DE1765819A1 - Verfahren zur Bestimmung der Ablenkdaten fuer ein Ladungstraegerstrahl-Bearbeitungsgeraet - Google Patents

Description

Verfahren *ur Bestimmung dor Abienkdaton für ein Ladungsträgerstrahl -Bearbeitungsgerät ^*

Dlo Erfindung betrifft oln Vorfahren zur Bestimmung der Ablenkdaten für die numarlsehe Steuerung ο Ines ladungsträgerstrahl los.

Beispielsweise durch die US-Patontschrlften 2 987 610 und 2 77t lot es bokanntf ladungströ&orstrahlen_# Insbesondere Elektronenstrahlen zur Bearbeitung von Materialien zu benutzen. Mit ladungstrügerstrahlon kann beispielsweise gebohrt» geschweißt, geschnitten, aufgedampft, gofräst odor graviert worden»

Durch die deutsche Patentschrift 1 106 431 Ist es bekannt, einen Ladungsträgerstrahl über oln zu bearbeitendes Werkstück zu fuhren, vobol die Steuerung dor StrahIIntons!tat und der Positionierung doa Strahlos übor olno Stouorolnrlchtung erfolgt, dlo von einem

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Untertagen (Art 711 Ai^z Nb ι s«u 3

Magnetbandspeicher gostouort wird» Dloso sogenannte numerische Stouorung empfiehlt sich insbesondere dort, wo große Stückzahlen gleicher Werkstücke zu bearbolton sind. ' ·

Bei der Ablenkung von Eloktrononstrohlen tritt aar unangonohme Effekt-auf, daß die Auslenkung des Elektronenstrahls nicht propor- ·—t-f-ontfi zum angelegten Ablenksignal Ist. DIosor Effekt verursacht Vorzorrungon» die 2· B. auch aus der fornsohtochntk als Klssonodor Tonnonverzerrung bekannt »Ind. Wi.l I man ein Ladungstrügorstrahl-/Oearboltungsgoröt numerisch stouorn, so muß man d.Ieso Vorzerrungen durch Korrektur der gespeicherten Worte kompensieren· Die experlmenteile Ermittlung dos Korrekturfaktors, dor sich natürlich von Wert zu *· Wort ündört, Ist sehr zeitraubend und'schwlerlg. AuDordom woichon ,d L«· Korrokturf aktoron'versch I ode nor Ladungsträger st rah I -Bear be I tungsgor&te voneinander ab, so daß bot hohen Gonaulgkeltsanfordorungon für verschiedene Ladungstrügörstrah'l-Boorboltiirigsgorate versch lodone numorisehe Daten ornUtfeIt worden mßOton. ." *'■ ·

' "" In. der bereits gbnannton ioutsch'on Patentschrift 1 106'431 wird 5th""Varra~nTörr-Tirr-Boorboitüng'e'ino5 Workstückos mit olnom Ladungsträgerstrahl - boschr I oben, trol' idon nobürr dem Ladungstrflflerstrah I-Beor bol-tungsgerüt olno Fernsohaufh-ahnokamoro vorgesehen Ist. Vor der Fornsohaufnahmokarnora böflndot sich olno Vorlage, auf der das zu bear* boltondo ■ Workstück abgobiidet Ist. Die Vorlage kann auch gogonJüber dom Workstück rnaßstöbllch vorgrößurt sein; Das LodungstriigorstrahI-bearbeltüngsyoröt und ufo Fernsohaofnahmokafiiera wordon synchron '

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abgotastot. Trifft dor EloktroncnstrahI der Fornsehoufnahmcröhro ; auf einen durch andoro Farbe kenntlich gemachton Boarboltungspunkt, so wird dlo Intensität dos LadunQStrLgcrstrehlcs im Bearbeitungsgerät erhöht und das Werkstück an dlosor Stelle boorbeltot. Auch bei dicsom Vorfahren der Steuerung des Ladungsträgerstrahl IC3 des Doorbol tungsöerütes sind Verzerrungen nl cKf~ä~us'goscha I tet; da dia Verzerrungen der Fernsohaufnahmokamora anders sind als die dos Dearbei.tungs0oriites. in der deutschon Patentschrift 1 106 431 Ist erwähnt, daß uIo von den übertragung!*-,und/oder Ab lenkejomenton hervorgerufenen Fohler Uomponslort werden können. Dazu 1st es er- w forderlich, die zu^Ubortrogonda Vorlage so auszubilden, daß slo diese Fehler mit negativen Vorzeichen enthält« Dos bedeutet aber, <Joß dl· Vor I ago rocht .sch« lerig-horzustßl lon Ist«: da 2. ß. Geraden auf dor-Vorlöge zu einer--gekrümmten Kurve verzerrt werden müßten. Dazu kor.mt noch« daß olno bestimmte Vortage nur einem ganz be-, otlnmton ßoarbei tungsgertit augoordnot* sol η, konn, da w Io bereits :,' ot^on erwähnt,' dlo Vefzorrungpf».von Ooorbel tun.gsgeröt zu OearbeltungSQorat untorschlodlIch soln können*

