DE1931624A1 - Spannungseinstellungsgeraet - Google Patents

Description

OR-INQ. DIPL.-IS·«=. M. SC . DIPL.-PHY-S. Dft. DIPL.-.

HÖGER - STELLRECHT- GRIESSBACH - HAECKER

PATENTANWÄLTE IN STUTTGART .

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19. Juni 1969

TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED I35OO North Central Expressway DALLAS , Texas,. U. S. A.

Spannungsexnstellungsgerat

Die Erfindung betrifft ein Gerät zur Einstellung einer vorbestimmten Spannung in einem zwischen zwei Halterungen eingespannten Faden oder Stab, insbesondere einem Halbleiterfaden oder -stab.

Die Reduktion gasförmiger Halogenide des Siliziums und Germaniums an einem heißen Faden zur Erzeugung des reinen HaIblei'termaterials ist an sich bekannt. Ein typisches solches Verfahren wird in der älteren Anmeldung ( amtliches Aktenzeichen .....) der Anmelderin beschrieben. Bei diesem Ver-

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fahren wird'ein Kristall auf einem Siliziumsubstrat dadurch erzeugt, daß man das Substrat zunächst heiß in der Dampfphase ätzt und dann Silizium niederschlägt. Das heiße Ätzen mit Dampf wird bei ungefähr I325 C in einer Atmosphäre durchgeführt, "die ein gasförmiges Gemisch aus Wasserstoff und HCl enthält. Nach dem Ätzen wird Silizium auf dem das Substrat bildenden Faden dadurch niedergeschlagen, daß man ihn einer Atmosphäre aussetzt, die Wasserstoff und Trichlorsilan enthält. Nach der Reduktion der HCl-Konzentration wird die Fadentemperatur auf ungefähr 1200 C abgesenkt und auf dem Faden in der beschriebenen Weise Silizium niedergeschlagen, und zwar so lange, bis ein Siliziumstab des gewünschten Durchmessers entstanden ist.

Eine Schwierigkeit, mit der man sich bei dieser Art des Kristallwachstums immer auseinanderzusetzen hat, beruht auf der Längendehnung des Fadens, während er von Raumtemperatur auf die beim Ätzen und Niederschlagen herrschenden Temperaturen erhitzt wird.

Diese Ausdehnung kann zum Durchbiegen des Fadens und somit zu unregelmässigen Halbleiterstäben führen, die wiederum kostspielige Behandlungsschritte bei der weiteren Fertigung bedingen. Bei einkristallinen Fäden und der Züchtigung eines einkristallinen Stabs können die Längsausdehnung und die damit verbundenen Spannungen zum Einbau unerwünschter Versetzungen in den fertigen Kristall führen.

Grundsätzlich wird zum Niederschlagen eine zylindrische Kammer mit zwei Stirnplatten verwendet, mit deren Hilfe der Faden in der gewünschten Stellung innerhalb der Kammer gehalten wird* Um den Faden auf die für das Ätzen und das Niederschlagen erforderlichen Temperaturen zu erhitzen, wird über diese Stirn-

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plattenfourchsetzende Elektroden, die eine elektrische Verbindung zwischen einer Stromquelle und dem Faden herstellen, ein Heizstrom zugeführt. Bisher wurde der Faden an den Elektroden mittels einer zweiteiligen Schlupf-Spannvorrichtung befestigt,' die dazu diente, die Spannungen im erhitzten Faden durch eine relative Bewegung zwischen den beiden Teilen zu vermindern. Es hat sich jedoch gezeigt, daß infolge des hohen^ zum Erhitzen des Fadens erforderlichen Stroms in der Größenordnung von 400 Amp. die beiden Teile der Spannvorrichtung häufig miteinander verschweißt werden, so daß sie sich in einer bestimmten relativen Lage zueinander festfressen. Der Faden war dann von zwei Spannvorrichtungen gehalten, die relativ zueinander unverschiebbar waren, so daß eine Ausdehnung des Fadens oder Halbleiterstabs unerwünschte Spannungen mit sich brachte.

