichtungseinheit 20 umfaßt eine Lichtquelle 21, eine Verschlußeinrichtung 22, eine Kompensationslinse 23 und ein Filter 24, welche in der Einheit 20 ordnungsgemäß angeord net sind. Die Verschlußeinrichtung 22 schneidet das von der Lichtquelle 21 emittierte Licht teilweise ab. Die Kompensa tionslinse 23 kompensiert durch Brechung das durch die Ver schlußeinrichtung 22 hindurchgehende Licht. Das Filter 24 regelt die Leuchtintensität des emittierten Lichtes. Das von der Lichtquelle 21 emittierte Licht geht durch eine Öffnung 20a der Einheit 20 hindurch und wird wiederum auf die Innenfläche einer Platte P mit einer Schattenmaske M gelenkt, wobei die Platte P auf der Öffnung 20a sitzt. Des halb belichtet die Einheit 20 die Platte mit grünem Licht.

In der gleichen Weise, wie für die Grün-Belichtungseinheit 20 beschrieben, umfaßt die Blau-Belichtungseinheit 30, wel che an einer Seite der Grün-Belichtungseinheit 20 angeord net ist, eine Lichtquelle 31, eine Verschlußeinrichtung 32, eine Kompensationslinse 33 und ein Filter 34, welche in der Einheit 30 ordnungsgemäß angeordnet sind. Das von der Lichtquelle 31 emittierte Licht geht durch eine Öffnung 30a der Einheit 30 hindurch und wird wiederum auf die Innenflä che einer Platte P gelenkt, wobei die Platte P auf der Öff nung 30a sitzt. Deshalb belichtet die Einheit 30 die Platte P mit blauem Licht. Ebenso wie bei den obigen Einheiten 20 und 30 umfaßt die Rot-Belichtungseinheit 40, welche an einer Seite der Blau-Belichtungseinheit 30 angeordnet ist, eine Lichtquelle 41, eine Verschlußeinrichtung 42, eine Kompensationslinse 43 und ein Filter 44, welche in der Ein heit 40 ordnungsgemäß angeordnet sind. Das von der Licht quelle 41 emittierte Licht geht durch eine Öffnung 40a der Einheit 40 hindurch und wird wiederum auf die Innenfläche einer Platte P gelenkt, wobei die Platte P auf der Öffnung 40a sitzt. Deshalb belichtet die Einheit 40 die Platte P mit rotem Licht.

Die obige Belichtungsvorrichtung umfaßt zudem einen An fangs- und End-Plattenwarteabschnitt 50 bzw. 51, welche jeweils an entgegengesetzten Enden des Gehäuses 10 angeord net sind. Auf dem im Eingangsende der Vorrichtung vorgese henen Anfangswarteabschnitt 50 liegt die Platte P bereit, um zu der Grün-Belichtungseinheit 20 geführt zu werden. Auf dem im Ausgangsende der Vorrichtung vorgesehenen Endwarte abschnitt 51 liegt die aus der Rot-Belichtungseinheit 40 kommende Platte P bereit, um einem nachfolgenden Prozeß zu geführt zu werden. An einer Seite des Anfangswarteabschnit tes 50 ist eine Plattenzuführung-Fördereinheit 52 angeord net, welche die Platte P mit auf ihrer Innenfläche aufge brachtem PVA dem Anfangswarteabschnitt 50 zuführt. Eine Plattenverteilung-Fördereinheit 53, welche die aus der Rot- Belichtungseinheit 40 kommende Platte P einem nachfolgenden Prozeß zuführt, ist an einer Seite des Endwarteabschnittes 51 der Vorrichtung angeordnet.

Ein Paar Einspanneinheiten 60 sind jeweils an gegenüberlie genden Seiten der obigen Belichtungsvorrichtung in Längs richtung angeordnet, wie in Fig. 4 gezeigt. Die Einspann einheiten 60 spannen die Mehrzahl von auf den Einheiten 20, 30 und 40 und auf den Warteabschnitten 50 und 51 positio nierten Platten P nicht nur ein, sondern führen die Platten P auch zu der Plattenverteilung-Fördereinheit 53.

