DE1935710A1 - Einrichtung zur automatischen Regelung des elektrischen Betriebszustandes einer elektrothermischen Anlage - Google Patents
Einrichtung zur automatischen Regelung des elektrischen Betriebszustandes einer elektrothermischen AnlageInfo
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Description
Patentanwälte
ZELLEN.IN υ. LUYKEN 8000 München 22
Zwöibrückenstr. 4
Moskovskig energetiiieskij institut 14. Juli 1969
Moskau / UdSSR
P 27 925
EINRICHTUNG ZUR AUTOMATISCHEN REGELUNG DES ELEKTRISCHEN BETRIEBSZUSTANDS
EINER ELEKTROTHERMISCHEN ANLAGE
Die Erfindung bezieht sieh auf das Gebiet der Elektro-Wärmetechnik,
insbesondere auf Einrichtungen zur automatischen Regelung des elektrischen Betriebszustands von elektrothermischen
Anlagen mit Elektronenkanonen.
Es sind Einrichtungen zur automatischen Regelung des Betriebszustands einer elektrothermischen Anlage mit Elektronenkanone
bekannt, deren Hauptkatode durch ein von der Hilfskatode emittiertes Elektronenbündel erhitzt wird, wobei
die Hauptkatode der Elektronenkanone von einer Bauein-
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heit zur Heizung der Hauptkatode gespeist wird und die
Speisung der Hilfskatode von einer Baueinheit zur Heizung der Hilfskatode erfolgt.
Ein Mangel dieser Einrichtungen besteht darin, daß bei der Kondensierung von Dämpfen des erhitzten Metalls an
der Katodenoberfläche oder bei Änderungen der Katodentemperatur, die unter dem Einfluß des die Katodenoberfläche tref-
_ fenden positiven Ionenstromes oder des durch die Wärmestrahlung
von.der Oberfläche des erhitzten Körpers hervorgerufenen
Wärmestromes erfolgen, derartige Einrichtungen die notwendige Stabilität des Betriebszustande einer elektrothermisehen
Elektronenstrahlanlage nicht gewährleisten können.
Die Erfindung bezweckt diesen Mangel zu beseitigen.
Der Erfindung wurde die Aufgabe zugrundegelegt, eine
Einrichtung zur automatischen Regelung des Betriebszustande
einer elektrothermisch^ Anlage mit Elektronenkanone zu entwickeln,
die eine Erhöhung der elektrischen Betriebsstabili- w tat beim Sinken der Katödenemissionsfähigkeit gewährleisten
kann, das in den Fällen erfolgt, wenn sich die Dämpfe des erhitzten Metalls an der Katodenoberfläche kondensieren oder
wenn sich die Katodentemperatur unter dem Einfluß des die
Katodenoberfläche treffenden positiven Ionenstromes oder, des durch die Wärmestrahlung von der Oberfläche des erhitzten
Erzeugnisses hervorgerufenen Wärmestromes ändert.
Diese Aufgabe wird mit der Erfindung dadurch gelöst, daß
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in der Einrichtung zur automatischen Begelung des elektrischen
Betriebszustande der elektrothermischen Anlage mit einer Elektronenkanone, deren Hauptkatode durch ein von der
Hilfskatode emittiertes Elektronenbündel erhitzt wird, wobei die Hauptkatode der Elektronenkanone von einer Baueinheit
zur Heizung "der Hauptkatode und die Hilfskatode von
einer Baueinheit zur Heizung der Hilfskatode gespeist wird, erfindungsgemäG
ein Sqhaltungsteil zur Korrektur der Hauptkatodenheizung
vorgesehen iet, der wenigstens mit einer der erwähnten Baueinheiten verbunden ist.
Es ist smeokmäßig, den Schaltungsteil zur Korrektur
der Hauptkatodenheizung mit der Baueinheit zur Heizung der Hauptkatode und gleichzeitig mit der Baueinheit zur Heizung
der Hilfskatode zu verbinden und diese beides Baueinheiten regelbar auszuführen.
Die erfindungsgemäß aufgebaute Einrichtung sichert eine Erhöhung der Betriebsstabilität der Anlage, eine Steigerung
ihrer Leistungsfähigkeit sowie eine Verbesserung der Qualität der Erzeugnisse .
Im folgenden 'wird die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel
und an Hand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Hierbei zeigen
Fi. 1 ein Blockschalt "bild der Einrichtung zur automatischen
Regelung des elektrischen Betriebszustande einer elektrothermischen Anlage;
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. 2 eine der möglichen Schaltungsvarianten der betreffenden
Einrichtung.
