DE1941135C3 - Vorrichtung zum Verschieben und Wechseln einer Probe in einem Vakuumgefäß - Google Patents

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung im Verschieben und Wechseln eir.er Probe in aem Vakuumgefäß, rrvi einer Probenkammer, in sr sich die Probe in einer Analysestellung befindet, ner Luftschleuse, die durch eine öffnung mit der robenkammer in Verbindung steht, und mit einem Probenträger, der zur Änderung der untersuchten Zone der Probenoberfläche in der Probenkammer in einer parallel zur Probenoberfläche liegenden Ebene in z'vei Koordinatenrichtungen verschiebbar ist, der in meiner Achsrichtung senkrecht zu dieser Ebene längsverschiebbar gelagert ist und der schließlich um eine außerhalb der Probenkammer liegende Achse derart schwenkbar gelagert ist, daß die Probe durch Verschwenken des Probenträgers vor die Öffnung der Luftschleuse gebracht und durch Längsverschiebung des Probenträgers durch diese Öffnung in die Luftschleuse eingeführt werden kann, wobei der Probenträger so ausgebildet ist, daß er die öffnung luftdicht verschließt, wenn sich die Probe in der Luftschleuse befindet.

Vorrichtungen dieser Art werden bei Elektronenmikroskopen Ionenmikroanalysatoren, Massenspcktrometern oder ähnlichen Geräten verwendet; sie ermöglichen einen Wechsel der zu untcrsuchendi η Probe, ohne daß dabei das Hochvakuum in der Pro benkammer aufgehoben wird, weil die Probe in du Luftschleuse zugänglich ist, die dann durch den Pnbenträger luftdicht gegen die Probenkammer abgedichtet ist. Der Probenwechsel wird somit beschlcu nigt, weil jeweils nur die Luftschleuse ausgepumpt werden muß.

Eine Vorrichtung der eingangs angegebenen Art ist aus der schweizerischen Patentschrift 455 95') bekannt. Bei dieser bekannten Vorrichtung ist der Probenträger axial gleitbar in einem außerhalb der Probenkammer liegenden Kreuztisch gelagert, der m einer senkrecht zu der Achsrichtung des Probentragers liegenden Ebene verschiebbar ist und außerdem eine Drehung des Probenträgers um seine Achse tr möglicht. Probenträger und Kreuztisch sind zusätzlich in einer zylindrisch ausgebildeten Pfanne gelagert, die ein Verschwenken der ganzen aus Probenträger und Kreuztisch bestehenden Anordnung um eine außerhalb der Probenkammer liegende AJise ermöglicht, welche die Achse des Probentriipcrs senkrecht schneidet. Diese Schwenkbewegung hat ausschließlich den Zweck, den Piobcnträger vor die öffnung der Luftschleuse zu bringen; während der Untersuchung der Probe in der Analysestellung bleibt die Pfanne feststehend, und die Bewegung des Probenträccrs erfolgt ausschließlich mit Hilfe des Kreuztisehes.

Infolge der vollständigen Trennung der zum Verschieben der Probe in der Analyscstellung verwendeten Mechanismen einerseits von den zum Verschwenken des Probenträgers für den Probenwechsel verwendeten Mechanismen andererseits weist diese bekannte Vorrichtung einen komplizierten Aufbau auf. Außerdem ist die Abdichtung schwierig, weil mehrere Hochvakuumdichtungen benötigt werden, die als Dreh- oder Gleitdichtungen ausgebildet sein messen. Die Erzielung einer einwandfreien Hochvakuum-Abdichtung mit Dreh- oder Gleitdichtungcn bietet bekanntlich beträchtliche Schwierigkeiten.

Die Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Art. die bei einfachem Aufbau die Hochvakuum-Abdichtung wesentlich erleichtert.

