JPS61214490A - 単周波数の直線偏光レーザービームを２周波数直交偏光ビームに変成する装置 - Google Patents
単周波数の直線偏光レーザービームを２周波数直交偏光ビームに変成する装置Info
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- JPS61214490A JPS61214490A JP61053504A JP5350486A JPS61214490A JP S61214490 A JPS61214490 A JP S61214490A JP 61053504 A JP61053504 A JP 61053504A JP 5350486 A JP5350486 A JP 5350486A JP S61214490 A JPS61214490 A JP S61214490A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
- G02F1/116—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves using an optically anisotropic medium, wherein the incident and the diffracted light waves have different polarizations, e.g. acousto-optic tunable filter [AOTF]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
１皿生豊量
（産業上の利用分野）
この発明は、単周波数の直線偏光レーザービームを２周
波数の直交偏光ビームに変成する装置に関する。さらに
詳しくは、この発明は、長さ又は光学的長さの変化の極
めて正確な測定を行なう種々の光学測定装置として有用
な電気光学的装置に関する。
波数の直交偏光ビームに変成する装置に関する。さらに
詳しくは、この発明は、長さ又は光学的長さの変化の極
めて正確な測定を行なう種々の光学測定装置として有用
な電気光学的装置に関する。
（従来技術）
長さ、距離又は光学的長さの変化を測定する光学干渉計
の用途は、レーザー、光センサ及びミクロ電子工学の技
術的進歩のみならず、絶えず拡大する高精度、高確度測
定の要求のために重要となって来ている。従来の干渉計
は一般的に用いる信号の作成テクニック、すなわ□ち、
ホモダイン（ｈｏ−ｍｏｄｙｎｅ）又はヘテロゲイン（
ｈｅ ｔｅｒｏｄｙｎｅ）に基づいて２つのタイプに種
別される。ヘテロゲインテクニックに基づく干渉計は、
１）低周波ドリフト及びノイズに感応せず、２）その分
解能（ｒｅｓｏｌｕｔｉ−ｏｎ）を容易により拡大する
ことができるので、一般的に好ましい。ヘテロゲインタ
イプの干渉計の中でも、とくに興味深いのは２つの光学
周波数の使用に基づ（ものである。従来技術の２−光学
周波数へテロダイン干渉計では、２つの光学周波数は以
下のテクニックの一つにより生み出される：ｌ）ゼーマ
ン分裂レーザーの使用 例えば、Ｂａｇｌｅｙらによる米国特許第３４５８２５
９号明細書（１９６９年６月２９日発行）； Ｇ、Ｂｏ
ｕｗｈｕｉｓの「ガスレーザによる干渉測定（Ｉｎｔｅ
ｒｆｅｒｏｍｅｔ−ｒｉｅ Ｍｅｔ Ｇａ５１ａｓｅ
ｒｓ） Ｊ 、Ｎｅｄ、Ｔ、Ｎａｔｕｕｒｋ第３４巻２
２５〜２３２頁（１９６８年８月） ； ｌｌｅｗｌ
ｅｔｔ−Ｐａｃ−ｋａｒｄ Ｊｏｕｒｎａｌ （１９７
０年８月） ； Ｂａｇｌｅｙらの米国特許第３６５
６８５３号明細書（１９７２年４月１８日発行）；１１
ｅｗｌｅｔｔ −Ｐａｃｋａｒｄ Ｊｏｕｒｎａｌ （
１９８３年４月）；及び■（。松本の［安定化レーザー
を用いる最近の干渉測定（Ｒｅｃｅｎｔ ｉｎｔｅｒｆ
ｅｒｏｍｅｔ、ｒｉｃ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｕｓ
ｉｎｇ ５ｔａｂｉｌｉｚｅｄ １ａｓｅｒｓ） Ｊ
Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｅｎ −ｉｎｅｅｒｉｎｇ第６
巻８７〜９４頁（１９８４年４月）、を参照。
の用途は、レーザー、光センサ及びミクロ電子工学の技
術的進歩のみならず、絶えず拡大する高精度、高確度測
定の要求のために重要となって来ている。従来の干渉計
は一般的に用いる信号の作成テクニック、すなわ□ち、
ホモダイン（ｈｏ−ｍｏｄｙｎｅ）又はヘテロゲイン（
ｈｅ ｔｅｒｏｄｙｎｅ）に基づいて２つのタイプに種
別される。ヘテロゲインテクニックに基づく干渉計は、
１）低周波ドリフト及びノイズに感応せず、２）その分
解能（ｒｅｓｏｌｕｔｉ−ｏｎ）を容易により拡大する
ことができるので、一般的に好ましい。ヘテロゲインタ
イプの干渉計の中でも、とくに興味深いのは２つの光学
周波数の使用に基づ（ものである。従来技術の２−光学
周波数へテロダイン干渉計では、２つの光学周波数は以
下のテクニックの一つにより生み出される：ｌ）ゼーマ
ン分裂レーザーの使用 例えば、Ｂａｇｌｅｙらによる米国特許第３４５８２５
９号明細書（１９６９年６月２９日発行）； Ｇ、Ｂｏ
ｕｗｈｕｉｓの「ガスレーザによる干渉測定（Ｉｎｔｅ
ｒｆｅｒｏｍｅｔ−ｒｉｅ Ｍｅｔ Ｇａ５１ａｓｅ
ｒｓ） Ｊ 、Ｎｅｄ、Ｔ、Ｎａｔｕｕｒｋ第３４巻２
２５〜２３２頁（１９６８年８月） ； ｌｌｅｗｌ
ｅｔｔ−Ｐａｃ−ｋａｒｄ Ｊｏｕｒｎａｌ （１９７
０年８月） ； Ｂａｇｌｅｙらの米国特許第３６５
６８５３号明細書（１９７２年４月１８日発行）；１１
ｅｗｌｅｔｔ −Ｐａｃｋａｒｄ Ｊｏｕｒｎａｌ （
１９８３年４月）；及び■（。松本の［安定化レーザー
を用いる最近の干渉測定（Ｒｅｃｅｎｔ ｉｎｔｅｒｆ
ｅｒｏｍｅｔ、ｒｉｃ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｕｓ
ｉｎｇ ５ｔａｂｉｌｉｚｅｄ １ａｓｅｒｓ） Ｊ
Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｅｎ −ｉｎｅｅｒｉｎｇ第６
巻８７〜９４頁（１９８４年４月）、を参照。
２）１対の音響−光学ブラッグセル（ａｃｏｕｓ Ｌｏ
−ｏｐ−ｔｉｃ ｆｌｒａｇｇ ｃｅ目）の使用例えば
、Ｙ、人尿及びに、伊藤の「低周波域での少変位測定用
の２周波数レーザー干渉計（Ｔｗｏ−ｆｒｅｑｕｅｎｃ
ｙ １ａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ
ｆｏｒｓｍａｌｌ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｍｅ
ａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｉｎ ａ ｌｏｗｆｒｅｑｕｅ
ｎｃｙ ｒａｎｇｅ） Ｊ八 １ｉｅｄＯｔｉｃｓ第１
８巻２１９〜２２４頁（１９７９年１月１５日）；
ＮｌＭａｓｓｉｅらの「６４チヤンネルヘテロゲイン干
渉計によるレーザー流昇の測定（Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ
１ａｓｅｒ ｆｌｏｗ ｆｉｅｌｄｓｗｉｔｈ ａ ６
４−ｃｈａｎｎｅｌ ｈｅｔｅｒｏｄｙｎｅ ｉｎｔｅ
ｒｆｅｒｏｍｅｔ−ｅｒ） Ｊ知剰ユ封」鄭↓９ 第２
２巻２１４１〜２１５１頁（１９８３） ； Ｙ、人尿
及びＭ、ツボカワの「少変位測定用の２周波数ダイナミ
ック干渉計（Ｄｙｎａｍｉｃｔｗｏ−ｆｒｅｑｕｅｎｃ
ｙ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ ｆｏｒ ｓｍａｌ
ｌ ｄｉ−ｓｐｌａｃｅ＋５ｅｎｔ ｍｅａｓｕｒｅｍ
ｅｎｔ） Ｊ Ｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ｌａ５ｅｒｎ並
二蝕■ 第１６巻２５〜２９頁（１９８４年２月）；Ｈ
１松本の韮匹■、を参照。
−ｏｐ−ｔｉｃ ｆｌｒａｇｇ ｃｅ目）の使用例えば
、Ｙ、人尿及びに、伊藤の「低周波域での少変位測定用
の２周波数レーザー干渉計（Ｔｗｏ−ｆｒｅｑｕｅｎｃ
ｙ １ａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ
ｆｏｒｓｍａｌｌ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｍｅ
ａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｉｎ ａ ｌｏｗｆｒｅｑｕｅ
ｎｃｙ ｒａｎｇｅ） Ｊ八 １ｉｅｄＯｔｉｃｓ第１
８巻２１９〜２２４頁（１９７９年１月１５日）；
ＮｌＭａｓｓｉｅらの「６４チヤンネルヘテロゲイン干
渉計によるレーザー流昇の測定（Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ
１ａｓｅｒ ｆｌｏｗ ｆｉｅｌｄｓｗｉｔｈ ａ ６
４−ｃｈａｎｎｅｌ ｈｅｔｅｒｏｄｙｎｅ ｉｎｔｅ
ｒｆｅｒｏｍｅｔ−ｅｒ） Ｊ知剰ユ封」鄭↓９ 第２
２巻２１４１〜２１５１頁（１９８３） ； Ｙ、人尿
及びＭ、ツボカワの「少変位測定用の２周波数ダイナミ
ック干渉計（Ｄｙｎａｍｉｃｔｗｏ−ｆｒｅｑｕｅｎｃ
ｙ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ ｆｏｒ ｓｍａｌ
ｌ ｄｉ−ｓｐｌａｃｅ＋５ｅｎｔ ｍｅａｓｕｒｅｍ
ｅｎｔ） Ｊ Ｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ｌａ５ｅｒｎ並
二蝕■ 第１６巻２５〜２９頁（１９８４年２月）；Ｈ
１松本の韮匹■、を参照。
３） ランダム偏光されたＨｅ−Ｎｅレーザの２つの縦
モードの使用 例えば、Ｊｊｌ、Ｆｅｒｇｕｓｏｎ及びＲ，Ｉ（、Ｍｏ
ｒｒｉｓのｒ６３２８−ａのＨｅ−Ｎｅ レーザ中の単
一−１−−）’（７）崩壊（Ｓｉｎｇｌｅ Ｍｏｄｅ
Ｃｏ１１ａｐｓｅ ｉｎ ６３２Ｂ−＾１１ｅ−Ｎｅ
１ａｓ−ｅｒｓ）Ｊ Ａ ｔｉｅｄ Ｏｔｉｃｓ
第１７＠ ２９２４〜２９２９頁（１９７８）を参照。
モードの使用 例えば、Ｊｊｌ、Ｆｅｒｇｕｓｏｎ及びＲ，Ｉ（、Ｍｏ
ｒｒｉｓのｒ６３２８−ａのＨｅ−Ｎｅ レーザ中の単
一−１−−）’（７）崩壊（Ｓｉｎｇｌｅ Ｍｏｄｅ
Ｃｏ１１ａｐｓｅ ｉｎ ６３２Ｂ−＾１１ｅ−Ｎｅ
１ａｓ−ｅｒｓ）Ｊ Ａ ｔｉｅｄ Ｏｔｉｃｓ
第１７＠ ２９２４〜２９２９頁（１９７８）を参照。
２つの光学周波数を生ずるゼーマン分裂レーザーの使用
は、ある種のレーザー（例えば、Ｈｅ−Ｎｅ）について
のみ適用可能で、２つの光学周波数間の周波数差は約２
ＭＨｚに制限される。これは測定されるべき長さ又は光
学長さの最大変化率に制限を課す。加えてゼーマン分裂
レーザーからの利用できる出力は５００マイクロワット
未満であり、これは複数分断測定（例えば３〜６分断）
に用いなければならない場合のレーザ源としての重大な
制限となりうる。ゼーマン分裂レーザーの他の制限は、
周波数差が、例えば近くの電気機器の電流により生じる
磁界や地球の磁界のように時間、場所及び方向によって
変動しうる外部付加磁界に依存することである。従って
、周波数差の安定性を錬りとするいかなる測定装置にお
いてもこの制御できない周波数差の変動を測定する必要
がある。
は、ある種のレーザー（例えば、Ｈｅ−Ｎｅ）について
のみ適用可能で、２つの光学周波数間の周波数差は約２
ＭＨｚに制限される。これは測定されるべき長さ又は光
学長さの最大変化率に制限を課す。加えてゼーマン分裂
レーザーからの利用できる出力は５００マイクロワット
未満であり、これは複数分断測定（例えば３〜６分断）
に用いなければならない場合のレーザ源としての重大な
制限となりうる。ゼーマン分裂レーザーの他の制限は、
周波数差が、例えば近くの電気機器の電流により生じる
磁界や地球の磁界のように時間、場所及び方向によって
変動しうる外部付加磁界に依存することである。従って
、周波数差の安定性を錬りとするいかなる測定装置にお
いてもこの制御できない周波数差の変動を測定する必要
がある。
２つの光学周波数を生じる２つのブラッグセルの使用は
、多くの誤差源となり易く配列（ａｌｉｇｎｍ−ｅｎ
ｔ）も困難である複雑で高価な装置を必要とする。
、多くの誤差源となり易く配列（ａｌｉｇｎｍ−ｅｎ
ｔ）も困難である複雑で高価な装置を必要とする。
ランダム偏光されたＨｅ−Ｎｅレーザーの２つの縦モー
ドの使用は２つの直交する偏光周波数によるむしろ便利
でコスト的に有利な形態のレーザービームを提供する。
ドの使用は２つの直交する偏光周波数によるむしろ便利
でコスト的に有利な形態のレーザービームを提供する。
しかしながら、その周波数差はほぼ６００〜１００１０
０Ｏでこれは複雑で高価な検出器とプロセス電子工学を
必要とする。さらにかような高い周波数差による始動に
よって、分解能拡大の作業が困難でかつ費用がかかる。
０Ｏでこれは複雑で高価な検出器とプロセス電子工学を
必要とする。さらにかような高い周波数差による始動に