Jede Einspanneinheit 60 umfaßt einen Antriebsteil 61, der mit einer Stellstange 61a versehen ist. Diese Stange 61a bewegt sich geradlinig in einer Richtung rechtwinklig zur Achse der Belichtungsvorrichtung, wie mit den Pfeilen in Fig. 4 gezeigt wird. An einem Ende der Stange 61a ist ein Pendelrahmen 62 befestigt. Der Pendelrahmen 62 ist an der Seite der Belichtungsvorrichtung in Längsrichtung positio niert und bewegt sich in Übereinstimmung mit einer geradli nigen Bewegung der Stange 61a geradlinig innerhalb eines gegebenen Bereiches. Jede Einspanneinheit 60 umfaßt zudem eine Mehrzahl von in regelmäßigem Abstand zueinander lie genden Einspannteilen 63, welche auf der Innenfläche des Pendelrahmens 62 angebracht sind. Wenn sich der Pendelrah men 62 in bezug zur Seite der Vorrichtung geradlinig be wegt, werden die Einspannteile 63 entweder in elastischen Kontakt mit den Seiten der Platten P gebracht oder von die sen getrennt.

Der Antriebsteil 61 jeder Einspanneinheit 60 umfaßt zudem eine Plattenvorschubeinrichtung 64. Diese Plattenvorschu beinrichtung 64 bewegt die Einspanneinheit 60 längs, in ei ner parallelen Richtung zur Achse der Vorrichtung, um da durch die durch die Einspannteile 63 eingespannten Platten P einmal um einen Pitch vorzubewegen. Die festgelegte Vor schubeinrichtung 64 umfaßt eine Stellstange 64a, welche sich unter der Steuerung der Vorschubeinrichtung 64 in einer zur Achse der Vorrichtung parallelen Richtung bewegt. Ein Ende der Stellstange 64a ist an einem Träger 65 befe stigt, welcher wiederum an dem Antriebsteil 61 befestigt ist.

Die Betriebsweise der obigen Belichtungsvorrichtung wird nachfolgend beschrieben.

Eine Mehrzahl von Platten P, von denen jede auf ihrer In nenfläche mit PVA in gegebener Dicke versehen ist und mit einer Schattenmaske mit einigen hunderttausend Streifen versehen ist, werden von einer Plattenzuführung-Förderein heit 52 nacheinander dem Anfangswarteabschnitt 50, der Grün-Belichtungseinheit 20, der Blau-Belichtungseinheit 30 und der Rot-Belichtungseinheit 40 zugeführt. Wenn eine Platte P auf der Öffnung 20a der Grün-Belichtungseinheit 20 angeordnet ist, geht das von der Lichtquelle 21 emittierte Licht durch die Verschlußeinrichtung 22, die Kompensations linse 23 und das Filter 24 hindurch und wird wiederum auf die Innenfläche der Platte P gelenkt. Deshalb wird die Platte P mit grünem Licht belichtet. In diesem Fall werden die Lichtbrechung und Leuchtintensität gesteuert, während das Licht durch die Verschlußeinrichtung 22, die Kompensa tionslinse 23 und das Filter 24 hindurchgeht.

