DE19503675C2 - Optisches Übertragungssystem - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches
Übertragungssystem nach dem Oberbegriff jeweils eines
der Patentansprüche 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8 und 9.
Aus der JP 5-138 387 A in: "Patents Abstracts of Ja
pan", 1993, Sec. M-1482, Bd. 17/Nr. 520, ist ein op
tisches Übertragungssystem bekannt, bei dem das von
einer Laseranordnung emittierte Laserlicht durch ein
Flüssigkristall-Lichtsteuerelement hindurchgeht, be
vor es auf eine zu bearbeitende Oberfläche trifft.
Die Querschnittsfläche und die Form des Laserlicht
strahls können durch das Lichtsteuerelement in ge
wünschter Weise eingestellt werden.
Weiterhin beschreibt die EP 0 286 165 A1 ein opti
sches Übertragungssystem mit einer einen Laserstrahl
emittierenden Laserquelle, einer nachfolgenden Lin
senanordnung und einer anschließenden Sammellinse.
Die Kombination aus der Linsenanordnung und der Sam
mellinse ist so ausgebildet, daß der Durchmesser des
Laserstrahls, der auf die Eintrittsfläche einer hin
ter der Sammellinse angeordneten optischen Faser
trifft, unabhängig vom Grad der Divergenz des die La
serquelle verlassenden Laserstrahls ist. Zwischen der
Linsenanordnung und mehreren nebeneinander liegenden
Sammellinsen mit jeweils nachfolgender optischer Fa
ser kann ein Drehspiegel angeordnet sein, der je nach
seiner Stellung das Laserlicht zu einer der Sammel
linsen lenkt.
Die US 5 068 515 offenbart ein Übertragungssystem für
einen Laserstrahl, in welchem eine über den Durchmes
ser des Laserstrahls glockenförmige Intensitätsver
teilung in eine rechteckförmige Intensitätsverteilung
umgewandelt wird. Das Übertragungssystem enthält ein
Mikroskopobjektiv, welches den Laserstrahl auf die
Eintrittsfläche eines Multimodem-Lichtwellenleiters
fokussiert, und eine vergrößernde Projektionsoptik,
die die Austrittsfläche des Lichtwellenleiters auf
der zu bestrahlenden Oberfläche eines Werkstücks ab
bildet.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein
optisches Übertragungssystem vorzusehen, bei dem ein
Lichtstrahl eine optimale Lichtintensitätsverteilung
in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse hat, wo
durch es möglich ist, jede gewünschte Bearbeitung zu
bewirken, mit dem es möglich ist, die Änderung des
Auftreffwinkels auf eine optische Faser mit einfachen
Mitteln und auf einfache Weise zu steuern. Diese Auf
gabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die jeweils in
einem der Ansprüche 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8 und 9 enthal
tenen Merkmale. Vorteilhafte Ausbildungen einzelner
dieser erfindungsgemäßen Übertragungssysteme ergeben
sich aus den zugeordneten Unteransprüchen.
Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, bei
dem ein Planspiegel, dessen Winkel zur optischen Ach
se geändert werden kann, und ein Keilsubstrat zwi
schen dem Laseroszillator und der Kondensorlinse an
geordnet sind, wobei die Verschiebung des Laser
strahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse
durch Änderung des Winkels des Planspiegels und zur
selben Zeit durch Ersetzen des Keilsubstrats durch
ein anderes Keilsubstrat mit einem unterschiedlichen
Keilwinkel durchgeführt wird.
Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, bei
dem ein Planspiegel, dessen Winkel zur optischen Ach
se geändert werden kann, und ein optisches Keilsub
strat mit mehreren Keilwinkeln zwischen dem Laseros
zillator und der Kondensorlinse angeordnet sind, wo
bei das Verschieben des Laserstrahls in einer Ebene
senkrecht zur optischen Achse durch Änderung des Win
kels des Planspiegels durchgeführt wird. Hierdurch
ist es möglich, eine Änderung der Lichtintensitäts
verteilung mit hoher Geschwindigkeit zu bewirken.
Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, bei
dem zwischen dem Laseroszillator und der Kondensor
linse ein Planspiegel, dessen Winkel zur optischen
Achse geändert werden kann, und optische Keilsubstra
te mit unterschiedlichen Keilwinkeln, die aufeinander
folgend in Umfangsrichtung angeordnet sind, vorgese
hen, und die Verschiebung des Laserstrahls in einer
Ebene senkrecht zur optischen Achse wird durch Drehen
der optischen Substrate gleichzeitig mit der Änderung
des Winkels des Planspiegels durchgeführt. Hierdurch
kann eine glatte und schnelle Änderung der Lichtin
tensitätsverteilung realisiert werden.
Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, bei
welchem zwischen dem Laseroszillator und der Konden
sorlinse ein Planspiegel, dessen Winkel zur optischen
Achse veränderbar ist, und ein optisches Substrat mit
einem konstanten Keilwinkel in radialer Richtung und
sich fortlaufend veränderndem Keilwinkel in Umfangs
richtung angeordnet sind, und die Verschiebung des
Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen
Achse wird durch Drehen des optischen Substrats
gleichzeitig mit der Änderung des Winkels des Plan
spiegels durchgeführt. Hierdurch ist es möglich, die
durch die Grenze von Substratkeilen bewirkte Störung
der Lichtintensitätsverteilung zu verhindern.
Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, bei
welchem ein Parabolspiegel zwischen dem Laseroszilla
tor und der Kondensorlinse und ein Planspiegel mit
veränderbarem Winkel in der Brennpunktposition des
Parabolspiegels angeordnet sind und die Verschiebung
des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur opti
schen Achse durch Änderung des Winkels des Planspie
gels durchgeführt wird. Hierdurch ist es möglich, ei
ne einfache Konstruktion, eine herabgesetzte Anzahl
von Treibelementen und eine Änderung des Auftreffwin
kels mit hoher Geschwindigkeit zu erreichen.
Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem vorgesehen, das
die vorgenannte Einstellvorrichtung enthält und bei
dem die Einstellung durch die Einstellvorrichtung
realisiert wird durch Ausbildung der Lichtintensi
tätsverteilung des auf die Kondensorlinse fallenden
Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen
Achse in einer Ringform mit gewünschtem Innen- und
Außendurchmesser. Hierdurch wird die axiale Symmetrie
des sich ergebenden Bearbeitungsstrahls verbessert.
Bei dieser Ausbildung sind vorzugsweise zwei Axicon-
Linsen einander gegenüberliegend zwischen dem La
seroszillator und der Kondensorlinse angeordnet und
die Ausbildung des Laserstrahls in eine Ringform mit
gewünschtem Innen- und Außendurchmesser wird durch
Veränderung des Abstands zwischen den beiden Axicon-
Linsen durchgeführt.
Gemäß dem siebenten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem enthaltend die
vorgenannte Einstellvorrichtung vorgesehen, bei der
ein elliptischer Spiegel zwischen der Kondensorlinse
und der Einlaß-Endfläche der optischen Faser, ein
Planspiegel, dessen Winkel zur optischen Achse geän
dert werden kann, in einer ersten Brennpunktposition
des elliptischen Spiegels und die Einlaß-Endfläche
der optischen Faser in einer zweiten Brennpunktposi
tion des elliptischen Spiegels angeordnet sind, wobei
die Einstellung durch die Einstellvorrichtung durch
Änderung des Winkels des Planspiegels realisiert
wird. Hierdurch ist es möglich, eine einfache Kon
struktion, eine verringerte Anzahl von Treiberelemen
ten und eine Änderung des Auftreffwinkels mit hoher
Geschwindigkeit zu erreichen.