Durch die Erfindung soll nun ein Gerät geschaffen werden, mit dessen Hilfe eine bestimmte Spannung, die auch den Wert Null annehmen kann, in einem Faden oder Stab zwischen zwei Halterungen aufrecht erhalten werden kann, und diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß eine Fühlvorrichtung für die Ermittlung der Spannung und zur Abgabe eines entsprechend dieser Spannung von einem Ausgangswert abweichenden Signals vorgesehen ist, und daß ferner mindestens eine der beiden Halterungen über eine Verstellvorrichtung relativ zur anderen Halterung derart verstellbar ist, daß das Signal der Fühlvorrichtang wieder den Ausgangswert annimmt. Besonders geeignet ist das erfindungsgemäße Gerät selbstverständlich für die Verminderung der Spannungen in einem beheizten HalbleIterfaden. Die Fühlvorrichtung wird zweckmäßigerweise die Spannung durch ein Abfühlen der Bewegung der beiden Halterungen relativ zueinander ermitteln. Fer-

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ner ist es vorteilhaft, die Fühlvorrichtung so zu gestalten, daß die Signaländerung proportional zur Spannungsanderung ist. Durch das Signal kann dann eine Servoeinrichtung gesteuert werden, die eine der beiden Halterungen so verstellt, daß das Signal entweder verschwindet oder seinen vorgegebenen Ausgangswert wieder annimmt und auf diese Weise das Entstehen von Spannungen verhindert oder diese auf einem vorgegebenen Wert hält. Dies ist bei der Herstellung gewisser Kristalle Wünschenwert, da in einigen Fällen die völlige Spannungsfreiheit und damit das Fehlen aller Versetzungen die Diffusion der Dotierungsstoffe behindert.

Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben.sich aus der nachfolgenden Beschreibung sowie aus der Zeichnung, deren Erläuterung diese Beschreibung dient; es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Reaktionskammer mit einer Rückführschleife zur Halterung eines erhitzten Halbleiterfadens mit minimaler Spannung;

Fig. 2 eine zum Teil.geschnittene Darstellung der oberen Hälfte der in Fig. 1 gezeigten Kammer mit einer etwas abgewandelten . Halterung, und

.Fig. 3 eine teilweise geschnittene Darstellung der unteren Hälfte der Reaktionskammer mit einem weiteren Ausführungsbeispiel eines Bewegungswandlers und einer Fadenhalte rung.

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Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Pig. 1 ist eine aus einem Quarzrohr IO und einer oberen und einer unteren Stirnplatte 12 bzw. m zusammengesetzte Reaktionskammer zum Niderschlagen von Halbleitermaterial im Schnitt gezeigt. Die obere Stirnplatte nimmt ein Einlaßrohr 16 auf, durch das miteinander reagierende Gase zum Ätzen und zum Niederschlagen des Halbleitermaterials in das Innere der Reaktionskammer geleitet werden können; über ein Auslaßrohr 18 an der unteren Stirnplatte strömen die mindestens zum Teil verbrauchten Gase ab. über die beiden Rohre kann die Reaktionskammer ferner mindestens teilweise evakuiert werden, um nach Abschluß des Ätzvorgangs und des Niederschiagens etwa absorbierte Gase aus der Reaktionskammer entfernen zu können. Da Verunreinigungen in das Halbleitermaterial aus den Werkstoffen der Reaktionskammer kommen können, ist es wesentlich, diese nur aus solchem Werkstoff zu fertigen, die den im Betrieb auftretenden Temperaturen und den verwendeten Gasen widerstehen, ohne irgendwelche Verunreinigungen abzugeben.

Mit. 20 ist ein Haibleiterfaden bezeichnet, auf dem beispielsweise Silizium oder Germanium niedergeschlagen werden soll, was durch die thermische Zersetzung eines entsprechenden HaIogenids geschieht. Der Halbleiterfaden 20 wird von einer oberen und einer unteren Spannvorrichtung 22 bzw. 24 gehalten, wobei die letztere die Form einer Schlupf-Spannvorrichtung haben kann, um so die Spannungen im Faden 20 möglichst nieder zu halten, wenn er auf die Ätz- und Niederschlagungstemperatur erhitzt wird. Zweckmäßigerweise werden die beiden Spannvorrichtungen aus einem harten Graphitwerkstoff hergestellt und sie weisen eine konische Bohrung auf, um die Fadenenden festzuhalten.

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Die untere Spannvorrichtung ist über einen Paßsitz an einer Elektrode 26 angebracht, über die dem Faden 20 der Heizstrom zugeführt wird; dieser stammt aus einer nicht dargestellten Stromquelle, die über eine flexible Zuleitung 28 und eine Klemme 30 an die Elektrode 26 angeschlossen ist. Eine Kompressionsoder Spannmutter 32 ist auf ein Rohr 34 aufgeschraubt und dient dem Zweck, die Elektrode 26 in einer anfänglich bestimmten Stellung zu halten, die von der Länge des Fadens 20 bestimmt wird.

