DE2440575A1 - Belichtungsvorrichtung zur herstellung von farbbildroehren - Google Patents
Belichtungsvorrichtung zur herstellung von farbbildroehrenInfo
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Description
Belichtungsvorrichtung zur Herstellung von Farbbildröhren
Die Erfindung betrifft eine Belichtungsvorrichtung, insbesondere eine Belichtungsvorrichtung zur Herstellung eines fluoreszierenden
Schirmes einer Farbbildröhre.
Eine Farbbildröhre ist normalerweise so aufgebaut, daß ein fluoreszierender
Schirm, welcher auf der inneren Oberfläche der Frontscheibe der Röhre dadurch ausgebildet wird, daß eine Mehrzahl von
Phosphoren mit roter, blauer und grüner Farbe in Form von Punkten oder Streifen angeordnet werden, wahlweise über eine Farbwählelektrode
durch Elektronenstrahlen angeregt wird, welche von einer
Elektronenkanone ausgesandt werden, wodurch Farbbilder wiedergege-'
ben werden. Der fluoreszierende Schirm wird normalerweise wie folgt hergestellt. Zum Beispiel wird von einer Lichtquelle ausge-
sandtes Licht durch eine Korrekturlinse geschickt; welche dazu verwendet
wird, die beobachtete Lage der Lichtquelle richtigausteilen welche den auf der inneren Oberfläche der Frontplatte angeordneten
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fluoreszierenden Schirm mit Licht bestrahlt, nachdem dieses durch eine Parbwählelektrode (z.B. eine Schattenmaske) hindurchgetreten
is.t, welche in einem vorgegebenen Abstand von der Korrekturlinse . und in vorbestimmter Lage bezüglich des zu belichtenden fluoreszierenden
Schirmes angeordnet ist. Infolgedessen wird das auf den zugänglichen Abschnitt des fluoreszierenden Schirmes aufgebrachte
lichtempfindliche Material belichtet, so daß ein fluoreszierender Schirm mit der gewünschten Anordnung von Punkten oder Streifen gebildet
wird.
Die Abmessung der Punkte oder die Breite der Streifen, die so auf dem fluoreszierenden Schirm hergestellt werden, hängt von der Menge
des zum Belichten verwendeten Lichtes ab, welche ihrerseits durch die Lage der Punkte oder Streifen auf dem fluoreszierenden Schirm
bestimmt wird. Um eine solche Verteilung der Lichtintensität zu erhalten, welche erforderlich ist, um die Stellen des fluoreszierenden
Schirmes, an denen die Punkte oder Streifen erzeugt werden sollen, mit einer geeigneten Lichtmenge zu beleuchten, wird zwischen
der Lichtquelle und der Parbwählelektrode ein die Beleuchtungsstärke korrigierendes Filter mit einer bezüglich des zum Belichten
verwendeten Lichtes geeigneten Dichteverteilung angeordnet.
Obwohl das die Beleuchtungsstärke korregierende Filter mit der richtigen Beleuchtungsdichteverteilung im allgemeinen durch Vakuum
aufdampfen oder auf photografischem Wege hergestellt wird, ist es recht schwierig, die gewünschte Dichteverteilung zu erhalten.
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Insbesondere ist es sehr schwierig die Dichte des Filters lokal in
einem Bereich desselben fein einzustellen.
Da darüber hinaus die auf dem fluoreszierenden Schirm erwünschte Verteilung der Beleuchtungsstärke nicht immer symmetrisch ist,
müßte auch die Dichteverteilung des die Beleuchtungsstärke korregierenden Filters asymmetrisch sein, wenn es so gemacht werden soll,
daß es der gewünschten Verteilung der Beleuchtungsstärke entspricht, so daß die Zahl der Verfahrensschritte stark anwachsen würde, wenn
ein solches Helligkeitskorrekturfilter durch herkömmliche Vakuumaufdampft echnik oder auf photografisehern Wege hergestellt würde.
