JPH0422043A - カラー陰極線管のブラックマトリクス膜形成用複数品種共用型露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、大形なカラー陰極線管のブラックマトリクス
膜を形成させるための露光作業を、比較的／ＪＳさく軽
いレンズと光源の位置変更により、複数品種夫々に適切
に対応じて行えるようにしたカラー陰極線管のブラック
マトリクス膜（以後Ｂ　Ｍ膜と略称する）形成用複数品
種共用型露光装置に関する。

［従来の技術］ 近年、カラー陰極線管（例えば特開昭５９−２１５６４
０号公報）は大形なものが好まれるようになり、しかも
種々仕様の異なったものが要求されるようになったので
、製造工程で使用する装置は、複数品種に対応じて、そ
れぞれ、適切な作業が出来るように、なるへく容易に切
替えられることが望ましい。

ホトリソグラフィ技術によりカラー陰極線管の画像表示
コントラスト向上に必須なりＭ膜を形成させるための露
光作業（実際にはパネル内面に先ずポジ形ホトレジスト
膜を塗布し、此のホトレジスト膜の螢光体膜を配設すべ
き位置を本装置によりシャドウマスクを介して露光する
と其処のホトレジスト膜が固化して現像後も残留する、
この残留ホトレジスト膜の上を含めてパネル内面全面に
ＢＭ膜を形成させた後、ホトレジスト膜をエッチすると
残留ホトレジスト膜上のＢＭ膜は土台のホトレジスト膜
と共にリフトオフされ、パネル内面に直接固着している
ＢＭ膜だけ残留してＢＭ膜の螢光体を配設すべき位置に
はＢＭ膜開開口部形成される）についても同様なことが
要求されている。

従来はＢＭＭ形成用露光装置は主として単品種専用型が
用いられており、複数品種に共用できるカラー陰極線管
のＢＭＭ形成用露光装置は従来は比較的少数の場合につ
いてのみ用いられているに過ぎなかった。そのような従
来の共用型ＢＭＭ形成用露光装置の場合は、光源からレ
ンズに至る部分がその侭複数品種に共用できるように構
成されており、レンズからパネルに至る距離を品種に応
じて変更する、即ちパネル位置を品種に応じて変更する
ことによって、複数品種に対応するようになっていた。

［発明が解決しようとする課題］ 周知のように、大形なカラー陰極線管では、ガラス製の
パネルはインプローション防止、安全保持の必要から、
ガラス肉厚をかなり厚くしであるので、その重量は予想
外に重くなる。３３型とか３５型のカラー陰極線管とも
なると、上記Ｂ　Ｍ膜を形成させるための露光作業に際
して、パネルを支持して確実に所定位置に保持するため
のパネル位置決め部も大形で非常に重量の大きいものと
ならざるを得ない。

そのような大形で非常に重いパネル位置決め部の位置を
変更する（実際には上下に移動させる）にはジヤツキボ
ルトを使用して実行しなければならず、調整作業に多大
な手間がかかり、複数品種に共用可能な従来のＢＭＭ形
成用露光装置の品種切替作業は容易ではなかった。

本発明は、複数品種に対応するための品種切替作業を、
比較的容易に短時間で行えるようにしたカラー陰極線管
のＢＭＭ形成用複数品種共用型露光装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために本発明においては、内部にシ
ャドウマスクを組合せたパネルを載置して定位置に支持
するパネル位置決め部と、露光用光学系の２枚組合せて
用いる各原色共通の第１レンズと各原色夫々に専用の第
２レンズの、パネル及び光源に対する相対位置を、品種
に応じて夫々変更できるようにした交換形レンズホルダ
と、光源位置を品種に応じて移動させる光源即動部とで
、ＢＭＭ形成用露光装置を形成させることにした。

すなわち、大きくて重いパネル位置決め部は品種切替に
際して位置を変えず固定した侭とし、その代りに、比較
的軽量で小型な、レンズや光源の位置を変更することに
よって品種切替を行うようにしたのである。

［作用コ 上記のようにすることによって、光源から第１レンズと
第２レンズを組合せたレンズ系までの距離は品種切替に
際し、従来と同様、実質的には変わらず、レンズ系から
パネルまでの距離が品種に応じて切り換えられることに
なる。また、レンズの上下位置の変更に際しては、レン
ズを支持するレンズホルダを夫々の品種に対応させて変
更するだけなので、レンズの上下位置の変更は極めて容
易である。更に、各原色夫々に専用の第２レンズは、露
光に際して夫々の色によって水平面内の異なる位置で使
用する必要があるので、単色専用の露光装置でも、第２
レンズを露光に用いない時に置いておく控えの位置から
露光位置へ水平移動させるためのスライド手段が設置し
であるが、このスライド手段はそのまま複数品種に共用
し、スライド手段に各品種夫々に対応した第２レンズ用
レンズホルダを載置することによって第２レンズの品種
対応上下位置切替を行う。レンズはパネルに比較して遥
かに軽量であるから、品種に対応したレンズの変更は極
めて容易に実行できる。

「実施例コ 第１図は本発明一実施例の概略側面図で、１はパネル位
置決め部、２は第２レンズ移動部、３はランプハウス、
４は光ｇ駆動部、１３はハウジングである。パネル位置
決め部１はハウジング１３に固定しである。ランプハウ
ス３は光源能動部４に取付けられ１図示してないアクチ
ュエータとスペーサによって上下に移動される。

第２図は、各原色夫々に専用の第２レンズについて、そ
れぞれ、露光位置５と、他の色の露光作業を行っている
間の、赤色用レンズホルダ６の控えの位置、青色用レン
ズホルダ７の控えの位置、緑色用レンズホルダ８の控え
の位置を示す上面図である。緑色用レンズホルダ８は控
えの位置から第２図中で直上に（実際には水平面内）露
光位置５に移動させて露光に使用する。赤色用レンズホ
ルダ６は控えの位置から露光位置５の方へ第２図中で右
へ移動させて露光に使用するが、実際の露光位置は緑色
の場合よりは第２図中で僅かに左にずれた位置（赤色用
電子ビーム位置と緑色用電子ビム位置の差に対応したず
わ）に在る（赤色用レンズホルダ６は専用のスライド手
段を備えている）。

青色用レンズ７も同様に控えの位置から露光位置５の方
へ第２図中で左へ移動させて露光に使用するが、実際の
露光位置は緑色の場合よりも第２図中で僅かに右にずれ
た位置に在る。

第１図に示した本発明露光装置によって３３型カラー陰
極線管の８Ｍ膜形成のための露光を行うときの状態の、
第１図中のＡ−Ａ線から見た緑色用第２レンズ系の平面
図を第３図（ａ）に、その側面図を第３図（ｂ）に示す
。なお、ハウジングやランプハウスなどは図示を省略し
である。図中、５は第１レンズホルダ、８は緑色用レン
ズホルダ、９はレンズ枠ピン、１０はスライドブロック
、１１はスライドホルダ、１２はホルダ、１６は第１レ
ンズ、１７は緑色用第２レンズである。なお、この状態
では図示されていないランプハウス３は、光ｇ駆動部４
によって其のストローク−杯上方に配置されている。ま
た、各原色それぞれに、専用の第２レンズが設けられて
おり、第２図に関して説明したように何れも露光時には
控えの位置から露光位置に移動させて使用するが、説明
を簡単にするため、上記各回では緑色系だけについて説
明している。第１レンズホルダ５はレンズ枠ピン９に係
合して支持されており、此の場合は実際には第１レンズ
１６を支持しておらず、単に枠とじてスペーサ的に用い
られている。ホルダ１２は光源駆動部４のストロークと
同量の板厚をもっており、品種切替時に第１レンズ１６
をパネル位置決め部１の方へ其の板厚（光源駆動部４の
移動ストローク量に等しい）だけ近付ける。第２レンズ
について述へれば、３３型の露光に用いる緑色用レンズ
ホルダ８は平坦な形状をしており、緑色用レンズ専用の
スライド手段であるスライドブロック１０とスライドホ
ルダ１１に装着して、スライドブロック１０に案内され
て第２図に関して説明したように、其の上に緑色用第２
レンズ１７を載せて控えの位置から露光位置５に移動さ
れて露光に使用される。