Die Temperatur der emittierenden Katodenoberfläche hängt wie bekannt von der zur Katodenerwärmung von der Katodenspeisequelle
aufgenommenen Leistung sowie von der Wärmeabstrahlung von der Oberfläche des erwärmten Erzeugnisses
ab.
^ ' In mehreren Fällen liegen die emittierende Oberfläche
der Hauptkatode einer Elektronenkanone und die Oberfläche des zu erwärmenden Erzeugnisses in der Zone der gegenseitigen
Bestrahlung.
Bei einer Temperaturänderung an der Oberfläche des erwärmten Erzeugnisses oder bei einer Änderung des Koeffizienten
der gegenseitigen Bestrahlung der Oberflächen der Katode und des Erzeugnisses (was z.B. in Schmelzöfen bei der Einführung
des zu schmelzenden Werkstoffes in die Elektronenstrahlzone vorkommt) ändert sich auch der resultierende Wär-
W mestrom von der Erzeugnisoberfläche zur Katode. Das führt
eine Änderung der Temperatur der emittierenden Katodenoberfläche
und somit ein« Änderung der Leistung der Anlage herbei.
Die andere Ursache von Temperatüränderungen an der emittierenden
Katodenoberfläche und somit von Leistungsänderungen in der Anlage ist eine Änderung des zur Katode gerich-
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teten Ionenstromes, die duroh Schwankungen des Druckes und
der Zusammensetzung von Restgasen in der Arbeitskammer hervorgerufen wird»
Es ist darauf hinzuweisen, daß eine Abweichung des Leistungswertes von dem durch die Anlage erreichten Leistungswert bei unveränderlicher Leistungsgröße der Hauptkatoden-Speisequelle
nut bei einer Betriebsart der Elektronenkanone vorkommt, die sich vom Betrieb mit Strombegrenzung durch die
Raumladung unterscheidet. Diese Betriebsart ist aber für die meisten Industrieanlagen kennzeichnend, bei denen die Leistung
geregelt werden muß und viele technische Komplikationen entstehen, nämlich im Zusammenhang mit der Erhitzung von
Reinmetallkatoden bis zu Temperaturwerten, die den Betriebszustand der Elektronenkanone mit Strombegrenzung durch die
Raumladung ermöglichen,
Leistungsschwankungen, die durch Temperaturänderungen an der emittierenden Katodenoberfläche unter dem Einfluß
der Wärmestrahlung von dar Erzeugnisoberfläche und bei der Einwirkung des Ionenstronies hervorgerufen werden, führen
sum Sinken der Leistungsfähigkeit der Anlage und setzen die
Qualität der Erzeugnisse herab.
In diesen Fällen ist zur Wiederherstellung des Normalbetriebs der Anlage der Eingriff einer Bedienungsperson notwendig.
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Wie der beigelegten Zeichnung (Fig. l) zu entnehmen ist,
wird die Elektronenkanone 1 von ihrer Speisequelle 2 gespeist. Die Hauptkatode der Elektronenkanone 1 speist man
von der Baueinheit 3 zur Heizung der Hauptkatode, wobei zu dieser Baueinheit ein System 4 (Fig. 2) zur Regelung ihrer
Betriebsart gehört. Die Hilfskatode der Elektronenkanone 1 wird von der Baueinheit 5 zur Heizung der Hilfskatode ge-..s>peist,
wobei diese Baueinheit ein System 6 zur Regelung ihrer Betriebsart enthält. Der Schaltungsteil 7 f,ur Korrektur
der Hauptkatodenheizung iet mit dem Ausgang der Speisequelle 2 der Elektronenkanone 1 verbunden.
In dem in Fig. 2 angeführten Ausführungsbeispiel für
die Einrichtung ist die Speisequelle 2 der Elektronenkanone 1, die aus einem Gleichrichter 8 und einem über die Klemmen
10, 11, 12 an das Speisenetz angeschlossenen Transformator 9 besteht, mit den Elektroden der Elektronenkanone 1 verbunden.
Die Baueinheit 3 zur Heizung der Hauptkatode, die aus einem Gleichrichter 13, einem über die Klemmen 15 und 16 an
das Speisenetz angeschlossenen Transformator 14, aus gegenpolig parallelgeschalteten Thyristoren 17 und 18, sowie einem
Betriebsart-Regelungssystem 4 besteht, hat mit der Hauptkatode und mit der Hilfskatode der Elektronenkanone 1 Verbindung.
