DE1923032A1 - Optische Ablenkvorrichtung - Google Patents

Optische Ablenkvorrichtung

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DE1923032A1
DE1923032A1 DE19691923032 DE1923032A DE1923032A1 DE 1923032 A1 DE1923032 A1 DE 1923032A1 DE 19691923032 DE19691923032 DE 19691923032 DE 1923032 A DE1923032 A DE 1923032A DE 1923032 A1 DE1923032 A1 DE 1923032A1
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Georges Couderc
Jean Dansac
Christian Ritz
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors

Description

  • "Optische Ablenkvorrichtung" Französische Prierität von 10. Mai 1968 aus der frannëskischen Patentanmoldung Nr. 151 327 (Seine) Die Erfindung betrifft eine optisched Ablenkvorrichtung zur Winkelablonkung sines Lichtstrahls, insba@ondere für geringe Werte der Ablonkung und der sich zufolge optischer Abtastung ergebenden Ge@antamplitude in der Größenor@nung von beispielswaise 10 -³ Endi@@. Kei bischer bekdannten Verrichtungen dieser Art gesehicht die Ablonkung des lichtstra@ls auf nachanischem wege, zei es durch kntoptische Anordungsen (@otierender Spiegel, schwingender Spiegel), sei es durch diepti@she Anordungen (Diasporauster), desh liegon die Fotriobsfrequensend aufgrund der Trägkoit der bowagten machdanischen Teile niedrig.
  • Die Abldon@ngd kann obomne auß elektre-sptischen @age durch Doppolbrochung, die die Möglichkeit zur schrittweisen Vor@nderung boinheltot, eierd durch Vorwondung von Ultra@chall @rsielt t@@kn.. @ie pri@niploll@n @achteile dieser Vorrichtungend liegem in dem niodrigen optischend wirkungsgrad und der besintri@chtigten Edver@@s. Der Erfimdung liegt die Aufgebe zug@@de, aute@ Vormoidung ddieser, don @a@@ aten Verrichtun@ @@ au@ @terden Na@hteile, eit@ schnelle und gen@@ optisched Abl@@kvei@lcha@@@.
  • mit ka@@@ @ir@ngogr@@ @@ c@heffen, die die egtische sch@@t@@, von allon die Mtorg@@@ des abgel@@@ @@@ Lichtstra@@ nicht beeinflußt und die weiterhin die Eschteile der bisher bekannten Vorrichtungen vermoidat.
  • Diese Aufgabe ist bei der Vorrichtung der einleitend angegebenon Gattung dedurchd gelöst, daß erfindungsgemäß ein abener Spiegel mit seiner nichtreflektderenden Unterseite mechanisch fest mit zwei (oder drei) nach den piezoelektrischen Effekt arbeitonden, elektromechanischend wandlern verhunden und an drei punktförmigen Stellen abgestützt ist, über die die durch piezeelektrischen Effekt hervorgeraufonen, vendkrecht zur Spiegelfläche wirkonden, machanischen Längenänderungen der @andler übertragen werden, die von einer mit ihnen verbundenen elektrischen Schaltung in der weise stouerber sind, daß die Drchung des Spiegels und eine vorbestimmte Achse oder einem lunkt erfolgt.
  • @ine ferartige Anor@ung aus einem obenen Syiegel und elektomeche@ @@on @andlern, ist an sich bekannt, wird jedoch für andere @usehe varwenlet, k@@o@elensi@e und eine verhestinnte sch@ gaun@@ @erallelverschichung des Spiegels verzunch@@n oder um eine Füu@@che Stabilisiegeng der reflekbierenden Flüche zu erreicher, Ihror Aufgehenstellung wird die Erfindung dadurch precht, daß die Ablenkang durch @@@ung deis@@ oberen Eyliegels un eine torbastiente, diktive A@@@ Zddttals @@ektroseknanischer Wand-@@@ deren @l@ktrische @@@@, @@ @orer sie moch@@ische Ins-@@@@@@@@@ @@@@@@, @@@@@@ auf der Zpiegelobome stoht, @@@@ @@@@, @@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@ @@dler @it ihren @@@ @ @@@@ @@@ @@@@@ @@@@@ @@@@@ i@ @@dgen @bstond @ @@@@@ @@@ @@@@ @@@@ mit @@@@@ ver-@@@@@@@@@@ @@@ @@@@@@ @irer mit ih@@@@ ver-@@@@@@@@@@ in @@@@@ @@@@@@@ @@@@.