Ungeachtet einer großen Zunahme der Zahl der Verfahrensschritte kann trotzdem ein zufriedenstellendes Filter mit der gewünschten
Dichteverteilung nicht erhalten werden. Infolgedessen ist ein feines Einstellen der Dichte des Filters in einem gegebenen lokalen
Bereich desselben fast unmöglich, und daher hat man es für unmöglich gehalten, die Korrektur der Beleuchtungsstärke des zur Belichtung
verwendeten Lichtes auf dem fluoreszierenden Schirm unter Verwendung eines die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters zu erreichen.
In jüngster Zeit sind Farbbildröhren in den Handel gekommen (sogenannte
Röhren mit schwarzer Matrix), bei denen die Flächen des flu<j>reszierenden
Schirmes mit Ausnahme des von den Phosphorpunkten ode^
Phosphorstreifen eingenommenen Teils mit Graphit belegt sind. Bei Röhren dieses Typs ist es von größter Bedeutung, die Abmessungen
der Phosphorpunkte oder Phosphorstreifen so ideal gleichförmig wie
nur möglich zu machen, um das Auftreten von nicht gleichförmigem
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Weiß herabzusetzen, das darauf zurückzuführen ist, daß die Phosphorpunkte
oder Phosphorstrelfen als ganze zur Lumineszenz beitragen. Um die Abmessung der Phosphorpunkte oder Phosphorstreifen auf einem
bestimmten Wert zu halten, ist es notwendig, die Verteilung der Menge des zur Belichtung verwendeten Lichtes zu korrigieren. Aus
diesem Grunde ist es notwendig, die Dichteverteilung des Filters genauer einzustellen, als dies bisher geschah.
Demzufolge soll durch die Erfindung eine Belichtungsvorrichtung geschaffen werden, welche ein verbessertes, die Beleuchtungsstärke
korrigierendes Filter aufweist, welches die Herstellung von Phosphorpunkten
oder Phosphorstreifen einer Farbbildröhre erlaubt, die die richtige Gestalt und Abmessung haben.
Ferner soll durch die Erfindung eine Belichtungsvorrichtung geschaffen
werden, die ein die Beleuchtungsstärke korrigierendes Filter mit einer vorgegebenen Verteilung der durchgelassenen Lichtmenge
aufweist, bei dem die Menge des durchgelassenen Lichtes in verschiedenen Bereichen des Filters unterschiedlich ist.
Ferner soll durch die Erfindung eine verbesserte Belichtungsvorrichtung
geschaffen werden, die einen neuen und verbesserten Antrieb für das Korrekturfilter aufweist, durch welchen die Effektivität
der Helligkeitskorrektur durch das die Helligkeit korrigierende Filter erhöht wird.
Diese Ziele werden erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß eine Belichtungsvorrichtung
geschaffen wird, bei der eine Lichtquelle, ein
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die Beleuchtungsstärke korrigierendes Filter, eine Einrichtung zum
Schwenken des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters und eine Korrekturlinse in einem Gehäuse angeordnet sind, und bei der
eine mit einer Farbwählelektrode einer Farbbildröhre versehene Stirnplatte entfernbar auf dem Gehäuse angeordnet ist, welohe dem
von der Lichtquelle herkommenden, das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter und die Korrekturlinse durchsetzenden Licht ausgesetzt
werden soll, welche sich dadurch auszeichnet, daß das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter ein Substrat und eine Mehrzahl
von Bereichen aufweist, die unterschiedliche Transmissionscharakteristik
für Licht aufweisen und auf dem Substrat angeordnet sind, und daß die Bereiche gemäß einer vorgegebenen Helligkeit des
zum Belichten verwendeten Lichtes derart verteilt angeordnet sind, daß die optischen Eigenschaften durch die gemeinsame Wirkung der
Bereiche herbeigeführt werden, und die optischen Eigenschaften an den Grenzen zwischen den Bereichen im wesentlichen durch die
Schwenkbewegung des die Beleuchtungsstärke korregierenden Filters herausgemittelt werden, welche diesem durch die Schwenkeinrichtung
vermittelt wird, wodurch ein nachteiliger Einfluß auf die optischen Eigenschaften ausgeräumt wird.
