DE1906148A1 - Photoelektrisches Geraet zum Schreiben von Symbolen und Zeichnen kleiner Figuren mit grosser Schreib- bzw.Zeichengeschwindigkeit fuer eine automatische Zeichenmaschine - Google Patents

Photoelektrisches Geraet zum Schreiben von Symbolen und Zeichnen kleiner Figuren mit grosser Schreib- bzw.Zeichengeschwindigkeit fuer eine automatische Zeichenmaschine

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DE1906148A1
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Germany
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mirror
carrier
imaging system
writing
focal point
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DE19691906148
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German (de)
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Inventor
Karl Blattner
Roland Picard
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CONRADI G AG
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CONRADI G AG
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/64Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image
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    • GPHYSICS
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