DE1941135A1 - Vorrichtung zum Verschieben und Auswechseln der Proben in einer Probenkammer - Google Patents

Vorrichtung zum Verschieben und Auswechseln der Proben in einer Probenkammer

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Description

Unser Zeichen; C 2717
COMPAQNIE D'APPLICATIONS MECANIQUES A L'ELECTRONIQUE AU CINEMA ET A L'ATOMISTIQUE '(C.A.H.E.C.A.)
103, Boulevard Saint-Denis, 92 Courbevoie/Frankreich
Vorrichtung zum Verschieben und Auswechseln der Proben
in einer Probenkammer
Die Erfindung besieht sich auf Anlagen, wie Elektronenmikroskope oder Ionenmikroanalysatoren, bei welchen eine Probe innerhalb eines evakuierten Behälters untersucht wird.
Die Erfindung schafft eine Vorrichtung zur Verschiebung der Probe in einer Probenkammer, gekennzeichnet durch einen Probenträger mit einem Mittelteil zum Halten einer Probe und einem
Bu/Gr.
Umfangstell
009812/1197
Umfangsteil, eine Luftschleuse mit einer Wand, welche mit einer einen Rand aufweisenden öffnung versehen ist, wobei die Luftschleuse mit der Probenkammer durch diese Öffnung in Verbindung steht, eine erste Einrichtung, welche dem Probenträger zwei Freiheitsgrade der Bewegung in der Probenkammer innerhalb eines die Untersuchung verschiedener Zonen einer daran befestigten Probe ermöglichenden Raumteils erteilt, wobei der erste Mechanismus welter die Anordnung des Probenträgers gegenüber der öffnung in einer vorbestimmten Stellung außerhalb des genannten Raumteils ermöglicht, und durch eine Hilfseinrichtung, welche dem. Probenträger eine Translationsbewegung zwischen der vorbestimmten Stellung und einer weiteren Stellung erteilt, In der der Umfangstell des Probenträgers zur Anlage am Rand der öffnung kommt, wodurch die öffnung verschlossen wird, nachdem eine am Probenträger befestigte Probe in die Luftschleuse eingetreten 1st.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat den Vorteil, daß sie im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen verhältnismäßig einfach 1st. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist es nicht notwendig, daß jede Steueranordnung Dreh- oder Gleitdichtungen aufweist, und diese Ausführungsform kann, wenn erforderlich, leicht an eine automatische Anlage angeschlossen werden.
Anhand der Figuren wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen
Figuren 1 und 2 einen Vertikalschnitt längs der Achse xx, x*x' In Figur 2 bzw. einen Horizontalschnitt längs der Achse yy in Figur 1, In welchen eine alt einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgestattete Probenkammer dargestellt ist, wobei die beweglichen Teile in den beiden-Figuren unterschiedliche
Stellungen 009812/1197
Stellungen einnehmen; die Probe befindet sich dabei in Figur in der Untersuchungsstellung und in Figur 2 in der Luftschleuse, und
Figuren 3 und 1J schematische Ansichten von Teilen der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Vorrichtung.
In den Figuren 1 und 2 ist mit 50 derjenige Teil des evakuierten Behälters bezeichnet, welcher die Probenkammer eines Ionenmikroanalysators begrenzt. Dieser Behälter wird durch einen rohrförmigen Tell 51 fortgesetzt, welcher teilweise in die Kammer 50 eindringt. Der Best des Behälters 1st in Figur 2 nur grob angedeutet.
Die Achse x'x· (Figur I)-, yy (Figur 2) des rohrförmigen Teils 51 ist die "Geräteachse11.
Die Kammer 50 enthält einen Probenträger mit einer Plattform 1, in deren Mitte die Probe E mittels Klauen.2 befestigt werden kann· Wenn der Probenträger und die daran befestigten Teile sich in solcher Lage befinden, daß die Achse des Probenträgers mit der Geräteachse zusammenfällt (Figur 1) oder nahezu zusammenfällt, so kann die Probe mit einem Bündel von durch den Strahlerzeuger 53 (Figur 2) erzeugten Primärionen beschossen werden. Die von der Probe ausgesandten Sekundärionen werden sodann im rohrförmigen Teil 51 mittels einer ionenoptischen Anordnung 5** fokussiert, deren Achse mit der Gerät eachse zusammenfällt.
Der Probenträger hat einen Fortsatz in Form eines dazu koaxialen Gleitkörpers 55, welcher Innerhalb einer Führung gleiten kann, an die die Plattform 1 des Probenträgers durch die Wirkung einer Rückholfeder 58 bei Abwesenheit jeglicher auf das freie Ende des Gleltkorpers ausgeübten Kraft angedrückt wird.
Die 009812/1197
Die Führung 52 ist an einem zum Gleitkörper 55 senkrechten Gleitkörper 5 befestigt. Der Gleitkörper 5 kann innerhalb einer Führung 66 gleiten, welche sich durch eine an der Wand 50 gebildete Öffnung und eine weitere, in einem diese Wand verschließenden Träger 28 gebildete Öffnung erstreckt. Die Führung 66 ist an einer schwenkbaren Gabel 3 befestigt, welche mit einer Spindel 4 und einem Drehzapfen 1Ia versehen ist, die in vom Träger 28 gestützten Lagern außerhalb des evakuierten Behälters drehbar gelagert sind und in welchen die Gabel daher schwingen kann, wobei die Schwenkachse parallel fc zur Geräteachse verläuft, Jedoch nicht in der gleichen vertikalen Ebene liegt.
Die Spindel ^i treibt außerdem einen Schwenkhebel 8 mit zwei Armen an, welche sich senkrecht zur Spindel erstrecken.
Ein Metallbalg 6 ist zwischen dem Umfang der Im Träger 28 gebildeten Öffnung und einem am Gleitkörper 5 vorgesehenen Ring 67 angeordnet. Der Balg kann gebogen und zusammengedrückt werden und dient zur Abdichtung der Probenkammer*
Der untere Arm des Schwenkhebels 8 trägt einen handbetätigbaren Riegel 7» welcher durch eine Feder belastet 1st und ' zwischen zwei stabilen Lagen A und B bezüglich des unteren Arms verschwenkt werden kann, wobei dieser Riegel In Figur dargestellt ist.
Die Winkelstellung der Spindel 4 wird durch den Winkel θ festgelegt, welchen die Achse des Gleitkörpers 5 mit der die Achse der Spindel 4 enthaltenden vertikalen Ebene einschließt. Wenn θ gleich einem vorbestimmten Wert θ ist, schneidet die Achse u des Gleitkörpers 5 die Geräteachse y, wie in Figur gezeigt, welche eine schematische Darstellung in einer vertikalen Ebene senkrecht zur Spindel 4 wiedergibt. Es 1st sodann möglich, mittels des Gleitkörpers 5 den Abstand R zwischen
009812/1197 BAD ORiOiNAL
der Achse der Spindel k und der Achse des Probenträgers auf einen derartigen Wert RQ einzustellen, daß die Achse des Geräts und des Probenträgers in der in Figur 3 gezeigten Weise zusammenfallen.
Änderungen von R_ um + Δ r/2 und von θ um +Δθ/2 machen es möglich, jede gewünschte Zone der Probe in die Geräteachse zu bringen.
Eine Luftschleuse 50 (Figur 2) ist mit einer äußeren öffnung versehen, welche durch einen Deckel 9 verschlossen werden kann, und sie steht mit der Probenkammer über eine in der gemeinsamen Wand vorgesehene kreisförmige öffnung in Verbindung. Die Achse s dieser inneren öffnung ist in Figur 3 dargestellt.
Für R = R_ und θ = θ_ fallen die Achse der inneren öffnung der Luftschleuse 30 und die Achse des Probenträgers zusammen.
Wenn die Spindel Ί so angeordnet ist, daß sich der Wert θ bei R = Rn ergibt, ist der Gleitkörper 55 (Figur 2) gegenüber einem Schubzapfen 20 angeordnet, welcher gleitbar in einer Führung 70 angeordnet ist, die in der Wand der Kammer ausgebildet ist, und welcher in dieselbe durch eine öffnung eindringt, die durch einen Metallbalg 71 abgedichtet ist.
Der Zapfen 20 verschiebt den Gleitkörper 55 und unter dessen Wirkung dringt die Probe E in die Luftschleuse ein. Die Plattform 1 kommt sodann zur Anlage am Umfang der Inneren öffnung der Luftschleuse und verschließt dieselbe. Dieser Verschluß wird mittels einer luftfesten Dichtung 11 luftdicht gemacht, welche von der Plattform i getragen wird.
Wenn kein Druck mehr vom Zapfen 20 auf den Gleitkörper 55
009812/1197 ausgeübt
->■■"*■■-
ausgeübt wird, läuft die Plattform unter der Wirkung der Feder 58 gegen die Führung 52.
Der Probenträger kann sodann zur Durchführung der Analyse wieder in die Arbeitsstellung gebracht werden.
Zusammenfassend kann gesagt werden, daß die Verschiebungen des Probenträgers, welche jeweils seinen drei Freiheitsgraden entsprechen, gesteuert werden:
" a) durch das Verschwenken der Spindel 4;
b) durch das Gleiten des Gleitkörpers 5 innerhalb der Führung 66;
c) durch das Gleiten des Gleitkörpers 55 innerhalb der Führung 52,
vorausgesetzt, daß der Winkel θ gleich ©„ und der Abstand R gleich RQ gemacht 1st.
Diese Verschiebungen können wiederum auf Irgendeine gewünschte Weise gesteuert werden.
) Vorzugsweise wird jedoch die Winkelstellung der Spindel 4 innerhalb des Winkelsektors Δ& durch einen Motor ΜΔΘ gesteuert, dessen Welle, wenn sich der Riegel 7 in der Stellung A befindet, mit der Spindel 4 über eine übliche mechanische Kupplung mit einem Zahnrad 62 und einem Zahnsektor 63 verbunden ist, wobei der linke Teil des Riegels 7 in der Stellung A in eine Kerbe des Zahnsektors eingreift.
Wenn sich andererseits der Riegel 7 in der Stellung B befindet, greift sein rechtes Ende in eine Kerbe im Lagerträger 28 ein, welcher mit der Wand der Kammer 50 feet verbunden 1st und dadurch wird einerseits der Motor ΜΔθ von
der 009812/1197
der Spindel 1I ausgekuppelt, indem der Sektor 63 vom Riegel 7 freigegeben wird, und andererseits wird die Spindel in der Stellung θσ festgelegt. Ein federbelasteter Schubzapfen 19, welcher in einer mit der Wand 50 fest verbundenen Führung gleitet, kann sodann mit seiner Spitze in eine Öffnung eingreifen, welche an oberen Arm des Schwenkhebels 8 ausgebildet ist, wie in Figur 1 gezeigt.
Die Lage des Gleitkörpers 5 wird durch einen Motor MAR bestimmt, welcher von einer in der Führung 66 ausgebildeten Schulter getragen wird und dessen Welle mit dem Gleitkörper über eine aus Schraube und Mutter bestehende Anordnung 68 gekoppelt ist.
Eine Vorrichtung mit ähnlichem mechanischem Aufbau, wie sie zur Verriegelung der Spindel 4 in einer Winkelstellung θ = θ_ verwendet wird, kann zur Verriegelung des Gleitkörpers 5 in einer Stellung R = R verwendet werden. Vorzugsweise kann dieser zweite Verriegelungsmechanismus durch eine vorübergehende Servosteuerung des Motors ΜΔ R ersetzt werden. Zu diesem Zweck wird eine übliche Abstandsmeßeinrichtung mit zwei Mikroschaltern 25 und 26 vorgesehen, welche an einem an der Gabel 3 befestigten Teil 69 angeordnet sind und mit einem von der Schraube der aus Schraube und Mutter bestehenden Anordnung 68 getragenen Teil zusammenwirken. Die üblichen Verbindungen zwischen den Mikroschaltern und dem Motor M2R sind sehr schematisch dargestellt.
Zusätzlich zu ihrer inneren und äußeren öffnung weist die Luftschleuse einen Kanal 12 auf, welcher dieselbe mit dem Pumpenkreis verbindet und durch ein Tellerventil 13 geschlossen werden kann.
Das Tellerventil 13 ist auf einem federbelasteten Schubzapfen 60 angeordnet, welcher in einer mit dem Behälter 50
fest 009812/1197
BADORlGJNAt
fest verbundenen Führung 61 gleiten kann. Ein Balg 62a erzeugt eine Abdichtung zwischen der Führung 6l und dem Tellerventil 13.
Die Sι hubzapfen 19, 20 und 60 werden jeweils durch die Nocken 16, 14 und 15 auf einer Nockenwelle 56 gesteuert, welche vorzugsweise mittels eines Motors 32 gesteuert wird, der nach der Analyse der Probe (Figur 1) die erforderliche Einstellung der verschiedenen bewegten Teile hervorruft.
Aus Figur 2 sind die verschiedenen Nocken ersichtlich. Die Welle befindet sich in einer Stellung, in welcher die Probe in die Luftschleuse eingeführt ist.
Um zu zeigen, wie die beschriebene Anlage in Verbindung mit einem Pumpenkreis betätigt wird, ist in Figur 2 schematisch auch ein üblicher Pumpenkreis dargestellt. Dieser Kreis weist auf: eine Hauptleitung 21, mit welcher die Luftschleuse 30 über den Kanal 12 verbunden ist; einen Lufteinlaß, welcher mit der Hauptleitung 21 über ein Ventil 4l verbunden istj ein Vakuummeßgerät 42 in der Hauptleitung 21; ein Trennventil 43; ein Sperrventil 44 und eine kontinuierlich arbeitende Hauptpumpe 45·
Der Betrieb der Vorrichtung wird zunächst unter der Annahme beschrieben, daß die Probe sich in der Analysestellung (Figur l) befindet:
1) der Riegel 7 befindet sich in der Stellung A;
die Nockenwelle 56 ist in einer ersten vorbestimmten Stellung angehalten;
der Schubzapfen 20 befindet sich nicht gegenüber dem Ende des Gleitkörpers 55 und infolgedessen hat der letztere eine Stellung, welche durch die Feder 58 bestimmt wird (Figur l);
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BADORrGiNAt
der Nocken 50 befindet sich in einer derartigen Stellung, daß das Tellerventil 13 geschlossen 1st;
der Nocken 16 befindet sich in einer solchen Stellung, daß der Schubzapfen 19 sich nicht in Berührung mit dem Schwenkhebel 8 befindet;
der äußere Deckel 9 der Luftschleuse ist geschlossen;
das Ventil 41 ist geschlossen und das Ventil 13 ist geöffnet.
Mittels der Motoren ΜΔ θ und MÄR können die Werte von θ und R um die Mittelwerte θ und R herum geändert werden, so daß eine gewünschte Zone der Probe untersucht wird.
2) Wenn die Bedienungsperson sodann Zugang zur Probe zu haben wünscht, schwenkt sie den Riegel 7 in die Stellung B, wodurch der rechte Teil dee Hebels in die Kerbe am Teil eingreift. Wie oben beschrieben, wird dadurch der Motor ΜΔΘ von der Spindel 1J ausgekuppelt und diese Spindel wird in die Stellung θ gebracht.
2a) Die Steuerung des Motors MAU mittels der Kontakte 25 und 26 zur Einstellung des Gleitkörpers 5 entsprechend dem genauen Wert R = RQ wird in Gang gesetzt.
2b) Sodann wird eine Drehung des Motors 32 in einer ersten Richtung hervorgerufen.
3) Diese Drehung der Nockenwelle 56 ruft nacheinander die folgenden Vorgänge hervor:
Der Nocken 16 bewirkt, daß der Schubzapfen 19 in die öffnung im Schwenkhebel 8 eingreift und dadurch die Winkelstellung der Spindel 4 festlegt.
00981271197 —
Die Achse des Probenträgers ist dadurch koaxial zur Luftschleusenachse festgelegt und der Gleitkörper 1st In der axialen Fortsetzung des Schubzapfens 20 ausgerichtet.
Der Nocken I2I wirkt auf den Schubzapfen 20 so, daß die Probe E in die Luftschleuse eintritt, und die Plattform kommt zur Anlage an den Rand der inneren öffnung derselben.
* Der Nocken 15 hört auf, auf den Schubzapfen 60 einzuwirken, und das Tellerventil 13 gibt die öffnung des Kanals 12 frei.
Die Nockenwelle wird in einer zweiten vorbestimmten Stellung angehalten, das Ventil 43 wird geschlossen und das Ventil iJl geöffnet.
Luft strömt sodann in die Hauptleitung 21 und in die Luftschleuse 30 ein.
Ab diesem Zeitpunkt hat die Bedienungsperson Zugang zur } Probe, indem sie einfach den Deckel 9 Offnet, und sie kann dieselbe durch eine andere Probe ersetzen. Der Deckel 9 wird sodann wieder geschlossen und die Nockenwelle abermals gedreht.
5) Die Nockenwelle wird in einer dritten vorbestimmten Stellung angehalten. Das,Ventil 4l ist geschlossen und das Ventil 43 geöffnet, so daß das Auspumpen in der Hauptleitung 21 beginnt.
6) Nach dem Ende der Handhabung der Probe und nach Schließung . des Deckels 9 wird der Riegel 7 von der Bedienungsperson
in 009812/1197
- li -
in die Stellung A geschwenkt und dadurch wird der Motor ΜΔ θ wieder an die Spindel 4 angekuppelt.
6a) Es wird eine Drehung des Motors 32 in einer zur vorigen Drehrichtung entgegengesetzten Richtung herv_orgerufen.
Der Hocken 15 gestattet eine Rückführung des SchubZapfens 6o und eine abermalige Öffnung des Tellerventils 13» so daß der Pumpvorgang beendet werden kann.
7) Die Nockenwelle 56 wird in der obengenannten "zweiten vorbestimmten Stellung" angehalten und der Druck in der Hauptleitung 21 wird mittels des Meßgeräts Ί3 geprüft.
8) Wenn das Vakuum ausreichend ist, wird die Nockenwelle wiederum gedreht.
Der Nocken 15 schließt das Ventil 13.
Der Nocken Ik gibt den Gleitkörper 55 frei.
Der Nocken 16 führt den Schubzapfen 19 zurück und gibt dadurch den Schwenkhebel 8 und die Spindel 4 frei.
9) Die Nockenwelle 56 wird in der obengenannten "ersten vorbestimmten Stellung" angehalten und die Servosteuerung des Motors ΜΔ R wird beendet.
Sodann kann der Probenträger mittels der Motoren ΜΔ, θ und MAR in die gewünschte Analysestellung gebracht werden.
Der äußere Deckel 9 der Luftschleuse besteht vorteilhafterweise aus einem Schaufenster, welches beispielsweise die Beobachtung der P::aobe mittels eines in Figur 2 dargestellten optischen Mikroskops 80 eratigliebto
Es 009812/1197
Es wird nun sehr schematisch angedeutet, daß mittels einiger zusätzlicher Teile die Anlage leicht an ein geeignetes Programmiergerät 90 angepaßt werden kann, so daß die von der Bedienungsperson erforderlichen Handgriffe auf die Betätigung des Riegels 7 eingeschränkt werden, wenn dieselbe Zugang zur Probe zu erhalten wünscht.
In diesem Fall kann ein zusätzlicher Hocken 17 (Figur 2) auf der Nockenwelle 56 angebracht werden. Dieser Nocken ist auch in Figur 4 gezeigt, welche eine schematische Ansicht in der durch die Achse zz gehenden vertikalen Ebene wiedergibt. Dieser Nocken betätigt drei Kontaktgeber 22, 23 und 24, welche jeweils von der Nockenwelle in den obengenannten drei vorbestimmten Winkelstellungen betätigt werden. Der in Figur gezeigte Pfeil entspricht der zweiten Drehrichtung der Nockenwelle.
Außerdem wird ein weiterer Kontaktgeber 29 im Träger 28 vorgesehen, welcher so angeordnet ist, daß er vom Riegel 7 betätigt wird, wenn der letztere in die Stellung B geschwenkt wird.
Das Programmiergerät 90 ist mit den Motoren 32 und M£R und mit den Kontaktgebern 22, 23, 24, 25, 26 und 29 verbunden. Die entsprechenden Verbindungen sind nur in sehr symbolischer Weise dargestellt, und zwar in Figur 3 durch eine den Block mit den Kontaktgebern 25, 26, M^p und 29 verbindende Linie und in Figur 4 durch eine andere, den Block 90 mit den Kontaktgebern 22, 23 und 24 verbindende Linie.
In gleicher Weise sind die Verbindungen des Programmiergeräts 90 mit dem Motor 32 und mit den Elementen 41, 42 und 43 des Pumpenkreises nur durch mehrere das Programmiergerät mit diesen Elementen verbindende Linien dargestellt.