ψ Um die Elektrode nicht auf Temperaturen kommen zu lassen, bei denen sie Verunreinigungen abgeben würde, ist sie wassergekühlt, und zu diesem Zweck leitet man in eine zentrale Bohrung der Elektrode über ein Rohr 36 einen Wasserstrom. Die Bauelemente 24, 26 und 34 werden von der unteren Stirnplatte 14 über einen flexiblen Balg 38, den man auch als Druckdose ansprechen könnte, getragen; sein unteres Ende ist an der unteren Stirnplatte 14 so befestigt, daß eine gasdichte Dichtung entstellt, und gleiches gilt für die Befestigung des oberen Endes des Balgs 38 am Rohr 34. In die untere Stirnplatte 14 ist ein reibungsloses Lager 40 eingeschraubt, welches das Rohr 34 hält und somit sicherstellt, daß die untere Spannvorrichtung 24 mit der

. oberen fluchtet. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Lager 40 luftbetrieben und über ein Rohr 42 an eine Druckluftquelle angeschlossen. Derartige Luftlager sind im Handel erhältlich, so daß auf eine nähere Beschreibung verzichtet werden kann. Das Lager 40 richtet nicht nur die Spannvorrichtung 24 aus, sondern es gestattet eine Längsbewegung des Rohrs 34 mit minimaler Reibung.

Der obere Teil der Reaktionskammer ist entsprechend ausgebildet und umfaßt die folgenden Bauteile: Eine Elektrode 44 zur Zuführung des Heizstroms zum Faden 20; eine flexible-elektrische

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Zuleitung 46, die mit einer Klemme 4.8 an der Elektrode 44 befestigt ist; ein Rohr 50 zur Halterung der Elektrode 44; einen reflexiblen Balg 52, der bis auf die Tatsache, daß er kürzer als der Balg 38 ist, diesem völlig entspricht; ein reibungsloses 'Lager 54 mit einem Rohr 56 zur Zuleitung von Druckluft und einem Auslaßrohr 58 für die Luft.

Um den Halbleiterfaden 20 für die Reduktion des Ätzdampfes in die richtige Lage zu bringen, wird er zunächst in die Spannvorrichtung 22 eingeführt, die auf die Elektrode 44 aufgeschraubt ist. Dann schiebt man die untere Spannvorrichtung 24 über das untere Ende des Fadens 20, so daß dieses ergriffen wird. Wie vorstehend beschrieben, ist die Elektrode 26 so angeordnet, daß eine spannungsfreie Halterung des Fadens 2.0 möglich ist. Dann wird dieser elektrisch auf die Ätztemperatur und schließlich auf die Niederschlagungstemperatur aufgeheizt- Dabei dehnt sich der Faden in Längsrichtung aus; bei einem ungefähr 5OO mm langen Stab beträgt die Längs ausdehnung dabei ungefähr 2,5 nun.

Die Ausdehnung des erhitzten Halbleiterfadens 20 hat zur Folge, daß die Elektrode 26 nach unten verschoben wird. Dazu ist eine gewisse Kraft erforderlich, die der Faden 20 auf die Spannvorrichtung 24 ausüben muß und die das Entstehen' von Spannungen im Faden zur Folge hat, so daß im fertigen Kristall unerwünschte Versetzungen auftreten können. Die Abwärtsbewegung der Elektrode 26 wird von einer Fühlvorrichtung abgetastet, die einen linearen Differentialtransformator 60 umfaßt; dieser hat eine Primärwicklung 62 und in Serie geschaltete Sekundärwicklungen 64 und 66. Zwischen den beiden letzteren ist ein Eisenkern 68 verschiebbar geführt, so daß durch reine Ver-

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Schiebung die induktive Kopplung zwischen den Wicklungen verändert werden kann. Der Eisenkern 68 bewegt sich, wenn die Elektrode 26 verschoben wird, da ein Übertragungsbügel 70 die Bewegung der Elektrode 26 überträgt. Infolge einer Ausdehnung des erhitzten Halbleiterfadens 20 wird also die induktive Kopplung zwischen Primär- und Sekundärwicklungen des Transformators 60 geändert, so daß sich auch die Ausgangsspannung des Transformators proportional zur Verschiebung der Elektrode 26 * ändert.

