DE19510047C2 - Anode für eine Röntgenröhre - Google Patents
Anode für eine RöntgenröhreInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anode für eine Röntgenröhre, wel
che Anode mit einer Auftrefffläche für einen Elektronenstrahl
versehen ist. Von der Auftreffstelle des Elektronenstrahles
geht im Betrieb der Röntgenröhre die Röntgenstrahlung aus.
Treffen Elektronen auf ein Material mit der Kernladungszahl Z
auf, dann wird ein Anteil η der Elektronen, der auch als
Rückstreukoeffizient bezeichnet wird, rückgestreut. Der Rück
streukoeffizient ist, wie aus der Tabelle 1 ersichtlich ist,
nur schwach von der Elektronenenergie E, jedoch stark von der
Kernladungszahl Z des Materials abhängig. Ebenfalls stark ab
hängig ist der Rückstreukoeffizient η von dem Winkel Φ zwi
schen der Elektronenbahn und der Flächennormalen an der Auf
treffstelle (siehe Fig. 1). Die mittlere Energie der Rück
streuelektronen nimmt mit der Kernladungszahl Z des Materials
der Auftrefffläche stetig zu und beträgt für Elemente mit ho
her Kernladungszahl Z ca. 90% der Auftreffenergie.
Wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, ist für den Wirkungsgrad
bei der Röntgenstrahlungserzeugung durch einen auf ein bei
spielsweise aus Wolfram (Z = 74) bestehendes Anodentarget tref
fenden Elektronenstrahl also der Auftreffwinkel Φ von großer
Bedeutung. Der Auftreffwinkel Φ sollte nicht größer als 30°
werden, da sonst, wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, der
Rückstreukoeffizient η dramatisch ansteigt und die Rückstreu
elektronen einerseits nur die Anode aufheizen und anderer
seits nur zu Extrafokalstrahlung führen.
Die Elektronenstrahlquelle einer Röntgenröhre und die ihr
eventuell nachgeschaltete Elektronenoptik sind deshalb in
aller Regel so ausgebildet und angeordnet, daß ein kritischer
Auftreffwinkel Φkrit von 30° nicht überschritten wird. Bei
herkömmlichen Röntgenröhren kann diese Anordnung normaler
weise einfach realisiert werden.
Es gibt jedoch auch Anwen
dungen, wie beispielsweise bei den für die Electron Beam
Tomography benötigten Ring-Röntgenröhren (siehe z. B.
EP 0 455 177 A2), wo Überschreitungen des kritischen Auf
treffwinkels Φkrit nur durch erheblichen Aufwand vermieden
werden können.
Aus der DE-PS 61 95 62 und der US-PS 2 071 696 ist es bekannt,
die Fläche des von dem Elektronenstrahl beaufschlagten Be
reichs der Auftrefffläche ohne optische Vergrößerung und Ver
zerrung des Brennfleckes zu vergrößern, indem im Bereich des
Brennfleckes Rillen vorgesehen werden. Auf diese Weise läßt
sich eine höhere thermische Belastbarkeit des Brennfleckes,
aber keine Steigerung des Wirkungsgrades bei der Röntgen
strahlungserzeugung erreichen.
In der GB-PS 1 469 932 ist eine Drehanoden-Röntgenröhre be
schrieben, deren Brennfleck im Interesse einer erhöhten ther
mischen Belastbarkeit durch Ablenkung des Elektronenstrahles
quer zur Umfangsrichtung der Drehanode periodisch verlagert
wird. Um zu erreichen, daß der Brennfleck trotz der Verlage
rung stationär erscheint, weist zum einen die Anode eine mit
einer Rillenstruktur versehene Auftrefffläche auf. Zum ande
ren wird ein definiertes Verhältnis der Ablenkfrequenz des
Elektronenstrahles zur Drehzahl der Drehanode und eine defi
nierte Phasenlage zwischen der Ablenkfrequenz des Elektronen
strahles und Drehzahl der Drehanode eingehalten. Eine Steige
rung des Wirkungsgrades bei der Röntgenstrahlungserzeugung
ist auf diese Weise nicht zu erreichen.