Nach der Erfindung wird dies dadurch erreicht, daß die Gleitführung für die Längsverschiebung des Probenträgers von einem Gleitkörper getragen ist, der in einer senkrecht zu der Achsrichtung des Pro-

benträgers liegenden Ebene verschiebbar ist, und daß die Gleitführung des Gleitkörpers um eine außerhalb der Probenkammer parallel zu der Achsrichtung des Probenträgers liegende Achse schwenkbar gelagert ist.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung übernimmt ein einziger, schwenkbai und verschiebbar gelagerter Gleitkörper die Funktionen der Verschiebung der Probe zur Änderung der untersuchten Zone einerseits und des Verschwenkens des Probenträgers zum Zweck des Probenwechseis andererseiis. Alle diese Bewegungen erfolgen in einer gemeinsamen, senkrecht zur Achsrichtung des Probenträgers liegenden Ebene. Der Mechanismus ist daher wesentlich vereinfacht. Vor allem kann die Hochvakuum-Abdichtung der Probenkammer auf einfache Weise erreicht werden. Es ist sogar möglich, vollkommen ohne Dreh- und Gleitdichtungen auszukommen, wenn gemäß einer bevorzugten Ausführungsform die Durchführung für den Gleitkörper in die Probenkammer durch einen Balgen abgedichtet ist.

Auch die zur Einführung des Probenträgers in die Öffnung der Luftschleuse erforderliche Längsverschiebung kann bei der Vorrichtung nach der Erfindung mit einem einfachen und leicht abzudichtenden Mechanismus erfolgen. Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des Erfindungsgegenstandes wird dies dadurch erreicht, daß der Probenträger einen axialen Gleitkörper hat, der in einer zylindrischen Gleitführung axial gleitbar gelagert ist und durch eine Feder in eine zurückgezogene Stellung gedrückt ist, in welcher er an der der Probe abgewandten Seite aus der Gleitführung herausragt, und daß an der der öffnung der Luftschleuse gegenüberliegenden Stelle ein Schubzapfen derart luftdicht durch die Wand der Probenkammer geführt ist, daß er mit dem Gleitkörper zur Längsverschiebung des Probenträgers zum Eingriff kommen kann, wenn dieser vor die Öffnung der Luftschleuse gebracht ist.

Auch in diesem Fall kann die Abdichtung ohne Dreh- und Gleitdichtung dadurch erfolgen, daß die Durchführung für den Schubzapfen in die Probenkammer durch einen Balgen abgedichtet ist.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigt

F i g. 1 eine Schnittansicht einer Hochvakuutn-Probenkammer mit einer Vorrichtung zum Verschieben und Wechseln der Probe, wobei sich die Probe in der Analysestellung befindet und der Schnitt längs der Linie x-x-x'-x' von F i g. 2 verläuft,

F i g. 2 eine Schnittansicht der Anordnung von l· i g. 1, wobei sich die Probe in der Luftschleuse befindet und der Schnitt längs der Linie y-y von F i g. 1 verläuft,

F i g. 3 L'ine schematische Darstellung der beiden Stellungen des Probenträgers bei der Vorrichtung von F i g. 1 und 2 und

F i g. 4 eine schematische Darstellung einer bei der Anordnung von F i g. 1 und 2 verwendeten Nockensteuerung.

In den F i g. 1 und 2 ist mit 50 derjenige Teil des evakuierten Behälters bezeichnet, welcher die Probenkammer eines Ionenmikroanalysators begrenzt. Dieser Behälter wird durch einen rohrförmigen Teil 51 fortgesetzt, welcher teilweise in die Kammer 50 eindringt. Der Rest des Behälters ist in F i g. 2 nur grob angedeutet.

Die Achse x'-x' (F i g. 2), y-y (F i g. 1) des rohrförmigen Teils 51 ist die »Geräteachse«.

Die Kammer SO enthält einen Probenträger mit einer Plattform 1, in deren Mitte die Probe E mittels Klauen 2 befestigt werden kann. Wenn der Probenträger und die daran befestigten Teile sich in solcher : Lage befinden, daß die Achse des Probenträgers mit der Geräteachse zusammenfällt (F i g. 1) oder nahezu zusammenfällt, so kann die Probe mit einem Bündel von durch den Strahlerzeuger 53 (F i g. 2) erzeugten Primärionen beschossen werden. Die von der

ίο Probe ausgesandten Sekundärionen werden sodann im rohrförmigen Teil 51 mittels einer ionenoptischen Anordnung 54 fokussiert, deren Achse mit der Geräteachse zusammenfällt.