Wenn die Platte P auf der Öffnung 30a der Blau-Belichtungs einheit 30 zu liegen kommt, geht das von der Lichtquelle 31 emittierte Licht durch die Verschlußeinrichtung 32, die Kompensationslinse 33 und das Filter 34 hindurch und wird wiederum auf die Innenfläche der Platte P gelenkt. Die Platte P wird somit dem blauen Licht ausgesetzt. In diesem Fall werden die Lichtbrechung und die Leuchtintensität ge steuert, während das Licht durch die Verschlußeinrichtung 32, die Kompensationslinse 33 und das Filter 34 hindurch geht. In der gleichen Weise, wie für die obigen Einheiten 20 und 30 beschrieben, geht, wenn die Platte P auf der Öff nung 40a der Rot-Belichtungseinheit 40 zu liegen kommt, das von der Lichtquelle 41 emittierte Licht durch die Ver schlußeinrichtung 42, die Kompensationslinse 43 und das Filter 44 und wird wiederum auf die Innenfläche der Platte P gelenkt. Die Platte P wird somit dem roten Licht ausge setzt. In diesem Fall werden die Lichtbrechung und die Leuchtintensität gesteuert, während das Licht durch die Verschlußeinrichtung 42, die Kompensationslinse 43 und das Filter 44 hindurchgeht.

In dem obigen Belichtungsprozeß wird die Innenfläche der Platte P in der Grün-Belichtungseinheit 20 dem grünen Licht ausgesetzt und anschließend in der Blau-Belichtungseinheit 30 dem blauen Licht ausgesetzt. Die Platte P wiederum wird in der Rot-Belichtungseinheit 40 dem roten Licht ausge setzt. In der letzten Belichtungseinheit bzw. der Rot-Be lichtungseinheit 40 wird, während die Platte P dem roten Licht ausgesetzt wird, eine Black-Matrix mit dem gleichen Muster wie den Streifen der Schattenmaske M auf der Innen fläche der Platte ausgebildet.

In dem obigen Belichtungsverfahren bewegen sich die Ein spanneinheiten 60 auf beide Seiten der Platten P zu, um da durch zu bewirken, daß die Einspannteile 63 der Einheiten 60 mit beiden Seiten der Platten P in elastischen Kontakt kommen. Die Einspanneinheiten 60 im obigen Zustand bewegen sich in den Zeichnungen nach links, um die auf den Warteab schnitten 50 und 51 und auf den Einheiten 20, 30 und 40 aufliegenden Platten um einen Pitch in Axialrichtung der Belichtungsvorrichtung zu bewegen.

Das heißt, die Antriebsteile 61 der Einspanneinheiten 60 beginnen damit, die Stellstangen 61a gegen beide Seiten der Platten P vorzubewegen, um dadurch die Pendelrahmen 62 auf beide Seiten der Platten P zuzubewegen. Die auf den Innen flächen der Pendelrahmen 62 angebrachten Einspannteile 63 kommen so in festen Kontakt mit beiden Seiten der Platten P und spannen dadurch die Platten P ein. Anschließend bewegen sich die Stellstangen 64a der Plattenvorschubeinrichtung 64 in den Zeichnungen nach rechts und bewegen somit sowohl die Antriebsteile 61 als auch die Pendelrahmen 62 um einen Pitch nach rechts. Deshalb bewegen sich durch die Einspann teile 63 eingespannten Platten P um einen Pitch nach rechts.

Nachdem sich die Platten P um einen Pitch auf die Warteab schnitte 50 und 51 und auf die Belichtungseinheiten 20, 30 und 40 bewegt haben, wie oben beschrieben, bewegen sich die Stellstangen 61a der Antriebsteile 61 zurück, um die Plat ten P von den Einspannteilen 63 zu lösen. Die Platten P sind somit auf den Warteabschnitten 50 und 51 und auf den Belichtungseinheiten 20, 30 und 40 abgesetzt. Anschließend ziehen sich die Stellstangen 64a der Zuführeinrichtung 64 zurück, um die Pendelrahmen 62 in ihre Ausgangspositionen zurückzubringen.

In dem obigen Plattenvorschubschritt bewegt sich die Platte P auf der Plattenzuführung-Fördereinheit 52 auf den An fangswarteabschnitt 50. Indessen bewegt sich die vollstän dig belichtete Platte P auf dem Endwarteabschnitt 51 auf die Plattenverteilung-Fördereinheit 53, um so einem nach folgenden Prozeß zugeführt zu werden.