In der GB-PS 1 604 431 ist eine Festanoden-Röntgenröhre be
schrieben, deren Brennfleck im Interesse einer erhöhten ther
mischen Belastbarkeit durch Ablenkung des Elektronenstrahles
auf der Auftrefffläche der Anode periodisch verlagert wird,
und zwar quer zur Richtung einer im Bereich des Brennfleckes
vorgesehenen Verrippung. Um thermische Überlastungen im Be
reich der Spitzen der Verrippung zu vermeiden, erfolgt die
Verlagerung des Brennfleckes derart schrittweise, daß der
Brennfleck in den Vertiefungen der Verrippung jeweils ver
harrt, die Spitzen der Verrippung aber rasch überstreicht.
Eine Steigerung des Wirkungsgrades bei der Röntgenstrahlungs
erzeugung ist auch auf diese Weise nicht zu erreichen.
In der US-PS 1 174 044 ist eine Festanoden-Röntgenröhre be
schrieben, bei der die Auftrefffläche der Anode im Bereich
des Brennfleckes mit Rillen versehen ist, wobei jede Rille
durch eine erste und eine zweite Fläche gebildet ist. Diese
sind derart angeordnet, daß der Elektronenstrahl nur auf die
ersten Flächen trifft. Während also von den ersten Flächen
Röntgenstrahlung ausgeht, schirmen die zweiten Flächen einen
Teil dieser Röntgenstrahlung ab. Es sollen so verbesserte Ab
bildungseigenschaften erreicht werden. Eine Steigerung des
Wirkungsgrades bei der Röntgenstrahlungserzeugung ist aber
auf diese Weise hinsichtlich der Nutzstrahlung nicht zu er
reichen, da Röntgenstrahlung, die entsteht, wenn die zweiten
Flächen von gestreuten Elektronen getroffen werden, keinen
Beitrag zur Nutzstrahlung liefert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anode der ein
gangs genannten Art so auszubilden, daß ein hoher Wirkungs
grad bei der Röntgenstrahlungserzeugung erreicht wird.
Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch eine Anode
für eine Röntgenröhre, welche Anode mit einer Auftrefffläche
für einen Elektronenstrahl zur Erzeugung eines Brennfleckes
versehen ist, die wenigstens in demjenigen Bereich, in dem
sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck befindet,
eine stufenartige Struktur mit Stirnflächen aufweist, die im
Betrieb der Röntgenröhre wenigstens im wesentlichen recht
winklig zu dem Elektronenstrahl stehen, und mit die Stirn
flächen miteinander verbindenden Seitenwänden, welche Seiten
wände derart angeordnet sind, daß im Betrieb der Röntgenröhre
von den Stirnflächen rückgestreute Elektronen, die auf die
Seitenwände auftreffen, zur Erzeugung von Röntgenstrahlung in
Richtung der von den Stirnflächen ausgehenden Röntgenstrahlen
beitragen. Durch eine derartige Stufenstruktur der Anode er
hält man annähernd den für das jeweilige Material der Auf
trefffläche und die im Betrieb der Röntgenröhre vorliegende
Elektro
nenenergie wenigstens annähernd den minimal erreichbaren
Rückstreukoeffizienten. Infolge der die Stirnflächen mitein
ander verbindenden Seitenwände, auf die im Betrieb der Rönt
genröhre von den Stirnflächen rückgestreute Elektronen auf
treffen, wird eine weitere Steigerung der Quantenausbeute er
reicht, da auch die auf die Seitenwände auftreffenden Elek
tronen zur Erzeugung von Röntgenstrahlung beitragen. Es ge
nügt also bei einer vorhandenen Röntgenröhre zur Erhöhung des
Wirkungsgrades bei der Röntgenstrahlungserzeugung, die Auf
trefffläche von deren Anode mit der stufenartigen Struktur zu
versehen. Wenn dabei die stufenartige Struktur derart ausge
bildet ist, daß ihre Hülllinie der Kontur der Auftrefffläche
der zuvor vorhandenen Anode entspricht, sind abgesehen von
der Änderung der Anode keine weiteren Änderungen erforder
lich.
Im Hinblick auf eine ungehinderte Abstrahlung der im Bereich
der Stirnfläche(n) erzeugten Röntgenstrahlung sollte der Win
kel zwischen Stirnfläche und Seitenwand wenigstens gleich 90°
sein. Im Hinblick auf den Heel-Effekt ist der Winkel zwischen
Stirnfläche und Seitenwand jeweils wenigstens gleich 98°.
