DE1918358A1 - Elektronen-Austrittsfenster - Google Patents

Description

,1918351

·. April 1969

PA1ENTANWAU

DIPL-INO.

HELMUT GDRTZ

6 "Frankfurt ara Mein 70

Sdhiwkenhofsfr. 27-ΤΛ«ΛίΙ Gzx/ko

Nuclear-Chicago Corp., Des Piaines, Illinois/USA

Elektronen-Austrittsfenster

Die Erfindung betrifft ein Austrittsfenster mit verbesserter funktioneller Fähigkeit zum Durchlassen von Hochenergie Atomteilchen und Elektronen aus einem evakuierten Bereich in ein Gebiet mit normalen atmosphärischen Bedingungen. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf die Kühlung des Austrittsfenstermaterials, um unerwünschtes Erwärmen des Materials zu verhindern, welches vom Durchgang eines Partikelstroms durch das Austrittsfenster herrührt. Die Erfindung liefert weiterhin ein Hilfsmittel gegen mechanische Zug- und riruchbeanspruchung, der das Fenstermaterial durch den atmosphärischen Druck ausgesetzt sein würde.

Die Erfindung und ihre Merkmale sollen anhand ,des Aufbaues und der -oetriebsmerkmale eines Blektronenbeschleunigers beispielsweise beschrieben werden. In einem Elektronenbeschleuniger wird ein Strom von Elektronen, der einen Elektronenstrahl bildet, von einer Kathode emitiert und durch ein evakuiertes Rohr oder eine Kammer beschleunigt, in welchem ein hochgradiges Vakuum aufrechterhalten-, wird. Der- Elektronenstrahl wird so gerichtet, daß er die evakuierte Kammer über eine Öffnung verlaßt, die von einem Austrittsfenster abgedeckt wird. In bestimmten Fällen kann der Strahl entlang einer besonderen Linie des Fensters hin und her.geführt werden. Das Fenster erfüllt eine zweifache Funktion, es verschließt die evakuierte Kammer von den äußeren Be jgungen , während es den Durchgang eines hinreichend großen Teiles des beschleunigten Elektronenstrahles ermöglichfc.

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Das Material, aus welchem das Austri -jtsienster .D.e..at-eh_:t,_!; muß,, eine "Kdn-biriation- bebenderer Eigenachaft-e»; lie-si^pn,:,; welciae^

jedoch schwierig optimal herzustellen Ist. -^ in' s ö lc he-b_; IrJaW· ·" ^r'/ terial muß atmosphärisch undurchlässig sein. .Diese Eigenschalt kann es nur ce sit ζ en, wenn es physikalisch im i^alct bleibt., Es muß weiterhin'einen verwendbaren Elektronenstrahl·-hindurchlassen. Dünne metallfolie, z; B. in fortlaufender Blatt-Form, Aluminiumfolie oder Titanfolie, -können als solche■Aasirittsfensterinaterialien verwendet werden.

Bestimmte Effekte begrenzen jedoch die - :.rauehbarkeit- solcher dünnei uetallfolien und folglich des- lieschl-eunigers,·.. Ivicht der gesamte beschleunigte El-ektronenstrahl von der evakuierten Kammer tritt durch das dünne metallische Polienblat.t hindurch. Während der ütrahl durch das Polienblatt ge schleicht; y;ird, w/ird ein Teil des Strahles als Wärme in dem Folienblatt, abgegeben. Ein solcher l'eil eines gegebenen Strahles ninuut mit zunehmender Dicke des lOlienblattes su-, .'Diener·. W^rmeeffelq-t,^.welcher _■ besonders bei hohen Energieen und Strahlintensitäten -berücksichtigt werden muß, aehwUcht das Folienblatt und beeinträchtigt somit die physikalische Unversehrtheit und atmosphärische Undurehläseigke-it. mechanische Zugbeans-piruchung .-in .S-alge-derS ;■; atmosphärischen Druckes, der nur auf .einer Seite, der. beiden .·/; iolienblautseiten anliegt, verschreohtert außerdem s-eine funktionellen Fähigkeiten, ^er Gegenstand dieser Erfin4uiig- lieg-t-_; darin, diese^: begrenzenden E-ff ek-te wesentlich zu verringezm» r:v Die Erfindung sorgt für unmittelbare und sichere /Eüfelujag·.--;d-.e;S;:, Austrittsfenstermaterials und ist jgeeigne't .dieses Material - ? pl^sikalisch -zu'■ halten. Die Srfindujag'erhöht -die-fuiiktionell©,' Fähigkeit des Äust3?ittsfensters wenigstensν im :Hinb,lick;-d,er^j' folgenden speziellen Gösichts^uriktei 'Terlängerte dauer, erhöhte durchlässigkeit eines'"besOnders Elektronenstrahles, bedingt durch .relativ dünneres f ensterniateriäl - und Durchlässigkeit· von beschleunigten.'Elektronensurahlen hÜHerEnergie und Intensität durch FenstermäteMäl

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besonderer Dicke.