Die 009812/1197
SAD OftKafNAL
Die Arbeitsweise dieser Anlage wird sodann in der obigen Weise beschrieben, mit dem Unterschied, daß die von den Kontaktgebern 22, 23, 24, 25, 26 und 29 und vom Meßgerät 42 auf das Programmiergerät 90 gegebenen Signale und die vom letzteren abgegebenen Befehle berücksichtigt werden:
1) Im Analysezustand Festlegung der Nockenwelle 56 in ihrer ersten vorbestimmten Stellung, wobei die Zustände (geschlossen oder geöffnet) der Ventile 4l und 43 von dem den Kontaktgeber 22 betätigenden Nocken 17 abhängen.
2) Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung B geschwenkt wird, wird dadurch auch der Kontaktgeber 29 betätigt, wodurch die obigen Schritte 2a)und 2b) hervorgerufen werden.
4) Die Nockenwelle muß nicht In der zweiten vorbestimmten Stellung angehalten werden, sondern die Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nocken 17 ruft die Schließung des Ventils 43 und die Öffnung des Ventils hervor.
5) Dieser Schritt beruht auf der Betätigung des Kontaktgebers 24 durch den Nocken 17.
6) Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung A verschwenkt wird, wird auch der Kontakt am Kontaktgeber 29 unterbrochen, wodurch der obige Schritt 6a) hervorgerufen wird.
7) Dieser Schritt beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nocken 17·
009812/1197
o ζ-'α.
8) Dieser Schritt ist eine Folge eines Signals, welches vom Meßgerät 42 auf das Programmiergerät 90 gegeben wird, wenn der Druck ausreichend ist.
9) Dies beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 22 durch den Nocken 17.
Patentansprüche
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Claims (2)

  1. Pat entans ρrüc he
    Vorrichtung zur Verschiebung und Auswechslung der Probe in einer Probenkammer, gekennzeichnet durch einen Probenträger mit einem Mittelteil zum Halten einer Probe und einem Umfangsteil, eine Luftschleuse mit einer Wand, welche mit einer einen Rand aufweisenden Öffnung versehen ist, wobei die Luftschleuse mit der Probenkammer durch diese Öffnung in Verbindung steht, eine erste Einrichtung, welche dem Probenträger zwei Freiheitsgrade der Bewegung in der Probenkammer innerhalb eines die Untersuchung verschiedener Zonen einer daran befestigten Probe ermöglichenden Raumteils erteilt, wobei der erste Mechanismus weiter die Anordnung des Probenträgers gegenüber der Öffnung in einer vorbestimmten Stellung äußerhalb des genannten Raumteils ermöglicht, und durch eine Hilfseinrichtung, welche dem Probenträger eine Translationsbewegung zwischen der vorbestimmten Stellung und einer weiteren Stellung erteilt, in der der Umfangsteil des Probenträgers zur Anlage am Rand der Öffnung kommt, wodurch die Öffnung verschlossen wird, nachdem eine am Probenträger befestigte Probe in die Luftschleuse eingetreten ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Probenträger eine Plattform aufweist, welche den Mittelteil und den Umfangsteil enthält,, wobei der Umfangsteil eine senkrecht zu einer.festen Achse verlaufende Oberfläche aufweist und der Rand der Öffnung ebenfalls eine senkrecht zu öer festen Achse verlaufende Oberfläche aufweist, die erste Einrichtung so ausgebildet 1st, daß sie dem Probenträger ver-
    schiedene 009812A1197
    schiedene Winkelstellungen bezüglich der festen Achse gibt, indem sie dem Probenträger eine Drehbewegung um die feste Achse erteilt, und daß die erste Einrichtung dem Probenträger verschiedene radiale Stellungen bezüglich der festen Achse gibt, indem sie demselben eine Translationsbewegung senkrecht zu der festen Achse erteilt, wobei die vorbestimmte Stellung einer vorbestimmten Winkelstellung und einer vorbestimmten radialen Stellung des Probenträgers bezüglich der festen Achse entspricht und die von der Hilfseinrichtung erteilte Translationsbewegung parallel zur festen Achse erfolgt.
    009812/1197
    Λ.
    L e e r s e 11 e
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