Um zu verhindern, daß die stufenartige Struktur bzw. die Rau
higkeiten in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der
Röntgenröhre der Brennfleck befindet, während des Betriebes
der Röntgenröhre aufgeschmolzen und damit zerstört wird
(werden), enthält die Anode gemäß einer Variante der Erfin
dung ein Volumen für ein Kühlmittel, beispielsweise einen
Kanal, durch den eine Kühlflüssigkeit geleitet wird.
Die Steigerung der Quantenausbeute durch Ausnutzung rückge
streuter Elektronen läßt sich nahezu verdoppeln (gilt für
Materialien hoher Kernladungszahl Z), wenn die Anode zwei
Auftreffflächenhälften aufweist, die einander zugewandt sind.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den Figuren dar
gestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 Ein Diagramm bezüglich der Abhängigkeit des Rück
streukoeffizient von der Kernladungszahl des Targets und des
Auftreffwinkels,
Fig. 2 in schematischer Darstellung eine Röntgenröhre mit
einer erfindungsgemäßen Anode in geschnittener Dar
stellung,
Fig. 3 den Schnitt gemäß Linie III-III in Fig. 2 in ver
größerter Darstellung,
Fig. 4 die Anode der Röntgenröhre gemäß den Fig. 1 und 2
im Querschnitt in weiter vergrößerter Darstellung,
Fig. 5 die Einzelheit A gemäß Fig. 4 in nochmals ver
größerter Darstellung, und
Fig. 6 und 7 in zu den Fig. 3 und 4 analoger Darstellung eine
weitere Röntgenröhre mit einer erfindungsgemäßen
Anode.
Die Röntgenröhre weist gemäß Fig. 2 ein ringförmiges Vakuum
gehäuse 1 auf, das im Falle des beschriebenen Ausführungsbei
spiels mit einem radial nach außen gerichteten Ansatz 2 ver
sehen ist, der eine insgesamt mit 3 bezeichnete, gegen elek
tromagnetische Störungen abgeschirmte Elektronenstrahlquelle
aufnimmt. Der Ansatz 2 kann übrigens auch tangential oder
axial gerichtet sein.
Die Elektronenstrahlquelle 3 enthält eine Kathode 4, bei
spielsweise eine Glühwendel, der eine Heizspannungsquelle 5
zugeordnet ist. Wird die Heizspannungsquelle 5 aktiviert,
geht von der Kathode 4 ein Elektronenstrahl E aus. Dieser
wird in Richtung auf eine Anodenlochblende 6 beschleunigt, da
eine Beschleunigungsspannungsquelle 7 zwischen den einen An
schluß der Kathode 4 und die Anodenlochblende 6 geschaltet
ist. Zur Fokussierung des durch die Anodenlochblende 6 fal
lenden Elektronenstrahles E sind magnetische Linsen in Form
von in Fig. 2 nicht dargestellten Fokussierungsspulen vorge
sehen, die den Elektronenstrahl E derart fokussieren, daß er
auf seiner gesamten Länge einen hinsichtlich seiner Form und
seines Flächeninhaltes wenigstens im wesentlichen konstanten,
vorzugsweise elliptischen, insbesondere kreisförmigen, Quer
schnitt aufweist.
Im Bereich des Übergangs des Ansatzes 2 in das ringförmige
Vakuumgehäuse 1 sind in bezug auf das Vakuumgehäuse 1 statio
näre erste Ablenkmittel angeordnet, die den Elektronenstrahl
E so ablenken, daß er anschließend eine Kreisbahn innerhalb
des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 durchläuft. Im Falle des
beschriebenen Ausführungsbeispiels handelt es sich bei den
ersten Ablenkmitteln um einen Elektromagnet 8, der mit sei
nem beispielsweise U-förmigen Joch 9, das eine Wicklung 10
trägt, das Vakuumgehäuse 1 umgreift und ein, bezogen auf die
Fig. 2 rechtwinklig zur Zeichenebene gerichtetes Magnetfeld
erzeugt.