Gemäß dem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung
ist ein optisches Übertragungssystem enthaltend ein
optisches Bestrahlungssystem vorgesehen, wobei das
optische Bestrahlungssystem ein optisches Fokussier
system mit zwei Linsengruppen aufweist und wobei,
wenn der Abstand von einer zweiten Hauptebene der er
sten Linsengruppe zu einer ersten Hauptebene der
zweiten Linsengruppe gleich d ist, die Brennweite der
ersten Linsengruppe gleich f1 ist, die Brennweite der
zweiten Linsengruppe gleich f2 ist, der Abstand von
einer vorbestimmten Position von fortgepflanztem
Licht zu einer gegenstandsseitigen Brennpunktposition
der ersten Linsengruppe gleich z1 ist und der Abstand
von einer bildseitigen Brennpunktposition der zweiten
Linsengruppe zum zu bestrahlenden Gegenstand z2, den
folgenden Bedingungen genügt wird:
d = f1 + f2 + Δd
z1 = f1f2z2/(z1Δd + f1 2).
Hierdurch ist es möglich, die Lichtintensitätsvertei
lung in Richtung der optischen Achse einzustellen,
wodurch der Lichtstrahl nahezu senkrecht auf den zu
bestrahlenden Gegenstand gestrahlt wird, so daß die
Konvergenzfähigkeit der Strahlenergie verbessert und
eine große Brenntiefe erhalten wird.
Bei einer bevorzugten Ausbildung dieses Übertragungs
systems genügt das optische Fokussiersystem weiterhin
den folgenden Bedingungen:
-f1 2/(f2 + Δds) < z1 < f1
f1 < 0, f2 < 0
Δd < 0.
Hierdurch ist es möglich, die Brenntiefe größer zu
machen.
Bei einer alternativen bevorzugten Ausbildung dieses
optischen Übertragungssystems ist ein optisches Fo
kussiersystem vorgesehen, bei dem die zweite Linsen
gruppe ein Satz aus einer Konkavlinse und einer Kon
vexlinse ist, wobei, wenn die Brennweite der Verbund
linse gleich f2 ist, die Brennweite der Konkavlinse
gleich fA ist, die Brennweite der Konvexlinse gleich
fB ist, der Abstand zwischen einer zweiten Hauptebene
der Konkavlinse und einer ersten Hauptebene der Kon
vexlinse gleich d3 ist, die Länge zwischen einer er
sten Hauptebene der Konkavlinse und einer ersten
Hauptebene der Verbundlinse gleiche zA ist und der
Abstand zwischen einer Hauptebene der Konvexlinse und
einer zweiten Hauptebene der Verbundlinse gleich zB
ist, den folgenden Bedingungen genügt wird:
f2 = fAfB/(fA + fB - d3)
zB = -d3f2/fA (zB, wenn positiver Wert, nach
rechts)
zA = -d3f2/fB (zA, wenn negativer Wert nach
rechts).
Hierdurch kann die zweite Hauptebene der Verbundlinse
auf der Gegenstandsseite positioniert werden und da
her kann der Abstand zwischen den Linsen und dem zu
bestrahlenden Gegenstand größer gemacht werden im
Vergleich mit der Verwendung einer einzelnen Linse
der Brennweite f2.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von in den Fi
guren dargestellten Ausführungsbeispielen näher er
läutert. Es zeigen:
Fig. 1 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems mit einstellbarem Auftreffwinkel des
Laserstrahls auf die optische Faser, das
nicht von der Erfindung Gebrauch macht,
Fig. 2 eine die Steuerung des Auftreffwinkels bei
dem System nach Fig. 1 erläuternde Darstel
lung,
Fig. 3(a) bis 3(d)
die Beziehung zwischen dem Auftreffwinkel
des Laserstrahls und der Intensitätsver
teilung des austretenden oder übertragenen
Laserstrahls erläuternde Darstellungen,
Fig. 4 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung,
Fig. 5 eine die Beziehung zwischen dem Keilwinkel
und dem Drehwinkel des Planspiegels erläu
ternde Darstellung,
Fig. 6(a) und 6(b)
den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem zweiten Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung,
Fig. 7(a) bis 7(c)
den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem dritten Ausführungsbei
spiel der Erfindung,
Fig. 8(a) bis 8 (c)
den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem vierten Ausführungsbei
spiels der vorliegenden Erfindung,
Fig. 9 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel
nach der vorliegenden Erfindung,
Fig. 10 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung,
Fig. 11 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem siebenten Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung,
Fig. 12 den Aufbau eines optischen Übertragungssy
stems gemäß dem achten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung,
Fig. 13 eine erläuternde Darstellung eines geform
ten, von einem Laseroszillator emittierten
Laserstrahls,
Fig. 14 eine erläuternde Darstellung eines geform
ten, aus einer optischen Faser austretenden
Laserstrahls,
Fig. 15 eine Darstellung zur Erläuterung eines Wech
sels der Intensitätsverteilung eines aus der
optischen Faser austretenden Laserstrahls,
Fig. 16 eine erläuternde Darstellung eines herkömm
lichen optischen Übertragungssystems,
Fig. 17 eine Darstellung zur Erläuterung eines opti
schen Fokussiersystems mit zwei Gruppen von
Linsen gemäß dem neunten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung,
Fig. 18 eine Darstellung zur Erläuterung eines ande
ren optischen Fokussiersystems mit zwei
Gruppen von Linsen nach dem neunten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 19 eine Darstellung zur Erläuterung noch eines
anderen optischen Fokussiersystems mit zwei
Gruppen von Linsen nach dem neunten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 20 eine Darstellung zur Erläuterung eines wei
teren optischen Fokussiersystems mit zwei
Gruppen von Linsen nach dem neunten Ausfüh
rungsbeispiel,
Fig. 21 ein Diagramm zur Erläuterung eines optischen
Fokussiersystems mit einer Gruppe von Linsen
nach dem neunten Ausführungsbeispiel,
Fig. 22 eine Darstellung zur Erläuterung eines Ver
fahrens zur Lichtbestrahlung gemäß dem zehn
ten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er
findung, und
Fig. 23 ein Diagramm zur Erläuterung eines Verfah
rens zur Lichtbestrahlung gemäß dem elften
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin
dung.
Bei dem optischen Übertragungssystem nach Fig. 1 wird
ein Lichtstrahl unter einem bestimmten Winkel zur op
tischen Achse einer optischen Faser eingeführt, um
die Gestalt der Lichtintensitätsverteilung des aus
der optischen Faser austretenden Lichtstrahls in eine
von verschiedenen Formen zu steuern und zu verändern,
einschließlich der Zylinderhutform und der Ringform.
Hierin sind ein Laseroszillator 1, eine Kondensorlin
se 2, eine optische Faser 3, ein Auftreffwinkel
Steuermechanismus 9 mit einem Einlaß 32 der optischen
Faser 3 und einer XYθ-Stufe 8 und ein Auslaß 33 der
optischen Faser gezeigt.