Die Bereiche können die Form von Quadraten, Dreiecken oder Vielecken
haben, die in regelmäßigen Mustern, z.B. in Form eines Netzes angeordnet sind. Wahlweise können solche Bereiche dadurch gebildet
werden, daß eine Mehrzahl von Punkten auf dem Substrat in regelmässigen Abständen angeordnet werden, wobei die Punkte verschiedene
Größe aufweisen, oder in unterschiedliche« Abstand angeordnet wer-
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den, wobei die Punkte die gleiche Abmessung aufweisen. Diese Punkte
brauchen nicht ausschließlich kreisförmige Gestalt aufweisen, sie können jede andere zweckdienliche Form aufweisen, z.B. die eines
Buchstabens oder einer Zahl. Die Punkte weisen transparentes oder opakes Material auf, das mit einem dünnen Metallfilm, z.B. Aluminium
beschichtet ist.
Im folgenden wird ein AusfUhrungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme
auf die beiliegende Zeichnung erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Belichtungsvorrichtung;
Fig.Ib einen Längsschnitt durch eine andere Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Belichtungsvorrichtung;
Fig. 2 eine Ansicht einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Filters zur Helligkeitskorrektur von vorn gesehen;
Fig. 3 ein Schaubild, in dem ein Beispiel für die Filterdichteverteilung
des in Fig. 2 gezeigten Filters zur Helligkeitskorrektur dargestellt ist;
Fig. 4 eine Ansicht eines abgewandelten, erfindungsgemäßen Filters
zur Helligkeitskorrektur von vorn; und
Fig. 5 ein Beispiel für die Dichte der Punkte des in Fig. 4 gezeigten
Filters zur Helligkeitskorrektur.
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Eine bevorzugte, in Fig. la dargestellte AusfUhrungsform der erfindungsgemäßen
Belichtungsvorrichtung weist ein Hauptgehäuse 1, eine in dem vorbestimmten Bodenabschnitt des Gehäuses 1 angeordnete
Lichtquelle 2, ein die Beleuchtungsstärke korrigierendes Filter 3,
das im mittleren Abschnitt des Gehäuses 1 in vorgegebenen Abstand von der Lichtquelle 2 angeordnet ist, und eine Schwenkvorrichtung
auf, die mit dem die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filter 5 verbunden ist, um dieses zu schwenken. Eine Korrekturlinse 4 ist
in der Nähe des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters J
angeordnet, um das von der Lichtquelle 2 herkommende Licht auf einen Weg zu führen, welcher der Bahn des Elektronenstrahls in der
Farbbildröhre, wenn diese wirklich betrieben wird, nahe kommt. Die gegenseitige Lage des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters
und der Korrekturlinse wird gemäß den anfänglichen Konstruktionserfordernissen
der Belichtungsvorrichtung gewählt. Das zur Belichtung verwendete Licht A läuft dann längs eines vorgegebenen Lichtweges
A, so daß es einen fluoreszierenden Schirm, der als Belag auf der inneren Oberfläche einer Frontplatte 6 ausgebildet ist,
eine Farbwählelektrode 8 durchsetzend erreicht, wodurch das gewünschte Belichten erfolgt. . Wie Fig. Ib zeigt, in der gleiche Teile wie
die von Fig. la mit denselben Bezugsζeichen versehen sind, ist bei
einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Belichtungsvorrichtung
das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter zusammen mit der Korrekturlinse als ein Körper ausgebildet, wodurch die
Zahl der Teile der Vorrichtung vermindert wird, was zu einer Abnahme der Herstellungsschritte und zu einer Vereinfachung der Vorrichtung
und ihrer Bedienung führt.
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Pig. 2 zeigt eine Frontansicht eines AusfUhrungsbeispiels eines
Filters zur Helligkeitskorrektur, welches in der erfindungsgemäßen Belichtungsvorrichtung wie gezeigt verwendet wird. Die
Oberfläche des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters 21 wird von einer Kombination einer Mehrzahl von Filterteilen gebildet,
die das gewünschte Transmissionsvermögen für Licht aufweisen und aus kleinen GlasstUcken hergestellt wird, die z.B. in Form
eines Netzes angeordnet sind. Die wirksame Fläche des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters 21 ist also in eine Mehrzahl
kleiner, quadratischer Segmente X11 unterteilt, die in Form eines
Gitters angeordnet sind. Man stellt jeweils Filterteile x. .