Innerhalb des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 ist am Beginn der
ringförmigen Bahn des Elektronenstrahles eine Blende vorge
sehen, die für die gewünschte monochromatische Elektronen
energie sorgt. Übrigens selektiert der Elektromagnet 10 auch
gleichzeitig die Elektronen nach ihrer Energie, falls die
Energie der Elektronen infolge von Stößen mit dem in dem Va
kuumgehäuse 1 befindlichen Restgas nicht mehr monoenergetisch
ist.
Um den Elektronenstrahl auf seiner Kreisbahn zu halten, ist
ein schematisch angedeutetes Helmholtz-Spulenpaar 11 vorgese
hen, das ein ebenfalls rechtwinklig zu Zeichenebene der
Fig. 2 verlaufendes Magnetfeld erzeugt, das jedoch dem Ma
gnetfeld des Elektromagneten 10 entgegengesetzt gerichtet
ist.
Innerhalb des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 ist als Anode ein
Target 12 vorgesehen, das sich entlang der Außenwand des
Vakuumgehäuses 1 erstreckt. Das Target enthält ein für die
Röntgenstrahlenemission geeignetes Material, z. B. Wolfram.
Um den Elektronenstrahl E in der zur Erzeugung von Röntgen
strahlung erforderlichen Weise aus seiner ringförmigen Bahn
auf das Target 12 ablenken zu können, sind zweite Ablenkmit
tel, vorzugsweise in Form eines Ablenkmagneten 13, vorgese
hen. Dessen Magnetfeld ist dem Magnetfeld des Helmholtz-Spu
lenpaares 11 entgegengesetzt und lenkt deshalb den Elektro
nenstrahl E radial nach außen ab, so daß er in einem Brenn
fleck BF auf das Target 12 auftrifft.
Die von dem Brennfleck BF ausgehende Röntgenstrahlung tritt
durch ein ringförmiges, die Innenwand des Vakuumgehäuses 1
bildendes Strahlenaustrittsfenster 14 aus, das aus einem ge
eigneten Material niedriger Kernladungszahl, z. B. Beryllium,
gebildet ist.
Der Ablenkmagnet 13 ist im Falle des beschriebenen Ausfüh
rungsbeispieles als Elektromagnet ausgeführt, der zwei Wick
lungen 15a und 15b aufweist, die jeweils auf einem Joch 16a
bzw. 16b angebracht sind. Wie aus der Fig. 3 ersichtlich ist,
blenden die Joche 16a und 16b, die in nicht dargestellter
Weise miteinander verbunden sind, auch Streu- und Extrafokal
strahlung aus.
Gemäß Fig. 3 ist im Falle des beschriebenen Ausführungsbei
spiels ein Kollimator 17 für die von dem Brennfleck BF aus
gehende Röntgenstrahlung vorgesehen. Wie in Verbindung mit
der Fig. 2 deutlich wird, blendet der Kollimator 17 im Falle
des beschriebenen Ausführungsbeispiels die Röntgenstrahlung
derart aus, daß ein fächerförmiges Röntgenstrahlenbündel, wie
es für die Computertomographie benötigt wird, geformt wird.
In Fig. 3 sind übrigens die Feldlinien des Magnetfeldes des
Helmholtz-Spulenpaares 11 strichliert und die des Ablenkma
gneten 13 strichpunktiert eingetragen, wobei die Pfeile die
Richtung der Magnetfeldes veranschaulichen.
Um auf einfache und präzise Weise den Brennfleck BF in der
zur Computertomographie erforderlichen Weise auf einer Kreis
bahn entlang des Umfanges des Targets 12 verlagern zu können,
ist der Ablenkmagnet 13 samt des Kollimators 17 durch in den
Fig. 2 und 3 nicht näher dargestellte Verstellmittel längs
des Umfanges des Vakuumgehäuses 1 verstellbar, wodurch sich
in analoger Weise der Brennfleck BF der jeweiligen Stellung
des Ablenkmagneten 13 entsprechend längs des Umfanges des
Targets 12 verlagert.
Wie aus der Fig. 3 ersichtlich ist, trifft der Elektronen
strahl E mit einem hinsichtlich des Rückstreukoeffizienten η
an sich ungünstigen Winkel zwischen der Flächennormalen N und
der Elektronenbahn in dem Brennfleck BF auf die Auftreffflä
che 18 des Targets 12 auf.
