SU490099A1 - Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой - Google Patents

Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой

Info

Publication number
SU490099A1
SU490099A1 SU1257961A SU1257961A SU490099A1 SU 490099 A1 SU490099 A1 SU 490099A1 SU 1257961 A SU1257961 A SU 1257961A SU 1257961 A SU1257961 A SU 1257961A SU 490099 A1 SU490099 A1 SU 490099A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cathode
main
output
unit
power supply
Prior art date
Application number
SU1257961A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Павлович Бруковский
Владимир Федорович Жуков
Павел Борисович Яковлев
Лариса Петровна Некрасова
Юрий Дмитриевич Ивановский
Кирилл Давидович Гуттерман
Александр Васильевич Перов
Original Assignee
Московский Ордена Ленина Энергетический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Ордена Ленина Энергетический Институт filed Critical Московский Ордена Ленина Энергетический Институт
Priority to SU1257961A priority Critical patent/SU490099A1/ru
Priority to DE19691935710 priority patent/DE1935710A1/de
Priority to CH1081969A priority patent/CH497106A/de
Priority to CS4999A priority patent/CS160802B1/cs
Priority to AT684369A priority patent/AT293564B/de
Priority to BE736167D priority patent/BE736167A/xx
Priority to GB35812/69A priority patent/GB1270339A/en
Priority to FR6924438A priority patent/FR2013155A1/fr
Priority to US163028A priority patent/US3689798A/en
Application granted granted Critical
Publication of SU490099A1 publication Critical patent/SU490099A1/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
    • G05F1/10—Regulating voltage or current
    • G05F1/12—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is ac
    • G05F1/40—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is ac using discharge tubes or semiconductor devices as final control devices
    • G05F1/44—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is ac using discharge tubes or semiconductor devices as final control devices semiconductor devices only

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

3
ного катода, а БК - блок коррекции нагрева этого катода; на фиг. 4-6 - блок-схемы возможных вариантов выполнени  устройства,
Известно, что темнература эмиттирующей новерхности катода определ етс  как мощностью , идущей на нагрев катода от источника его иитанн , так и лучистым потоком с поверхности нагреваемого издели . В р де случаев эмиттирующа  новерхность основного катода электронной пушки и поверхность иагреваемого издели  расположеиы в зоие взаимного облучени .
При изменении темнературы новерхиостн нагреваемого издели  или коэффициента взаимного облучени  между поверхност ми катода и издели  (например, в илавильиых печах при подаче расплавл емого материала в зону электронного луча) мен етс  результирующий теиловой ноток с иоверхности издеЛИЯ на катод. В результате этого температура эмиттирующей иоверхности катода иовыщаетс  или понижаетс , что приводит соответственно к увеличению или умеиьщению мощиости установки. Другой причиной изменени  температуры эмиттирующей поверхности катода и, как следствие этого, мощности установки  вл етс  усиление или ослаблеине интенсивности ионного потока на катод в результате колебаний давлени  и состава остаточных газов в рабочей камере.
Отклонение мощноети установки от усто вщегос  значени  ири неизменной величние мощности источника питаии  основного катода наблюдаетс  лищь при работе пушки в режиме , отличном от режима ограничени  тока простраиственным зар дом. Это характерно дл  большииетва промышленных установок в св зи с необходимостью регулировани  их мощноети и целым р дом технических еложностей , возникающих при нагреве чисто металлических катодов до температур, позвол ющих иушке работать в режиме ограничени  тока пространственным зар дом.
Колебани  мощности, вызываемые изменением температуры эмиттирующей иоверхиоети катода иод вли иием воздействи  излучени  с поверхности издели  и ионного потока, привод т к снижению производительноети установки и ухудшению качества получаемого издели . Дл  восстановлени  номинального режима работы установки в этих случа х необходимо вмешательство оператора.
4
Таким образом, описываемое устройство с помощью блока коррекции нагреза основного катода дает возможность автоматически измен ть мощность источника питани  основного катода, а следовательно, п температуру его эмиттирующей иоверхности в зависимости от сигнала, поступающего с выхода источиика силового питани . Этим устройство обеспечивает более высокую стабильность электрического режима работы установки, повыщение ее производительиости п улучшение качества получаемого издели .
Предмет изобретени 