(i, j β 1, 2, 3...η) her und ordnet diese so an, daß man ein vorgegebenes
Transmissionsvermögen für Licht erhält, welches von der Lage der Filtersegmente auf der wirksamen Oberfläche des Filters
abhängt. Die in Fig. 5 gezeigte Dichteverteilung der Segmente X11,
Xj2,...X^n des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters 21
längs einer Linie III - III wird somit durch eine charakteristische Kurve "aw von Fig. 3 dargestellt. Um längs der Schnittlinie III III
eine ideale Dichteverteilung zu erhalten, die in Fig. 5 durch die Kurve wb" dargestellt ist, müssen längs der Schnittlinie III III
Filterteile X11, X12,...X1n aufgestellt werden, die jeweils
eine mit der Dichte bei den jeweiligen Punkten vergleichbare Lichtdurchlässigkeit
aufweisen. Je kleiner solche Filterteile sind, umso genauer wird die Dichteverteilung des Filters 21.
Fig. 4 zeigt eine Frontansicht eines abgewandelten, die Beleuchtungsstärke
korrigierenden Filtere, das in der erfindungsgemäßen Belich-
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tungsvorrichtung verwendet wird. Das dort gezeigte, die Beleuchtungsstärke
korregierende Filter 4l weist ein durchlässiges Substrat, z.B. Glas auf, und die wirksame Oberfläche 42 des Substrates weist
eine Mehrzahl opaker Punkte auf.
Der Aufbau der übrigen Teile der dieses abgewandelte Filter verwendenden
Belichtungsvorrichtung ist derselbe wie der in Fig. 2 gezeigte. Die opaken Punkte 4j5 werden dadurch hergestellt, daß
opakes Material, z.B. Aluminium auf der Oberfläche des Substrates aufgedampft wird, und die Dichte der opaken Punkte auf dem Filter
41 wird experimentell oder durch analytische Berechnung bestimmt, so daß das mittlere Transmissionsvermögen pro den Punkten benachbarter
Einheitsfläche gleich dem gewünschten Wert ist. Anstatt die Dichte von Punkten mit gleichem Durchmesser zu verändern, können
in gleichen Abstand Punkte verschiedener Gestalt und verschiedener Abmessung angeordnet werden. In Fig. 5 ist ein Beispiel für
die Verteilung von Punkten längs der Linie V-V von Fig. 4 gezeigt, bei dem gleiche Punkte in verschiedenen Abständen angeordnet sind.
Die Gestalt der opaken Punkte 45 kann kreisförmig, dreieckig, quadratisch,
polygon oder gestreckt sein; die Gestalt kann der von Buchstaben oder übereinandergedruckten Buchstaben entsprechen.
Erfindungsgemäß kann so eine richtige Belichtung dadurch herbeigeführt
werden, daß eine Belichtungsvorrichtung verwendet wird, welche mit einem die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filter arbeitet,
das die gewünschte Beleuchtungsstärkeverteilung aufweist. Obwohl
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es mit der ersten und der zweiten AusfUhrungsform der Erfindung
möglich ist, die Beleuchtungsstärke korregierende Filter zu erhalten, die höhere Genauigkeit aufweisen, indem die Zahl der kleinen
Filterteile oder der Punkte erhöht wird, führt ein Anwachsen dieser Zahlen zu einem Anwachsen der Herstellungsschritte und ebenso
zu einem Anwachsen der Mühe und des Zeitaufwandes. Bei der ersten Ausführungsform ist es daher vorteilhaft, die wirksame Fläche des
Filters in einige hundert Teile mit jeweils weniger als 2 mm zu unterteilen. Bei der zweiten Ausführungsform ist es aus praktischen
Gründen vorteilhaft, den Abstand der Punkte etwas kleiner als 2 mm zu wählen. Bei diesen Abmessungen können gitterförmige Streifen
vermieden werden, die auf die Stoßstellen zwischen benachbarten Filterteilen oder auf die Anordnung der Punkte zurückzuführen sind.