^Aufgabe dos erf.lndungsgofijßßön. Verfahrens 1st es, for dlo nuneri-. sehe Steuerung oinos Lodungströgoretrohlos Doton zu ormlttoln, die borol ta dlü Ablenkfoh-Ierkorrokt.ur. ont.hülton. Das* β rf IndungsgomSÖe Vorfahron benötigt nur eitiongerl ngon toch.nischon Aufwand.

."■...·· · ' ' ■'·.·' ' '·'■■·. Das örfilndunüsgornößo Vorfobron · Ist dadufch gokennzolchnot, daß ekr Muster nlfdon^Abmossudcon dor zu Doarbol tonden WorkstUcke-

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lull*

an don OoarboitunssstoI I on mit Marken vorsohon ist, daß des Muster Im Bcarbel tungsQoriit durch don Ladungsträgerstrahl rostorförmiQ obQotüGtot wird, daß In tior Arbol tskommor otn Dotektor angeordnet Ist, dosson beim Auftroffon dos Elektronenstrahls auf eine Marko ontatehondos Ausganges Ignol die rastorförmlge Ablenkstrüme gogobonenfollc In codierter Form In den Speichor elngogeben"werden. ·. '■ , ' ·■·. ·.·....

Oor Vortoll· des orf I ndungsgcraüfccn Verfahrens ist, daß durch die Ab.tD3tung olneu Mus tors '.Daten erml tto It. *or.don, die. schon .die ' Korroktur. für (Jon Abl<rnkfe.hl(Br enthalten. DIo Daten «.erden direkt ' aut.dor Elnatol lung dos Ladungstrßgerstroh 1.6 uuf el no Marke abgeleitet, dlo Abienkfohtor kompensloron sich, da tie bei der Ab- · tastung dos Musters ju'nd. eines Vferk&tOckes die gleichen sind. '.

Nechstfcticnd aol I ein Ausf Uhrunosbol ep JoI olner Anordnung zur Durchf.Oh.ruhg ^n .criindung'&GOmußen'.Vcfr.fahrens anhand der- Figur näher erläutert wer-an» In¹ der Plgur β l-nd dl» bekannten Teile, das Lo-,dungatriigorstro Ibcarbeltungogertit und die Schaltungstolle zur numerischen Steuerung, diesen. Deerbelturi&6gef&tes mi,t dünnen Strlchon dergcetoMt. QIo zur Dürchführung-des orfIndungsgomößen Verfahrens notwc--"gon.Teile clnd durch oMckorc Striche kenntlich ge-

In. dt hochfölgondön Boschro !bung' dor Figur sollen zunächst dl·« Docket GE 960 063/CE e68 016 BAD ORIGINAL

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bekannten Teile (ir.it dünnen Str I chen. dergestol 11) beschrieben worden. Als Qoarboitungsgerüt ist. In aor Figur ein Elektronenstrahl I-tearboi tungcgoriSt 1 dargestellt. Das EleMronenstrah I -Bonrbol tungsgoröt onthült im oberon Teil el no Elektronenkanone 2_t die Im wosont-I lchon aus elnor Kathode, einen Wehneltzylinder und einer Anode gebildet wird. Anstelle, eines Elektronenstrahls kann auch Jeder andere LadingstrfigerstrahI, belspIeIowolso ein Ionenstrahl verwondet werdon. Mit 3 und 4 sind Magnotfelder erzeugende Wicklungen bezeichnet, die •zu.r Bündelung das Elektrononstrahla 5 dienen. Zur Ablenkung des „Elektronenstrahls 5..s!r»d zwof scho/natlech dargestellte Anlenkspu- .ton .6 ynd 7 Jeweils for. die X- und Y-Ab lonkrl chtung vorgesohon. Die -..Ablenkung des EleKtrononstrph I.» 5 Kann notürl.rcb auch eloktrostatisch erfolßon. Oer untoro -»reich des Elektronenstrahlsbearbet- -tiingsgoriitos 1 1st. dl₍e Doorbe. tungskammer 8, In Ihr befindet steh dor Oeerbottung das Werkstück. ·