Der Probenträger hat einen Fortsatz in Form eines

dazu koaxialen Gleitkörpers 55, welcher innerhalb einer Führung 52 gleiten kann, an die die Plattform 1 des Probenträgers durch die Wirkung einer Rückholfeder 58 bei Abwesenheit jeglicher auf das freie Ende des Gleitkörpers ausgeübten Kraft angedrückt wird.

Die Führung 52 ist an einem zum Gleitkörper 55 senkrechten Gleitkörper 5 befestigt. Der Gleitkörper 5 kann innerhalb einer Führung 66 gleiten, welche sich durch eine an der Wand 50 gebildete öffnung und eine weitere, in einem diese Wand verschließenden Träger 28 gebildete öffnung erstreckt. Die Führung 66 ist an einer schwenkbaren Gabel 3 befestigt, welche mit einer SpindeU und einem Drehzapfen 4a versehen ist, die in vom Träger 28 gestützten Lagern außerhalb des evakuierten Behälters drehbar gelagert sind und in welchen die Gabel"daher schwingen kann, wobei die Schwenkachse parallel zur Geräteachse verläuft, jedoch nicht in der gleichen vertikalen Ebene liegt.

Die Spindel 4 treibt außerdem einen Schwenkhebel 8 mit zwei Armen an, welche sich senkrecht zur Spindel erstrecken.

Ein Metallbalg 6 ist zwischen dem Umfang der im Träger 28 gebildeten öffnung und einem am Gleitkörper 5 vorgesehenen Ring 67 angeordnet. Der Balg kann gebogen und zusammengedrückt werden und dient zur Abdichtung der Probenkammer.

Der untere Arm des Schwenkhebels 8 trägt einen handbetätigbaren Riegel 7, welcher durch eine Feder belastet ist und zwischen zwei stabilen Lagen A und B bezüglich des unteren Arms verschwenkt werden kann, wobei dieser Riegel in Fig. 1 dargestellt ist.

Die Winkelstellung der Spindel 4 wird durch den Winkel Θ festgelegt, welchen die Achse des Gleitkörpers 5 mit der die Achse der Spindel 4 enthaltenden vertikalen Ebene einschließt. Wenn Θ gleich einem vorbestimmten Wert Θ_ο ist, schneidet die Achse u des Gleitkörpers 5 die Geräteachse >·, wie ir

F i g. 3 gezeigt, welche eine schematische Darstellung in einer vertikalen Fbene senkrecht zur Spindel i wiedergibt. Es ist sodann möglich, mittels des Gleit körpers 5 den Abstand R zwischen der Achse de Spindel 4 und der Achse des Probenträgers auf einei

derartigen Wert R₀ einzustellen, daß die Achse de Geräts und des Probenträgers in der in F i g. 3 ge zeigten Weise zusammenfallen.

Änderungen von R₀ um ± A R/2 und von β₀ ur ± ,1 0/2 machen es möglich, jede gewünschte Zon der Probe in die Geräteachse zu bringen.

Eine Luftschleuse 30 (F i g. 2) ist mit einer äuße ren öffnung versehen, welche durch einen Deckel' verschlossen werden kann, und sie steht mit de

Probenkammer über eine in der gemeinsamen Wand vorgesehene kreisförmige öffnung in Verbindung. Die Achse s dieser inneren öffnung ist in Fig. 3 dargestellt.

Für R = R₀ und θ = <->_s fallen die Achse der inneren öffnung der Luftschleuse 30 und die Achse des Probe-nträgers zusammen.

Wenn die Spindel 4 so angeordnet ist, daß sich der Wert ß_s bei R = R₀ ergibt, ist der Gleitkörper 55 (F i g. 2) gegenüber einem Schubzapfen 20 angeordnet, welcher gleitbar in einer Führung 70 angeordnet ist, die in der Wand der Kammer 50 ausgebildet ist, und welcher in dieselbe durch eine Öffnung eindringt, die durch einen ivietallbalg 71 augedichtet ist.

Der Zapfen 20 verschiebt den Gleitkörper 55, und unter dessen Wirkung dringt die Probe E in die Luftschleuse ein. Die Ptattform 1 kommt sodann zur Anlage am Umfang der inneren öffnung der Luftschleuse und verschließt dieselbe. Dieser Verschluß wird mittels einer luftfesten Dichtung 11 !"^ftdicht gemacht, welche von der Plattform 1 getragen v.ird.