Claims (4)

1.Устройство дл  автоматического регулироваии  электрического режима электротермической установки с электронной пушкой, осповной катод которой нагреваетс  потоков электронов, эмиттированных вспомогательным катодом, содержащее источники силового питанн , питани  основного и всномогательного катодов, а также блок управлепи  нагревом основного катода, вход которого соединен с выходом нсточника иитани  основного катода, состо щий из подблоков управлени  источниками иитани  вспомогательного и основного катодов, отличающеес  тем, что, с целью новыщени  стабильиости режима работы установки , оно снабжено блоком коррекции иагрева основного катода, подключенным со -стороны входа к источнику силового иитани , а со стороны выхода - к блоку уиравлени  нагрево .м основного катода.
2.Устройство но и. I, отличающеес  тем, что в случае нитаии  основного катода по иараметрической схеме, обеснечивающей неизменную величину тока в нагрузке, выход указанного блока коррекции подключен непосредственно к подблоку управлени  источником питани  вспомогательного катода.
3.Устройство но п. 1, отличающеес  тем, что выход указанного блока коррекции подключен к подблоку управлени  источииком иитаии  вспо.могательного катода, ко входу которого подключен также и выход источника питани  основного катода.
4.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что выход указанного блока коррекции подключен к подблоку управленн  источником питани  основного катода, ко входу которого также подключен вЕ)1ход источиика иитани  ocHOBHOio катода.
.L.4.,
Фаг.
,7Sh
fus 2
hK
пвн
SU1257961A 1968-07-17 1968-07-17 Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой SU490099A1 (ru)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1257961A SU490099A1 (ru) 1968-07-17 1968-07-17 Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой
DE19691935710 DE1935710A1 (de) 1968-07-17 1969-07-14 Einrichtung zur automatischen Regelung des elektrischen Betriebszustandes einer elektrothermischen Anlage
CH1081969A CH497106A (de) 1968-07-17 1969-07-15 Einrichtung an einer thermischen Elektronenstrahlkanone zur automatischen Regelung von deren Betriebszustand
CS4999A CS160802B1 (ru) 1968-07-17 1969-07-15
AT684369A AT293564B (de) 1968-07-17 1969-07-16 Einrichtung zur automatischen Regelung des Betriebszustandes einer elektrothermischen Anlage
BE736167D BE736167A (ru) 1968-07-17 1969-07-16
GB35812/69A GB1270339A (en) 1968-07-17 1969-07-16 Improvements in and relating to electron beam apparatus
FR6924438A FR2013155A1 (ru) 1968-07-17 1969-07-17
US163028A US3689798A (en) 1968-07-17 1971-07-16 Device for automatically controlling electrical conditions of an electron beam unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1257961A SU490099A1 (ru) 1968-07-17 1968-07-17 Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU490099A1 true SU490099A1 (ru) 1975-10-30

Family

ID=20443009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1257961A SU490099A1 (ru) 1968-07-17 1968-07-17 Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой

Country Status (9)

Country Link
US (1) US3689798A (ru)
AT (1) AT293564B (ru)
BE (1) BE736167A (ru)
CH (1) CH497106A (ru)
CS (1) CS160802B1 (ru)
DE (1) DE1935710A1 (ru)
FR (1) FR2013155A1 (ru)
GB (1) GB1270339A (ru)
SU (1) SU490099A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE221138C (ru) * 1971-04-30
NL7107749A (ru) * 1971-06-05 1972-12-07
DE2325808C2 (de) * 1973-05-22 1983-07-14 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Schaltung zur Regelung der Betriebsparameter eines Elektronenstrahlerzeugers
DE2325786C2 (de) * 1973-05-22 1983-10-06 Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln Schaltung zur Regelung der Betriebsparameter eines Elektronenstrahlerzeugers
DE2514805C3 (de) * 1975-04-04 1978-05-18 Leybold-Heraeus Gmbh & Co Kg, 5000 Koeln Anordnung zur Leistungssteuerung von Hochspannungs-EIektronenstrahlerzeugern
DE2918426A1 (de) * 1979-05-08 1980-11-20 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Hochspannungsversorgungseinrichtung fuer leistungs-elektronenstrahlkanonen
DE2928301C2 (de) * 1979-07-13 1983-12-29 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Anordnung zur Leistungssteuerung eines Hochspannungs-Elektronenstrahlerzeugers
US6847164B2 (en) * 2002-12-10 2005-01-25 Applied Matrials, Inc. Current-stabilizing illumination of photocathode electron beam source
DE102005020815B4 (de) 2005-05-04 2007-05-10 Applied Materials Gmbh & Co. Kg Anordnung für die Regelung der Elektronenstrahlleistung einer Elektronenstrahlkanone
US20100263590A1 (en) * 2008-12-01 2010-10-21 United Technologies Corporation Vapor Deposition Electron Beam Current Control

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2953701A (en) * 1957-09-05 1960-09-20 High Voltage Engineering Corp Sealed-off diode with electron emitting anode
US3072822A (en) * 1961-05-19 1963-01-08 Julian C Holmes Emission current regulator
US3158733A (en) * 1962-09-12 1964-11-24 Nat Res Corp Focus control for electron beam heating
US3250893A (en) * 1963-10-01 1966-05-10 Union Carbide Corp Method for providing a source of heat

Also Published As

Publication number Publication date
US3689798A (en) 1972-09-05
AT293564B (de) 1971-10-11
DE1935710A1 (de) 1970-02-26
FR2013155A1 (ru) 1970-03-27
GB1270339A (en) 1972-04-12
BE736167A (ru) 1970-01-16
CH497106A (de) 1970-09-30
CS160802B1 (ru) 1975-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU490099A1 (ru) Устройство дл автоматического регулировани электрического режима электротермической установки с электронной пушкой
GB805165A (en) Improvements in and connected with processes using electrical glow discharges
CA2663761A1 (en) Method for operating a melt-metallurgic furnace, and furnace
KR102108645B1 (ko) 고온 탄화로
US3244412A (en) Apparatus for melting meltable materials
RU2311700C1 (ru) Устройство регулирования мощности электронного луча электронной пушки
USRE16149E (en) Process and apparatus fob
US2625387A (en) Method of heating
DK157290C (da) Fremgangsmaade til fremstilling af klinker paa basis af calciumsilicater og -aluminater, saasom portlandcement og aluminacement
JPS55126949A (en) Electron beam generator
US3392304A (en) Power supply for an electron beam furnace gun
US3193199A (en) Apparatus and method of combustion control
US2102664A (en) Control system
US1952927A (en) Furnace
JP2016529359A (ja) 摩擦ライニングの熱処理方法及び装置
PL68928B1 (ru)
US2775823A (en) Method of operation of tunnel kilns combined with drying chambers
US1094381A (en) Electric furnace for and process of heating substances uniformly and at a controllable temperature in an electric arc.
US1481828A (en) Apparatus for treating metals
US2902653A (en) Pulse generating circuits embodying magnetrons
GB1155483A (en) Electric Current Control Apparatus
SU1302444A1 (ru) Способ управлени электрическим режимом дуговой электропечи
Shugurov Extended Arc Plasmagenerator PINK-P
JPS5735615A (en) Heating method for heating furnace
GB1106011A (en) Process for the manufacture of stress-free and crack-free highpurity boron ingots bycrystal-drawing or zone-melting