Bis hier wurde nur ein die Beleuchtungsstärke korrigierendes Filter
beschrieben, das eine Mehrzahl von Filterteilen geeigneter Größe aufweist oder eine Mehrzahl von Punkten aufweist, die in geeigneter
Größe und geeignetem Abstand auf der wirksamen Oberfläche des Filters angeordnet sind. Aus den weiteren Darlegungen geht hervor,
daß durch die Erfindung eine noch vorteilhaftere und besser arbeitende Belichtungsvorrichtung geschaffen wird, bei der eine die Beleuchtungsstärke
korrigierende Linse Verwendung findet. Obwohl eine bevorzugte Größe der Filterteile und ein bevorzugter Abstand
der Punkte oben aus praktischen Gründen angegeben worden ist, ist die Erfindung nicht auf Filterteile dieser Größe oder auf diese
Abstände von Punkten beschränkt. Es können auch Filterteile anderer Größe oder Punkte anderen Abstandes erfindungsgemäß verwendet werden,
wenn das Filter zusammen mit einer verbesserten Belichtungs-
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Vorrichtung verwendet wird, welche eine Schwenkvorrichtung aufweist.
Eine bessere Belichtung kann natürlich auch dann erhalten werden, wenn die oben beschriebenen Filter mit nach praktischen
Gesichtspunkten bemessenen Filterteilen oder Punktabständen (d.h. mit quadratischen Filterteilen von weniger als 2. mm oder Punkten
im Abstand von 2 mm) zusammen mit dieser verbesserten Belichtungsvorrichtung verwendet werden. Erfindungsgemäß wird dem die Beleuchtungsstärke
korrigierenden Filter eine geeignete Schwenkbewegung erteilt, um die unerwünschten Einflüsse der Grenzen, z.B. die oben
erwähnten Streifen auszuräumen. Das Filter 21 oder 4l wird also in der entsprechenden Richtung geschwenkt, z.B. in x-Richtung oder
in y-Richtung oder sowohl in der x- als auch in der y-Richtung, um die gitterförmigen Streifen auszuräumen und die durch die Stoßstellen
der Filterteile oder die Anordnung der Punkte hervorgerufene optische Wirkung auszumitteln.
Zur Erzeugung dieser Schwenkbewegung kann irgendeine bekannte Vorrichtung
verwendet werden. In Fig. 1 ist eine Schwenkvorrichtung mit einem Träger 53 für die die Helligkeit korrigierende Linse,
einer mit dem Träger 53 verbundenen Nockeneinrichtung 52 und einem
Antrieb 51 gezeigt, welcher z.B. ein Motor sein kann, der das Korrekturfilter in der richtigen Richtung über die Nooke antreibt und
eine Schwenkbewegung erzeugt. Dennoch ist dem Fachmann klar, daß bei der Erfindung jede andere Vorrichtung verwendet werden kann,
die dem Korrekturfilter eine Schwenkbewegung, eine oszillierende Bewegung oder eine Schwingbewegung zu erteilen vermag. Um die Wirkung
einer solchen Schwenkbewegung bei den oben beschriebenen Aus-
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führungsformen zu verbessern, wird die Amplitude der Schwenkbewegung
(von Spitze zu Spitze) so gewählt, daß sie gleich der Länge einer der Seiten der Filterteile oder gleich dem Abstand der Punkte
(bei Anordnung der Punkte in gleichem Abstand) ist. Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Schwenkbewegung gleichförmige Geschwindigkeit
aufweist, so daß Wellen mit Sägezahnform erzeugt werden. Die durch die unterschiedlichen optischen Eigenschaften der jeweiligen
Bereiche des Korrekturfilters hervorgerufene Wirkung kann auch dadurch ausgemittelt werden, daß die Perioden der Schwenkbewegungen
in x-Richtung und y-Richtung geändert werden.
Obwohl oben nur von einer Schwenkbewegung in Richtung der x-Achse oder y-Achse oder von deren Kombination gesprochen wurde, ist klar,
daß eine Schwenkbewegung in radialer Richtung oder in Winkelrichtung
ebenfalls ein Ausräumen der gitterförmigen Streifen bewirkt. Es ist auch nicht immer notwendig, daß die Amplitude der Schwenkbewegung
gleich der Länge einer der Seiten der Filterteile oder gleich dem Abstand der Punkte istj zu dem oben angeführten Zweck
reichen auch Oszillationen und Schwingungen mit sehr kleiner Amplitude aus. Kurz gesagt wird ein geeignetes Schwenken, Schwingen
oder Oszillieren mit Erfolg verwendet, welches gemäß der Art der Anordnung der Punkte oder Filterteile auf dem die Beleuchtungsstärke
korregierenden Filter ausgewählt wird.
Obwohl dieses Verfahren verhältnismäßig einfach ist, da es nur nötig
ist, das Korrekturfilter zum Schwingen zu bringen, vermindert es äußerst wirksam den oben angeführten, nachteiligen Effekt auf ein
vernachlässigbares Maß.
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Anstelle von Pilterteilen mit quadratischer Form können auch solche
mit dreieckiger, sechseckiger oder ähnlicher Form verwendet werden.
Die Abmessung der Filterteile kann gleichförmig gewählt werden, oder sie kann je nach der Größe der Fläche mit gleicher Durchlässigkeit
für Licht gewählt werden.
Anstatt opake Punkte auf einem Substrat anzuordnen, können natürlich
auch transparente Punkte verwendet werden, soweit eine unterschiedliche Durchlässigkeit für Licht innerhalb und außerhalb der
Punkte herbeigeführt werden kann.
Die Erfindung schafft somit eine Belichtungsvorrichtung mit einem die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filter gewünschter Dichteverteilung,
welche zur Herstellung fluoreszierender Schirme sehr hoher Qualität verwendet werden kann.
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Claims (8)
1.j Belichtungsvorrichtung mit einer Lichtquelle, mit einem die Beleuchtungsstärke
korrigierenden Filter, mit einer Stirnplatte, welche eine Parbwählelektrode einer Farbbildröhre aufweist, und
mit einem Gehäuse, in dem die Lichtquelle, das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter und eine Korrekturlinse in vorgegebener
Lage angeordnet sind, wobei die Stirnplatte auf dem oberen Abschnitt des Gehäuses entfernbar angeordnet ist, so daß
sie durch von der Lichtquelle kommendes, das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter und die Korrekturlinse durchsetzendes
Licht belichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter (21, 41)
eine Mehrzahl von Bereichen (X11, ^3) aufweist, welche den
Durchlaß von Licht durch sie gen&ß der Lichtmenge, welche zum
Belichten des Teils des fluoreszierenden Schirmes erforderlich ist, der auf der inneren Oberfläche der Stirnplatte als Belag
angebracht ist, begrenzen, wobei die Bereiche (X11, 43) diskret
sind und jeder der Bereiche (^y 1KJ) eine vorgegebene, besondere
Durchlässigkeit für Licht aufweist und gemäß der Verteilung
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der zur Belichtung verwendeten Lichtmenge verteilt angeordnet
2. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche (x. .) durch Teile Cx11)
J-J J-J
gebildet werden, die eine vorgegebene Durchlässigkeit für Licht aufweisen.
3. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bereiche (43) durch eine Mehrzahl
von Formen (43) gebildet werden, die auf der wirksamen Oberfläche des die Beleuchtungsstärke korrigierenden Filters (4l) angeordnet
sind.
4. Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3>
dadurch gekennzeichnet, daß die Bereich (x. ., 43) auf
der Korrekturlinse (4) ausgebildet sind, mit der zusammen sie einen Körper bilden.
5· Belichtungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens das die Beleuchtungsstärke korrigierende Filter (21, 41) während des Belichtens
bewegt wird.
6. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (^11) einheitliche Abmessung
aufweisen.
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7. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmessung der Teile (x,.) unterschiedlich
gemäß der Fläche mit identischer Durchlässigkeit für Licht gewählt wird.
8. Belichtungsvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Formen (43) derart ausgestaltet
sind, daß die Durchlässigkeit für Licht innerhalb der Figuren (43) sich von der der die Figuren (43) umgebenden Fläche unterscheidet.
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Leerse ite
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| DE2440575C3 (de) | 1979-02-15 |
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