Wenn kein Druck mehr vom Zapfen 20 aut den Gleitkörper 55 ausgeübt wird, läuft die Plattform unter der Wirkung der Feder 58 gegen die Führung 52.

Der Probenträger kann sodann /ur Durchführung der Analyse wieder in die Arbeitsstellung gebracht werden.

Zusammenfassend kann gesagt weroen. daß die Veixchiebungen des Probenträgers, weiche jeweils seinen drei Freiheitsgraden entsprechen, pc-ieiu-ri werden:

a) durch das Verschwenken der Spindel 4,

b) durch das Gleiten des Gleitkörpers 5 innerhalb der Führung 66,

c) durch das Gleiten des Gleitkörper 55 inner!¹ alb der Führung 52,

vorausgesetzt, daß der Winkel θ gleich H, und der Abstand R gleich A₀ gemacht ist.

Diese Verschiebungen können wiederum auf irgendeine gewünschte Weise gesteuert werden.

Vorzugsweise wird jedoch die Winkelstellung der Spindel 4 innerhalb des Winkelseklors Δ θ durch einen Motor MΛΘ gesteuert, dessen Welle, wenn sich der Riegel 7 in der Stellung A befindet, mit der Spindel 4 über eine übliche mechanische Kupplung mit einem Zahnrad 62 und einem Zahnsektor 63 verbunden ist, wobei der linke Teil des Riegels 7 in der Stellung A in eine Kerbe des Zahnsektors eingreift.

Wenn sich andererseits der Riegel 7 in der Stellung B befindet, greift sein rechtes Ende in eine Kerbe im Lagerträger 28 ein, welcher mit der Wand der Kammer 50 fest verbunden ist, und dadurch wird einerseits der Motor MA θ von der Spindel 4 ausgekuppelt, indem der Sektor 63 vom Riegel 7 freigegeben wird, nnd andererseits wird die Spindel in der Stellung Ö_s festgelegt. Ein federbelasteter Schubzapfen 19, welcher in einer mit der Wand 50 fest verbundenen Führung gleitet, kann sodann mit seiner Spitze in eine öffnung eingreifen, welche am oberen Arm des Schwenkhebels 8 ausgebildet ist, wie in g gezeigt

Die Lage des Gleitkörpers 5 wird durch einen •Al Ji? bestimmt, welcher von einer in der »66 ausgebildeten Schulter getragen wird und

dessen Welle mit dem Gleitkörper 5 über eine aus Schraube und Mutter bestehende Anordnung 68 gekoppelt ist.

Eine Vorrichtung mit ähnlichem mechanischem Aufbau, wie sie zur Verriegelung der Spindel 4 in einer Winkelstellung Θ = w_s verwendet wird, kann zur Verriegelung des Gleitkörpers 5 in einer Stellung R = R₀ very endet werden. Vorzugsweise kann dieser zweite Vcrriegelungsmcchanismus durch eine

ίο vorübergehende Servosteuerung des Motors MAR ersetzt werden. Zu diesem Zweck wird eine übliche Absiandsrr.eßeinrichtung mit zwei Mikrwchaltern 25 und 26 vorgesehen, welche an einem an der Gabel 3 befestigten Teil 69 angeordnet sind und mit einem von der Schraube der aus Schraube und Mutter bestehenden Anordnung 68 getragenen Teil zusammen wirken. Die üblichen Verbindungen zwischen Hen Mikroschaltern und dem Motor MAR sind sehr schematisch dargestellt.

ίο Zusätzlich zu ihrer inneren und äußeren öffnung weist die Luftschleuse einen Kanal 12 auf, welcher dieselbe mit dem Pumpenkreis verbindet und durch ein Tellerventil 13 geschlossen werden kann.

Das Tellerventil 13 ist auf einem fcderbelasteten Schubzapfen 60 angeordnet, welcher in einer irr' dem Reha'ier 50 fc«t vcrburdcnen Führung 61 gleiten V.ann. Fin Balg 62a erzeugt eine Abdichtung zwischen der Führung 61 und den· Tellerventil 13. Die Schubzapfen 19, 20 und 60 werden jeweil> durch die Nocken 16, 14 und 15 auf einer Nockenwelle 56 gesteuert, welche vorzugsweise mitte's cm·. Meters 32 gesteuert wird, der nach der Analy«r -'..r Probe (Fig. 1) die erforderliche Einstellung der ν im schiedcnen bewegten Teile hervorruft.