よって、分解能拡大の作業が困難でかつ費用がかかる。
直交偏光の２つの光学周波数のレーザービームを生み出
す従来のテクニックはいくらかの用途に有用であるが、
いずれも長さく距離）の迅速な変動の極めて高分解能迄
の測定を要求する用途のために工業的に耐えうる形の技
術的な特性（ｐｅｒｆｏｒ−ｎ＋ａｎｃｅ）を提供しな
い。
す従来のテクニックはいくらかの用途に有用であるが、
いずれも長さく距離）の迅速な変動の極めて高分解能迄
の測定を要求する用途のために工業的に耐えうる形の技
術的な特性（ｐｅｒｆｏｒ−ｎ＋ａｎｃｅ）を提供しな
い。
主皿互縁底
この発明によれば、
（１）安定化された単波長で直線偏光された入力ビーム
（最も好ましくは、レーザ）源；（２） 周波数１１
及びｆｔの２つの電気信号を提供する手段、最も好まし
くは周波数の安定化された高周波発生器；（３） 該
電気信号を下記手段（４）へ伝達するための手段、最も
好ましくは電子増幅器；（４）上記入力ビームを、ｆ２
−ｆ、の周波数差を有し、伝搬方向差が小さく、該入力
ビームと同様の偏光を有し、かつそれぞれ入力ビームの
ほぼ１／４の強度を有する２つの中間ビームに変換する
手段、最も好ましくは音響−光学ブラッグセル、＋５）
該中間ビームを２つの直交偏光ビームに分裂するこ
とにより、入力ビームの１／４の強度を有し２つの直交
偏光成分を有しこの直交偏光成分間にｒ２−ｒ、の周波
数差を有する出力ビームと、入力ビームの伝搬方向に対
してわずかに角度偏移した伝搬方向を有しかつそれぞれ
入力ビームの１／４の強度を有する２つのスプリアス（
ｓｐｕｒｉｏｕｓ）ビームを生み出す手段、最も好まし
くは複屈折プリズム；及び（６） 該スプリアスビー
ムを排除する手段、最も好ましくは不透明絞り（ｏｐａ
ｑｕｅ ５ｔｏｐ） 、を備えてなり、単周波数「、で
直線偏光されたレーザービームを２つの直交偏光周波数
のビームに変成できる電気光学装置が提供される。
（最も好ましくは、レーザ）源；（２） 周波数１１
及びｆｔの２つの電気信号を提供する手段、最も好まし
くは周波数の安定化された高周波発生器；（３） 該
電気信号を下記手段（４）へ伝達するための手段、最も
好ましくは電子増幅器；（４）上記入力ビームを、ｆ２
−ｆ、の周波数差を有し、伝搬方向差が小さく、該入力
ビームと同様の偏光を有し、かつそれぞれ入力ビームの
ほぼ１／４の強度を有する２つの中間ビームに変換する
手段、最も好ましくは音響−光学ブラッグセル、＋５）
該中間ビームを２つの直交偏光ビームに分裂するこ
とにより、入力ビームの１／４の強度を有し２つの直交
偏光成分を有しこの直交偏光成分間にｒ２−ｒ、の周波
数差を有する出力ビームと、入力ビームの伝搬方向に対
してわずかに角度偏移した伝搬方向を有しかつそれぞれ
入力ビームの１／４の強度を有する２つのスプリアス（
ｓｐｕｒｉｏｕｓ）ビームを生み出す手段、最も好まし
くは複屈折プリズム；及び（６） 該スプリアスビー
ムを排除する手段、最も好ましくは不透明絞り（ｏｐａ
ｑｕｅ ５ｔｏｐ） 、を備えてなり、単周波数「、で
直線偏光されたレーザービームを２つの直交偏光周波数
のビームに変成できる電気光学装置が提供される。
第１図は、この発明の現在における好ましい態様の概略
形態を示す。この発明の装置は光線源としての広範囲の
用途を有しているが、以下の説明は一つの光学測定シス
テムに関する実施例としてのものである。ここで用いる
“放射エネルギー”の語は全周波数範囲の電磁波エネル
ギーを含み、とくに限定されるものではない。光源（１
０）、とくに好ましくはレーザーは、安定化された単波
長を有し、直線偏光される光エネルギービーム（１２）
を供給する。光源（１０）はいかなる種類のレーザーで
あってもよい。例えば、当該分野で公知のいかなる種類
の通常の方法によって安定化されてビーム（１２）を生
み出すガスレーザー（例えば、ヘリウム−ネオンガスレ
ーザー）であってもよい〔例えば、Ｔ、Ｂａｅｒらのｒ
Ｏ，６３３μｍのＨｅ−Ｎｅ縦型ゼーマンレーザーの周
波数安定化（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ５ｔａｂｉｌｉｚａ
ｔｉｏｎｏｆ Ｏ，６３３μ ｍ Ｈｅ−Ｎｅ
ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ Ｚｅｅｍａｎ １ａｓ
ｅｒ）Ｊ紐蛙圏虹並旦亜、第１９巻３１７３〜３１７？
（１９８０年）；Ｂｕｒｇｗａｌｄらの米国特許第３
８８９２０７号明細書（１９７５年６月ＩＯ日発行）
； ＳａｎｄｓＬｒｏｍらの米国特許第３６６２２７
９号明細書（１９７２年５月９日発行）参照〕。
形態を示す。この発明の装置は光線源としての広範囲の
用途を有しているが、以下の説明は一つの光学測定シス
テムに関する実施例としてのものである。ここで用いる
“放射エネルギー”の語は全周波数範囲の電磁波エネル
ギーを含み、とくに限定されるものではない。光源（１
０）、とくに好ましくはレーザーは、安定化された単波
長を有し、直線偏光される光エネルギービーム（１２）
を供給する。光源（１０）はいかなる種類のレーザーで
あってもよい。例えば、当該分野で公知のいかなる種類
の通常の方法によって安定化されてビーム（１２）を生
み出すガスレーザー（例えば、ヘリウム−ネオンガスレ
ーザー）であってもよい〔例えば、Ｔ、Ｂａｅｒらのｒ
Ｏ，６３３μｍのＨｅ−Ｎｅ縦型ゼーマンレーザーの周
波数安定化（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ５ｔａｂｉｌｉｚａ
ｔｉｏｎｏｆ Ｏ，６３３μ ｍ Ｈｅ−Ｎｅ
ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ Ｚｅｅｍａｎ １ａｓ
ｅｒ）Ｊ紐蛙圏虹並旦亜、第１９巻３１７３〜３１７？
（１９８０年）；Ｂｕｒｇｗａｌｄらの米国特許第３
８８９２０７号明細書（１９７５年６月ＩＯ日発行）
； ＳａｎｄｓＬｒｏｍらの米国特許第３６６２２７
９号明細書（１９７２年５月９日発行）参照〕。
これとは別に、光源（１０）は当該分野で公知の種々の
方法によって周波数安定化されてビーム（１２）を生み
出すダイオードレーザ−であってもよい〔例えば、Ｔ、
オーコシ及びに、菊池の［ヘテロダイン式光通信システ
ム用の半導体レーザーの周波数安定化（Ｆｒｅｑｕｅｎ
ｃｙ ５ｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｅｍ１
ｃｏｎ−ｄｕｃｔｏｒ Ｌａ５ｅｒｓ ｆｏｒ Ｈｅｔ
ｅｒｏｄｙｎｅ−ｔｙｐｅ ＯｐｔｉｃａｌＣｏｍｍｕ
ｎｉｃａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ）Ｊ Ｈｅ１ｅｃｔ
ｒｏｎｉｃ Ｌｅｔｔｅｒｓ第１６巻１７９〜１８１頁
（１９８０年）；Ｓ、山口及びＭ。
方法によって周波数安定化されてビーム（１２）を生み
出すダイオードレーザ−であってもよい〔例えば、Ｔ、
オーコシ及びに、菊池の［ヘテロダイン式光通信システ
ム用の半導体レーザーの周波数安定化（Ｆｒｅｑｕｅｎ
ｃｙ ５ｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｅｍ１
ｃｏｎ−ｄｕｃｔｏｒ Ｌａ５ｅｒｓ ｆｏｒ Ｈｅｔ
ｅｒｏｄｙｎｅ−ｔｙｐｅ ＯｐｔｉｃａｌＣｏｍｍｕ
ｎｉｃａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍｓ）Ｊ Ｈｅ１ｅｃｔ
ｒｏｎｉｃ Ｌｅｔｔｅｒｓ第１６巻１７９〜１８１頁
（１９８０年）；Ｓ、山口及びＭ。
鉛末の［クリプトンのオプトガルバニック効果を用いた
ＡｌＧａＡｓ半導体の周波数及び出力の同時安定化（Ｓ
ｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ ５ｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ
ｏｆ ｔｈｅ Ｆｒｅｑｕｅ−ｎｃｙ ａｎｄ Ｐｏ
ｗｅｒ ｏｒ ａｎ ＡｌＧａＡｓ Ｓｅｍ１ｃｏｎｄ
ｕｃｔｏｒ Ｌａ−５ｅｒ ｂｙ Ｕｓｅ ｏｆ ｔｈ
ｅ Ｏｐｔｏｇａｌｖａｎｉｃ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ
Ｋｒ−ｙｐｔｏｎ）Ｊ ＩＥＨＥ Ｊ、 ロｕａ
ｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＱＥ−１９
巻１５１４〜１５１９頁（１９８３年）参照〕。光源（
１０）に用いる特別の装置は、ビーム（１２）の直径及
び開き（ｄｉ−シロｒｇｅｎｃｅ）を決定する。ある光
源（例えばダイオードレーザ−）には、続く各素子に適
した直径及び開きの入力ビーム（１８）を供給するビー
ム形成用光学素子（１４） （例えば顕微鏡レンズ）を
用いることが必要である。例えば、光源（１０）がヘリ
ウム−ネオンレーザ−であるとき、ビーム形成用光学素
子（１４）は必要とされない。素子（ｌＯ）及び（１４
）は、一つの安定化された周波数ｆＬを有しかつ直線偏
光される入力ビーム（１８）源である仕切り箱（１６）
内に示される。実施例として、偏光方向は図の平面へ好
ましくは４５°である。高周波発生器（３０）は、電力
増幅器（３４）へ周波数ｆ１及びｆ２からなる周波数安
定化電気信号（３２）を供給する。電力増幅器（３４）
の電気出力（３６）は、音響−光学ブラッグセル（２０
）に付着されたピエゾエレクトリック変換器（３８）の
駆動に用いられる。第２図は、光−音響ブラッグセル（
２０）と複屈折プリズム（４４）を通る入力ビーム（１
８）の伝搬の詳細な概略構成を示す。ブラッグセル（２
０）は入力ビーム（１８）を二つの中間ビーム（４０）
及び（４２）に変換する。ビーム（４０）及び（４２）
の直線偏光は入力ビーム（１８）と同様であるが、これ
らの伝搬方向及び周波数は入力ビーム（１８）とは相違
する。ことに、ビーム（４０）の伝搬方向はビーム（４
２）の方向かられずかな角度（δ）偏移される。
ＡｌＧａＡｓ半導体の周波数及び出力の同時安定化（Ｓ
ｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ ５ｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ
ｏｆ ｔｈｅ Ｆｒｅｑｕｅ−ｎｃｙ ａｎｄ Ｐｏ
ｗｅｒ ｏｒ ａｎ ＡｌＧａＡｓ Ｓｅｍ１ｃｏｎｄ
ｕｃｔｏｒ Ｌａ−５ｅｒ ｂｙ Ｕｓｅ ｏｆ ｔｈ
ｅ Ｏｐｔｏｇａｌｖａｎｉｃ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ
Ｋｒ−ｙｐｔｏｎ）Ｊ ＩＥＨＥ Ｊ、 ロｕａ
ｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＱＥ−１９
巻１５１４〜１５１９頁（１９８３年）参照〕。光源（
１０）に用いる特別の装置は、ビーム（１２）の直径及
び開き（ｄｉ−シロｒｇｅｎｃｅ）を決定する。ある光
源（例えばダイオードレーザ−）には、続く各素子に適
した直径及び開きの入力ビーム（１８）を供給するビー
ム形成用光学素子（１４） （例えば顕微鏡レンズ）を
用いることが必要である。例えば、光源（１０）がヘリ
ウム−ネオンレーザ−であるとき、ビーム形成用光学素
子（１４）は必要とされない。素子（ｌＯ）及び（１４
）は、一つの安定化された周波数ｆＬを有しかつ直線偏
光される入力ビーム（１８）源である仕切り箱（１６）
内に示される。実施例として、偏光方向は図の平面へ好
ましくは４５°である。高周波発生器（３０）は、電力
増幅器（３４）へ周波数ｆ１及びｆ２からなる周波数安
定化電気信号（３２）を供給する。電力増幅器（３４）
の電気出力（３６）は、音響−光学ブラッグセル（２０
）に付着されたピエゾエレクトリック変換器（３８）の
駆動に用いられる。第２図は、光−音響ブラッグセル（
２０）と複屈折プリズム（４４）を通る入力ビーム（１
８）の伝搬の詳細な概略構成を示す。ブラッグセル（２
０）は入力ビーム（１８）を二つの中間ビーム（４０）
及び（４２）に変換する。ビーム（４０）及び（４２）
の直線偏光は入力ビーム（１８）と同様であるが、これ
らの伝搬方向及び周波数は入力ビーム（１８）とは相違
する。ことに、ビーム（４０）の伝搬方向はビーム（４
２）の方向かられずかな角度（δ）偏移される。
さらに、ビーム（４０）の周波数ｆＬ＋ｆ２はビーム（
４２）の周波数ｆＬ＋ｆ、からｆ２−ｆ、等しい量、す
なわちブラッグセル（２０）の駆動周波数差分界なる。
４２）の周波数ｆＬ＋ｆ、からｆ２−ｆ、等しい量、す
なわちブラッグセル（２０）の駆動周波数差分界なる。
電力増幅器（３０）の電気出力（３６）は、ビーム（４
０）及び（４２）が入力ビーム（１８）の約％でほぼ同
じ強度を有するように調整される。
０）及び（４２）が入力ビーム（１８）の約％でほぼ同
じ強度を有するように調整される。
ビーム（４０）及び（４２）は、結晶（例えば水晶）で
作られた複屈折プリズムにその頂端に平行な光軸で入射
する。
作られた複屈折プリズムにその頂端に平行な光軸で入射