  • @@@@@@@@ @@ @@@@@ @@@ @@@@@ bestimm-@@@@@@@@@@ @@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@- Arbeitsweise zu verwirklichen, wobei di Abtastung eindimensional oder zweidimensional erfolgen kan und der Lichtstrahl sich dementsprochend in einem festen Winkel oder einem Winkelbereich bowegt.
  • Durch eine derartige Ausgentaltung des Verfahrens besteht der Vorteil, daß der Lichtstrahl in eine sehr genau bekannte Lage gebracht werden kann, sei es mit oder ohne Abtautvorrichtung, wobei im orsteren Fall die Lage entweder analog oder digital eingestellt werden kann. Es besteht weiter der Vorteil, daß die wesentlichen Eigenschaften des Lichtstrahls während der Abtastung nicht verändert werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist somit besonders zur Herstellung eines optischen Radars geeignet.
  • Rei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens wird eine @igitals Ablenkung in N Schritten dadurch erreicht, daß N sp@@ungstufen nacheinander an die piezoelektrischen Scheiben zweier aus N Scheiben gebildeten Säulen angelegt werden.
  • Bei einer bosonders vielseitigen Ausführungsform der Vorrichtung wird eine zweidimensionale Ablenkung durch Verwendung von drei piezoelektrischen Scheiben (oder Säulen) erreicht.
  • In der Zeichnung ist die Vorrichtung der erfindungsgemäßen Art in einer beispielsweise wiedergegebonen Ausführungsform schematisch veranschnulicht. Es zeigen: Fig. 1 ein vereinfachtes Schema dder erfindungsgemäßen optischen Ablenkvorrichtung.
  • Fig. 2 die Berührungstellen swischen Spiegel und Wandler bei einer Vorrichtung mit zwei Wandlern, Fig. 3 die Drahung das Spiegels um eine vorbestimmte, fiktive Achse durch Gegentaktansteuerug, Fig. 4 die Explosionszeichnung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ablenkvorrichtung.
  • Fig. 5 die Verteilung der Berührungsstellen zwischen Spiegel und Wandlern bei einer die zwieidimeneionale Drehung des Spiegels ermöglichenden Auführung mit drei Wendlern.
  • Wie sus Fig. 1 hervorgeht, ist das optische, die Ablenkung bewirkende Element, ein ebener Spiegel 1, dessen Oberfläche für optische Zwecke mit großer Gonauigkeikt bohandelt und poliert ist. Auf den Spiegel 1 trifft ein einfallender, paralleler oder leicht divergierender Lichtetrahl 2 aus der festen Eichtung A1 und wird als Lichtstrahl 3 in die Richtung A 2 reflektiert.
  • Eine Winkoländerug, die dem Spiegel 1 beispielsweise un eine durch seine Ebene verlaufende, zenkrecht zur Figurenchene stehonds Achse erteilt wird, bewirkt eine dinkelabweichung in doppelter Größe lünge der in der Figurenchens liegenden Achse A 2. Zur Ausführung einer solchen Bewegung enthält die Vorrichtung zwei Säulen elektromcchanischer Wandler 4 und 5, die aus einer oder mehreren übereinanderliegenden Scheilen mit piezoelektrischen Verhalten gebildet sind. Diese Säulen sind mit ihrem unteren Ende machanisch fest mit einer Grundplatte 6 verbunden, Gegen ihr oberes Ende wird mittels einer nichtdargestellten federnden Vorrichtung die nichtreflektierende oder Fassive Spiegelunterseite gedrückt und zwar in einem Punkt oder einer Linie D und C, so daß drei Berührungspunkte mit den Spisgel eine Unterstützungsfläche bilden und die in einen besti@nten Zeitpunkt gegebene Lage definieren. Die mechanische Verbindung, die durch einen bestimmten Auflagedruckd hergestellt ist, ist so beschaffen, daß der Spiegel keine Formänderungen erfährt, weiterhin, daß keinerlei Spiel zwischen den Berührungspunkten verbleibt, und schließlich, daß die mechanischen Längenänderungen der Wandler vollständig auf den Spiegel übertrngen werden. Die elektrische Achec der Scheiben der Säulen 4 und 5, länge derer sie mechanische Längenänderungen ausführen, steht senkrecht auf der Siegelfläche. Die in einen vorbestimmten Abstand D sich befindenden Säulen 4 und 5 werden über eine mit ihnen verbundens, elektrische Schaltung 7 im Gegentakt angesteuert. Demzufolge verkürzt sich die eine Säulo in demselben Maße, wie sich die andere verlängert. Wenn L1 und L2 die Höhen der jeweiligen Säulen zu einem bestimmten Zeitpunkt bezeichnen, so erhält men durch Anlagen geeigneter Steuersignale einen Augenblick später die Höhen L1 und @ L und L2 - @L' Diese Höhen- oder Längenänderungen haben eine Drehung des Spiegels um eine fiktive, senkrecht auf der Figu@enabene stehende Achse, die durch den in der Mittelebene zwiechen B und C geleganen Funkt 0 hindurchläuft, zufolge.
  • Fig. 2 läßt erkennen, daß beispielsweise die Auflage B puktförmig, die Auflage C linienförmig, mlinlich längs C1, C2, verläuft. Die fiktive Achse AF geht durch@en Punkt D, der auf der Senkrechten BC3 auf C1 C2 liegt und gleichen Abstand von B und C3 hat, und verläuft parallel zu C1 C2.
  • Fig. 3 zeigt für eine Verschichung der Funkte B und C um L die Drehung des Spiegels 1 un @, um die fiktive Aches AF, welche durch 0 hindurchgeht, sewie die hierdurch horvorgorufene Ablenkung 2 @ des reflektierten Lichtstrahlen längs der Achso A 2. Die elektrische Anstzuerung kann entweder nach einem analegen oder nach einen digitelen Verfahren erfolgen. Die durch diese Verrichtung erzeugte Ablonkung ist eindinennienal, kann jedoch @uchVertendung von drei Zäulen und Drchung un einen fihtiven Punkt steidinkeienal gemseht worden, wie weiter unton mesh susgeführt werden wird, Die Vorwendung eines obenen Spiegels gestattet einen sehr beben sptischen wirkungsgrad, der make an 1 zein kann. Farüberhi@ans ist die Abienkung für alle Punkte innerhalb eines Spiegelgebietes identisch und dieses Gebiet kann, was von Wichtigkeit ist, beispielsweise einige em im Durchmesser haben.
  • Fig. 4 stellt eine Explasionszeichnung einer beispielsweise gewählten Ausführungsform der erfindungsgemäßen optischen Ablenkvorrichtung dar. Der Spiegel ist auf einer Tragplatte 10 mittels der Winkel 11 und 12 befestigt. Die federnde Vorrichtung, die diese Anordnung auf die S'aen n und 5 drückt, besteht in diesem Beispiel lediglich aus einem elestischen Metallschaft, der die geringen Winkeländerungen von beispielsweise 10-³ Radian überträgt. Dieser Metallschaft hat die Form eines Bolzons 13, der mit der massiven Grundplatte 6 beispielsweise mittels einer Mutter 14 vorbunden ist. Die Berührungssstellen B und C bilden eine zwischen die Säule 4 und die Tragplatte 10 eingefügte Kugel 15 und eine zwischen die Säule 5 und diese Tragplatte singefügte Rolle 16. Diese beiden Teile bewirken gleichzeitig die stabile Unterstützung der optischen Anordnung und die vellständige Übertragung der machanischen Lüngenänderungen der pieselektrischen Wandlor. Die Säulen 4 und können aus eier bestimmten Ansahl übereinandergelegtor, ko@unischor, ferroelsktrischer Scheibend bestehen.
  • Die koramischen, ferroslektrischen Scheiben weisen durch @agekehrte Eloktrostriktion und Anverdung einer Polarientionsspannung, Eigenschaften, auf, die denon piersolektrischer Steffe entsprechen. Die Gonauigkeit der Vorrichtung hängt von dor Stabilität der @inkullage des Spiegels für einen gegebenen elektrischen Zustand der Wandler ab. In vorliegenden Fall, nämlich für eine Verrichtung zur einli@@nsi@@alen Ablezkung, kann diees Lagu @usschlieflich durch die Längenänderungen der heidon - - -- -J £-b" j$Vd zQ'-4',&LL-''" G- L?'"L - und dor @@@ @ @@@@ @@@ @@@@@@@@@@@@@@ zuzuschrei-@@@ @@@ der @@, @@@@@@@ @@@@@@@ word@@ diese Anderunstets von beiden Säulen (oder von drei bei einer zwieidimensionalen Anordnung) auf die dri Berührungspunkte mit dem Spiegel übertragen. Die Strsuung des Temperaturkoeffizienten der einzelnen keramischen Scheiben ist sohr gering und praktisch nicht nachweisbar. Der Einfluß kann beispielsweise in der Grö-Benordnung von 10-6 Radian liegen. Der Abstand zwischen den Säulen 4 und 5 hängt insbesondere von den Almessungen des Spiegels 1 ab. Dieser Abstand noll so gewählt werden, daß er einen günstigen Kompromiß zwischen den Beanspruchungen der keramischen SCheiben und er Polarisationsspannung darstellt, da für einen gegebenen Drehwinkel sich mit wachsender Entfernung die Spannungen Beanspruchungen in den keramischen Schaiben verringern, die notwendige Polarisationsspannung sich jedoch vorgrö-Bert.
  • Bei einer besonders günstigen Ausführungsform der Vorrichtung werden beim Übereinanderstapeln der keramischen Scheiben zwischen ihre met@llsierten Kontaktflächen Metallfolien eingelegt. Diese Anordnung wird mittels eines durch den Bolzen 13 und seine Mutter 14 erzeugten Druckes zuenmmengehalten. Die elektrischen Verbindungen vom Steuergerät 7 zu den keramischen Scheiben sind mit den zwischengelegten Metallfolien verbunden und zwar einzeln oder in Gruppen parallel geschaltet, abhüngig davon, ob die gewählte einer Betriebsweise digital oder analog ist. Im Falle beispielsweise einer digitalen Betriebsweise, bei der der Lichtstrahl durch schrittweise Winkeländerungen um einen gleichen Betrag in N Lagen gebracht werden soll, müssen durch geeignete Verbindungen N - 1 verschiedene Längenänderungen jeder Scheibe erzeugt werden, deren jode, je nach Scheibe, eine Verlängerung oder Verkürzung um den gleichen Betrag hervor- aus ruft. Dies kann beispielsweise durch den Aufbau zweier Säulen/ N Scheiben und eine bestimmte Verteilung von F/2 Steuer@ignalen erreicht werden, die aus N - 1 Signalen der Amplitude V und einem Signal der Amlitude V/2 bestehen Die Vervendung von ein-@elnen Scheiben bietet einen doppelton Vorteil, denn zum einen erlaubt sie die Verminderung der gesamten Versorgungshochspannung, zum anderen kann man unmittelbaren, digitalen Betricb dadurch erreichen, daß man eine Polarisationsepannung Scheibe für Scheibe anlegt.
  • Eine Vorrichtung zur Ablenkung in zwei Dimensionen besteht aus drei elektromechanischen, säulenförmigen Wandlern, die den Spiegel 1 (oder seine Tragplatte) lediglich punktförmig berühren, was durch Verwendung von Kugeln, wie sie bereits bsschrizeben erreicht wird. Fig. 5 zeigt die Berührungspunkte B und C3 der beiden im Gegentakt angesteuertan Säulen und den Berührungspunkt E einer drittan Säule, der in der Mittelebene der Strecke DC5 liegt. Wenn der Punkt E fest liegt und die Längenänderungen in D und C3 im Gegentakt erfolgen, führt der Spiegel eine Drehbewegung um die fiktive Achse AF aus, die durch E und 0 verläuft, wobei 0 auf der Mitte zwischen BC3 liegt. Wenn B und C3 fest liegen, führen Lageänderungen des Punktes E zu einer Drchung des Spiegels 1 um eine Achse, die mit BC3 zusammenfällt. Folglich bewirkt eine gleichsaitige Ansteuerung der drei Wandler, von denen zwei in Gegentakt angesteuert werden, zu einer Drehbewegung in zwei Richtungen, dis um einen festen Drehpunkt und zwar den fiktiven Punkt 0 erfolgen. Es bandelt sich somit um eine optische Abtastvorrichtung oder um eine XY-Abbildung eines reflektierten Lichtstrahles 3, walche nach Belieben mit vorbestimmten, maximalen Winkelablenkungen gesteuert werden kann. Demzufolge wird mit der Gegentaktansteuerung der beiden Wandler beispielsweise eine schnelle horizontale Ablonkung in der X-Richtung errsicht, während der dritte Wandler eine sehr langsame Ablenkung in der vertikalen Y Richtung hervorruft.

Claims (7)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e :
    1, Optische Ablenkvorrichtung zur Winkelablenkung eines Lichtstrahls, insbesondere für geringe Werte der Ablenkung oder der sich zufolge optischer Abtastung ergebenden Gesamtamplitude in der Größenordnung von beispielsweise 10 - ³ Radian, d a d u r c h g e k a n n z e i c h n e t. daß ein ebener Spiegel (1) mit seiner nicht reflektierenden Unterseite mechanisch fest mit zwei (oder drei) nach dem piesoelektrischen Effekt arbeitenden elektromechanischen Wandlern (4,5) verbunden und an drei punktförmigen Stellen (B, C) abgestützt ist, über die die durch piezoelektrischen Effekt harvorgerufenen, senkrecht zur Spiegelfläche wirkanden, mechanischen Längenänderungen der Wandler (4,5) übertragan werdon, die von einer mit ihnen verbundenen elektrischen Schaltung (7) in der Weise steuerbrar sind, daß die Drehung des Spiegels un eine vorbestimmte Achse (0) (oder einen Punkt) erfolgt.
  2. 2. Adblenkvorrichtung nach Anspruch 1 zur eindimensionalen Ablenkung durch Drehung des Spiegels un eine Achse. dadurch gekennzeichnet, daß zwei in Gegentakt angesteuerte, in einem gewissen Abstand voneinander befindliche Vandler (4,5), deren einer den Spiegel punktförmig, deren anderer den Spiegel linienförmig (oder in zwei Punkten) berührt, zur Beatimmung des Verlaufe der Drehachse (0) vorgsehen sind, die in der von den beiden Auflagen gleich weit entfernten Mittelachse (AF) liegt.
  3. 3. Ablenkvorrichtung nach Anspruch 1 zur @weidimensionalen Ablenkung durch Drehug des Spiegels um einen Punkt, dadurch gekennzeichnet, daß drei, sich in einem gewissen Abstand vonoinander bfindende Wandler, von danen zwei im Gegentakt angestuert worden, den Spiegel (1) in je einem Pudnkt (B, C3, E) berühren, wobei der Serührungspunkt (E) des unabhängig von den beiden and eren angestauerten wandlers von den beiden anderen Punkten (B, C3) gleich weit entfernt ist.
  4. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennseichnet, daß als mechanisched Verbindung zwischen dum Spiegel und den andlern im Falle der pnktförmigen Berührung eine Kugel (15), im Falle der linienförmigen Berührung eine zylindrische Rolle (16) oder zwei voneinander getrennte Kugeln vorgesehen sind, wobei jer Spiegel (1) auf disse Elements von einer fadernden Vorrichtung (13) od. dgl. gedrückt und das andere Ende der Wandler (4, 5) fest mit einer Grundplatte verbunden ist.
  5. 5. Ablenkvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die federnde Vorrichtung (13) durch einen die Tragplatte (10) des Spiegels, mit der dieser auf den Kugeln (15) und/ oderder Rolle (16) ruht, mit der Grundplatte (6) verbindenden, elastischen Metallschaft (13) gebildet ist.
  6. 6. Ablenkvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandler (4,5) aus säulenförmig übereinandergestapolton, keramischen, ferroelektrischen Scheiben bestehen.
  7. 7. Ablenkvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekonnzeichnet, daß sich zwischen den metallisierten Kontaktflächen der keramischen feroelektrischen Scheiben Metallfolien befinden, die, besonders je nach vorgesehener, digitaler oder ansloger Betriebaart, einzeln oder parallel geschaltet, mit der elektrischen Steuerschaltung (7) verbunden sind.
    L e e r s e i t e
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DE1923032B2 DE1923032B2 (de) 1971-04-08

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