Um dennoch einen guten Wirkungsgrad bei der Röntgenstrah
lungserzeugung zu erreichen, ist im Falle der erfindungsge
mäßen Röntgenröhre die Auftrefffläche 18 des Targets 12 gemäß
Fig. 4 längs ihres Umfanges mit einer im Querschnitt stufen
artigen Struktur versehen, die Stirnflächen (19 1 bis 19 n)
aufweist, die im Betrieb der Röntgenröhre wenigstens im
wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl E, d. h. zur
Auftreffrichtung der Elektronen stehen. Hierdurch wird der
für das im Bereich der Auftrefffläche des jeweiligen Targets
vorliegende Material minimale Rückstreukoeffizient zumindest
annähernd verwirklicht. Die Stirnflächen 19 1 bis 19 n sind
derart über Seitenwände 20 1 bis 20 n miteinander verbunden,
daß die Hülllnie H der stufenartigen Struktur wenigstens an
nähernd der Querschnittskontur der Auftrefffläche 18 ent
spricht.
Außerdem wird eine Steigerung der Quantenausbeute dadurch er
reicht, daß in der in Fig. 5 für die Stirnfläche 19 3 und die
Seitenwand 20 3 am Beispiel eines einfallenden Elektrons EE
angedeuteten Weise von einer Stirnfläche rückgestreute Elek
tronen RE auf eine Seitenwand auftreffen und hier zur Rönt
genstrahlungserzeugung X beitragen. Der Winkel β zwischen
Stirnfläche 19 1 bis 19 n und Seitenwand 20 1 bis 20 n beträgt im
Falle des beschriebenen Ausführungsbeispieles im Hinblick auf
den Heel-Effekt wenigstens 98°.
Die Steigerung der Quantenausbeute durch den Beitrag der Sei
tenwände 20 1 bis 20 n berechnet sich wie folgt:
Für die von der Summe der Stirnflächen ausgehende Strahlungs
leistung PSF gilt:
PSF = 1,1 . 10-9 . U . Z . I . (1 - η) (1)
Für die von den Seitenwänden ausgehende Strahlungsleistung
PSW gilt:
Als Grenzwert für das in der Gleichung (2) enthaltene Inte
gral über einen Halbraum der Rückstreuelektronen ergibt sich:
Als Grenzwert für die mit einer stufenförmigen Struktur er
zielbare Quantenausbeutesteigerung Δε1 ergibt sich damit fol
gender Grenzwert:
In den Gleichungen (1) bis (4) sind
U = Röhrenspannung,
Z = Kernladungszahl des Materials des Targets im Bereich der Auftrefffläche,
I = Röhrenstrom,
η = Rückstreukoeffizient,
ϕ = Auftreffwinkel
Φmin = minimaler Winkel zwischen der Normalen der Seitenflä che und der Auftreffrichtung der Rückstreuelektronen.
Z = Kernladungszahl des Materials des Targets im Bereich der Auftrefffläche,
I = Röhrenstrom,
η = Rückstreukoeffizient,
ϕ = Auftreffwinkel
Φmin = minimaler Winkel zwischen der Normalen der Seitenflä che und der Auftreffrichtung der Rückstreuelektronen.
Die Lösung des Integrals in Gleichung (2) für Wolfram (η
= 0,45) ergibt für ein Verhältnis der Breite b der Stirnflä
chen 19 1 bis 19 n zur Höhe h der Seitenwände 20 1 bis 20 n
(Schachtverhältnis) von 12 und somit ein Φmin von 1,53 rad
einen Quantenausbeutesteigerung Δε1 von 0,08, also 8%, bei
gleicher Röhrenspannung und gleichem Kathodenstrom.
Eine weitere Steigerung der Quantenausbeute ist möglich, wenn
gemäß den Fig. 6 und 7 zwei gleichartige Targethälften 12a
und 12b verwendet werden, deren Auftreffflächenhälften als
Stufenstrukturen mit Stirnflächen 19a1 bis 19an bzw. 19b1 bis
19bn bzw. Seitenwänden 20a1 bis 20an bzw. 20b1 bis 20bn aus
geführt sind, deren Hüllinien bezüglich des Elektronenstrah
les ES entgegengesetzt geneigt sind. Für die Quantenausbeu
testeigerung Δε2 gilt dann:
Es ergibt sich also die doppelte Quantenausbeutesteigerung.