する。
頂角αは式：
（式中、ｎｏ及びｎ、はそれぞれ正常及び異常屈折率を
示し、θは出力ビームの出射角を示す）を満足するよう
選ばれる。複屈折プリズム（４４）は中間ビーム（４０
）及び（４２）に作用して、それぞれ図の平面に対して
平行と、垂直の２つの直交偏光ビームに分裂して、１つ
の出力ビーム（４６）と２つのスプリアスビーム（４８
）及び（５０）を生み出す。出力ビーム（４６）は２つ
の直交偏光成分を有し、この２つの直交偏光成分間に周
波数差ｒ２−ｒ、を有する。偏光成分の空間的分離は微
小でビームの直径のほんのわずかにすぎない。これを図
中に著しく拡大して説明する。スプリアスビーム（４８
）及び（５０）は、出力ビーム（４６）とは異なる伝搬
方向を有し、それによりこれらは不透明絞り（５２）及
び（５４）により排除される。これとは別に、ビーム（
４Ｂ）及び（５０）のスプリアスビームのブロック作用
は、通常の空間的ピンホールフィルター（ｐｉｎ ｈｏ
ｌｅ ５ｐ−ａｔｉａｌ ｆｉｌｔｅｒ）装置を用いて
行なうことができる。
示し、θは出力ビームの出射角を示す）を満足するよう
選ばれる。複屈折プリズム（４４）は中間ビーム（４０
）及び（４２）に作用して、それぞれ図の平面に対して
平行と、垂直の２つの直交偏光ビームに分裂して、１つ
の出力ビーム（４６）と２つのスプリアスビーム（４８
）及び（５０）を生み出す。出力ビーム（４６）は２つ
の直交偏光成分を有し、この２つの直交偏光成分間に周
波数差ｒ２−ｒ、を有する。偏光成分の空間的分離は微
小でビームの直径のほんのわずかにすぎない。これを図
中に著しく拡大して説明する。スプリアスビーム（４８
）及び（５０）は、出力ビーム（４６）とは異なる伝搬
方向を有し、それによりこれらは不透明絞り（５２）及
び（５４）により排除される。これとは別に、ビーム（
４Ｂ）及び（５０）のスプリアスビームのブロック作用
は、通常の空間的ピンホールフィルター（ｐｉｎ ｈｏ
ｌｅ ５ｐ−ａｔｉａｌ ｆｉｌｔｅｒ）装置を用いて
行なうことができる。
例えば、所望の周波数シフトが２０ＭＨｚ又はそれより
大きい場合、この発明はその作用を変更しない限り、ビ
ーム（４２）を生じる電気信号（３２）中の「１を除去
（すなわち、ｒ、＝Ｏ）して入力ビーム（１８）と同じ
伝搬方向及び周波数を持たせることにより簡略化するこ
とができる。
大きい場合、この発明はその作用を変更しない限り、ビ
ーム（４２）を生じる電気信号（３２）中の「１を除去
（すなわち、ｒ、＝Ｏ）して入力ビーム（１８）と同じ
伝搬方向及び周波数を持たせることにより簡略化するこ
とができる。
衾肌皇須困
この発明の基本的な利点は、（１） 例えば、ゼーマ
ン分裂レーザ源の０．６〜２ＭＨｚに対して調整可能な
２〜１５０ＭＨｚの周波数範囲のごとき、出力ビームの
２つの直交偏光成分間の周波数差が高く、選択可能なこ
と、（２） 出力強度が高いこと、（３）外部磁界に
対して周波数差が不感応なこと、及び（４） レーザ
ー源から、２つの周波数形成装置が独立しており、すな
わち、この発明ではガスレーザー又はダイオードレーザ
−のいずれも使用できること、である。
ン分裂レーザ源の０．６〜２ＭＨｚに対して調整可能な
２〜１５０ＭＨｚの周波数範囲のごとき、出力ビームの
２つの直交偏光成分間の周波数差が高く、選択可能なこ
と、（２） 出力強度が高いこと、（３）外部磁界に
対して周波数差が不感応なこと、及び（４） レーザ
ー源から、２つの周波数形成装置が独立しており、すな
わち、この発明ではガスレーザー又はダイオードレーザ
−のいずれも使用できること、である。
以上この発明の好ましい態様について述べたが、特許請
求の範囲に定義される発明の精神又は範囲から離脱され
ない限り、自明の変形はその中に含まれる。
求の範囲に定義される発明の精神又は範囲から離脱され
ない限り、自明の変形はその中に含まれる。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略構成図、第２
図は、複屈折プリズムを通る光ビームの詳細な伝搬状態
を示す概略構成図である。 （ｌＯ）・・・光源、 （１２）・・・ビーム、
（１４）・・・ビーム形成用光学素子、（１６）・・・
仕切り箱、 （１８）・・・入力ビーム、（２０）・
・・音響−光学ブラッグセル（３０）・・・高周波発生
器、（３２）・・・電気信号、（３４）・・・電力増幅
器、 （３６）・・・電気出力、（３８）・・・ピエゾ
エレクトリック変換器、（４０）、（４２）・・・中間
ビーム、（４４）・・・複屈折プリズム、 （４６）・・・出力ビーム、 （４８）、（５０）・・・スプリアスビーム、（５２）
、（５４）・・・不透明絞り。
図は、複屈折プリズムを通る光ビームの詳細な伝搬状態
を示す概略構成図である。 （ｌＯ）・・・光源、 （１２）・・・ビーム、
（１４）・・・ビーム形成用光学素子、（１６）・・・
仕切り箱、 （１８）・・・入力ビーム、（２０）・
・・音響−光学ブラッグセル（３０）・・・高周波発生
器、（３２）・・・電気信号、（３４）・・・電力増幅
器、 （３６）・・・電気出力、（３８）・・・ピエゾ
エレクトリック変換器、（４０）、（４２）・・・中間
ビーム、（４４）・・・複屈折プリズム、 （４６）・・・出力ビーム、 （４８）、（５０）・・・スプリアスビーム、（５２）
、（５４）・・・不透明絞り。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、直線偏光され単周波数に安定化された第１周波数で
所定強度を有する光入力ビームを供給する光源と、安定
化された第２及び第３周波数の電気信号を各々供給する
手段と、上記入力ビーム供給手段及び上記電気信号供給
手段の両方に接続してなり、上記入力ビームを、該入力
ビームと同じ直線偏光を有し上記安定化された第２及び
第３周波数間の差に基づく周波数差を有しかつ各々該入
力ビームの所定強度の約１／２の強度を有する第１及び
第２の中間ビームに変成する手段と、上記変成手段に光
学的に接続してなり、上記各々の中間ビームを、該中間
ビームの周波数差に対応する周波数差を有する２つの直
交する偏光成分を有する出力ビームに変換する手段を備
えてなる電気光学的装置。 ２、出力ビームが、入力ビームの約１／２の強度を有し
てなる許請求の範囲第１項記載の装置。 ３、変換手段が、複屈折プリズムからなる特許請求の範
囲第１項記載の装置。 ４、複屈折プリズムが、中間ビームを２つの直交偏光ビ
ームに分裂して、出力ビームと、入力ビームと異なる伝
搬方向を有しかつ各々入力ビームの１／４の強度を有す
る２つのスプリアスビームとを生み出す手段からなり、
さらに該装置が該複屈折プリズムに光学的に接続される
該スプリアスビーム除去用手段を備えてなる特許請求の
範囲第３項記載の装置。 ５、スプリアスビーム除去用手段が不透明絞りからなる
特許請求の範囲第４項記載の装置。 ６、スプリアスビーム除去用手段が、空間的ピンホール
フィルター手段からなる特許請求の範囲第４項記載の装
置。 ７、変換手段が複屈折プリズムからなる特許請求の範囲
第２項記載の装置。 ８、光源が、レーザーからなり、入力ビームがレーザー
ビームである特許請求の範囲第１項記載の装置。 ９、変成手段が、音響−光学ブラッグセルからなる特許
請求の範囲第８項記載の装置。 １０、電気信号供給手段が、周波数安定化発振器からな
る特許請求の範囲第９項記載の装置。 １１、電気信号供給手段が、さらに発振器と変成手段と
の間に電気的に接続されるブラッグセル駆動用の電力増
幅器を備えてなる特許請求の範囲第１０項記載の装置。 １２、変換手段が、複屈折プリズムからなる特許請求の
範囲第１１項記載の装置。 １３、複屈折プリズムが、中間ビームを２つの直交偏光
ビームに分裂して、出力ビームと、入力ビームと異なる
伝搬方向を有しかつ各々入力ビームの１／４の強度を有
する２つのスプリアスビームとを生み出す手段からなり
、さらに該装置が該スプリアスビーム除去用で該複屈折
プリズムに光学的に接続される手段を備えてなる特許請
求の範囲第１２項記載の装置。 １４、出力ビームが、入力ビームの１／２の強度を有す
る特許請求の範囲第８項記載の装置。 １５、変成手段が、音響−光学ブラッグセルからなる特
許請求の範囲第１４項記載の装置。 １６、電気信号供給手段が、周波数安定化発振器からな
る特許請求の範囲第１５項記載の装置。 １７、レーザーが、ヘリウム−ネオンガスレーザーから
なる特許請求の範囲第８項記載の装置。 １８、レーザーが、ダイオードレーザーからなる特許請
求の範囲第８項記載の装置。 １９、光源が、さらにダイオードレーザーに付随する入
力ビーム供給用のビーム形成用光学系を備えてなる特許
請求の範囲第１８項記載の装置。 ２０、入力ビームが、伝搬の縦軸に対して４５°の偏光
方向を有する特許請求の範囲第１項記載の装置。 ２１、変成手段が、音響−光学ブラッグセルからなる特
許請求の範囲第１項記載の装置。 ２２、電気信号供給手段が、周波数安定化発振器からな
る特許請求の範囲第２１項記載の装置。 ２３、電気信号供給手段が、さらに発振器と変成手段と
の間に電気的に接続されるブラッグセル駆動用の電力増
幅器を備えてなる特許請求の範囲第２２項記載の装置。 ２４、複屈折プリズムが、頂端と該頂端に平行な光軸を
有し、頂角αが、下式： δ＝ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｏｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾
１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｏ）｝］−ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｅ
ｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｅ）｝］
（式中、δは各中間ビーム間での伝搬方向の偏移角を、
ｎ＿ｏ及びｎ＿ｅはそれぞれ正常及び異常屈折率を、θ
は出力ビームの出射角を示す）を満足する特許請求の範
囲第３項記載の装置。 ２５、複屈折プリズムが、中間ビームを２つの直交偏光
ビームに分裂して、出力ビームと、入力ビームと異なる
伝搬方向を有しかつ各々入力ビームの１／４の強度を有
する２つのスプリアスビームとを生み出す手段からなり
、さらに該装置が該スプリアスビーム除去用で該複屈折
プリズムに光学的に接続される手段を備えてなる特許請
求の範囲第３項記載の装置。 ２６、複屈折プリズムが、頂端と該頂端に平行な光軸を
有し、頂角αが下式： δ＝ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｏｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾
１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｏ）｝］−ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｅ
ｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｅ）｝］
（式中、δは各中間ビーム間での伝搬方向の偏移角を、
ｎ＿ｏ及びｎ＿ｅはそれぞれ正常及び異常屈折率を、θ
は出力ビームの出射角を示す）を満足する特許請求の範
囲第１２項記載の装置。 ２７、複屈折プリズムが、頂端と該頂端に平行な光軸を
有し、頂角αが下式： δ＝ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｏｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾
１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｏ）｝］−ｓｉｎ＾−＾１［ｎ＿ｅ
ｓｉｎ｛α−ｓｉｎ＾−＾１（ｓｉｎθ／ｎ＿ｅ）｝］
（式中、δは各中間ビーム間での伝搬方向の偏移角を、
ｎ＿ｏ及びｎ＿ｅはそれぞれ正常及び異常屈折率を、θ
は出力ビームの出射角を示す）を満足する特許請求の範
囲第７項記載の装置。 ２８、直線偏光され単周波数に安定化された第１周波数
で所定強度を有する光入力ビームを供給する光源と、安
定化された第２周波数の電気信号を少なくとも供給する
手段と、上記入力ビーム供給手段及び上記電気信号供給
手段の両方に接続してなり、上記入力ビームを、該入力
ビームと同じ直線偏光を有し少なくとも２０ＭＨｚの周
波数差を有しかつ各々該入力ビーム所定強度の約１／２
の強度を有する第１及び第２の中間ビームに変成する手
段と、上記変成手段に光学的に接続してなり、上記各々
の中間ビームを該中間ビームの周波数差に対応する周波
数差を有する２つの直交する偏光成分を有してなる出力
ビームを提供する１つの直交偏光ビームに変換する手段
を備えてなる電気光学的装置。 ２９、出力ビームが、入力ビームの１／２の強度を有す
る特許請求の範囲第２８項記載の装置。 ３０、変換手段が複屈折プリズムからなる特許請求の範
囲第２８項記載の装置。 ３１、光源が、レーザーからなり、入力ビームがレーザ
ービームである特許請求の範囲第２８項記載の装置。 ３２、変成手段が、音響−光学ブラッグセルからなる特
許請求の範囲第３１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/710,859 US4684828A (en) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | Apparatus to transform a single frequency, linearly polarized laser beam into a beam with two, orthogonally polarized frequencies |
| US710859 | 1985-03-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214490A true JPS61214490A (ja) | 1986-09-24 |
| JPH0636451B2 JPH0636451B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=24855839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61053504A Expired - Lifetime JPH0636451B2 (ja) | 1985-03-12 | 1986-03-11 | 単周波数の直線偏光レーザービームを２周波数直交偏光ビームに変成する装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4684828A (ja) |
| EP (1) | EP0194942B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0636451B2 (ja) |
| DE (2) | DE3689671T2 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4902087A (en) * | 1988-09-19 | 1990-02-20 | Unisys Corporation | Fiber optic bypass switch |
| US5002395A (en) * | 1989-02-02 | 1991-03-26 | Mvm Electronics | Interferometric acousto-optic spectrum analyzer |
| US5408318A (en) * | 1993-08-02 | 1995-04-18 | Nearfield Systems Incorporated | Wide range straightness measuring stem using a polarized multiplexed interferometer and centered shift measurement of beam polarization components |
| US5404222A (en) * | 1994-01-14 | 1995-04-04 | Sparta, Inc. | Interferametric measuring system with air turbulence compensation |
| US5796512A (en) * | 1996-02-16 | 1998-08-18 | Carnegie Mellon University | Subicron imaging system having an acousto-optic tunable filter |
| US5862164A (en) * | 1996-07-26 | 1999-01-19 | Zygo Corporation | Apparatus to transform with high efficiency a single frequency, linearly polarized laser beam into beams with two orthogonally polarized frequency components orthogonally polarized |
| US5991033A (en) * | 1996-09-20 | 1999-11-23 | Sparta, Inc. | Interferometer with air turbulence compensation |
| US5724136A (en) * | 1996-10-15 | 1998-03-03 | Zygo Corporation | Interferometric apparatus for measuring motions of a stage relative to fixed reflectors |
| US5917844A (en) * | 1997-04-25 | 1999-06-29 | Zygo Corporation | Apparatus for generating orthogonally polarized beams having different frequencies |
| US5970077A (en) * | 1997-04-25 | 1999-10-19 | Zygo Corporation | Apparatus for efficiently transforming a single frequency, linearly polarized laser beam into principally two orthogonally polarized beams having different frequencies |
| US6236507B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-05-22 | Zygo Corporation | Apparatus to transform two nonparallel propagating optical beam components into two orthogonally polarized beam components |
| US6724486B1 (en) | 1999-04-28 | 2004-04-20 | Zygo Corporation | Helium- Neon laser light source generating two harmonically related, single- frequency wavelengths for use in displacement and dispersion measuring interferometry |
| US6157660A (en) | 1999-06-04 | 2000-12-05 | Zygo Corporation | Apparatus for generating linearly-orthogonally polarized light beams |
| US6744554B2 (en) * | 2000-09-11 | 2004-06-01 | Mitsui Chemicals, Inc. | Wavelength conversion apparatus |
| US6888979B2 (en) * | 2000-11-29 | 2005-05-03 | Analog Devices, Inc. | MEMS mirrors with precision clamping mechanism |
| US6778280B2 (en) * | 2001-07-06 | 2004-08-17 | Zygo Corporation | Interferometry system and method employing an angular difference in propagation between orthogonally polarized input beam components |
| CN1166914C (zh) * | 2002-05-31 | 2004-09-15 | 清华大学 | 频率分裂氦-氖激光回馈自混合非接触测微仪 |
| DE102004022654A1 (de) * | 2003-05-15 | 2004-12-23 | Agilent Technologies, Inc. (n.d.Ges.d.Staates Delaware), Palo Alto | Heterodynstrahl-Bereitstellung mit Aktivsteuerung zweier orthogonaler Polarisierungen |
| US6961129B2 (en) * | 2003-05-15 | 2005-11-01 | Agilent Technologies, Inc. | Active control of two orthogonal polarizations for heterodyne interferometry |
| US7310152B2 (en) * | 2004-03-03 | 2007-12-18 | Zygo Corporation | Interferometer assemblies having reduced cyclic errors and system using the interferometer assemblies |
| WO2006014406A2 (en) | 2004-06-30 | 2006-02-09 | Zygo Corporation | Interferometric optical assemblies and systems including interferometric optical assemblies |
| US7372576B2 (en) * | 2005-11-01 | 2008-05-13 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for generating beams of light using an anisotropic acousto-optic modulator |
| US7375819B2 (en) * | 2005-11-01 | 2008-05-20 | Agilent Technologies, Inc. | System and method for generating beams of light using an anisotropic acousto-optic modulator |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE2353950A1 (de) * | 1973-10-27 | 1975-04-30 | Philips Patentverwaltung | Vorrichtung zur unterdrueckung von stoerlicht in digitalen elektro-optischen lichtablenkern |
-
1985
- 1985-03-12 US US06/710,859 patent/US4684828A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-03-11 EP EP86400507A patent/EP0194942B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-11 DE DE3689671T patent/DE3689671T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-11 JP JP61053504A patent/JPH0636451B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-11 DE DE198686400507T patent/DE194942T1/de active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3689671D1 (de) | 1994-04-07 |
| US4684828A (en) | 1987-08-04 |
| EP0194942B1 (en) | 1994-03-02 |
| EP0194942A2 (en) | 1986-09-17 |
| DE3689671T2 (de) | 1994-06-23 |
| EP0194942A3 (en) | 1989-04-26 |
| JPH0636451B2 (ja) | 1994-05-11 |
| DE194942T1 (de) | 1987-04-09 |
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