Aus F i g. 2 sind die verschiedenen Nocken l sichtlich. Die Welle befindet sich in einer Stelle;. in welcher die Probe in die Luftschleuse cin-i ■-führt ist

^τ'-ί /u icigv.i. wie die beschriebene Anlage i;>

Verbindung m^:< einem Pumpenkreis betätigt v. ;ü. ist in Fig. 2 schematisch auch ein üblicher Pumper·· kreis dargestellt. Dieser Kreis weist auf: eine Hai;;; leitung 21. mit welcher die Luftschleuse 30 über d.~" Kanal 12 verbunden ist; einen Lufteinlaß, welch.

mit der Hauptleitung 21 über ein Ventil 41 verbu , den ist; ein Vakuummeßgerät 42 in der Hauptleiturg 21; ein Trennventil 43; ein Sperrventil 44 und eine kontinuierlich arbeitende Hauptpumpe 45.

Der Betrieb der Vorrichtung wird zunächst unter

der Annahme beschrieben, daß die Probe sich in der Analysestellung (Fig. 1)befindet:

1. Der Riegel 7 befindet sich in der Stellung A; die Nockenwelle 56 ist in einer ersten vorbestimmten Stellung angehalten; der Schubzapfen 20 befindet sich nicht gegenüber dem Ende des Gleitkörpers 55, und infolgedessen hat der letztere eine Stellung, welche durch die Feder 58 bestimmt wird (F i g. 1);

der Nocken 15 befindet sich in einer derartigen Stellung, daß das Tellerventil 13 geschlossen ist; der Nocken 16 befindet sich in einer solchen Stellung, daß der Schubzapfen 19 sich nicht in Berührung mit dem Schwenkhebel 8 befindet;

der äußere Deckel 9 der Luftschleuse ist geschlossen;

das Ventil 41 ist geschlossen, und das Ventil ist geöffnet.

Mittels der Motoren MA θ und MAR können die Werte von (-) und R um die Mittelwerte (->,, und R₀ herum geändert werden, so daß eine gewünschte Zone der Probe untersucht wird.

2. Wenn die Bedienungsperson sodann Zugang zui Probe zu haben wünscht, schwenkt sie den Riegel 7 in die Stellung B, wodurch der rechte Teil des Hebels in die Kerbe am Teil 28 eingreift. Wie oben beschrieben, wird dadurch der Motor M A (-) von der Spindel 4 ausgekuppelt, und diese Spindel wird in die Stellung 0_S gebracht.

a) Die Steuerung des Motors M AR mittels der Kontakte 25 und 26 zur Einstellung des Glcitkörpers 5 entsprechend dem genauen Wert R R₀ wird in Gang gesetzt.

b) Sodann wird eine Drehung de¹- Motors 32 in einer ersten Richtung hervorgerufen.

3. Diese Drehung der Nockenwelle 56 ruft nacheinander die folgenden Vorgänge hervor:

Der Nockci, 16 bewirkt, daß der Schubzapfe:· 19 in die Öffnung im Schwenkhebel 8 eingreift und dadurch die Winkelstellung der Spindel 4 lcstlegt.

Die Achse des Probenträgers ist dadurch koaxial 7ur Luftschleusennchse festgelegt, und der Gleitkörper 55 ist in der axialen Fortsetzung des Schubzapfens 20 ausgerichtet.
Der Nocken 14 wirkt auf den Schubzapren 20 so, daß die Probe E in dir Luftschleuse eintritt, und die Plattform 1 kommt zur Anlage an den Rand der inneren öffnung derselben.
Der Nocken 15 hört auf, auf den Schubzapfen 60 einzuwirken, und das Tellerventil 13 gibt die Öffnung des Kanals 12 frei.

4. Die Nockenwelle wird in einer zweiten vorbestimmten Stellung angehalten, das Ventil 43 wird geschlossen und das Ventil 41 geöffnet.
Luft strömt sodann in die Hauptleitung 21 und in die Luftschleuse 30 ein.

Ab diesem Zeitpunkt hat die Bedienungsperson Zugang 7ur Probe, indem sie einfach den Dekkel 9 öffnet, und sie kann dieselbe durch eine andere Probe ersetzen. Der Deckel 9 wird sodann wieder geschlossen und die Nockenwelle abermals gedreht.

5. Die Nockenwelle wird in einer dritten vorbestimmten Stellung angehalten. Das Ventil 41 ist geschlossen und das Ventil 43 geöffnet, so daß das Auspumpen in der Hauptleitung 21 beginnt.

6. Nach dem Ende der Handhabung der Probe und nach Schließung des Deckels 9 wird der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung A geschwenkt, und dadurch wird der Motor A/ 1 θ wieder an die Spindel 4 angekuppelt.

a) Fs wird eine Drehung des Motors 32 in einer zur vorigen Drehrichtung entgegengesetzten Richtung hervorgerufen.
Der Nocken 15 gestattet eine Rückführung des Schubzapfens 60 und eine abermalige Öffnung des Tellerventil 13, so daß der Pumpvorgang beendet werden kann.

7. Die Nockenwelle 56 wird in der sogenannten »zweiten vorbestimmten Stellung« angehalten, und der Druck in der Hauptleitung 21 wird mittels des Meßgeräts 43 geprüft.

8. Wenn das Vakuum ausreichend ist. wird die Nockenwelle 56 wiederum gedreht.

Der Nocken 15 schließt das Ventil 13. Der Nocken 14 gibt den Gleitkörper 55 frei. Der Nocken 16 führt den Schubzapfen 19 zurück und gibt dadurch den Schwenkhebel 8 und die Spindel 4 frei.

9. Die Nockenwelle 56 wird in der obengenannten »ersten vorbestimmten Stellung« angehalten, und

ίο die Servosteuerung des Motors M A R wird beendet. .

Sodann kann der Probenträger mittels der Motoren M.H-) und MaR in die gewünschte Analysestellung gebracht werden.

Der äußere Deckel 9 der Luftschleuse besteht vorteilhafterweise aus einem Schaufenster, welches beispielsweise die Beobachtung der Probe mittels eines in F i g. 2 dargestellten optischen Mikroskops 80 ermöglicht.

Es wird nun sehr schematisch angedeutet, daß mittels einiger zusätzlicher Teile die Anlage leicht an ein geeignetes Programmirrgerät 90 angepaßt werden kann, so daß die von der Bedienungsperson erforderlichen Handgriffe auf die Betätigung des Riegels 7 eingeschränkt werden, wenn dieselbe Zugang zur Piobe zu erhalten wünscht.

In diesem Fall kann ein zusätzlicher Nocken 17 (Fi g. 2) auf der Nockenwelle 56 angebracht werden. Dieser Nocken ist auch in F i g. 4 gezeigt, welche eine schematische Ansicht in der durch die Achse zz gehenden vertikalen Ebene wiedergibt. Dieser Nokken betätigt drei Kor.taktgeber 22, 23 und 24. welche jeweils von der Nockenwelle in den obengenannten drei vorbestimmten Winkelstellungen betätigt werden. Der in F i g. 4 gezeigte Pfeil entspricht der zweiten Drehrichtung der Nockenwelle.

Außerdem wird ein weiterer Kontaktgeber 29 im Träger 28 vorgesehen, welcher so angeordnet ist, daß er vom Riegel 7 betätigt wird, wenn der letztere in die Stellung B geschwenkt wird.

Das Programmiergerät 90 ist mit den Motoren 32 und MAR und mit den Kontaktgebern 22, 23, 24. 25, 26 und 29 verbunden. Die entsprechenden Verbindungen sind nur in sehr symbolischer Weise dargestellt, und zwar in F i g. 3 durch eine den Block 90 mit den Kontaktgebern 25, 26. MAR und 29 verbindende Linie und in F i g. 4 durch eine andere, den Block 90 mit den Kontaktgebern 22. 23 und 24 verbindende Linie.

In gleicher Weise Mnd die Verbindungen dcv Programmiergeräts 90 mit dem Motor 32 und mit den Elementen 41. 42 und 43 des Pumpenkreises mn durch mehrere das Programmiergerät mit dieser Elementen verbindende Linien dargestellt Die Arbeitsweise dieser Anlage wird sodann in dei obigen Weise beschrieben, mit dem Unterschied. d.-it die von den Kontaktgebern 22, 23. 24. 25. 26 unc 29 und vom Meßgerät 42 auf das Programmiergera 90 gegebenen Signale und die vom letzteren abgcge

So bencn Befehle berücksichtigt werden:

1. Im Analyscüustand Festlegung der Nocken welle 56 in ihrer ersten vorbestimmten Stellung wobei die Zustände (geschlossen oder geöffnet der Ventile 41 und 43 von dem den Kontakt

geber 22 betätigenden Nocken 17 abhängen.

2. Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperso in die Stellung B geschwenkt wird, wird dadt

auch der Kontaktgeber 29 betätigt, wodurch die obigen Schritte 2 a) und 2b) hervorgerufen werden.

4. Die Nockenwelle muß nicht in der zweiten vorbestimmten Stellung angehalten werden, sondern die Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nocken 17 ruft die Schließung des Ventils 43 und die öffnung des Ventils 42 hervor.

5. Dieser Schritt beruht auf der Betätigung des Kontaktgebers 24 durch den Nocken 17.

6. Wenn der Riegel 7 von der Bedienungsperson in die Stellung A verschwenkt wird, wird auch

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der Kontakt am Kontaktgeber 29 unterbrochen, wodurch der obige Schritt 6 a) hervorgerufen wird.

7. Dieser Schritt beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 23 durch den Nokken 17.

8. Dieser Schritt ist eine Folge eines Signals, welches vom Meßgerät 42 auf das Programmiergerät 90 gegeben wird, wenn der Druck ausreichend ist.

9. Dies beruht auf einer abermaligen Betätigung des Kontaktgebers 22 durch den Nocken 17.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Verschieben und Wechseln einer Probe in einem Vakuumgefäß, mit einer Probenkammer, in der sich die Probe in einer Analysestellung befindet, einer Luftschleuse, die durch eine öffnung mit der Probenkammer in Verbindung steht, und mit einem Probenträger, der zur Änderung der untersuchten Zone der Probenoberfläche in der Probenkammer in einer parallel zur Probenoberfläche liegenden Ebene in zwei Koordinatenrichtungen verschiebbar ist, der in seiner Achsrichtung senkrecht zu dieser Ebene längsverschiebbar gelagert ist und der schließlich um eine außcihalb der Probenkammer liegende Achse derart schwenkbar gelagert ist, daß die Probe durch Verschwenken des Probenträgers vor die öffnung der Luftschleuse gebracht und durch Längsverschiebung des Probenträgers durch diese öffnung in die Luftschleuse eingeführt werden kann, wobei der Probenträger so ausgebildet ist, daß er die öffnung luftdicht verschließt, wenn sich die Probe in der Luftschleuse befindet, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleitführung (52) für die Längsverschiebung des Probenträgers (1) von einem Gleitkörper (5) getragen ist, der in einer senkrecht zu der Achsrichtung des Probenträgers (J) liegenden Ebene verschitbbar ist. und daß die Gleitführung (66) des Gleitkörpers (5) um eine außerhalb der Probenkammer (50) parallel zu der Achsrichtung des Probenträgers (1) liegende Achse (4, 4 a) schwenkbar gelagert ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführung für den Gleitkörper (5) in die Probenkammer (50) durch einen Balgen (6) abgedichtet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Probenträger (1) einen axialen Gleitkörper (55) hat, der in einer zylindrischen Gleitführung (52) axial gleitbar gelagert ist und durch eine Feder (58) in eine zurückgezogene Stellung gedrückt ist, in welcher er an der der Probe (E) abgewandten Seite aus der Gleitführung (52) herausragt, und daß an der der öffnung der Luftschleuse (30) gegenüberliegenden Stelle ein Schubzapfen (20) derart luftdicht durch die Wand der Probenkammer (50) geführt ist, daß er mit dem Gleitkörper (55) zur Längsverschiebung de, Probenträgers (1) zum Eingriff kommen kann, wenn dieser vor die öffnung der Luftschleuse (30) gebracht ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführung für den Schubzapfen (20) in die Probenkammer (50) durch einen Balgen (71) abgedichtet ist.