DE194942T1 - Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen. - Google Patents

Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen.

Info

Publication number
DE194942T1
DE194942T1 DE198686400507T DE86400507T DE194942T1 DE 194942 T1 DE194942 T1 DE 194942T1 DE 198686400507 T DE198686400507 T DE 198686400507T DE 86400507 T DE86400507 T DE 86400507T DE 194942 T1 DE194942 T1 DE 194942T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
input beam
beams
frequency
intensity
propagation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE198686400507T
Other languages
English (en)
Inventor
Gary E. Madison Connecticut 06443 Sommargren
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zygo Corp
Original Assignee
Zygo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zygo Corp filed Critical Zygo Corp
Publication of DE194942T1 publication Critical patent/DE194942T1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • G02F1/116—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves using an optically anisotropic medium, wherein the incident and the diffracted light waves have different polarizations, e.g. acousto-optic tunable filter [AOTF]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Claims (10)

96-39.277DeEP Ansprüche
1. Elektro-optisches Gerät mit einer Lichtquelle (10), die einen linear polarisierten, auf einer ersten Frequenz stabilisierten monofrequenten optischen Eingangsstrahl (18) entsprechender Intensität liefert, mit Mitteln (30), die zweite und dritte frequenzstabilisierte elektrische Signale liefern, Mittel (20), die mit den Mitteln zum Liefern eines Eingangsstrahls und den Mitteln zum Liefern eines elektrischen Signals verbunden sind um den Eingangsstrahl in erste und zweite Zwischenstrahlen (40, 42) umzuwandeln, die einen Frequenzunterschied haben, der auf der Differenz zwischen den zweiten und dritten stabilisierten Frequenzen beruht und die gleiche lineare Polarisation aufweist wie der Eingangsstrahl, wobei jeder Zwischenstrahl ungefähr die Hälfte der entsprechenden Eingangsstrahlintensität aufweist, und mit Mitteln (44), die optisch mit den Wandlern verbunden sind, um jeden der Zwischenstrahlen in einen Ausgangsstrahl (46) umzuwandeln, der zwei orthogonale Polarisationskomponenten hat, mit einem Frequenzunterschied zwischen den Komponenten, der der Frequenzdifferenz des Zwischenstrahls entspricht.
2. Gerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgangsstrahl (46) ungefähr die Hälfte der Intensität des Eingangsstrahls aufweist.
"' "■ 019A942
3. Gerät nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (44) ein doppelbrechendes Prisma aufweist.
4. Gerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das doppelbrechende Prisma (44) Mittel zum Teilen der Zwischenstrahlen in zwei orthogonal polarisierte Strahlen aufweist, um den Ausgangsstrahl (46) und zwei Nebenstrahlen (48, 50) zu erzeugen, wobei die Nebenstrahlen von der Ausbreitungsrichtung des Eingangsstrahl unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen haben und jeweils ein Viertel der Intensität des Eingangsstrahl aufweisen und dadurch, daß das Gerät ferner Mittel (52, 54) aufweist, die optisch mit dem doppelbrechenden Prisma verbunden sind, um diese Neben strahlen zu eliminieren.
5. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (10) einen Laser aufweist und der Eingangsstrahl (18) ein Laserstrahl ist.
6. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (20) eine akusto-optische Bragg-Zelle aufweist.
7. Gerät nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das doppelbrechende Prisma (44) eine Scheitelkante auf weist, wobei die optische Achse parallel zu der Scheitelkante verläuft und das Prisma einen Scheitelwinkel ck hat, der folgende Beziehung erfüllt
wobei &ogr; der Winkel ist, um den sich die Ausbreitungsrichtungen der Zwischenstrahlen unterscheiden, &eegr; und &eegr; die ordentlichen bzw. außerordentlichen Brechungsindices darstellen und i- der Austrittswinkel des Ausgangsstrahls ist.
8. Gerät nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das doppelbrechende Prisma Mittel zum Teilen der Zwischenstrahlen in zwei orthogonal polarisierte Strahlen aufweist, um den Ausgangsstrahl und zwei Nebenstrahlen zu erzeugen, wobei die Nebenstrahlen von der Ausbreitungsrichtung des Eingangsstrahl unterschiedliche Fortpflanzungsrichtungen haben und jeder ein Viertel der Intensität des Eingangsstrahls aufweist und dadurch, daß das Gerät ferner optische Mittel aufweist, zum Eliminieren der Nebenstrahlen.
9. Elektro-optisches Gerät mit einer Lichtquelle (10), die einen linear polarisierten, monofrequenten, auf einer ersten Frequenz stabilisierten ersten Eingangsstrahl (18) mit entsprechender Intensität erzeugt,
- Mittel (30) zum Erzeugen mindestens eines zweiten frequenzstabilisierten elektrischen Signals,
- Mittel (20), die mit der Lichtquelle und den Mitteln zum Erzeugen eines elektrischen Signals verbunden sind, um den Eingangsstrahl in erste und zweite Zwischenstrahlen zu unterteilen, die eine Frequenzdifferenz von mindestens 20MHz aufweisen, wobei der erste Zwischenstrahl die gleiche Ausbreitungsrichtung und Frequenz hat wie der Eingangsstrahl, wobei die Zwischenstrahlen die gleiche lineare Polarisation aufweisen, wie der Eingangsstrahl und jeweils ungefähr die Hälfte der Intensität des Eingangsstrahls aufweisen und mit
- Mitteln (44), die optisch mit den Wandlermitteln verbunden sind, um jeden der Zwischenstrahlen in orthogonal polarisierte Strahlen umzuwandeln, um einen Ausgangsstrahl (46)
"- ) - ' *'■ ' 019A942
zu erzeugen, mit zwei orthogonalen Polarisationskomponenten, zwischen denen eine Frequenzdifferenz herrscht, die der Frequenzdifferenz der Zwischenstrahlen entspricht.
10. Gerät nach Anspruch 9,
dadurch g e k e &eegr; &eegr; &zgr; e i c h &eegr; e t, daß der Ausgangsstrahl (46) die halbe Intensität des Eingangsstrahl aufweist.
DE198686400507T 1985-03-12 1986-03-11 Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen. Pending DE194942T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/710,859 US4684828A (en) 1985-03-12 1985-03-12 Apparatus to transform a single frequency, linearly polarized laser beam into a beam with two, orthogonally polarized frequencies

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE194942T1 true DE194942T1 (de) 1987-04-09

Family

ID=24855839

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE198686400507T Pending DE194942T1 (de) 1985-03-12 1986-03-11 Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen.
DE3689671T Expired - Lifetime DE3689671T2 (de) 1985-03-12 1986-03-11 Apparat zur Umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten Laserstrahls in einen Strahl mit zwei orthogonal polarisierten Frequenzen.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3689671T Expired - Lifetime DE3689671T2 (de) 1985-03-12 1986-03-11 Apparat zur Umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten Laserstrahls in einen Strahl mit zwei orthogonal polarisierten Frequenzen.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4684828A (de)
EP (1) EP0194942B1 (de)
JP (1) JPH0636451B2 (de)
DE (2) DE194942T1 (de)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4902087A (en) * 1988-09-19 1990-02-20 Unisys Corporation Fiber optic bypass switch
US5002395A (en) * 1989-02-02 1991-03-26 Mvm Electronics Interferometric acousto-optic spectrum analyzer
US5408318A (en) * 1993-08-02 1995-04-18 Nearfield Systems Incorporated Wide range straightness measuring stem using a polarized multiplexed interferometer and centered shift measurement of beam polarization components
US5404222A (en) * 1994-01-14 1995-04-04 Sparta, Inc. Interferametric measuring system with air turbulence compensation
US5796512A (en) * 1996-02-16 1998-08-18 Carnegie Mellon University Subicron imaging system having an acousto-optic tunable filter
US5862164A (en) * 1996-07-26 1999-01-19 Zygo Corporation Apparatus to transform with high efficiency a single frequency, linearly polarized laser beam into beams with two orthogonally polarized frequency components orthogonally polarized
US5991033A (en) * 1996-09-20 1999-11-23 Sparta, Inc. Interferometer with air turbulence compensation
US5724136A (en) * 1996-10-15 1998-03-03 Zygo Corporation Interferometric apparatus for measuring motions of a stage relative to fixed reflectors
US5917844A (en) * 1997-04-25 1999-06-29 Zygo Corporation Apparatus for generating orthogonally polarized beams having different frequencies
US5970077A (en) * 1997-04-25 1999-10-19 Zygo Corporation Apparatus for efficiently transforming a single frequency, linearly polarized laser beam into principally two orthogonally polarized beams having different frequencies
US6236507B1 (en) 1998-04-17 2001-05-22 Zygo Corporation Apparatus to transform two nonparallel propagating optical beam components into two orthogonally polarized beam components
US6724486B1 (en) 1999-04-28 2004-04-20 Zygo Corporation Helium- Neon laser light source generating two harmonically related, single- frequency wavelengths for use in displacement and dispersion measuring interferometry
US6157660A (en) * 1999-06-04 2000-12-05 Zygo Corporation Apparatus for generating linearly-orthogonally polarized light beams
US6744554B2 (en) * 2000-09-11 2004-06-01 Mitsui Chemicals, Inc. Wavelength conversion apparatus
US6888979B2 (en) * 2000-11-29 2005-05-03 Analog Devices, Inc. MEMS mirrors with precision clamping mechanism
US6778280B2 (en) * 2001-07-06 2004-08-17 Zygo Corporation Interferometry system and method employing an angular difference in propagation between orthogonally polarized input beam components
CN1166914C (zh) * 2002-05-31 2004-09-15 清华大学 频率分裂氦-氖激光回馈自混合非接触测微仪
DE102004022654A1 (de) * 2003-05-15 2004-12-23 Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto Heterodynstrahl-Bereitstellung mit Aktivsteuerung zweier orthogonaler Polarisierungen
US6961129B2 (en) * 2003-05-15 2005-11-01 Agilent Technologies, Inc. Active control of two orthogonal polarizations for heterodyne interferometry
US7310152B2 (en) * 2004-03-03 2007-12-18 Zygo Corporation Interferometer assemblies having reduced cyclic errors and system using the interferometer assemblies
WO2006014406A2 (en) 2004-06-30 2006-02-09 Zygo Corporation Interferometric optical assemblies and systems including interferometric optical assemblies
US7372576B2 (en) * 2005-11-01 2008-05-13 Agilent Technologies, Inc. System and method for generating beams of light using an anisotropic acousto-optic modulator
US7375819B2 (en) * 2005-11-01 2008-05-20 Agilent Technologies, Inc. System and method for generating beams of light using an anisotropic acousto-optic modulator

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3401590A (en) * 1965-03-01 1968-09-17 Sylvania Electric Prod Optical coupler
DE2353950A1 (de) * 1973-10-27 1975-04-30 Philips Patentverwaltung Vorrichtung zur unterdrueckung von stoerlicht in digitalen elektro-optischen lichtablenkern

Also Published As

Publication number Publication date
EP0194942B1 (de) 1994-03-02
JPH0636451B2 (ja) 1994-05-11
EP0194942A2 (de) 1986-09-17
DE3689671D1 (de) 1994-04-07
DE3689671T2 (de) 1994-06-23
JPS61214490A (ja) 1986-09-24
US4684828A (en) 1987-08-04
EP0194942A3 (en) 1989-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE194942T1 (de) Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen.
EP2437096B1 (de) Mikroskop und Mikroskopierverfahren
EP0021148A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur interferometrischen Messung
DE69628957T2 (de) Wellenlangenumwandlungsvorrichtung mit einem nichgebeugten Strahl
DE4031449A1 (de) Aktive polarisationskontrolle
DE69715851T2 (de) Optischer frequenzvervielfacher
DE2127483A1 (de) Verfahren zur interferentiellen Messung von Langen, Winkeln, Gangunter schieden oder Geschwindigkeiten
DE68925254T2 (de) Generator für die zweite Harmonische und denselben benutzendes Informationssystem
DE69810509T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur räumlichen Aufspaltung der Frequenzkomponenten einfallender optischer Strahlung
DE3201128A1 (de) Optische schaltevorrichtung
DE194940T1 (de) Apparat zur umwandlung eines monofrequenten, linear polarisierten laserstrahls in einen hochwirksamen strahl mit zwei orthogonal polarisierten frequenzen.
DE1946301B2 (de) Vorrichtung zum Messen einer Rotation eines ersten Gegenstandes in Bezug auf einen zweiten Gegenstand
DE69010951T2 (de) Optischer Wellenlängenkonverter.
DE4428600B4 (de) Zeitaufgelöste optische Fouriertransform-Spektroskopie
DE102004003090A1 (de) Aktive Steuerung zweier orthogonaler Polarisationen für eine heterodyne Interferometrie
DE69705482T2 (de) Wellenlängenumwandlungsvorrichtung mit parallel polarisierten Bessel Strahlen
EP1359453B1 (de) Anordnung und Verfahren zum polarisationsoptischen Interferenzkontrast
DE2220148A1 (de) Abstimmbarer optischer Filter
DE2741849A1 (de) Optisches multiplex-uebertragungssystem
DE1564498B2 (de) Optisches frequenzmodulationssystem fuer kohaerentes licht
DE2359797C3 (de) Schaltbare optische Wellenleitereinrichtung
DE3121435A1 (de) Optisches cosinustransformationssystem
DE3686814T2 (de) Optischer bildgenerator.
DE3121437A1 (de) Selbstabtastende optische fourier-transformationsanordnung
DE3346058A1 (de) Optische frequenzumsetzvorrichtung, und damit ausgestattetes gyrometer