Die Baueinheit 5 zur Hilfskatodenheizung, die aus einem
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Transformator 19, gegenpolig parallelgeschalteten Thyri stören
20 und 21 sowie aus einem Betriebsart- Regelungssy stem
6 besteht, ist über die Klemmen 22 und 23 an das Speisenetz angeschlossen.
Die Einrichtung funktioniert folgenderweise: Bei einer Änderung des Speisestromes bzw. der Speisespannung der
Elektronenkanone 1 gelangt ein Signal vom Ausgang der Speisequelle
2 der Elektronenkanone 1 an den Sohaltungsteil 7
zur Korrektur der Hauptkatodenheizungι von dessen Ausgang
ein Korrektionasignal der zur Heizung der Hauptkatode dienenden
Baueinheit 3 und der Baueinheit 5 zur Heizung der
Hilfskatode zugeführt wird, Infolge der Einwirkung von Betriebsart-Regelungssystemen
4 und 6 auf die Stellglieder der Baueinheiten 3 und 5» die sur Heiaung der Haupt- bzw.
Hilfskatode vorgesehen sind, wird sich die Leistung der Hauptkatoden-Speisequelle und somit die Katodentemperatur
solange ändern, bis der Strom oder die Spannung der Elektronenkanone 1 den vorgegebenen Wert erreicht.
In den Fällen, wenn in einer der Baueinheiten, z.B. in der Baueinheit 3 zur Hauptkatodenheizung, der Speisestrom
oder die Speisespannung der Hauptkatode stabilisiert werden, kann das Signal vom Schaltungsteil 7, der die Hauptkatodenheizung ausregelt, nur der Baueinheit 5 für die
Hilfskatodenlieizung zugeführt werden, wobei diese Baueinheit
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als Regeleinheit arbeitet.
Wie aus der obigen Beschreibung und aus den beigefügten
Zeichnungen folgt, gibt die erfindungsgemäß aufgebaute Einrichtung die Möglichkeit, mit Hilfe des Schaltungsteils
7 zur Korrektur der Hauptkatodenheizung die Leistung der
Hauptkatoden-Speisequelle und folglich die Temperatur der emittierenden Katodenoberfläche je nach dem vom Ausgang
der Speisequelle 2 gelieferten Signal automatisch zu verändern.
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Claims (2)
14. Juli 1969
Patentanwälte
ZELLENTIN U. LUYKEN P 27 925
ZELLENTIN U. LUYKEN P 27 925
§QOO München 22
PATENTANSPRÜCHE:
Vlj/Einrichtung zur, automatischen Regelung des Betriebszustands
einer elektrothermisch^ Anlage mit Elektronenkanone,
deren Hauptkatode durch ein von der Hilfskatode emittiertes Elektronenbündel erhitzt wird, wobei die Hauptkatode der Elektronenkanone von einer Baueinheit zur Heizung
der Hauptkatode und die Hilfskatode von einer Baueinheit
zur Heizung der Hilfskatode gespeist wird, d a du r ca
gekennzeichnet, daß sie einen Schaltungsteil (7) zur Korrektur der Hauptkatodenheizung enthält, der wenigstens
mit einer der erwähnten Baueinheiten (3 bzw. 5) verbunden ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Korrektur-Schaltungsteil (7) gleichzeitig mit der Baueinheit (3) zur Hauptkatodenheizung
und mit der Baueinheit (5) zur Hilfskatodenheizung
verbunden ist und diese beiden Baueinheiten (3 bzw. 5) regelbar ausgeführt sind.
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. -40" L e e r s e i t e
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1257961A SU490099A1 (ru) | 1968-07-17 | 1968-07-17 | Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1935710A1 true DE1935710A1 (de) | 1970-02-26 |
Family
ID=20443009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19691935710 Pending DE1935710A1 (de) | 1968-07-17 | 1969-07-14 | Einrichtung zur automatischen Regelung des elektrischen Betriebszustandes einer elektrothermischen Anlage |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3689798A (de) |
AT (1) | AT293564B (de) |
BE (1) | BE736167A (de) |
CH (1) | CH497106A (de) |
CS (1) | CS160802B1 (de) |
DE (1) | DE1935710A1 (de) |
FR (1) | FR2013155A1 (de) |
GB (1) | GB1270339A (de) |
SU (1) | SU490099A1 (de) |
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- 1969-07-15 CH CH1081969A patent/CH497106A/de not_active IP Right Cessation
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- 1969-07-16 GB GB35812/69A patent/GB1270339A/en not_active Expired
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