Weitere Vorteile und Merkmale gehen aus der folgenden Beschrei bung von Ausführungsbeispielen hervor.

Es zeigen:

Fig. 1 -i^ine Ans ich ι eines Elektronen'oei;chleunlgers, der mit dem erfiiidungegemäßen Austrittsfenster versehen ist, wobei der ob:re leii in der ^itte geschnitten und der untere xeil pei'speklyjti/iseh dargestellt ist,

Fi^. 2 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht der Bauteile des ^ustrittsfensters und eines Teiles des Beschleunigerabtastauifangers,

Fig. 3 eine Seitensehnittansicht eines zusammengesetzten ■ Elek1rc>nenaustrittsfensters als Schnitt entlang der Linie 3-3 von Pig. 1, und

Fig. 4 eine Seitenansicht des Rahmens eines Elektronenaustritt sfenstecs.

In den Figuren ist Io ein Elektronenbeschleuniger, 11 die Kathode des Beschleunigers 1o, 12 die evakuierte Kammer des Beschleunigers 1o, T3 ein Elektronenstrahl, der von der Kathode 11 ausgeht, H ein Abtastauffänger des Beschleunigers 1o, 15 ein Rahmenteil das Abtastauffängers H»16 sind Löcher in dem Rahmen 15, 17 ist eine Dichtung· 2o bezeichnet als ganzes ein erfindungsgemäßes Austrittsfenster an dem Beschleuniger 1o. j

30 ist ein Rahmenteil des Austrittsiensters 2o, 31 ein End- f teil des Rahmens 3o, 32 ein Seitenteil des Rahmena 3o, 33 eine Öffnung, die von dem Rahmen 3o bestimmt und durch die findteile

31 und die Seitenteile 32 gebildet wird, 34 bezeichnet eine Zahl von Löchern in dem Rahmen 3o, 35 ist eine öffnung durch das Bndteil 31, 4o ist eine Wasserleitung,:41 ein querliegendes Unterstützungsteil zwischen der Leitung 40 und einem Seiein

tenteil 32, 5o ist/unversehrtes Metallfolienblatt, 6o ist eine Dichtung, 7o ein Bügel, 71 ein Endteil des Bügel 7o, 72 ein

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Seitenteil des Bügel 7o, 73 eine Öffnung"bestimmt durch den Bügel 7o und gebildet durch die Endteile 71 und Seitenteile 72, 74 bezeichnet eine Zahl von löchern in dem Seitenteil 72, IjSo bezeichnet eine Zahl von Schrauben, 81 ist eine Mutter für eine Schraube 8o und 9o deutet die atmosphärischen Druckkräfte an· ""-■■■"..■

Eine bevorzugte Ausfilhrungsform der Erfindung ist wie folgt eingerichtet, angeordnet und beschaffens Der Rahmen 3o des Austrittsfensters 2o hat die gleiche Gesamtlänge und Breite wie der Rahmen 15 und greift in diesen Rahmen an dem Abtastauffänger H ein (Fig. 1). Die Dichtung 17 ist vorgesehen, um einen hermetischen Verschluß zwischen dem Rahmen 3o und dem Rahmen 15 · -t zu bilden. Andererseits kann der Rahmen des Austrittsfenster^ 2o als Einheit und ''-Ceil des Abtastäuffängers H ausgebildet sein.

Wie in i'ig. 2 und 3 gezeigt ist, bilden die Endteile 3.1 und Seitenteile 32 des Rahmens 3o eine langgezogene rechteckige Öffnung 33· Die Leitung 4o liegt in der Öffnung 33 und über ·-. wenigstens einen wesentlichen Teil der länge der Leitung ^q, · Die Leitung 4ö ist im wesentlichen parallel mit und im gleichen Abstand von jedem der Seitenteile32· Diese -Anordnung kann durch mehrere dünne querliegende ünterstUtzungsteile 41 gehalten ^: werden. Die Leitung 4ο kann 3ö bfeim -WiijOhitueren einesr Öffnung 35 in dem Endteil 31> wie in fig* 4 gezeigt* gehalten werden- · In diesem fall muß ein hermetischer Vetföchliäß zwischen der ;". äußeren fläche der Leitung 4o ttGÜ demEndteil 31 >ör^esehen , sein» -.-.■..--^:.; ' . . ' . -ν'.. , -'". "...-'-..

Ähnlich wie in Fig. 2 gezeigt bilden die Endteile 71 und Seitenteile 72 eines Bügels 7o eine !angezogene rechteckige Öffnung 73. Wenigstens die obere fläche des Bügels Jc ist von. _: einer Größe und Gestalt, die allgemein mit der Größe und 0e*- \ stalt der unteren Fläche des Rahmens 3o übereinstimmt*- ,:;

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Die Dichtung 60, die vorzugsweise inkompresibel, tfa und in rechteckiger Gestalt langgezogen ist, "liegt auf der oberen Fläche des Bügels 7ο und innerhalb der Löcher 74. Das metallische Folienblatt 5o wiederum liegt auf und im ununterbrochenen Kontakt mit der Dichtung 60. Dem-zufolg-emuß das Metallfolienblatt 50 zwischen den Rahmen 3o und die Dichtung 6o gelegt werden. Die Löcher 74 in dem Nahmen 7o und die Locher 34 in dem .Rahmen 3σ und die Lucher 16 in dem Nahmen 15 sind so gestaltet und angeordnet, daL> sie aufeinander "gepaßt sind .und einander entsprechen. '

Die Anordnung, die aus dem Bügel 7o, der Dichtung 60, dem ^e-tallfolienblatt 5o,· dem ^iLahnien 3o und der Dichtung 17 besteht, ist mit dem Rahmen 15 durch schrauben Öo verbunden, wobei eine solche Sch.'aube durch die Vielzahl von .aufeinander passenden Löchern 16, 34 und 74 geführt ist. Eine butter 81 auf jeder Schraube 80 vollendet die Verbindung,/wie in Fig. 2 vorgeschlagen. Das Festziehen einer Mutter 81 auf jeder der uchrauben 80 zieht den Rahmen 3o und den Bügel 7o zusammen und drückt die Dichtung 60 gegen den Rahmen 3o.(mit dem Folienblatt 5o dazwischen) und die dichtung 17 zwischen dem Rahmen 50 und dem Rahmen 15 und die Dichtung 60 gegen das Ivletallfoiientlatt 5o» wodurch ein dichter hermetischer Verschluß jeweils zwischen dem Rahmen 3o und dem Rahmen 15 und zwischen dem ^etallfolienblatt 5o und dem Rahmen 3o gebildet wird»

Die Dichtung 60, der Leiter 40 und die Endteile 31 sind zueinander so dimensioniert und gestaltet, daß, wenn der Bügel 7o und der Rahmen 3o und der Rahmen 15 verbunden 3ind, wie in der beschriebenen Weise,die Leitung 4ο und das Metallfolienblatt 5ö wenigstens nahe beieinander aind und einander berühren können. Diese Nähe zwischen dem Leiter 4ο und dem Metallfolienblatt 5o ist derart, daß, wenn das Metallfolienblattt 5o das Ende, les

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Abta s tauf fang ers H und die evakuierte Kammer 1:2- des Beschleunigers To abschließt-uiid^;> ein Vatoum ,intern Abtastauf···-, -,-f.r.-. fänger 'T4 vorherrscht·,, atmosphärische Druckkräfte,·, .wie- in .,-. :,r-Figv 3 durch die Pfeile 9o angedeutet,, das ".-etallfo-lienblait .,. ;-5o gegen Und in berührung mit-dem- Leiter Ao über eine· .begren_:zt_;efläche,-wie in ^ig* 3 gezeigt, durchbiegen* Auf ähnlichemVreiae kann das LIetallioHenblatt 5o die unteren ^Flächen· der. unter- . sfitzungsteile 41 berühren und vcn diesen-geha.lt.---n. werden. .,--■,--

J!rf indungsgemäß - kann das Pens tonmaterial, wie ζ «4. das d Metallfolienbla-ct ^o, mit einem Rahmen wie ■ dem -.ahmen Jo .durch andere Liittel als eine Sichtung angeschlossen sein. Eie dünne. He~ tallfolie kann auch an den -nahmen angecchv-'eißt/oder · angelötet sein, um einen hermetischen Verschluß zu bilden. Jas Legen einer Dichtung 17 gegen den Rahmen ;o und einer Dichtung 6o gegen den Bügel 7ο kann dadurch unterstützt werden,· daß jeweils in der oberen Fläche des ßahmens 3o und in der unteren Flache des Bügels 7o eine aussparung vorgesehen ist, in welche die Dichtungen,eingebettet werden können. Die Aussparung sollte durchlaufend sein und innerhalb der Locher 34 in dem'Rahmen 3c und der löcher 74 in dem Bügel 7o liegen. Die Aussparung sollte nicht so tief sein, daß die Vollendung eines hermetischen Verschlusses zwischen den jeweiligen !'eilen beeinträchtigt wird.

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Es sollte darauf geachtet werden» daß bei der beschriebenen erfindungsgeniäßen AusftihrunggfaSi der Leiter 40 auf der Yakuumss-ei-, te des Metallfolienblätttes 5o angeordnet ist. Diese innere .An??. Ordnung ist von Vorteil dadiareh> daß der Leiter; 4o leicht mit aem Metallfolienblatt 3o>ift Beythyung gebracht werden und diese sich erhalten kann« Hie;EdU2?i?h wiid^^ gleiobseitig der Sohwächunga»- beanspruchuhg entgegeagewjylct^ die sonst dttrch atmosphäris.öhe; Druckkräfte gegen eine der lüdiä Sti-fcen des Blattes ^üsgsübt ■ würde. ' - . ■■..--.;.. __ _ _. _ ■- ,.__. :: _;; ■.-~ _ . -_-...-;

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Eine weitere "bedeutende Funktion, des Leiters 4o liegt in der Fühlung des Metallfolienblattes 5o durch Abführen der Wärme in · direkter, sicherer und unmittelbarer Weise, boir.it werden unerwünschte tdermaIe Schwächungseffekte in dem dünnen Material des iuetallfolienblaxts 5o überwunden. Sin Kühlungsmittel, wie z. B. Wasser, kann durch die Leitung 4o iließen ader zirkulieren. 'Beim Betrieb des Beschleunigers Vo tritt ein Elektronenstrahl 15 durch das Metallfolienblatt i?o und verläßt den Beschleuniger über die öffnungen 33 und 73, und das Metallfolienblatt 5o berührt die leitung 40 über eine begrenzte Fläche. Ferner wird infolge des islektronenstrahldurehganges durch das Laetallfolienblatt 5o V.'ärme in diesem erzeugt.Ein bedeutender -eil der Wärme kann auf das Kühlungsmittel in dem Leiter 4o übertragen werden. Dieser Kühlungseffekt wird in dem Sinne am größten gemacht, daß er an -Jen am intensievsten erwärmten* Teilen des iwetallfolienblattes 5o in der i.,itte angewendet wird, von wo die Wärmeableitung am schwierigsten ist. Dieser Kühlungseffekt ist einer IB'ihlung nur am oder in der ICähe der Randteile des lenstermaterials oder durch einen Rahmenteil des Austrittsfensters überlegen und außerdem auch den nichtleitenden Arten der Kühlung.

Die Leitung 4o kann aus einem dünnwandigen Kupferrohr bestehen, das nicht notwendiger Weise einen kreisförmigen Querschnitt haben muß, wie es in Fig. 3 gezeigt ist. Die Hauptachse eines solchen querschnitts ist senkrecht zu einer Ebene, die von dem ivlötallfolienblatt 5o bestimmt wird, wenn dieses unbelastet ist. Eine solche Anpassung des Rohres in dem -"-usLrit&sf enster neigt dazu, den Teil des Elektronenstrahls I3 zu reduzieren, der von der«Leitung 40 unterbrochen wird. Wiederum ist die innere Lage der Leitung 40 von Vorteil, weil, während es die Kühlung ermöglicht, sie gleichzeitig den Teil des Elektronenstrahles I3, der infolge einer solchen Kühlung unterbrochen w\ird, auf einem Minimum hält in dem Sinne, daß, wenn das RoMr Kühlung'Von einer

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äußeren Lage aus bewirken müßte, eine großer Teil des Elektronenstrahles 15 abgeschnitten würde, zunächst durch das Metallfolienblatt 5o und dann durch ein solches außenliegendes Rohr. Teile des Beschleunigers Io.außer denen des Austrittsfensters 2o können außerdem durch einen zirkulierenden Wasserkreislauf gekühlt werden. In einem solchen Pail kann die Leitung 40 eine einfache Verlängerung eines solchen. Kreislaufes sein. Auch kann die Leitung 40 ausgedehnt werden» um andere Teile des Austrittsfensters 2o zu kühlen, wie z.B. den Rahmen 3o_f bei dem ebenfalls Erwärmung auftritt. " : - - - .. ■

Insbesondere bei einem Elektronenstrahl, der entlang einer Linie des Fensters hin und her geführt wird, kann ein Vorteil durch die Anordnung und Dimensionierung der g.uerliegenden IJnterstützungsglieder, wie z.B. der Teile 4I, erreicht werden, so daß dem hin-und hergeführten Strahl minimale Abfangflächen entgegenstehen. Solche q.uerliegenden Glieder können im Winkel angeordnet werden, so daß der Strahl sich ihnen auf einer ,. 1. nahezu tangentialen Linie nähert. · \ -

Der Rahmen 3o kann vorteilhafter Weise aus Kupfer und der Bügel 7o aus Aluminium hergestellt seinj solche spezifische Materialien sind jedoch f#r die Erfindung nicht wesentlich. Das · Metallfolienblatt 5o kann z* S* eine:"Aluminiumfolie von o,o25mm (0.00I inch) Dicke sein, obgleieh Alumin.iumfolieJ|_s^pn.anderer Dicke oder ältnne Titanfolien oder Ä^ttisraXe-nte-a Fenstermaterial in besonderen iällen verwendet werden kann* ^ie Diotitungen 17 und 60 können aus Gummi bestehen* Das Vakuum in der evakuierten Kammer 12 ist von der Größenordnung Io. .""· mm Quecksilbersäule.

^ei einer experimentellen Elektrpnenbeschleunigeranordnung. ent-: hielt eine Ausführungsform des erfindungsgeHiäßen Austrittsfen-: sters ein Glied (entsprechend dem Rahmen 3o), daß eine langgezogene rechtegkige Öffnung (entsprechend der öffnung 35); bildete mit den Dementionen 2,54 cm (1 inch) χ76,2 cm

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(3o inches). Das Fenstermaterial (entsprechend dem Metallfolienblatt 5o) bestand in einem Folienblatt der Dicke von o,o25 mm (o.oo1 inches), wobei die Fläche, die nicht von dem Kühlwasserrohr und Gitterelementen (entsprechend der Leitung 4o und den q.uerliegenden Gliedern 4-1) berührt oder gehalten wurde etwa 168,4 qcm (26,2 square inches) betrug. Angenähert 80 ^c/o des hin- und hergeführten beschleunigten Strahls wurde durch das -austrittsfenster geführt, wobei der Elektronenstrahl Intensitäten von 3o Liilliampere und 3oo kV aufwies.

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Claims (1)

1. 8. April 1969

   Patentansprüche

   Austrittsfenster für eine Vorrichtung zur Emittierung: eines Strahles von hochenergetischen atomaren 'i'silchen mit einer evakuierten Kammer zum Durchlassen eines solchen Strahles von der Vorrichtung in die Umgebung, gekennzeichnet durch einen fiahmen, der eine Öffnung bildet, ein Blatt aus atmosphärisch undurchlässigem Fenstermaterial, das dicht mit dem Rahmen verbunden ist und die Öffnung überdeckt, und durch ein starres Bauelement, welches ^it dem ßahrnen verbunden und so angeordnet ist, da... es einen nicht am Hände liegenden i'eil des Blattes ber ;hrt₅ wenn der icahmen die evakuierte Kammer von der Umgebung aoschlieut und dadurch das Blatt hält.

   Austrittsfenster für eine Vorrichtung zur Emittierung eines Strahles von hochenergetischen atomaren teilchen mit einer evakuierten Kammer zum Durchlassen eines Strahles aus äer Vorrichtung in die Umgebung, gekennzeichnet durch einen fiahmen, der eine Öffnung, festlegt, ein Blatt aus atmosphärisch undurchlässigem Fenstermaterial," welches dicht mit demSahmen verbunden ist und die Öffnung überdeckt,.und dureb einen !rager zur Kühlmittel, welcher mit dem Sahmen verbunden und entlang eines, wesentlichen !Teiles seiner länge so angeordnet ist, ccafi/er eittefi nicht' am Sande liegenden leil des . Blattes berührt, wenn der Eahmen die evakuierte Kammer von./"".. der Umgebung abschließt» so daß wärme, die in dem. Blatt beim strahl endure hgahg durch die Öffnung abgegeben wurde', auf das liühlmittel in ^em Träger übertragen werden kaim.

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   3. Au..-jrit .,üienster fir eine Vorrichtung zur Emittierung eines Strahlet, vuii hucheuer'GetiDchcn atomaren x'eilchen mit einer evakuierte:- il.-iu.iue ■■ zum Durchlassen eines Ctrahles von der Vorrichtung in die Umgebung, gekennzeichnet durch einen ...ahmen, der eine Cfxnung ieetle^t, ein Blatt aus atmosphärisch undurchlässigem I-eiiütermaterial, .welches dicht mit .äem Rahmen verbunden ist und die Öffnung ubc-rdeckt, und durch ein kräftiges iSauteil, welches mit dem Rahmen verbunden ist und einen !'rager für ein Kühlmittel enthielt, welcher in Berührung mit einem nicht am Rande liegenden -Teil des Blattes angeordnet ist, wenn der Rahmen die evakuierte Kammer von der Umgebung abs ei: ließt, so da-ii' das bauteil das Blatt stützt und Wärme, die in dem blaut "beim- Durchgang des Strahles durch die. öffnung abgegeben wurde, auf das Kühlmittel in dem Träger übertragen werden kann.

   4. Austrittsfenster nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dai das dünne Blatt aus Fenstermaterial eine dünne Metallfolie enthält«

   5. Austrittsfenster zum Durchgang eines Elektronenstrahles von einem evakuierten Bereich in die Umgebung gekennzeichnet durch einen .Rahmen, der eine langgezogene Öffnung festlegt, durch welche der .elektronenstrahl geführt wird, ein dünnes Blatt aus atmosphärisch undurchlässigem Fenstermaterial,

   ■ ^; welches mit dem Rahmen dicht verbunden ist und die öffnung überdeckt, und durch ein Rohr, welches in der Öffnung angee ordnet ist und von dem Rahmen gehalten wird, welches ein Kühlmittel führen und in dem evakuierten Bereich angeordnet seip. kann und, wenn es so angeordnet ist, entlang eines wesentlichen Teiles seiner Länge das dünne Blatt berührt, so daß das Blatt gehalten wird und ein Teil der Wärme, die

   . in dem dünnen Blatt beim Durchgang des Elektronenstrahles

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   Al

   abgegeben wurde, auf das Kühlmittel in dem Rohr übertragen werden kann.

   6, Austrittsfenster für den Durchgang eines hin und hergeführten Elektronenstrahles aus einem vakuierten Bereich in die Umgebung, gekennzeichnet durch einen Rahmen, der eine langgezogene Öffnung festlegt, durch welche der Strahl geführt werden kann, ein dünnes Blatt aus metallischer Folie, das mit dem Rahmen dicht verbunden ist und die Öffnung überdeckt, ein Rohr, welches durch den Rahmen läuft und in der Öffnung angeordnet ist, welches ein zirkulierendes Kühlungsmittel in sich führen kann und, wenn der Rahmen den evakuierten Bereich abschließt, entlang eines wesentlichen Teiles der Rohrlänge einen nicht am Rande liegenden Teil des dünnen Blattes berührt, wodurch das dünne Blatt gehalten und Wärme in dem Blatt auf das Kühlungsmittel in dem Rohr übertragen wird, und durch Unterstützungsglieder, die zwischen dem Rahmen und dem Rohr angeordnet sind, um das Rohr in der Öffnung und in dem evakuierten Bereich zu halten und um minimale Behinderungsflächen dem hin- und hergeführten Strahl entgegenzusetzen.

   7. Methode zur Verbesserung der Ausführungsmerkmale eines Austrittsfensters für Elektronen, gekennzeichnet durch zusammenwirkende Arbeitsvorgänge der Unterstützung von nicht am Rande liegenden Teilen des Fensters auf seiner Vakuumseite und einer Ableitung der Wärme von solchen nicht am Rande liegenden Teilen.

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