Gemäß Fig. 1 geht ein von dem Laseroszillator 1 emit
tierter Laserstrahl 11 durch die Kondensorlinse 2
hindurch und wird hierdurch (Laserstrahl 12) zum Ein
laß 32 der optischen Faser 3 hin gebündelt. Der Ein
laß 32 der optischen Faser befindet sich in einer
Brennpunktposition der Kondensorlinse 2. Weiterhin
ist der Einlaß 32 mit der XYθ-Stufe 8 verbunden, die
zusammen den Auftreffwinkel-Steuermechanismus 9 bil
den. Durch den Mechanismus 9 erfolgt eine Steuerung
derart, daß nur der Winkel zwischen der Endfläche der
optischen Faser und der optischen Achse geändert wird
ohne Abweichung der mittleren Position des Einlasses
32 von einem Sammelpunkt 18 des Laserstrahls 12. Fig.
2 zeigt einen Bewegungsort der XYθ-Stufe 8. Hierin
bewegt sich ein Verbindungspunkt 81 der XYθ-Stufe 8
mit dem Einlaß 32 der optischen Faser, während er ei
nen Ort beschreibt, der durch die folgenden Gleichun
gen mit Bezug auf den Sammelpunkt 18 als dem Ursprung
des durch die Kondensorlinse 2 gebündelten Laser
strahls dargestellt wird:
X(θ) = R × cosθ
Y(θ) = R × sinθ,
worin R den Abstand zwischen der Mitte 18 des Einlaß
endes und der Mitte 81 der Verbindung zwischen der
XYθ-Stufe 8 und der optischen Faser 3 sowie θ einen
Winkel zwischen der optischen Achse und der mittleren
Achse der optischen Faser darstellen.
Wenn die optische Faser 3 einen Auftreffwinkel hat,
ändert sich somit die Intensitätsverteilung des La
serstrahls in eine Position 20 (nachfolgend als die
"Modusumwandlungsebene" bezeichnet), die in einem be
stimmten Abstand oder weiter von der Auslaß-Endfläche
der optischen Faser angeordnet ist. Die Ergebnisse
eines mit einem Helium-Neon-Laser durchgeführten Ex
periments werden nachfolgend gezeigt.
Fig. 3(a) zeigt den Aufbau einer Laborvorrichtung.
Hierin sind ein Helium-Neon-Laser 50, eine plankon
vexe Linse 60 mit 40 mm Brennweite, eine XYθ-Stufe 8,
eine optische Faser 70 vom Kern-Mantel-Typ mit einem
40 µm-Kern, 5 m Länge, N. A. (neutrale Achse) = 0,2,
und eine CCD-Kamera 90 gezeigt.
Der Laserstrahl 51 vom Helium-Neon-Laser 50 wurde in
einem gebündelten Zustand (Auftreffstrahl 52) in eine
Einlaß-Endfläche 72 der optischen Faser 70 mittels
der plankonvexen Linse 60 mit einer Brennweite von 40
mm eingeführt, und die Intensitätsverteilung eines
austretenden oder Übertragenen Strahls 53 wurde ge
messen unter Verwendung der CCD-Kamera 90 in einer
Position mit einem Abstand von etwa 20 min von einer
Auslaß-Endfläche 73. Die erhaltenen Ergebnisse sind
wie in den Fig. 3(b), 3(c) und 3(d,) gezeigt. Es ist
ersichtlich, daß, wenn der Auftreffwinkel in kleinen
Schritten von 0°, wie in Fig. 3(b) gezeigt ist, in
kleinen Schritten größer gemacht wird bis zum in Fig.
3(d) gezeigten Winkel, die Intensitätsverteilung des
Laserstrahls sich von einer im wesentlichen Gaußschen
Form in eine im wesentlichen rechteckige Form und
weiter in eine im wesentlichen Ringform ändert. Somit
kann die Intensitätsverteilung des austretenden La
serstrahls durch Änderung des Auftreffwinkels auf die
optische Faser geändert werden.
Gemäß Fig. 1 geht der aus der optischen Faser 3 aus
tretende Laserstrahl 13 durch die erste Linse 6 hin
durch, wodurch das Bild mit der Lichtintensitätsver
teilung in der Modusumwandlungsebene 20 nahe der Mas
ke 7 gebildet wird. Ein Teil der gebildeten Lichtin
tensitätsverteilung wird durch die Maske 7 entfernt
und danach wird die Lichtintensitätsverteilung zu ei
nem durch eine zweite Linse 4 mit hoher Auflösung zu
bestrahlenden Gegenstand 5 übertragen, um eine Bear
beitung oder Behandlung wie Schweißen, Schneiden oder
Oberflächenveränderung zu bewirken.
Obgleich das Bild mit der Lichtintensitätsverteilung
in der Modusumwandlungsebene 20 durch die erste Linse
6 einmal nahe der Maske 7 gebildet ist, ein Teil der
gebildeten Lichtintensitätsverteilung durch die Maske
7 entfernt wird und die Lichtintensitätsverteilung
danach durch die zweite Linse 4 mit hoher Auflösung
zum Gegenstand 5 übertragen wird, kann als optisches
Bestrahlungssystem zum Strahlen des fortgepflanzten
Lichtstrahls auf den Gegenstand 5 ein optisches Sys
tem verwendet werden, das eine einzige Linse zum
Übertragen des Bildes der Lichtintensitätsverteilung
in der Modusumwandlungsebene 20 zum Gegenstand 5 be
nutzt.
Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
wird nachfolgend mit Bezug auf die Begleitenden
Zeichnungen beschrieben. Bei diesem Ausführungsbei
spiel wird ein Auftreffwinkel-Steuermechanismus der
in Fig. 4 gezeigten Ausbildung verwendet.
Hierin sind ein Planspiegel 110 und Keilsubstrate 111
und 112 gezeigt. Der Winkel des Planspiegels 110 wird
gemäß der folgenden Gleichung in einer solchen Weise
eingestellt, daß der Laserstrahl nach dem Passieren
des Keilsubstrats 111 parallel zur optischen Achse
wird. Unter Bezug auf Fig. 5 genauer ausgedrückt,
wird, wenn der Keilwinkel des Keilsubstrats 112
gleich θW, der Brechungsindex des den Keil bildenden
Materials gleich nW und der Auftreffwinkel des Laser
strahls gleich θL sind, der Winkel des Planspiegels
110 wie folgt dargestellt:
θL = (π/2 + sin-1(nW × sinθW) - θW)/2,
wobei die Einheit des Winkels der Radiant ist. In
Fig. 5 bezeichnen die Bezugszahl 113 einen Pfad des
Laserstrahls und die Bezugszahl 110a die mittlere
Drehachse des Planspiegels 110.
Der Auftreffwinkel wird geändert durch Ersetzen des
Keilsubstrats durch ein Keilsubstrat 112 mit einem
unterschiedlichen Keilwinkel, und zur selben Zeit
durch Einstellung des Winkels des Planspiegels auf
einen durch die obige Gleichung erhaltenen Winkel.
Die anderen Teile sind dieselben wie in Fig. 1, so
daß auf deren Erläuterung hier verzichtet wird. Durch
Verwendung der obigen Konstruktion ist es möglich ei
ne einfachere Ausbildung als bei dem Übertragungssy
stem nach Fig. 1 zu erhalten und einen höheren Ge
schwindigkeitsantrieb als die Bewegung des Einlasses
der optischen Faser zu erzielen.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er
findung wird nachfolgend mit Bezug auf die beglei
tenden Zeichnungen beschrieben.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Auftreffwin
kel-Steuermechanismus der in den Fig. 6(a) und 6(b)
gezeigten Ausbildung verwendet. In Fig. 6(a) ist ein
besonderer Keil 120 mit beispielsweise zwei Keilwin
keln (siehe Fig. 12(b)) dargestellt. Der Winkel eines
Planspiegels 110 wird gemäß den folgenden Gleichungen
in einer solchen Weise eingestellt, daß der den be
sonderen Keil 120 passierende Laserstrahl parallel
zur optischen Achse wird. Genauer gesagt, wenn wie im
vorhergehenden Beispiel 4 das besondere Keilsubstrat
120 Keilwinkel gleich θW1 und θW2 hat, der Brechungs
index des den Keil bildenden Materials gleich nW und
die Laserauftreffwinkel gleich θL1 und θL2 sind, dann
wird der Planspiegel 110 auf einen Winkel mit der
Einheit Radiant eingestellt, der durch die folgenden
Gleichungen dargestellt ist:
θL1(π/2 + sin-1(nW × sinθW1) - θW1)/2
θL2(π/2 + sin-1(nW × sinθW2) - θW2/2.
Die Keilwinkel des besonderen Keilsubstrats sind
nicht auf zwei wie im obigen Beispiel beschränkt. Es
kann eine Struktur verwendet werden, die drei oder
mehr Keilwinkel hat. Mit der Bezugszahl 110a wird ei
ne mittlere Drehachse des Planspiegels 110 bezeich
net.
Der Auftreffwinkel wird geändert, indem der Winkel
des Planspiegels entsprechend jedem Keilwinkel des
besonderen Keilsubstrats entsprechend einem durch die
obigen Gleichungen erhaltenen Winkel eingestellt
wird.
Die anderen Teile sind dieselben wie in Fig. 1, so
daß auf deren Erläuterung hier verzichtet wird. Durch
Verwendung der obigen Konstruktion ist es möglich,
die Lichtintensitätsverteilung mit einer größeren Ge
schwindigkeit als beim ersten Ausführungsbeispiel zu
ändern.
Nachfolgend wird noch ein anderes Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beglei
tenden Zeichnungen beschrieben.
In diesem Ausführungsbeispiel wird ein Auftreffwin
kel-Steuermechanismus der in den Fig. 7(a) bis 7(c)
gezeigten Ausbildung verwendet. In Fig. 7(a) sind ein
besonderes Substrat 130 aus Keilsubstraten mit unter
schiedlichen Keilwinkeln, die fortlaufend in Umfangs
richtung angeordnet sind, und ein Motor 131 darge
stellt. Fig. 7(b) ist eine Draufsicht auf das beson
dere Substrat 130 und Fig. 7(c) ist eine Schnittan
sicht entlang der Linie A-A in Fig. 7 (b). Der Winkel
des einzustellenden Planspiegels 110 wird gemäß der
selben Gleichung wie im Ausführungsbeispiel 1 gesteu
ert, so daß der Laserstrahl nach dem Hindurchgehen
durch das besondere Keilsubstrat 130 parallel zur op
tischen Achse wird. Die Bezugszahl 110a bezeichnet
eine mittlere Drehachse. Der Auftreffwinkel wird
durch miteinander synchrone Drehung des Planspiegels
und des besonderen Substrats verändert.
Auf die Erläuterung der anderen Teile wird hier ver
zichtet, da sie dieselben wie in Fig. 1 sind. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung ist es möglich, eine
größere Anzahl von Winkeln zu verwenden und damit ei
ne glattere und schnellere Änderung der Lichtintensi
tätsverteilung zu bewirken.
Nachfolgend wird noch ein anderes Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung beschrieben. Bei diesem
Ausführungsbeispiel wird ein Auftreffwinkel-Steuerme
chanismus der in den Fig. 8(a) bis 8(c) gezeigten
Ausbildung verwendet.
In Fig. 8(a) ist ein besonderes Keilsubstrat 140 dar
gestellt, bei dem der Keilwinkel in radialer Richtung
konstant ist und sich in Umfangsrichtung fortlaufend
ändert. Fig. 8(b) ist eine Draufsicht auf das beson
dere Keilsubstrat 140 und Fig. 8(c) ist eine Schnit
tansicht entlang der Linie A-A in Fig. 8 (b). Der Win
kel eines einzustellenden Planspiegels 110 wird gemäß
derselben Gleichung wie beim Ausführungsbeispiel 4 in
der Weise gesteuert, daß der Laserstrahl nach dem
Hindurchgehen durch das besondere Keilsubstrat 140
parallel zur optischen Achse wird. Die Bezugszahl
110a in Fig. 8(a) bezeichnet eine mittlere Drehachse
des Planspiegels 110. Der Auftreffwinkel wird durch
zueinander synchrone Drehung des Planspiegels und des
besonderen Keilsubstrats verändert.
Auf eine Erläuterung der anderen Teile wird hier ver
zichtet, da sie dieselben wie in Fig. 1 sind. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung ist es möglich, die
durch die Keilgrenzen im Ausführungsbeispiel 3 be
wirkte Störung der Lichtintensitätsverteilung zu ver
meiden.
Es wird noch ein anderes Ausführungsbeispiel der vor
liegenden Erfindung mit Bezug auf die begleitenden
Zeichnungen beschrieben. Bei diesem Ausführungsbei
spiel wird ein Auftreffwinkel-Steuermechanismus der
in Fig. 9 gezeigten Ausbildung verwendet.
Fig. 9 zeigt einen Parabolspiegel 150 mit einer obe
ren Öffnung und einen Planspiegel 110. Die mittlere
Drehachse 110a des Planspiegels 110 befindet sich an
einem Brennpunkt des Parabolspiegels 150. Der Auf
treffwinkel wird durch Änderung des Winkels des Plan
spiegels 110 verändert.
Auf eine Erläuterung der anderen Teile wird hier ver
zichtet, da sie dieselben wie in Fig. 1 sind. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung ist es möglich, eine
einfachere Konstruktion, eine verringerte Anzahl von
Antriebselementen und eine Änderung des Auftreffwin
kels mit höherer Geschwindigkeit im Vergleich zu den
vorhergehenden Ausführungsbeispielen zu erzielen.
Es folgt die Beschreibung noch eines anderen Ausfüh
rungsbeispiels der vorliegenden Erfindung mit Bezug
auf die begleitenden Zeichnungen. Bei diesem Ausfüh
rungsbeispiel wird ein Auftreffwinkel-Steuermechanis
mus der in Fig. 10 gezeigten Ausbildung verwendet.
Fig. 10 zeigt ein optisches Zoomsystem zur Ausdehnung
des Laserstrahls, welches beispielsweise aus zwei
Linsen gebildet ist, und eine Lichtabschirmplatte
170. Der Durchmesser des Laserstrahls wird durch das
optische Zoomsystem 160 erweitert. Der aus dem opti
schen Zoomsystem 160 austretende Laserstrahl wird
durch die Lichtabschirmplatte 170 in seinem mittleren
Bereich kreisförmig abgeschirmt, wodurch er eine
Ringform erhält. Der so geformte Laserstrahl wird
dann durch die Kondensorlinse 2 zur Mitte der Einlaß-
Endfläche der optischen Faser gebündelt.
Der Auftreffwinkel wird geändert, indem die Lichtab
schirmplatte 170 durch eine andere mit unterschiedli
chem Innen- und Außendurchmesser ersetzt wird. Die
Ausbildung des optischen Zoomsystems ist nicht auf
das dargestellte beschränkt. Es kann jedes andere op
tische Zoomsystem verwendet werden, wenn es nur die
Funktion der Erweiterung des Strahldurchmessers hat.
Es kann auch auf das optische Zoomsystem verzichtet
werden, wenn der Strahldurchmesser ausreichend groß
ist.
Auf die Erläuterung der anderen Teile wird hier ver
zichtet, da sie dieselben wie in Fig. 1 sind. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung wird die axiale Sym
metrie des erhaltenen Bearbeitungsstrahls verbessert.
Es wird nun noch ein anderes Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die begleitenden
Zeichnungen beschrieben. Bei diesem Ausführungsbei
spiel wird ein Auftreffwinkel-Steuermechanismus der
in Fig. 11 dargestellten Ausbildung verwendet.
Gemäß Fig. 11 bewirkt ein optisches Zoomsystem 150
die Erweiterung des Laserstrahls, welches beispiels
weise aus zwei Linsen zusammengesetzt ist. Weiterhin
sind zwei Axicon-Linsen 180 und 181 sowie ein in
Richtung der optischen Achse bewegbarer Tisch 182 ge
zeigt.
Der Durchmesser des Laserstrahls wird durch das opti
sche Zoomsystem 150 erweitert. Der aus dem optischen
Zoomsystem austretende Laserstrahl geht durch die
beiden Axicon-Linsen 180 und 181 hindurch, die einan
der gegenüber angeordnet sind und von denen die eine
auf dem in Richtung der optischen Achse bewegbaren
Tisch 182 angeordnet ist. Die Gestalt des durch die
Axicon-Linsen hindurchgehenden Laserstrahls wird in
eine Ringform umgewandelt. Der Durchmesser des so
ringförmig gewordenen Laserstrahls wird dann verän
dert, indem eine Axicon-Linse in Richtung der opti
schen Achse bewegt wird, um hierdurch dessen Auf
treffwinkel auf die optische Faser zu steuern. Die
Ausbildung des optischen Zoomsystems ist nicht auf
die dargestellte begrenzt. Jedes andere optische
Zoomsystem kann verwendet werden, wenn es nur die
Funktion der Erweiterung des Strahldurchmessers hat.
Auf eine Erläuterung der anderen Teile wird hier ver
zichtet, da sie dieselben wie in Fig. 1 sind. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung ist es möglich, den
Energieverlust im Vergleich zum Ausführungsbeispiel
6, bei dem eine Lichtabschirmplatte verwendet wird,
zu vermeiden.
Es wird nachfolgend noch ein anderes Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die
begleitenden Zeichnungen beschrieben. Bei diesem Aus
führungsbeispiel wird ein Auftreffwinkel-Steuermecha
nismus der in Fig. 12 dargestellten Ausbildung ver
wendet.
In Fig. 12 sind ein elliptischer Spiegel 190 mit ei
ner oberen Öffnung und ein Planspiegel 110 gezeigt.
Die mittlere Drehachse 110a des Planspiegels 110 be
findet sich an einem ersten Brennpunkt des ellipti
schen Spiegels 190, während die Einlaß-Endfläche 32
der optischen Faser sich an einem zweiten Brennpunkt
des elliptischen Spiegels befindet. Da der Laser
strahl vom ersten Brennpunkt des elliptischen Spie
gels die Eigenschaft hat, sich zum zweiten Brennpunkt
hin zu bündeln, kann der Auftreffwinkel durch Ände
rung des Winkels des Planspiegels gesteuert werden.
Die anderen Teile sind dieselben wie in Fig. 1, so
daß auf ihre Erläuterung hier verzichtet wird. Durch
Verwendung der obigen Ausbildung ist es wie beim Aus
führungsbeispiel 5 möglich, eine einfache Konstrukti
on, eine verringerte Anzahl von Antriebselementen und
eine Änderung des Auftreffwinkels mit hoher Geschwin
digkeit zu erreichen.
Es wird nachfolgend noch ein anderes Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung beschrieben. Dieses
Ausführungsbeispiel bezieht sich auf das in den vor
hergehenden Ausführungsbeispielen verwendete optische
Fokussiersystem 4. Bei diesem Ausführungsbeispiel
wird die Lichtintensitätsverteilung in Richtung der
optischen Achse eingestellt, und insbesondere wird
die Brenntiefe unter Berücksichtigung der Bearbeitung
verbessert.
Fig. 13 zeigt einen geformten Zustand des Laser
strahls 11. In dieser Figur hat der Laserstrahl 11,
welcher ein Strahl vom gewöhnlichen Typ ist, eine
sehr große Kohärenz, und selbst wenn der vom Laseros
zillator 1 emittierte Strahl 11 endlich ist, kann es
so angesehen werden, daß der Strahl von einer Punkt
quelle 1a emittiert ist, die sich in der Krümmungs
mitte der Wellenoberfläche auf der Laser-Austritts
seite befindet. Auf der anderen Seite muß der Laser
strahl von der Auslaß-Endfläche der optischen Faser
oder vom Fokussierungspunkt hiervon als eine Gruppe
von Punktquellen angesehen werden, nämlich als Licht
strahl von einer Lichtquellen-Oberfläche 200. Diese
Bedingung kann in Form von Lichtstrahlen wie in Fig.
14 ausgedrückt werden.
In diesem Fall ist die Lichtintensitätsverteilung wie
in Fig. 15 dargestellt. Das heißt, die Lichtintensi
tätsverteilung ändert sich von einer Rechteckform an
einer Endfläche der optischen Faser in eine Chevron-
Form mit einem leicht steigenden Fußbereich, wenn der
Lichtstrahl sich fortpflanzt.
Ein derartiges herkömmliches optisches System, wel
ches den Lichtstrahl auf den zu bestrahlenden Gegen
stand 5 fokussiert, ist in Fig. 16 gezeigt. Dieses
optische System verwendet eine einzelne Linse 4 oder
einen Satz von Linsen mit derselben Funktion. Wenn
die Brennweite der Linse 4 oder der kombinierten Lin
sen gleich f, der Abstand von einem Ende 200 der op
tischen Faser zu einer ersten Hauptebene der Linse 4
oder der kombinierten Linsen gleich a und der Abstand
zu einer zweiten Hauptebene hiervon gleich b sind,
wird der folgenden Beziehung genügt:
1/f = 1/a + 1/b.
In diesem Fall ist der Zustand der Lichtstrahlen wie
in Fig. 16 gezeigt. Das heißt, der Strahl expandiert,
wenn er sich von einer Fokussierposition A' von A am
Faserende 200 entfernt, wodurch das Problem auftritt,
daß die Brenntiefe klein ist.
Auf der anderen Seite wird in diesem Ausführungsbei
spiel 9, wie in Fig. 17 gezeigt ist, ein zwei Gruppen
von Linsen aufweisendes optisches System 4 verwendet
zum Strahlen des Laserstrahls 13 von der optischen
Faser auf den zu bestrahlenden Gegenstand 5. In Fig.
17 sind eine erste Linsengruppe 401, eine zweite Lin
sengruppe 402 und der Laserstrahl 415 dargestellt.
Die erste und die zweite Linsengruppe 401, 402 sind
so angeordnet, daß eine bildseitige Brennpunktpositi
on f1' der ersten Linsengruppe und eine gegenstands
seitige Brennpunktposition f2 der zweiten Linsengrup
pe miteinander zusammenfallen. Genauer gesagt, bei
Verwendung der Brennweiten f1 und f2 der ersten bzw.
zweiten Linsengruppe wird der Abstand d1 zwischen ei
ner zweiten Hauptebene der ersten Linsengruppe 401
und einer ersten Hauptebene der zweiten Linsengruppe
402 auf d1 = f1 + f2 eingestellt. Weiterhin sind beide
Linsengruppen so angeordnet, daß der folgenden Bezie
hung genügt wird:
z2 = M2z1, M = f2/f1,
worin z1 den Abstand zwischen einer gegenstandsseiti
gen Brennpunktposition f1 der ersten Linsengruppe 401
und dem Faserende A und z2 den Abstand zwischen einer
bildseitigen Brennpunktposition f2' der zweiten Lin
sengruppe und der Position A' des zu bestrahlenden
Gegenstands darstellen.
In diesem Fall ist der Zustand der Lichtstrahlen wie
in Fig. 17 dargestellt. Wenn in die Richtung, die
sich von der Fokussierposition A' des Faserendes A
weg erstreckt, gesehen wird, ist ersichtlich, daß der
Lichtstrahl 16 nahezu senkrecht zum Gegenstand 5 ge
strahlt wird und daß daher die Konvergenzfähigkeit
der Strahlenergie hoch ist und eine große Brenntiefe
erhalten wird im Vergleich mit dem vorhergehenden,
eine Linsengruppe aufweisenden Fokussiersystem.
Es ist die in Fig. 18 gezeigte Ausbildung, die eine
weitere Verbesserung gegenüber der obigen Ausbildung
mit sich bringt. Gemäß Fig. 18 wird der Abstand von
der zweiten Hauptebene der ersten Linsengruppe 401
zur ersten Hauptebene der zweiten Linsengruppe 402
wie folgt eingestellt:
d2 = f1 + f2 + Δd, (Δd < 0).
In diesem Fall wird eine Fokussierbeziehung wie folgt
ausgedrückt:
z2 = M(f2/f1)z1,
M = f1f2/(z1Δd + f1 2).
Diese Gleichungen können wie folgt geschrieben wer
den:
z1 = f1f2z2/(z1Δd + f1 2).
Durch Änderung von Δd ist es möglich, die Fortpflan
zungsbedingung des Strahls in seiner Position A' auf
dem Gegenstand und den folgenden Positionen zu än
dern. Im Vergleich mit dem einfachen Fall von Δd = 0
kann die Brenntiefe noch größer gemacht werden. Ins
besondere wird die obige Wirkung vergrößert, wenn den
folgenden Bedingungen genügt wird:
f1 < 0, f2 < 0, Δd < 0 und
-f1 2/(f2 + Δd) < z1 < f1.
Das optische System, das die Brenntiefe vergrößert,
wurde vorstehend beschrieben, doch wird bei der tat
sächlichen Bearbeitung Staub von dem Gegenstand 5 er
zeugt, so daß, wenn sich die Linse 4 in der Nähe des
Gegenstands 5 befindet, der Staub sich auf der Lin
senoberfläche absetzt und beispielsweise solche Pro
bleme wie die Verschlechterung der Durchlässigkeit
von Licht auftreten. Es ist daher wünschenswert, daß
der Abstand (Arbeitsabstand) zwischen dem Gegenstand
5 und der Linse 4 groß ist. So ist es in diesem Aus
führungsbeispiel notwendig, als eine einzelne Linsen
gruppe einen Satz von Linsen mit einem großen Ar
beitsabstand zu verwenden, wie nachfolgend beschrie
ben wird.
Eine Ausbildung von Konkavlinse 403/Konvexlinse 404
gemäß Fig. 19 zeigt dieselbe Funktion wie eine ein
zelne Linse 402. In diesem Fall ist es durch geeigne
te Einstellung der Brennweite der Konkavlinse und der
Konvexlinse sowie des Abstands zwischen beiden Linsen
möglich, die erste und die zweite Hauptebene dieser
Verbundlinse auf der rechten Seite der Konvexlinse
404 auszubilden. Genauer gesagt, wenn die Brennweite
der Konkavlinse 403 gleich fA, die der Konvexlinse
404 gleich fB und der Abstand zwischen einer zweiten
Hauptebene der Konkavlinse 403 und einer ersten Haup
tebene der Konvexlinse 404 gleich d3 sind, dann wird
die Brennweite f2 der Verbundlinse durch die folgende
Gleichung gegeben:
f2 = fAfB/(fA + fB - d3).
Wenn weiterhin der Abstand zwischen einer ersten
Hauptebene der Konkavlinse 403 und der Verbundlinse
gleich zA und der Abstand zwischen einer zweiten
Hauptebene der Konvexlinse 404 und der Verbundlinse
gleich zB sind, sind beide durch die folgenden Glei
chungen gegeben:
zB = -d3f2/fA (zB, wenn positiver Wert, nach
rechts),
zA = -d3f2/fA (zA, wenn positiver Wert, nach
rechts).
Da fA die Brennweite der Konkavlinse 403 ist, besteht
die Bedingung fA < 0, und da die Brennweite f2 der
Verbundlinse und d3 beide größer als 0 sind, besteht
die Bedingung zB < 0. Durch geeignete Auswahl der
Werte von d3, fA und f2 wird es möglich, die zweite
Hauptebene der Verbundlinse auf der Gegenstandsseite
zu positionieren, so daß es möglich ist, den Linsen-
Gegenstand-Abstand im Vergleich zu der Verwendung ei
ner einzelnen Linse mit der Brennweite f2 zu vergrö
ßern.
In dem Fall eines derartigen optischen Fokussiersys
tems mit zwei Gruppen von Linsen, wie in den Fig. 17
oder 18 gezeigt ist, ist die Brennweite groß, aber es
besteht das Problem, daß der Arbeitsabstand kurz ist
im Vergleich mit dem optischen Fokussiersystem, das
eine einzelne Gruppe von Linsen verwendet.
Um dieses Problem zu bewältigen, kann der Arbeitsab
stand ausgedehnt werden durch Verwendung eines derar
tigen Satzes von Linsen, der eine Verschiebung der
zweiten Hauptebene von der Linsenposition bewirkt,
wie vorstehend erläutert ist. Fig. 20 zeigt ein Bei
spiel, bei dem die zweite Linsengruppe 402 in dem op
tischen Fokussiersystem mit zwei Gruppen von Linsen
gemäß Fig. 17 oder 18 aus einem Satz aus der Konkav
linse 403 und der Konvexlinse 404 gebildet ist, um
den Arbeitsabstand zu vergrößern. Wie die Abstände
berechnet werden, ist bereits vorstehend beschrieben
worden.
Auch im Fall des optischen Fokussiersystems mit einer
einzelnen Linsengruppe 4, das vorstehend in Verbin
dung mit Fig. 16 erläutert wurde, kann, wie in Fig.
21 gezeigt ist, ein optisches System mit einem großen
Arbeitsabstand durch Verwendung eines Satzes aus Kon
kav- und Konvexlinse gebildet werden.
Obgleich in dem obigen Ausführungsbeispiel das Licht
von der Auslaß-Endfläche der optischen Faser als
Licht von der Lichtquellen-Oberfläche 200 angesehen
wurde, kann das Licht vom Fokussierpunkt oder das
Licht von der Maskenposition beispielsweise im Aus
führungsbeispiel 1 als das Licht von der Lichtquel
len-Oberfläche angesehen werden, wobei die gleiche
Ausbildung wie vorstehend verwendet wird.
Wenn eine Bearbeitung durchgeführt wird unter Verwen
dung irgendeines der in den obigen Ausführungsbei
spielen beschriebenen optischen Übertragungssysteme
nach der Erfindung, dann kann die Intensitätsvertei
lung des bestrahlenden Lichts für jeden bestimmten
Bereich des zu bestrahlenden Gegenstands verändert
werden.
Fig. 22 illustriert ein Konzept des Bestrahlungsver
fahrens. Wie darin gezeigt ist, wird eine Bestrahlung
durchgeführt unter Verwendung einer flachen Intensi
tätsverteilung, einer konkaven Intensitätsverteilung
und einer Intensitätsverteilung mit großer Spitze für
die Bereiche A, B bzw. 0. Dieses Verfahren erlaubt
die Durchführung eines Schweiß-, Schneid- Markiervor
ganges und so weiter gleichzeitig in einer einzigen
Operation und erlaubt auch die Behandlung von Dicken
und Materialien, die zwischen den einzelnen Bereichen
unterschiedlich sind.
Bei dem optischen Übertragungssystem nach der vorlie
genden Erfindung kann eine Ausbildung verwendet wer
den, in der als Laseroszillator ein solcher vom Im
pulsoszillationstyp eingesetzt wird und in der die
Lichtintensitätsverteilung in einem Impuls des Laser
strahls verändert wird und diese Veränderung in einem
Impuls für jeden Impuls wiederholt wird.
Das Konzept dieses Bestrahlungsverfahrens ist in Fig.
23 gezeigt. Wenn der Ausgangsimpuls "EIN" ist (Laser
strahl wird emittiert), dann wird im Bereich A eine
große Spitzenintensitätsverteilung verwendet, während
im Bereich B eine flache Intensitätsverteilung mit
kleiner Spitze verwendet wird, wie in Fig. 23 gezeigt
ist. Auf diese Weise kann die Energiedichte für das
verwendete Material verändert werden, so daß es mög
lich ist, einen Schweiß-, Schneid- und Stanzvorgang
mit hoher Qualität durchzuführen.
In diesem Ausführungsbeispiel ist die Auswahl der In
tensitätsverteilung in einem Impuls nicht auf das
vorbeschriebene Beispiel beschränkt. Es kann jede ge
eignete Kombination verwendet werden.
Claims (12)
1. Optisches Übertragungssystem, enthaltend:
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5),
gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches Keilsubstrat (111) zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durchgeführt wird durch Auswechseln des optischen Keilsubstrats (111) gegen ein anderes optisches Keilsubstrat (112) mit einem unterschiedlichen Keilwinkel gleichzeitig mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110).
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5),
gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches Keilsubstrat (111) zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durchgeführt wird durch Auswechseln des optischen Keilsubstrats (111) gegen ein anderes optisches Keilsubstrat (112) mit einem unterschiedlichen Keilwinkel gleichzeitig mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110).
2. Optisches Übertragungssystem, enthaltend:
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einen festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches Keilsubstrat (120) mit mehreren Keilwinkeln zwi schen dem Laseroszillator (1) und der Kondensor linse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur opti schen Achse durch Ändern des Winkels des Plan spiegels (110) durchgeführt wird.
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einen festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches Keilsubstrat (120) mit mehreren Keilwinkeln zwi schen dem Laseroszillator (1) und der Kondensor linse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur opti schen Achse durch Ändern des Winkels des Plan spiegels (110) durchgeführt wird.
3. Optisches Übertragungssystem, enthaltend:
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches scheibenartiges Substrat (130), welches in Um fangsrichtung fortlaufend Keilsubstrate mit un terschiedlichen Keilwinkeln aufweist, zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laser strahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durch Drehen des optischen Substrats (130) synchron mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg,
eine Kondensorlinse (2) zum Bündeln des Laser strahls vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches scheibenartiges Substrat (130), welches in Um fangsrichtung fortlaufend Keilsubstrate mit un terschiedlichen Keilwinkeln aufweist, zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewegung des Laser strahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durch Drehen des optischen Substrats (130) synchron mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
4. Optisches Übertragungssystem, enthaltend: einen
Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches scheibenartiges Substrat (140) mit einem kon stanten Keilwinkel in radialer Richtung und sich fortlaufend änderndem Keilwinkel in Umfangsrich tung zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewe gung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durch Drehen des optischen Substrats (140) synchron mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse geändert werden kann, und ein optisches scheibenartiges Substrat (140) mit einem kon stanten Keilwinkel in radialer Richtung und sich fortlaufend änderndem Keilwinkel in Umfangsrich tung zwischen dem Laseroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) angeordnet sind und die Bewe gung des Laserstrahls in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse durch Drehen des optischen Substrats (140) synchron mit einer Änderung des Winkels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
5. Optisches Übertragungssystem, enthaltend: einen
Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Parabolspiegel (150) zwischen dem Laseroszilla tor (1) und der Kondensorlinse (2) sowie ein Planspiegel (110), dessen Winkel verändert wer den kann, in einer Brennpunktposition des Para bolspiegels (150) angeordnet sind, und daß die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senk recht zur optischen Achse durch Ändern des Win kels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Bewegen des Laserstrahls in ei ner Ebene senkrecht zur optischen Achse in einem festen Zustand einer Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) zu einer Brennpunktposition der Kondensorlinse (2), und während die optische Achse des von dem Laseroszillator (1) emittier ten Laserstrahls und die der Kondensorlinse (2) parallel zueinander gehalten werden, wobei ein Parabolspiegel (150) zwischen dem Laseroszilla tor (1) und der Kondensorlinse (2) sowie ein Planspiegel (110), dessen Winkel verändert wer den kann, in einer Brennpunktposition des Para bolspiegels (150) angeordnet sind, und daß die Bewegung des Laserstrahls in einer Ebene senk recht zur optischen Achse durch Ändern des Win kels des Planspiegels (110) durchgeführt wird.
6. Optisches Übertragungssystem, enthaltend:
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Formen der Intensitätsverteilung des auf die Kondensorlinse (2) auftreffenden La serstrahls in einer Ebene senkrecht zur opti schen Achse in eine Ringform mit gewünschtem In nen- und Außendurchmesser.
einen Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), gekennzeichnet durch
eine Einstellvorrichtung zum Einstellen des Auf treffwinkels des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laserstrahls (12) auf die optische Faser (3) durch Formen der Intensitätsverteilung des auf die Kondensorlinse (2) auftreffenden La serstrahls in einer Ebene senkrecht zur opti schen Achse in eine Ringform mit gewünschtem In nen- und Außendurchmesser.
7. Optisches Übertragungssystem nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß zwei Axicon-Linsen
(180, 181) einander gegenüber zwischen dem La
seroszillator (1) und der Kondensorlinse (2) an
geordnet sind und das Formen des Laserstrahls in
eine Ringform mit gewünschtem Innen- und Außen
durchmesser durch Ändern des Abstands zwischen
den Axicon-Linsen (180,181) durchgeführt wird.
8. Optisches Übertragungssystem, enthaltend: einen
Laseroszillator (1),
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), dadurch gekennzeich net, daß ein elliptischer Spiegel (190) zwischen der Kondensorlinse (2) und der Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3), ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse verän dert werden kann, in einer ersten Brennpunktpo sition des elliptischen Spiegels (190) und die Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) in einer zweiten Brennpunktposition des ellipti schen Spiegels (190) angeordnet sind, und daß eine Einstellvorrichtung den Auftreffwinkel des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laser strahls auf die optische Faser (3) durch Ändern des Winkels des Planspiegels (110) einstellt.
eine optische Faser (3) zum Fortpflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emittierten Laser strahls über einen vorbestimmten Weg, eine Kon densorlinse (2) zum Bündeln des Laserstrahl vom Laseroszillator (1) in die optische Faser (3), und
ein optisches Übermittlungssystem zum Übermit teln eines in einer Ebene mit einem vorbestimm ten Abstand von einer Auslaß-Endfläche (33) der optischen Faser (3) und senkrecht zu einer opti schen Achse angeordneten Bildes zu einem zu be strahlenden Gegenstand (5), dadurch gekennzeich net, daß ein elliptischer Spiegel (190) zwischen der Kondensorlinse (2) und der Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3), ein Planspiegel (110), dessen Winkel zur optischen Achse verän dert werden kann, in einer ersten Brennpunktpo sition des elliptischen Spiegels (190) und die Einlaß-Endfläche (32) der optischen Faser (3) in einer zweiten Brennpunktposition des ellipti schen Spiegels (190) angeordnet sind, und daß eine Einstellvorrichtung den Auftreffwinkel des durch die Kondensorlinse (2) gebündelten Laser strahls auf die optische Faser (3) durch Ändern des Winkels des Planspiegels (110) einstellt.
9. Optisches Übertragungssystem enthaltend:
einen Laseroszillator (1),
ein optisches Fortpflanzungssystem zum Fort pflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emit tierten Laserstrahls über einen vorbestimmten Weg,
ein optisches Bestrahlungssystem zum Strahlen des fortgepflanzten Laserstrahls auf einen zu bestrahlenden Gegenstand (5), und eine Einstell vorrichtung zum Einstellen der Lichtintensitäts verteilung in Richtung einer optischen Achse und in der Nähe des zu bestrahlenden Gegenstands (5), dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bestrahlungssystem ein optisches Fokussiersystem enthält zum Fokussieren eines Lichtstrahls von einer Lichtquelle mit einer vorbestimmten Ver größerung auf einen zu bestrahlenden Gegenstand (5), wobei das optische Fokussiersystem zwei Linsengruppen (401, 402) aufweist, und wenn der Abstand von einer zweiten Hauptebene der ersten Linsengruppe (401) zu einer ersten Hauptebene der zweiten Linsengruppe (402) gleich d, die Brennweiten der ersten (401) und der zweiten (402) Linsengruppe gleich f1 bzw. f2, der Ab stand von einer Auslaß-Endfläche (33) einer op tischen Faser (3) zu einer gegenstandsseitigen Brennpunktposition der ersten Linsengruppe (401) gleich 21 und der Abstand von einer bildseitigen Brennpunktposition der zweiten Linsengruppe (402) zum zu bestrahlenden Gegenstand (5) gleich 22 sind, dann ist den folgenden Bedingungen ge nügt:
d = f1 + f2 + Δd
z1 = f1f2z2/(z1Δd + f1 2).
einen Laseroszillator (1),
ein optisches Fortpflanzungssystem zum Fort pflanzen eines von dem Laseroszillator (1) emit tierten Laserstrahls über einen vorbestimmten Weg,
ein optisches Bestrahlungssystem zum Strahlen des fortgepflanzten Laserstrahls auf einen zu bestrahlenden Gegenstand (5), und eine Einstell vorrichtung zum Einstellen der Lichtintensitäts verteilung in Richtung einer optischen Achse und in der Nähe des zu bestrahlenden Gegenstands (5), dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bestrahlungssystem ein optisches Fokussiersystem enthält zum Fokussieren eines Lichtstrahls von einer Lichtquelle mit einer vorbestimmten Ver größerung auf einen zu bestrahlenden Gegenstand (5), wobei das optische Fokussiersystem zwei Linsengruppen (401, 402) aufweist, und wenn der Abstand von einer zweiten Hauptebene der ersten Linsengruppe (401) zu einer ersten Hauptebene der zweiten Linsengruppe (402) gleich d, die Brennweiten der ersten (401) und der zweiten (402) Linsengruppe gleich f1 bzw. f2, der Ab stand von einer Auslaß-Endfläche (33) einer op tischen Faser (3) zu einer gegenstandsseitigen Brennpunktposition der ersten Linsengruppe (401) gleich 21 und der Abstand von einer bildseitigen Brennpunktposition der zweiten Linsengruppe (402) zum zu bestrahlenden Gegenstand (5) gleich 22 sind, dann ist den folgenden Bedingungen ge nügt:
d = f1 + f2 + Δd
z1 = f1f2z2/(z1Δd + f1 2).
10. Optisches Übertragungssystem nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß das optische Fokus
siersystem zwei Linsengruppen (401, 402) auf
weist, und wenn die Brennweiten der ersten und
zweiten Gruppe gleich f1 bzw. f2 und der Abstand
von der Auslaß-Endfläche (33) der optischen Fa
ser (3) zu der gegenstandsseitigen Brennpunktpo
sition der ersten Linsengruppe (401) gleich 21
sind, dann ist den folgenden Bedingungen genügt:
-f2/(f2 + Δd) < z1 < f1
f1 < 0, f2 < 0
Δd < 0.
-f2/(f2 + Δd) < z1 < f1
f1 < 0, f2 < 0
Δd < 0.
11. Optisches Übertragungssystem nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Linsen
gruppe (402) ein Satz aus Konkavlinse (403) und
Konvexlinse (404) ist, und wenn die Brennweite
dieser Verbundlinse gleich f2, die der Kon
kavlinse (403) gleich fA, die der Konvexlinse
(404) gleich fB, der Abstand zwischen einer
zweiten Hauptebene der Konkavlinse (403) und ei
ner ersten Hauptebene der Konvexlinse (404)
gleich d3, der Abstand zwischen einer ersten
Hauptebene der Konkavlinse (403) und einer er
sten Hauptebene der Verbundlinse gleich zA und
der Abstand zwischen einer zweiten Hauptebene
der Konvexlinse (404) und einer zweiten Haup
tebene der Verbundlinse gleich zB sind, ist den
folgenden Bedingungen genügt:
f2 = fAfB/(fA + fB = d3)
zB = -d3f2/fA (zB, wenn positiver Wert, nach rechts)
zA = -d3f2/fA (zA, wenn negativer Wert, nach rechts).
f2 = fAfB/(fA + fB = d3)
zB = -d3f2/fA (zB, wenn positiver Wert, nach rechts)
zA = -d3f2/fA (zA, wenn negativer Wert, nach rechts).
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