AT307067B - Photoelektrisches Gerät zum Schreiben von Symbolen und Zeichen kleiner Figuren mit großer Schreib- bzw. Zeichengeschwindigkeit für eine automatische Zeichenmaschine - Google Patents

Photoelektrisches Gerät zum Schreiben von Symbolen und Zeichen kleiner Figuren mit großer Schreib- bzw. Zeichengeschwindigkeit für eine automatische Zeichenmaschine

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AT307067B
AT307067B AT124969A AT124969A AT307067B AT 307067 B AT307067 B AT 307067B AT 124969 A AT124969 A AT 124969A AT 124969 A AT124969 A AT 124969A AT 307067 B AT307067 B AT 307067B
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G—PHYSICS
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NO128480B (de) 1973-11-26
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DE1906148A1 (de) 1969-08-21
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NL6901849A (de) 1969-08-11

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