An den Ausgang des Transformators ist ein Verstärker 72 angeschlossen, dessen Ausgangssignal sich gegenüber einem Anfangswert proportional zur Eingangsspannung des Verstärkers, ändert. Mit dem Ausgangs signal des Verstärkers wird ein Servomotor 7*1 beaufschlagt, so daß sich dessen Antriebswelle 76 entsprechend der Abweichung des Verstärkerausgangssxgnals vom Anfangswert dreht. Die Wirkung von Servomotor 74 und Verstärker 72 entspricht den üblichen Servoeinrichtungen. Die Umdrehungszahl der Abtriebswelle 76, die proportional zur Größe der Ausgangssignaländerung am Verstärkerausgang relativ zum Anfangswert ist, wird durch einen Bewegungswandler 78 in eine entsprechende lineare Bewegung eines Zapfens 80 umgesetzt, der die Elektrode 44 dadurch positioniert, daß er an deren Klemme 48 angreift.

Im Betrieb wird - ehe man den Faden 20 in die Reaktionskammer einbringt - ein Einstellknopf 82 am Verstärker 72 so eingestellt, daß ein Ausgangswert für die Verschiebung der Elektrode 44 relativ zur Ruhelage des Balgs 52 erzielt wird. Dann bringt man den Faden 20 so in der Kammer an, wie dies zuvor beschrieben worden ist, und heizt ihn elektrisch auf. Dabei dehnt er sich

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und verschiebt die Elektrode 26 in Längsrichtung, worauf der Transformator 60 anspricht und der Verstärker 72 den Servomotor 7^ in Drehung versetzt; die Abtriebswelle 76 des Motors dreht sich dabei so, daß der Zapfen 80 nach oben verschoben wird, und dieselbe Bewegung führt dann auch die obere Spannvorrichtung durch, so daß die Ausdehnung des Fadens 20 kompensiert wird und Spannungen im Faden bzw. Halbleiterstab beseitigt werden. Infolgedessen kehrt die Elektrode 26 in ihre Ausgangsstellung zurück, und das Ausgangssignal des Transformators 60 nimmt wieder seinen Anfangswert an, während das Ausgangssignal des Verstärkers 72 auf Null zurückgeht. Infolgedessen steht die Abtriebswelle 76 des Servomotors 74 still.

Das in Fig. 2 gezeigte Ausführungsbeispiel einer Konstruktion zur Einstellung der oberen Spannvorrichtung 22 ist so entworfen, daß diese Spannvorrichtung als Folge einer Verschiebung der Elektrode 26 neu eingestellt wird. In Fig. 2 wurden für diejenigen Teile, die auch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig.. auftreten, dieselben Bezugszeichen gewählt. Unterschiedlich ist jedoch, daß das Druckmedium für das Luftlager 54 durch einen Kanal zwischen diesem Lager und dem Balg 52 auch in den letzteren fließt. Der Druck im Balg wird durch einen Strömungsregler 88 gesteuert, der im Luftauslaßrohr 58 liegt und mit einem Steuersignal aus dem Verstärker 72 beaufschlagt wird. Er ersetzt also praktisch den Servomotor 74 des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels.

Statt vor dem Einbau des Fadens 20 in die Reaktionskammer mechanisch die Elektrode 44 einzustellen, wird der Druck im Balg 52 nun so eingestellt, daß die Elektrode 44 um einen vorgegebenen Wert verschoben wird. Der entsprechende Druckwert

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. ist durch eine Einstellung des Einstellknopfes 82 am Verstärker 72 zu wählen, wodurch tatsächlich die Durchflußmenge pro Zeiteinheit durch den Strömungsregler 88 eingestellt wird. Der untere Teil der Konstruktion kann bei diesem Ausführungsbeispiel identisch mit demjenigen nach Fig. 1 sein.

Eine Bewegung der Elektrode 26 hat wieder eine Änderung der ^ Ausgangsspannung des Differentialtransformators 60 zur Folge, ™ und diese Spannungsänderung wird vom Verstärker 72 verstärkt, so daß mit ihrer Hilfe der Strömungsregler 88 entsprechend ein-, zustellen ist. Eine Abwärtsverschiebung der Elektrode 26 führt zu einer Verminderung des Drucks im Balg 52, so daß die Elektrode 44 infolge der Federwirkung dieses Balgs angehoben wird. Dieses Anheben der Elektrode 44 vermindert jedoch die Spannungen im erhitzten Halbleiterfaden 20, die ursprünglich zur Verschiebung der Elektrode 26 nach unten geführt haben. Durch den.Abbau der Spannungen kann die letztgenannte Elektrode wieder in ihre Ausgangsstellung zurückkehren, so daß auch das Ausgangssignal des Transformators 60 seinen ursprünglichen Wert annimmt.

^ Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 beschäftigt sich mit dem unteren Teil der Reaktionskammer, der dem-gemäß an die Stelle der entsprechenden Teile im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 treten kann. Auch hier trägt die Elektrode 26 mittels der unteren Spannvorrichtung 24 wieder den Faden 20 in der bereits beschriebenen Weise. Anstelle eines linearen Differentialtrans for mat or 3 wird jedoch eine Düse 90 zum Abtasten der Bewegungungen derELektrode 26 verwendet. Mit dem Ende dieser Elektrode ist ein Positionierring 92 verbunden, der gegen zwei Einstellschrauben .94 und 96 eines. Ringkupplungsstücks 98 an-Ifegt. Das Ringkupplungsstück 98 ist mit einer Schiene 100 ver-

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bunden, die in Führungen 102 und 104 in vertikaler Richtung verschiebbar ist. Ihrer Verstellung dient ein Zylinder 106 mit einem Kolben IO8, und der Zylinder kann über einen Druckregler 110 und Röhre 112, 114 mit Druckmittel beaufschlagt werden. Ein Pneumatikverstärker HS gibt einLuftdrucksignal ab, das proportional zum Staudruck an der Düse 90 ist und den Luftdruck steuert, mit dem der Zylinder IO6 beaufschlagt wirdj dieses Luftdrucksignal steuert also die Läge der Schiene 100. Der Staudruck an der Düse 90 hängt vom Abstand eines am Positionierring 92 befestigten Fühlerstifts 116 von der Düse 90 ab. - "

Wurde der Halbleiterfaden Wie vorstehend beschrieben in die Reaktionskammer eingebaut, so kann man die -Einstellschrauben 94 und 96 so einstellen, daß sie gegenüber der Elektrode 26 geringfügig verschoben sind. Dann wird der Fühlerstift 116 so eingestellt, daß an der Düse 90 ein Staudruck entsteht, 'der ausreicht, um den Zylinder 106 und damit die Schiene 100 in einer bestimmten Ausgangsstellung zu halten. Bemerkenswert ist noch, daß bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 die Elektrode 44 anfänglich nicht verschoben wird.

Eine Bewegung der Elektrode 26 ändert den Abstand zwischen dem Fühlerstift 116 und dem Ringkupplungsstück 98. Diese Verschiebung führt zu einer Veränderung des Staudrucks an der Düse 90a so daß derDrUckregler 110 ein geändertes Eingangssignal erhält;' Infolgedessen ändert sich der Druck, mit dem der Zylinder 106 beaufschlagt wird, und die Schiene 100 wird ent~ sprechend'Verstellt. Dies hat auch eine Verstellung des Ringkupplungsst'ücks 98 in einer solchen Richtung zur Folge, daß

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der ursprüngliche Abstand zwischen diesem Teil und dem Fühlerstift 116 wieder hergestellt wird. Infolgedessen nimmt auch der Staudruck der Düse 90 wieder seinen Ausgangswert an, und der Druckregler 110 hält den neu eingestellten Druck im ZyÜn-·. ί der, 106 aufrecht. Die Neueinstellung des Ringkupp.lungsstücks, 98 hat auch zur Folge, daß ein neuer Abstand zwischen den beiden Spannvorrichtungen 22 und 24eingestellt wird und infolgedessen die Spannungen im erhitzten Halbleiterfaden 20 abgebaut' ™ werden.. . . ■ - . ■ ■- , -.-■-.-.■'

Obwohl"lediglich besondere Ausfuhrungsformen. :für die Bewegungs-Fühlvorrichtung·und die Einstellvorrichtüngen gezeichnet und.beschrieben worden sind, ist es selbstverständlich, daß eine.: große Zahl anderer Konstruktionen möglich ist. So "kann beispielsweise der lineare Differentialtransformator 60 durch eine Dehnungsmeßbrücke ersetzt werden, die infolge einer Verschiebung, : der Elektrode 26 eine Spannung abgibt. Auch anstelle- der elastischen Balge können andere Konstruktionselemente eingesetzt werden, um die Elektroden 26 und 44 mit den Stirnplatten der- /" Reaktionskammer zu verbinden. Es seien hier nur die verschiedenen Membranen (gewellte und flache) sowie gerollte Dichtungen erwähnt. :

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Claims (9)

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   Patentansprüche

   l.yGerät zur Einstellung einer vorbestimmten Spannung in einem '—^ zwischen zwei Alterungen eingespannten Faden oder Stab, insbesondere einem Halbleiterfaden oder -stab, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fühlvorrichtung ( 70, 68, 60 ) für die Ermittlung der Spannung und zur Abgabe eines entsprechend dieser Spannung von einem Ausgangswert abweichenden Signals vorgesehen ist, und daß ferner mindestens eine der beiden Halterungen (22, 24) über eine Verstellvorrichtung ( 74, 78, 80 ) relativ zur anderen Halterung derart verstellbar ist, daß das Signal der kühlvorrichtung wieder den Ausgangswert annimmt .
2. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Signaländerung proportional der Spannung ist.
3. 3· Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung eine Servovorrichtung (74; 88, IO6, 108) zur Verstellung einer Halterung relativ zur anderen aufweist.
4. 4, Gerät nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen auf eine Bewegung einer der beiden Halterungen ansprechenden Signalgeber (60; 90, 98, Ho) zur Abgabe eines der Spannung im Faden oder Stab proportionierten Signals.

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5. 5. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Signalgeber ein linearer Differentialtransformator (60) vorgesehen ist, dessen Ausgangssignal sich proportional zur Verschiebung einer der Halterungen ändert.
6. 6. Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgeber eine ..Düse (90) zur Erzeugung eines Staudrucks eines Druckmediums umfaßt, wobei dieser Staudruck proportional zur Verschiebung einer der Halterungen relativ zur anderen ist.
7. 7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung eine druckmittelbetätigte Servovorrichtung (106, 108) aufweist, die mit derselben Halterung wie die Fühlvorrichtung (90) gekuppelt ist zur Rückführung dieser Halterung und Einstellung des Anfangswertes für den Staudruck.
8. 8. Gerät nach Anspruch 5» gekennzeichnet durch eine einstellbare Tragvorrichtung (38, 52) für jede Halterung zur Einstellung des Abstandes der beiden Halterungen voneinander, einen vom Ausgangssignal des Differentialtransformators (60) gesteuerten Servomotor (74), sowie einen von dem letzteren angetriebenen Bewegungswandler (78) zum Verstellen der Tragvorrichtung der einen Halterung.

   9» Gerät nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Faden ein in einer Reaktionskamraer (10) zum Niederschlagen von Halbleitermaterial aufgehängter Halbleiterfaden (20) ist, daß die Kammer eine erste Stirnplatte (X2) aufweist, die die eine Halterung (22) an einer vorbestimmten Stelle hält, daß die Kammer ferner eine der ersten gegenüberliegende zweite Stirnplatte (1*0 hat, die die

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   zweite Halterung so hält, daß sie mit der ersten fluchtet, daß durch die Stirnplatten jeweils ein elektrischer Leiter (26, 44) hindurchführt, deren Enden die Halterungen tragen, so daß der Halbleiterfaden über diese Leiter elektrisch" aufheizbar ist, daß ferner an den Stirnplatten reibungsarme Lager (54, 40) angeordnet sind, die die elektrischen Leiter umgeben und die Halterungen in einer Lage halten, daß sie miteinander fluchten, und daß von den Tragvorrichtungen (52, 3B)" mindestens eine in Längsrichtung des zugehörigen ■ Leiters verstellbar und einerseits an der zugehörigen Stirnplatte, andererseits an d'ieeem Leiter befestigt ist, der die Tragvorrichtung durchsetzt.

   10. Gerät nach Anspruch 9» dadurch rekennzeichnet, daß jede Tragvorrichtung einen Balg (52, 38) aufweist. ·

   11. Gerät nach einem der Ansprüche 4, 6 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung ein Druckreglerventil (110) aufweist, das durch den Staudruck steuerbar ist _Λ und daß das Innere des einen Balgs (38) zwecks Einstellung des Innendrucks an den Druckregler angeschlossen ist zur Verstellung der diesem Balg zugeordneten Halterung (24).
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