i)io Daten for die Steuerung dos Elektfononstrah Ibearbe.ltungsgerätes ,1, alnd In. el nor?» Speichor 9 gespeichert. Als Speicher for diese Daten vl's.t Jodor. Datenspeicher für digitale odür analoge Daten geeignet. ■Vorzugsweise wird. e.ln Magnötbondspolchor, el.n Magnettrommel-,, oi η Mognotp-latt.on- odar ein Lochstreffonspel.cho.r verwendet. Im vorllogonden Ausführunosbolsp.löl. ist angononnen.» daß dar Speicher 9 ein Magnetbandapolchor mit digitalen Daten Ist. Zur Auslösung olnos Boarboltungsgangos wird ein Taktgobor tO über den Eingang 11 gostartet. Der TaktgoLer 10 cjfbt daraufhin nacheinander ,an ,seine Ausgange 1,2 bis

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Impulse ab. Diese Impulsabgabe wiederholt sich so lange« bis das Werk stück bearbeitet Ist, d. h. bis der Speicher keine Daten mehr abgibt. Das Ausgangssignal am Ausgang 12 bewirkt, daß der Speicher 9 auf Lesen geschaltet wird und über seinen Ausgang 18 Signale an einen Decoder 19 abgibt. Die Ausgänge 13 bis 17 des Taktgebers 10 sind mit Je einem Eingang einer Und-Schaltung 20 bis 24 verbunden. Die Und-Schaltungen 20 bis 24 werden demnach nacheinander abgetastet. Die zweiten Eingange der Und-SchaItungen 20 bis 24 sind parollol an den

Ausgang des Decoders 19 angeschaltet. Del der Ausgabe eines Daten-

die

blocks aus dem Speicher 9 wird zuerst der Datenanteil für»X-Ablenkkoordlnate über die Und-Schaltung 20 einem X-Zöhler 25 derart zugeführt/ daß sich die Abfenkgrüße für die X-Koordlnate In binörer Form Im X-Zähler 25 befindet. Das gleiche geschieht Im darauffolgenden Augenblick, in dem die Und-Schaltung 21 geöffnet ist mit den Daten für die Y-Koordlnate, die In einen Y-Zflhlor 26 eingegeben werden. Sind die Daten In Speicher 9 bereits als Blnärzohl cjospe!- chert, so kann der Decoder 19 auch entfallen. An die Ausgänge der Zähler 25 und 26 Ist Je ein DIgi tal -Analog-V/andler 27, 28 angeschaltet, die die binär dargestellten Ablenksignale In Analogsignale umwandeln. Die Ausgünge der DIgltaI-Analog-Wandler 27 und 28 sind über Je einen Verstärker 29 und 30 mit den Ablenkspulen 6 und 7 verbunden.

In den Datenblock zur Steuerung des Elektrononstrahl-Boarbeitungs- SPXcites können noch weitere informationen beispielsweise zur Irnpulstastung des Elektronenstrahls der Elektronenkanono 2 zugeführt werdon.

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Dteso Daten worden nach der übertragung dor Oaten für die X- und Y-Ablenkung nacheinander Ober die Und-Schaltungen 22 bis 24 ausgegeben. An den Ausgang der Und-Schal tung 22 Ist z. D. ein ImpuIsfο Ige-Gonerotor 31 angeschaltet, der auf einen EIngangsInpuIs hin eine Folge von Impulsen mit best! molten I mpul sabstfSnden und bestimmten Amplituden erzeugt. Die Charakter!stlka der Impulsfolge können fest elngestellt sein oder von Hand oder durch ebenfalls Im Speicher 9 enthaltene Daten laufend verändert werden. An die Ausgänge der Und-Schaltungen 23 und 24 sind DIgItal-Analog-Wandler 32 und 33 angeschaltet. Diese DIgI ta I-Analog-Wandler erhalten Signale, wenn der Elektronenstrahl an Jeder DoarboltungssteI Ie einmal aufgetaatot werden soll. Die Ausgangsspannung des Dlgltal-Analog-Wandlers 32 bestimmt die Impulslange, dte Ausgangsspannung des Dl gl ta I -Analog-V/ondlers 33 die

Impulsamp I Itude bei dor Bearbeitung. Je nach der Art des Getriebes

»
geben entwodor dor Impulsfolge-Genorotor 31 oder dte beiden Dlgltal-

Analog-Wandler 32 und 33 Signale ab. Im folgenden sollen nun die Schaltungstelle dor Figur beschrieben

i werden, die mit dickeren Strichen dargestellt sind und die zur Durchführung dos erf I ndungsgetnößen Verfahrens zum Erzeugen der Speicherdaten dlenon. Die Erzeugung der Stouerdaton zur rasterför-Riigen Ablenkung des Elektronenstrahls wird dadurch ausgelöst, daß ein Impulsgenerator 50 über einen Start-Eingang 51 dazu gebracht wird, eine Impulsfolge an eine Und-Schaltung 52 abzugeben. Es sei zunSchst angenommen, daß die Und-Schaltung 52 geöffnet Ist, so daß . die Impulse aus dem Impulsgenerator 50 in denX-Zlihlor 25 eingegeben

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werden. Die sich dabei stiindlg verändernde Einsteilung dos X-Zcihlers wird wie boi der Werkstückbearbeitung In dem Diglta I-Analog-Wandler 27 In ein Analogsignal umgewandelt. In dom Verstärker 29 verstärkt und der X-AbJonkspuI ο 7 zugeführt die bowlrkt, daß sich der Elektronenstrahl in X-Richtung bowogt. Hat der X-Zühler 25 seine Endeinstellung erreicht, so erhält der Y-Zähler 26 einen Impuls und der X-Zühler beginnt wloder von 0 aus anzulaufen, DIo jeweilige einstellung des Y-Zühlers 26 wird im Olgita I-Analog-Wondler 20 in ein analoges Signal umgewandelt, in Vorstürkor 30 vorstärkt und. der Y-AblenkspuIo zugeführt. Es wird dadurch eine rastorförmlge Bewegung dos Elektronenstrahls orrelcht. Jodosmal, wenn der X-Zühler eine volle Ablenkung In der X-RIchtung ausgelöst hat, bewirkt dlo Neue I nstei I ung dos Y-Zühlors 26, daß der Elektronenstrahl auf der Y-Achso um ein kleines Stück bewegt wird, um dann eine nouo X-Ablenkung auszuführen, in der Arbeitskammer O des Elektronenstrahl I-Doarbeltungsgerütes I Ist ein Muster 53 dos Werkstückes angeordnet. Das Muster 53 trägt.an den Stellen, an denen der Elektronenstrahl eine Bearbeitung ausführen soll, beispielsweise schweißen oder bohren soli. Jeweils eine Marke 54. Die Marke 54 kann z. O. eine Vertiefung sein oder aus Metall bestehen, das beim Auftreffen des Elektronenstrahls Licht, Wärme oder SekundSrelektronen emittiert. Die Maskon 54 können z. D. foto!Ithographtsch hergestellt werden, über dom Muster 53 ist ein Detektor 55 angeordnet, der beispielsweise eine Fotozolle, otn fotomul11 ρ 11 er oder ein Sz I nt I I olator sein kann. Wenn nun der Elektronenstrahl 5 bol der rasterförmlger Abtastung des Musters 53 auf eine Marko 34 auf trifft, e.mpfüngt dor Detektor 55 Je nach der Ausbildung dor Marken Sekundörelektronen oder