第１図に示した本発明露光装置によって３５型カラー陰
極線管の８Ｍ膜形成のための露光を行うときの状態の、
第１図中のＡ−Ａ線から見た緑色用第２レンズ系の平面
図を第４図（ａ）に示し、その側面図を第４図（ｂ）に
示す。図中、８ａは緑色用レンズホルダで其の他の符号
は、第３図の場合と同様である。なお、この３５型管の
露光状態では、本図に図示されていないランプハウス３
は、光源駆動部４によって其のストローク−杯下方に配
置されている。また、この場合も説明を簡単にするため
、第２レンズ系については、緑色に関してだけ述へる。

３５型管露光のための緑色用レンズホルダ８ａのレンズ
載置面は、３３型用の場合の平坦な形状の緑色用レンズ
ホルダ８のしンズ載置面から光源駆動部・４のストロー
クと同量だけ下に落し込んだ形状になっており、このレ
ンズホルダをスライド手段であるスライドブロック１ｏ
とスライドホルダ１１に装着して使用する。

上記説明から、３３型管パネルの露光時と３５型管の露
光時とては、光源を収納したランプハウスから第１、第
２レンズよりなるレンズ系までの距離は相等しく、レン
ズ系からパネル位置決め部の支持面までの距離が、光源
駆動部のストロークと同量だけ異なり、３５型の場合は
３３型の場合よりも長くなっていることが判るであろう
。

なお、赤色用第２レンズや青色用第２レンズを、控えの
位置から露光位置に移動させるためにも、夫々其の色専
用のスライド手段が設置されおり、これらのスライド手
段のレンズホルダ装着位置に夫々の品種のための専用の
第２レンズホルダを装着し、其れに其の色専用の第２レ
ンズを載置して第２図に示すようにして露光に使用する
。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、複数品種の大形な
カラー陰極線管のＢ　Ｍ膜を形成させるための露光作業
を、比較的小さく軽いレンズと光源の位置を変更するこ
とにより、複数品種夫々に対応した適切な状態に容易に
切換えられる共用型露光装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の概略側面図、第２図は各原色
夫々に専用の第２レンズ夫々の露光位置と控えの位置の
配置や第２レンズを移動させて使用する方法を説明する
図、第３図（ａ）、（ｂ）は本発明装置による３３型管
ＢＭ膜形成用露光作業時のレンズホルダの使用状態を説
明する図、第４図（ａ）、（ｂ）は本発明装置による３
５型管ＢＭ膜形成用露光作業時のレンズホルダの使用状
態を説明する図である。 ｌ・・・パネル位置決め部、　２・・・第２レンズ移動
部、　３・・・ランプハウス、　４・・・光源睡動部、
５・・・露光位置、　６・・・赤色用レンズホルダ、　
７・・・青色用レンズホルダ、　　８・・・緑色用レン
ズホルダ、　　９・・・レンズ枠ピン、　　１０・スラ
イドブロック、１１・・・スライドホルダ、　　１２・
・・ホルダ。 １３　・ハウジング、　　１６・第１レンズ、　　１７
・・緑色用第２レンズ。 Ｃ 第 図 第 図 ［ｂｌ （ｂ） を 粥ｒＣｍ柘／レー／

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、内部にシャドウマスクを組合せたパネルを載置して
   定位置に支持するパネル位置決め部と、露光用光学系の
   ２枚組合せて用いる各原色共通の第１レンズと各原色夫
   々に専用の第２レンズの、パネル及び光源に対する相対
   位置を、品種に応じて夫々変更できるようにした交換形
   レンズホルダと、光源位置を品種に応じて移動させる光
   源駆動部とを備え、複数品種に対して夫々適切な露光作
   業が出来るようにしたことを特徴とするカラー陰極線管
   のブラックマトリクス膜形成用複数品種共用型露光装置
   。