Wie oben beschrieben, liefert die vorliegende Erfindung ei ne Belichtungsvorrichtung für CRTs, die eine Mehrzahl von Platten mit Schattenmasken einem G, B und R-Licht aussetzt, während die Platten um einen Pitch weiterbewegt werden, um dadurch Black-Matrices auf den Innenflächen der Platten auszubilden. Da die Belichtungsvorrichtung die Platten dem aussetzt, spart die Vorrichtung deutlich Fertigungszeit und reduziert Kosten. In Übereinstimmung mit der obigen Belich tungsvorrichtung werden die Platten dem Licht unter den gleichen Bedingungen ausgesetzt. Deshalb vereinheitlicht die Vorrichtung die Qualität der auf den Innenflächen der Platten ausgebildeten Black-Matrices und vereinheitlicht dadurch die Qualität der Fertigprodukte.

Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung in darstellender Absicht offenbart wurden, werden Fachleute erkennen, daß verschiedene Modifikationen, Hinzu fügungen und Austauschungen möglich sind, ohne den Schutz bereich und den Gedanken der Erfindung, wie er in den bei gefügten Ansprüchen offenbart ist, zu verlassen. Zum Bei spiel kann die vorliegende Erfindung außer an den oben be schriebenen Belichtungsprozeß zum Ausbilden von Black- Matrices auf den Platten auch an einen Belichtungsprozeß zum Fixieren von G-, B- und R-Leuchtstoffen angepaßt sein.

Claims

1. Belichtungsvorrichtung zum Fixieren von Black-Matrices eines gegebenen Musters auf Innenflächen einer Platte (P), mit:
einer Grün-, einer Blau- und einer Rot-Belichtungseinheit (20; 30; 40), die in einem Gehäuse (10) nacheinander ange ordnet sind, wobei jede Belichtungseinheit eine Lichtquelle (21; 31; 41), eine Verschlußeinrichtung (22; 32; 42) zum teilweisen Abschneiden des von der Lichtquelle emittierten Lichtes, eine Kompensationslinse (23; 33; 43) zum Kompen sieren des durch die Verschlußeinrichtung hindurchgehenden Lichtes durch Brechung und ein Filter (24; 34; 44) zum
Steuern der Leuchtintensität des Lichtes aufweist; einer Einrichtung (60, 61, 62, 63) zum wahlweisen Einspan nen einer Mehrzahl von auf den Belichtungseinheiten (20; 30; 40) sitzenden Platten (P); und
einer Einrichtung (64) zum Bewegen der durch die Einspan neinrichtung eingespannten Platten (P) um einen Pitch.

2. Belichtungseinheit gemäß Anspruch 1, ferner mit einem Anfangs- und einem End-Warteabschnitt (50; 51), auf welchen Platten (P) jeweils vor einer Belichtung bzw. nach einer Belichtung bereitliegen, um der Grün-Belichtungseinheit (20) zugeführt zu werden bzw. einem nachfolgenden Prozeß zugeführt zu werden, wobei der Anfangs- bzw. End-Warteab schnitt (50; 51) vor der Grün-Belichtungseinheit (20) bzw. hinter der Rot-Belichtungseinheit (40) angeordnet ist.

3. Belichtungsvorrichtung gemäß Anspruch 1, in welchem die Einspanneinrichtung (60, 61, 62, 63) in jeder Seite der Be lichtungsvorrichtung angeordnet ist und umfaßt:
einen Antriebsteil (61) mit einer geradlinig bewegbaren Stellstange (61a); und
einen Pendelrahmen (62) in Längsrichtung, der mit der Stellstange (61a) verbunden ist und mit einer Mehrzahl von Einspannteilen (63) versehen ist, wobei die Einspannteile (63) in Übereinstimmung mit einer geradlinigen Bewegung der Stellstange (61a) wahlweise in festen Kontakt mit Seiten der Platten (P) gebracht werden.