Das Target 12 bzw. die Targethälften 12a und 12b sind jeweils
aus einem Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b aus einem gut wär
meleitenden Material, beispielsweise Kupfer, und einem die
Auftrefffläche 18 bzw. die Auftreffflächenhälften 18a und 18b
bildenden Belag 22 bzw. 22a und 22b aus einem zur Röntgen
strahlungserzeugung geeigneten Material, beispielsweise
Wolfram, versehen. Dabei genügt ein dünner Belag 22 bzw. 22a
und 22b mit einer Dicke von 10 µm bis 50 µm, der auf den
Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b aufgedampft oder in Form
eines dünnen Bleches aufgeschweißt sein kann.
Um zu verhindern, daß im Bereich der Auftrefffläche 18 bzw.
der Auftreffflächenhälften 18a und 18b durch thermische Ein
wirkung die stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten auf
geschmolzen werden, ist der Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b
mit einem Kühlkanal 23 bzw. 23a und 23b versehen, indem ein
flüssiges Kühlmittel strömt.
Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispieles sind die
stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten jeweils im Be
reich der gesamten Auftrefffläche 18 bzw. der gesamten Auf
treffflächenhälften 18a und 18b vorhanden. Es genügt aber an
sich, die stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten nur in
demjenigen Bereich der Auftrefffläche 18 bzw. der Auftreff
flächenhälften 18a und 18b vorzusehen, in dem sich im Betrieb
der Röntgenröhre der Brennfleck BF befinden kann.
Die Erfindung wurde vorstehend am Beispiel einer Ring-Rönt
genröhre beschrieben, wie sie zur Electron Beam Tomography
verwendet wird. Es besteht aber auch die Möglichkeit, sowohl
Festanoden- als auch Drehanoden-Röntgenröhren mit erfindungs
gemäß ausgebildeten Anoden zu versehen.
Tabelle 1
Claims (4)
1. Anode für eine Röntgenröhre, welche Anode (12) mit einer
Auftrefffläche (18, 18a, 18b) für einen Elektronenstrahl (ES)
zur Erzeugung eines Brennfleckes (BF) versehen ist, die we
nigstens in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der
Röntgenröhre der Brennfleck (BF) befindet, eine stufenartige
Struktur mit Stirnflächen (19 1 bis 19 n, 19a1 bis 19an, 19b1
bis 19bn) aufweist, die im Betrieb der Röntgenröhre wenig
stens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl
(ES) stehen, und mit die Stirnflächen (19 1 bis 19n, 19a1 bis
19an, 19b1 bis 19bn) miteinander verbindenden Seitenwänden
(20 1 bis 20 n, 20a1 bis 20an, 20b1 bis 20bn), welche Seiten
wände (20 1 bis 20 n, 20a1 bis 20an, 20b1 bis 20bn) derart an
geordnet sind, daß im Betrieb der Röntgenröhre von den Stirn
flächen (19 1 bis 19 n, 19a1 bis 19an, 19b1 bis 19bn) rückge
streute Elektronen, die auf die Seitenwände (20 1 bis 20 n,
20a1 bis 20an, 20b1 bis 20bn) auftreffen, zur Erzeugung von
Röntgenstrahlung in Richtung der von den Stirnflächen (19 1 bis
19 n, 19a1 bis 19an, 19b1 bis 19bn) ausgehenden Röntgenstrahlen
beitragen.
2. Anode nach Anspruch 1, bei der der Winkel zwischen Stirn
fläche (19 1 bis 19 n, 19a1 bis 19an, 19b1 bis 19bn) und Sei
tenwand (20 1 bis 20 n, 20a1 bis 20an, 20b1 bis 20bn) jeweils
wenigstens gleich 98° ist.
3. Anode nach Anspruch 1 oder 2, welche ein Volumen für ein
Kühlmedium enthält.
4. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 3, welche zwei Auf
treffflächenhälften (18a, 18b) aufweist, die einander zuge
wandt sind.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19510047A DE19510047C2 (de) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | Anode für eine Röntgenröhre |
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---|---|
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ID=7757158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19510047A Expired - Fee Related DE19510047C2 (de) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | Anode für eine Röntgenröhre |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5745546A (de) |
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8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
D2 | Grant after examination | ||
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8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |