DE1941135B2 - Vorrichtung zum Verschieben und Wechseln einer Probe in einem Vakuum gefäß - Google Patents

Description

60 keiten.

keiten.

Die Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Art, die bei Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung einfachem Aufbau die Hochvakuum-Abdichtung wezum Verschieben und Wechseln einer Probe in sentlich erleichtert.

einem Vakuumgefäß, mit einer Probenkammer, in 65 Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, der sich die Probe in einer Analysestellung befindet, daß die Gleitführung für die Längsverschiebung des einer Luftschleuse, die durch eine öffnung mit der Probentragers von einem Gleitkörper getragen ist, Probenkammer in Verbindung steht, und mit einem der in einer senkrecht zu der Achsrichtung des Pro-

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trägers liegenden Ebene verschiebbar ist. und daß !^Gleitführung des Gleitkörpers um eine außerhalb Λ Probenkammer parallel zu der Achsrichtung des Pmbenträgers liegende Achse schwenkbar gelagert ist. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung überjjjunt ein einziger, schwenkbar und verschiebbar gewgrter Gleitkörper die Funktionen d-;r Venchiewig der Probe zur Änderung der untersuchten Zone erseits tcd des Verschwenkens des Probenträgers °!m Zweck des Probenwechsels andererseits. Alle diese Bewegungen erfolgen in einer gemeinsamen, senkrecht zur Achsrichtung des Probenträgers liegenden Ebene. Der Mechanismus ist daher wesentlich ereinfacht. Vor allem kann die Hochvakuura-Abdichtung der Probenkammer auf einfache Weise erreicht werden. Es ist sogar möglich, vollkommen 'hne Dreh- und Gleitdichtungen auszukommen, wenn gemäß einer bevorzugten Ausführunssform die Durchführung für den Gleitkörper in die Probenkammer durch einen Balgen abgedichtet ist.

Auch die zur Einführung des Probenträj'eis in uic öffnung der Luftschleuse erforderliche I anasverschiebune kann bei der Vorrichtung nach der Erfindung mit einem einfachen und leicht abzudienenden Mechanismus erfolgen. Gemäß einer \orteilhaften Ausgestaltung des Erfindungsgegenstandes wird dieb dadurch erreicht, daß der Probenträger einen axialen Gleitkörper hat, der in einer zylindrischen Gleitführung axial gleitbar gelagert ist und durch eine Feder in eine zurückgezogene Stellung gedrückt ist. in welcher er an der der Probe abgewandten Seite aus der Gleitführung herausragt, und daß an der der öffnung der Luftschleuse gegenüberliegenden Stelle ein Schubzapfen derart luftdicht durch die Wand der Probenkammer geführt ist, daß er mit dem Gleitkörper zur Längsverschiebung des Probenträgers zum Eingriff kommen kann, wenn dieser vor die Öffnung der Luftschleuse gebracht ist.

Auch in diesem Fall kann die Abdichtung ohne Dreh- und Gleitdichtung dadurch erfolgen, daß die Durchführung für den Schubzapfen in die Probenkammer durch einen Balgen abgedichtet ist.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigt

Fig 1 eine Schnittansicht einer Hochvakuum-Probenkammer mit einer Vorrichtung zum Verschieben und Wechseln der Probe, wobei sich die Probe in der Analvsestellung befindet und der Schnitt längs der linie x-x-x'-x' von F i g. 2 verläuft,

F ι g. 2 eine Schnittansicht der Anordnung von FU. 1, wobei sich die Probe in der Luftschleuse befindet und der Schnitt längs der Linie y-y von F i g.

verläuft,

F i g. 3 eine schematische Darstellung der beiden Stellungen des Probenträgers bei der Vorrichtung von F i g. 1 und 2 und

F i g. 4 eine schematische Darstellung einer bei der Anordnung von F i g. 1 und 2 verwendeten Nockensteuerung.

In den Fig. 1 und 2 ist mit 50 derjenige T>.1 des evakuierten Behälters bezeichnet, welcher die Probenkammer eines loncnmikroanalysators begrenzt. Dieser Behälter wird durch einen rohrförmigen Te-J 51 fortgesetzt, welcher teilweise in die Kammc-i eindringt. Der Rest des Behälters ist in F i g. 2 nur grob angedeutet.

Die Achse x'-x' (F i g. 2), y-y (F i g. 1) des rohrförmigen Teils 51 ist die »Geräteachse«.

Die Kammer 50 enthält einen Probenträger mit einer Plattform 1, in deren Mitte die Probe E mittels Klauen 2 befestigt werden kann. Wenn der Probenträger und die daran befestigten Teile sich in solcher Lage befinden, daß die Achse des Probenträgers mit der Geräteachse zusammenfällt (Fig. 1) oder nahezu zusammenfällt, so kann die Probe mit einem Bündel von durch den Strahlerzeuger 53 (F i g. 2) erzeugten Primärionen beschossen werden. Die von der ίο Probe ausgesandten Sekundärionen werden sodann im rohrförmigen Teil 51 mittels einer ionenoptischen Anordnung 54 fokussiert, deren Achse mit der Geräteachse zusammenfällt.

Der Probenträger hat einen Fortsatz in Form eines dazu koaxialen Gleitkörpers 55, welcher innerhalb einer Führung 52 gleiten kann, an die die Plattform 1 des Probenträgers durch die Wirkung einer Rückholfeder 58 bei Abwesenheit jeglicher auf das freie Ende des Gleitkörpers ausgeübten Kraft angedrückt wird.

Die Führung 52 ist an einem zum Gleitkörper 5s senkrechten Gleitkörper 5 befestigt. Der Gleitkörper 5 kann innerhalb einer Führung 66 gleiten, welche sich durch eine an der Wand 50 gebildete Otfnung und eine weitere, in einem diese Wand verschließenden Träger 28 gebildete Öffnung erstreckt Die Führung66 ist an einer schwenkbaren Gabelbetestigt. welche mit einer Spindel4 und einem Drehzapfen Au versehen ist. die in vom Träger 28 gestützten Lagern außerhalb des evakuierten Behalters drehbar gelagert sind und in welchen die Gabel daher schwingen kann, wobei die Schwenkachse parallel zur Geräteachse verläuft, jedoch nicht in der gleichen vertikalen Ebene liegt.

Die Spindel 4 treibt außerdem einen Schwenkhebel 8 mit zwei Armen an. welche sich senkrecht zur Spindel et' ecken.

Ein Metallbalg 6 ist zwischen dem Umfang der im Tracer 28 gebildeten öffnung und einem am oleitkörner 5 vorgesehenen Ring 67 angeordnet. Der Balg kann gebogen und zusammengedrückt werden und dient zur Abdichtung der Probenkammer

Der untere Arm des Schwenkhebels 8 trägt einen handbetätigbaren Riegel 7, welcher durch eine Feder belastet ist und zwischen zwei stabilen Lagen A und B bezüglich des unteren Arms verschwenkt werden kann, wobei dieser Riegel in Fig. 1 darge-

DieWinkelstellung der Spindel 4 wird durch den Winkel H festgelegt, welchen die Achse des; G eitkörpers 5 mit der die Achse der Spindel 4 er, ha tenden vertikalen Ebene einschließt. Wenn «gleich einem vorbestimmten Wert W₀ ist, schneidet die Achse u des Gleitkörpers 5 die Geräieachse y. wie in Fig. 3 gezeigt, welche eine schematische Darstellung " la dnc? vertikalen Ebene senkrecht zur Spinde wiedergibt. Es ist sodann möghch. mittels des Gleitkörper* 5 den Abstand R zwischen der Achse der Spindel 4 und der Achse des Pmbenträgers auf einen 6o derartigen Wert R_n einzustellen, daß d,e Achse des Geräts'und des Probenträgers in der in b ι g. 3 gezeigten Weise zusammenfallen.

Änderungen von K₀ um r AR/2 und von θ um + l «/■· machen es möglich, jede gewünschte Zone 6₅ der Probe in die Geräteachse zu bringen.

Eine Luftschleuse 30 (F i g. 2) ist mit einer äußeren öffnung versehen, welche durch einen Deckel 9 verschlossen werden kann, und sie steht mit der

Probenkammer über eine in der gemeinsamen Wand vorgesehene kreisförmige öffnung in Verbindung. Die Achse s dieser inneren öffnung ist in F i g. 3 dargestellt.

Für R = R₀ und Θ = 0_S fallen die Achse der inneren Öffnung der Luftschleuse 30 und die Achse des Probenträgers zusammen.

Wenn die Spindel 4 so angeordnet ist, daß sich der Wert 0_S bei R = A₀ ergibt, ist der Gleitkörper 55 (Fig. 2) gegenüber einem Schubzapfen 20 angeordnet, welcher gleitbar in einer Führung 70 angeordnet ist, die in der Wand der Kammer 50 ausgebildet ist, und welcher in dieselbe durch eine öffnung eindringt, die durch einen Metallbalg 71 abgedichtet ist.

Der Zapfen 20 verschiebt den Gleitkörper 55, und unter dessen Wirkung dringt die Probe E in die Luftschleuse ein. Die Plattform I kommt sodann rar Anlage am Umfang der inneren öffnung der Luftschleuse und verschließt dieselbe. Dieser Verschluß wird mittels einer luftfesten Dichtung 11 luftdicht gemacht, welche von der Plattform 1 getragen wird.

Wenn kein Druck mehr vom Zapfen 20 auf den Gleitkörper 55 ausgeübt wird, läuft die Plattform unter der Wirkung der Feder 58 gegen die Führung 52.

Der Probenträger kann sodann zur Durchführung der Analyse wieder in die Arbeitsstellung gebracht werden.

Zusammenfassend kann gesagt werden, daß die Verschiebungen des Probenträgers, welche jeweils seinen drei Freiheitsgraden entsprechen, gesteuert werden:

a) durch das Verschwenken der Spindel 4,

b) durch das Gleiten des Gleitkörpers 5 innerhalb der Führung 66,

c) durch das Gleiten des Gleitkörpers 55 innerhalb der Führung 52,

vorausgesetzt, daß der Winkel θ gleich θ₅ und der Abstand R gleich A₀ gemacht ist

Diese Verschiebungen können wiederum auf irgendeine gewünschte Weise gesteuert werden.

Vorzugsweise wird jedoch die Winkelstellung der Spindel 4 innerhalb des Winkelsektors Δ θ durch einen Motor M Δ θ gesteuert, dessen Welle, wenn sich der Riegel 7 in der Stellung A befindet, mit der Spindel 4 über eine übliche mechanische Kupplung mit einem Zahnrad 62 und einem Zahnsektor 63 verbunden ist, wobei der linke Teil des Riegels 7 in der Stellung A in eine Kerbe des Zahnsektors eingreift.

Wenn sich andererseits der Riegel 7 in der Stellung B befindet, greift sein rechtes Ende in eine Kerbe im Lagerträger 28 ein, welcher mit der Wand der Kammer 50 fest verbunden ist, und dadurch wird einerseits der Motor MA θ von der Spindel 4 ausgekuppelt, indem der Sektor 63 vom Riegel 7 freigegeben wird, und andererseits wird die Spindel in der Stellung θ₅ festgelegt. Ein federbelasteter Schubzapfen 19, welcher in einer mit der Wand 50 fest verbundenen Führung gleitet, kann sodann mit seiner Spitze in eine öffnung eingreifen, welche am oberen Arm des Schwenkhebels 8 ausgebildet ist. wie in F i g. 1 gezeigt

Die Lage des Gleitkörpers 5 wird durch einen MotorM.l/? bestimmt, welcher von einer in der Führung 66 ausgebildeten Schulter getragen wird und dessen Welle mit dem Gleitkörper 5 über eine aus Schraube und Mutter bestehende Anordnung 68 gekoppelt ist.

Eine Vorrichtung mit ähnlichem mechanischem Aufbau, wie sie zur Verriegelung der Spindel 4 in einer Winkelstellung Θ = 0_S verwendet wird, kann zur Verriegelung des Gleitkörpers 5 in einer Stellung R-R₀ verwendet werden. Vorzugsweise kann dieser zweite Verriegelungsmechanismus durch eine

ίο vorübergehende Servosteuerung des Motors M Δ R ersetzt werden. Zu diesem Zweck wird eine übliche Abstandsmeßeinrichtung mit zwei Mikroschaltern 25 und 26 vorgesehen, welche an einem an der Gabel 3 befestigten Teil 69 angeordnet sind und mit einem von der Schraube der aus Schraube und Mutter bestehenden Anordnung 68 getragenen Teil zusammenwirken. Die üblichen Verbindungen zwischen den MikroschcUern und dem Motor MAR sind sehr schematisch dargestellt.

ao Zusätzlich zu ihrer inneren und äußeren öffnung weist die Luftschleuse einen Kanal 12 auf, welcher dieselbe mit dem Pumpenkreis verbindet und durch ein Tellerventil 13 geschlossen werden kann.

Das Tellerventil 13 ist auf einem federbelasteten

as Schubzapfen 60 angeordnet, welcher in einer mit dem Behälter 50 fest verbundenen Führung 61 gleiten kann. Ein Balg 62 a erzeugt eine Abdichtung zwischen der Führung 61 und dem Tellerventil 13.
Die Schubzapfen 19, 20 und 60 werden jeweils durch die Nocken 16, 14 und 15 auf einer Nockenwelle 56 gesteuert, welche vorzugsweise mittels eines Motors 32 gesteuert wird, der nach der Analyse der Probe (F i g. 1) die erforderliche Einstellung der verschiedenen bewegten Teile hervorruft.

Aus F i g. 2 sind die verschiedenen Nocken ersichtlich. Die Welle befindet sich in einer Stellung. in welcher die Probe in die Luftschleuse eingeführt ist.

Um zu zeigen, wie die beschriebene Anlage in Verbindung mit einem Pumpenkreis betätigt wird, ist in F i g. 2 schematisch auch ein üblicher Pumpenkreis dargestellt. Dieser Kreis weist auf: eine Hauptleitung 21, mit welcher die Luftschleuse 30 über den Kanal 12 verbunden ist; einen Lufteinlaß, welcher mit der Hauptleitung 21 über ein Ventil 41 verbunden ist; ein Vakuummeßgerät 42 in der Hauptleitung 21; ein Trennventil 43; ein Sperrventil 44 und eine kontinuierlich arbeitende Hauptpumpe 45.

Der Betrieb der Vorrichtung wird zunächst unter

der Annahme beschrieben, daß die Probe sich in der Analysestellung (F i g. 1) befindet:

1. Der Riegel 7 befindet sich in der Stellung A; die Nockenwelle 56 ist in einer ersten vorbe stimmten Stellung angehalten;

der Schubzapf en 20 befindet sich nicht gegenüber dem Ende des Gleitkörpers 55, und infolgedessen hat der letztere eine Stellung, welche durch die Feder 58 bestimmt wird (F i g. 1);

der Nocken 15 befindet sich in einer derartigen Stellung, daß das Tellerventil 13 geschlossen ist; der Nocken 16 befindet sich in einer solchen Stellung, daß der Schubzapfen 19 sich nicht in Berührung mit dem Schwenkhebel 8 befindet;

der äußere Deckel 9 der Luftschleuse ist geschlossen;

das Ventil 41 ist geschlossen, und das Ventil 13 ist geöffnet.

Mittels der Motoren M J θ und MAR können die Werte von θ und R um die Mittelwerte Θ_ο und R_n herum geändert werden, so daß eine gewünschte Zone der Probe untersucht wird.

2. Wenn die Bedienungsperson sodann Zugang zur Probe zu haben wünscht, schwenkt sie den Riegel 7 in die Stellung B, wodurch der rechte Teil des Hebels in die Kerbe am Teil 28 eingreift. Wie oben beschrieben, wird dadurch der Motor Ma θ von der Spindel 4 ausgekuppelt, und diese Spindel wird in die Stellung ö_s gebracht.

a) Die Steuerung des Motors MAR mittels der Kontakte 25 und 26 zur Einstellung des Gleitkörpers 5 entsprechend dem genauen Wert R = R₉ wird in Gang gesetzt.

b) Sodann wird eine Drehung des Motors 32 in einer ersten Richtung hervorgerufen.

3. Diese Drehung der Nockenwelle 56 ruft nacheinander die folgenden Vorgänge hervor:

Der Nocken 16 bewirkt, daß der Schubzapfen 19 in die öffnung im Schwenkhebel 8 eingreift und dadurch die Winkelstellung der Spindel 4 festlegt.

Die Achse des Probenträgers ist dadurch koaxial zur Luftschleusenachse festgelegt, und der Gleitkörper 55 ist in der axialen Fortsetzung des Schubzapfens 20 ausgerichtet.
Der Nocken 14 wirkt auf den Schubzapfen 20 so, daß die Probe E in die Luftschleuse eintritt, und die Plattform 1 kommt zur Anlage an den Rand der inneren Öffnung derselben.
Der Nocken 15 hört auL auf den Schubzapfen 60 einzuwirken, und das Tellerventil 13 gibt die Öffnung des Kanals 12 frei.

4. Die Nockenwelle wird in einer zweiten vorbestimmten Siellung angehalten, das Ventil 43 wird geschlossen und das Ventil 41 geöffnet.
Luft strömt sodann in die Hauptleitung 21 und in die Luftschleuse 30 ein.

Ab diesem Zeitpunkt hat die Bedienungsperson Zugang zur Probe, indem sie einfach den Dekkef9 öffnet, und sie kann dieselbe durch eine andere Probe ersetzen. Der Deckel 9 wird sodann wieder geschlossen und die Nockenwelle abermals gedreht.

5. Die Nockenwelle wird in einer dritten vorbestimmten S ellung angehalten. Das Ventil 41 ist geschlossen und das Ventil 43 geöffnet, so daß das Auspumpen in der Hauptleitung 21 beginnt.

6. Nach dem Ende der Handhabung der Probe und nach Schließung des Deckels 9 \\\r<\ der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung A geschwenkt, und dadurch wird üer Motor Ml β wieder an die Spindel 4 angekuppelt.

a) Es wird eine Drehung des Motors32 in einer zur vorigen Drehrichtung entgegengesetzten Richtung hervorgerufen.
Der Nocken 15 gestattet eine Rückführung des S« hubzapfens 60 und eine abermalige öffnung des Tellerventil 13. so daß der Pump organg beendet werden kann.

7. Die Nockenwelle 56 wird in der sogenannten »zweiten \orbestimmten Stellung- aüL-HUen. und der Druck in der Hauptleitung 21 wird mittels des Meßgeräts 43 geprüft.

8. Wenn das Vakuum ausreichend ist, wi^rd die Nockenwelle 56 wiederum gedreht.

Der Nocken 15 schließt das Ventil 13. Der Nocken 14 gibt den (ileitkörper 55 frei. Der Nocken 16 führt den Schubzapfen 19 zurück und gibt dadurch den Schwenkhebel 8 und die Spindel 4 frei.

9. Die Nockenwelle 56 wird in der obengenannten »ersten vorbestimmten Stellung« angehalten, und

ίο die Servosteuerung des Motors M. IR wird beendet.

Sodann kann der Probenträger mittels der Motoren M.IM und M]R in die gewünschte Analysestellung gebracht werden.

Der äußere Deckel 9 der Luftschleuse besteht vorteilhafterweise aus einem Schaufenster, welches beispielsweise die Beobachtung der Probe mittels eines in F i g. 2 dargestellten optischen Mikroskops 80 ermöglicht.

Es wird nun sehr schematisch angedeutet, daß mittels einiger zusätzlicher Teile die Anlage leicht an ein geeignetes Programmiergerät 90 angepaßt werden kann, so daß die von der Bedienungsperson erforderlichen Handgriffe auf die Betätigung des Ricas gels 7 eingeschränkt werden, wenn dieselbe Zugang zur Probe zu erhalten wünscht.

In diesem Fall kann ein zusätzlicher Nocken 17 (F i g. 2) auf der Nockenwelle 56 angebracht werden. Dieser Nocken ist auch in Fig. 4 gezeigt, welche eine schematische Ansicht in der durch die Achse zz gehenden vertikalen Ebene wiedergibt. Dieser Nokken betätigt drei Kontaktgeber 22, 23 und 24, welche jeweils von der Nockenwelle in den obengenannten drei vorbestimmten Winkelstellungen betätigt werden. Der in Fig. 4 gezeigte Pfeil entspricht der zweiten Drehrichtung der Nockenwelle.

Außerdem wird ein weiterer Kontaktgeber 29 im Träger 28 vorgesehen, welcher so angeordnet ist, daß er vom Riegel 7 betätigt wird, wenn der letztere in die Stellung ß geschwenkt wird.

Das Programmiergerät 90 ist mit den Motoren 32 und MAR und mit den Kontaktgebern 22, 23, 24, 25, 26 und 29 verbunden. Die entsprechenden Verbindungen sind nur in sehr symbolischer Weise dargestellt, und zwar in F i g. 3 durch eine den Block 90 mit den Kontaktgebern 25, 26, M 1R und 29 verbindende Linie und in F i g. 4 durch eine andere, den Block 90 mit den Kontaktgebern 22. 23 und 24 verbindende Linie.

In gleicher Weise sind die Verbindungen des Programmiergeräts 90 mit dem Motor 32 und mit den Elementen 41. 42 und 43 des Pumpenkreises nui durch mehrere das Programmiergerät mit dieser Elementen verbindende Linien dargestellt.

Die Arbeitsweise dieser Anlage wird sodann in dei obigen Weise beschrieben, mit dem Unterschied, dat die von den Kontaktgebern 22. 23, 24, 25. 26 unc 29 und vom Meßgerät 42 auf das Programmiergerä 90 gegebenen Signale und die vom letzteren abgege

benen Befehle berücksichtigt werden

1. Im Analysezusland Festlegung der Nocken welle 56 in ihrer ersten vorbestimmten Stellung wobei die Zustände (geschlossen oivr u-öffnel der Ventile 41 und 43 von den¹ den. Kontakt

geber 22 betätigenden Nocken 17 anhangen.

2. Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperso in die StellungS geschwenkt wird, wird dadurc

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auch der Kontaktgeber 29 betätigt, wodurch die obigen Schritte 2 a) und 2 b) hervorgerufen werden.

Die Nockenwelle muß nicht in der zweiten vorbestimmten Stellung angehalten werden, sondern die Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nocken 17 ruft die Schließung des Ventils 43 und die Öffnung des Ventils 42 hervor.
Dieser Schritt beruht auf der Betätigung des Kontaktgebers 24 durch den Nocken 17.
Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung A verschwenkt wird, wird auch

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der Kontakt am Kontaktgeber 29 unterbrochen, wodurch der obige Schritt 6 a) hervorgerufen wird.

7. Dieser Schritt beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nokken 17Γ

8. Dieser Schritt ist eine Folge eines Signals, welches vom Meßgerät 42 auf das Programmiergerät 90 gegeben wird, wenn der Druck ausreichend ist.

9. Dies beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 22 durch den Nocken 17.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

1. j ,,,r Änderung der untersuchten Probenträger der zur ^dermg _nkammer -_m

   von einem Gleitkörper ^j ucuagi.·· ..,.. „. ...

   einer senkrecht zu der Achsrichtung des Proben- kannt. Bei dieser bekannten ν um«..»— _o

   trägers (1) liegenden Ebene verschiebbar ist. und 30 benträger axial gleitbar in einem außerhalb der Prodaß die Gleitführung (66) des Gleitkörpers (5) benkammer liegenden Kreuztisch gelagert, der in um eine außerhalb der Probenkammer (50) par- einer senkrecht zu der Achsrichtung des Probenträallel zu der Achsrichtung des Probenträgers (1) gers liegenden Ebene verschiebbar ist und außerdem liegende Achse (4. 4a) schwenkbar gelagert ist. eine Drehung des Probentragers um seine Achse er-
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- 35 möglicht. Probenträger und Kreuztisch sind zusützkennzeichnet, daß die Durchführung für den lieh in einer zylindrisch ausgebildeten Pfanne gela-Gleitkörper (5) in die Probenkammer (50) durch gert. die ein Verschwenken der ganzen aus Probeneinen Balgen (6) abgedichtet ist. träger und Kreuztisch bestehenden Anordnung um
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- eine außerhalb der Probenkammer liegende Achse durch gekennzeichnet, daß der Probenträger (1) 40 ermöglicht, welche die Achse des Probentragers einen axialen Gleitkörper (55) hat, der in einer senkrecht schneidet. Diese Schwenkbewegung hat zylindrischen Gleitführung (52) axial gleitbar ge- ausschließlich den Zweck, den Probenträger vor die lagert ist und durch eine Feder (58) in eine Öffnung der Luftschleuse zu bringen; während der zurückgezogene Stellung gedrückt ist, in welcher Untersuchung der Probe in der Analysestellung er an der der Probe (E) abgewandten Seite aus 45 bleibt die Pfanne feststehend, und die Bewegung der Gleitführung (52) herausragt. und daß an des Probentragers erfolgt ausschließlich mit Hilfe der der öffnung der Luftschleuse (30) gegenüber- des Kreuztisches.

   liegenden Stelle ein Schubzp.pfen (20) derart luft- Infolge der vollständigen Trennung der zum Verdicht durch die Wand der Probenkammer (50) schieben der Probe in der Analysestellung verwengeführt ist, daß er mit dem Gleitkörper (55) zur 50 deten Mechanismen einerseits von den zum Ver-Längsverschiebung des Probentragers (1) zum schwenken des Probentragers für den Probenwech-Fingriff kommen kann, wenn dieser vor die öff- sei verwendeten Mechanismen andererseits weist nung der Luftschleuse (30) gebracht ist. diese bekannte Vorrichtung einen komplizierten Auf-
4. 4. Vorrichtung nach Ansprach 3, dadurch ge- bau auf. Außerdem ist die Abdichtung schwierig, kennzeichnet, daß Jie Durchführung für den 55 weil mehrere Hochvakuumdichtunge-. benötigt wer-Schubzapfen (20) in die Probenkammer (50) den, die als Dreh- oder Gleitdichtungen ausgebildet durch einen Balgen (71) abgedichtet ist. sein müssen. Die Erzielung einer einwandfreien

   Hochvakuum-Abdichtung mit Dreh- oder Gleitdichtur.gen bietet bekanntlich beträchtliche Schwierig-