DE1813537B2 - Verfahren zum herstellen von stabilen elektrischen duennschichtwiderstandselementen aus ventilmetall - Google Patents

Verfahren zum herstellen von stabilen elektrischen duennschichtwiderstandselementen aus ventilmetall

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19800196A1 (de) * 1998-01-07 1999-07-22 Guenter Prof Dr Nimtz Verfahren zur Herstellung von Flächenwiderstandsschichten

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19800196A1 (de) * 1998-01-07 1999-07-22 Guenter Prof Dr Nimtz Verfahren zur Herstellung von Flächenwiderstandsschichten
DE19800196C2 (de) * 1998-01-07 1999-10-28 Guenter Nimtz Verfahren zur Herstellung von Flächenwiderstandsschichten

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