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hat «Inen stärkeren Lichte infal 1, so daß der Detektor ο In Ausganysslynal abgibt. Dieses Ausgangssignal wird In einem Verstärker 56 verstärkt und dann einer Und-schaltung 57 zugeführt. Es sei zunächst angonornmen, daß dom rechten Eingang dor Und-Schal tung 57 ein Signal Zugeführt wird, so daß diese Und-Schaltung für das Signal vom Vorstürker 56 geöffnet Ist. Bewegt sich der Elektronenstrahl 5 bol der Abtastung des Mustors 53 übor Stollen, an denen sich keine Marke 54 beflndot, dann wird dem linkon Eingang der Und-SchaItung 57 kein Signal zugoführt, es erscheint also auch am Ausgang der Und-SchaItung 57 kein Signal. Ein Inverter 58 bowlrkt, daß In diesem Zustand dem unteren Eingang der Und-Schaltung 52 ein Signal zugeführt wird, so daß diese Und-Schaltung 52 geöffnet wird und die X- und Y-Zühler 25 und ungehindert durch den Inipu I sgenerator 5.0 woltergeschaltet werden. Trifft dar Elektronenstrahl 5 auf eine Marke auf, dann gibt der Detektor 55 ein Signal ab. Dieses Signal gelangt über diο Und-SchaI-tuna 57 und wird Im Inverter 50 Invertiert, so daß dem unteren Eingang der Und-Schaltung 52 kein Signal mohr zugeführt wird« Die Und-Schal tung 52 sperrt also und die X- und Y-Zahlor 25 und 26 verharren In Ihrer Einstellung. Dor Elektronenstrahl 5 bleibt damit auf dor Marke 54 stehen. Das in diesem Zeitpunkt am Ausgang der Und-Schaltung 57 stehende Signal wird über eine Leitung 59 dem Eingang eines gesteuerton Taktgebers 60 zugeführt. Der gesteuerte Taktgeber 60 Ist so ousQobildat, daß er jedesmal, wenn er ein Eingangssignal über die LoItung 59 urhült, nacheinander ein Ausgangssignal über seine Aus-QSfiQQ 6f bis 65 abgibt. Das Ausgang&sIgnal vom Ausgang 61 bewirkt daß der Speicher 9 zum Schreiben vorbereitet wird. Die Ausgänge 62

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bis 64 sind mit je ο I nein Eingang dor Und-Schaltungon 66 bis 68 verbunden» über don zweiton Eingang 69 dor Und-Schaltung 66 können Steuerdaton für die Bearbeitung eines Werkstückes zugeführt wordon, beispielsweise die vorher schon urwühnten Angaben übor dlo Impulsdauer und die Inpulsamp I Itudo, wenn dor Eloktrononstrohl getostot worden soll. Dann werden nacheinander die Und-Scholtungon 67 und 68'geöffnet, über die die-Jewel I Igen Einstellungen dor X- und Y-Zähler 25 und 26 laufen. Die Ausgangsslgnnlo dor Und-SchaItungon 66 bis 68 werden einen Codierer 70 zugeführt, der dlo von den Zählorn 25 und 26 kommenden rolnon Binärcodes In den für dio Speicherung am besten geeigneten Code umwandelt. Dor Codloror 70 kann'auch entfallen, wenn man dlo Daten roin binär odor bei.anderer Zahlendarstellung In den Zählern 25 und 26 In dlosor Form In den Speicher 9 eingibt. Schließlich wird vom Ausgang 65 dos gesteuerten Taktgebers 60 ein AusgangesIgnal ο Inom Inverter 71 zugeführt, dor. dieses Signal Invertiert, so daß am rechten Eingang dor Und-Schaltung 57 kein Eingangssignal mehr stoht und die Und-Schaltung 57 gosperrt wird. Daralt gibt dleso Und-Schaltung, obwohl vom Detektor 55 noch oln Signal zugeführt wird, kein AusgangssIgnol nehr ab und am Ausgang des Inverters 58 orschoint wieder ein Signal· Dieses Signal öffnot die Und-Schaltung 52 wieder, so daß die X- und Y-ZShlor 25 und 26 durch die Impulse vom Impulsgenerator 50 aus Ihrer Jeweiligen Einstellung heraus woltorgeschaltet werden. Der Elektronenstrahl 5 läuft also nach der ursprünglichen Rasterbewegung wel-' tor, bis er wieder auf olne Marko 54 trifft.

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Claims (1)

1. Patentansprüche

   t, V-crfahron zur Bestimmung der Ablonkdaten für die numorlscho Steuerung eines Ladungsträgerstrahl I-Doarbe! tungsgerijtos, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mustor (53) mit den Abmessungen dor 7.U bearbeitenden Werkstücke an do-n Bearbel tungssto I len nlt Markon (54) verschon Ist, daß das Muster (53) Im Bearbeitungsgerät durch den Ladungsträgerstrahl (5) rastorförmig abgetastet wird, daß In der Arbeitskammer (8) ein Detektor (55) angeordnet Ist, dessen boIm Auftreffen des elektronenstrahl (5) auf eine Marke (54) entstehendes Aüsgangss I gnal die rasterförrnl ge Abtastung unterbricht und bewirkt, daß die gerode vorhandenen Ablonkspannungen gegebenenfalls In codierter Form In den Spolchor (9) eingegeben worden.

   2. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekonnzeichnet, doß zur Erzeugung der Ablonkspannungen für die rastorförmi ge Ablenkung dos Ladungsträgerstrahl I s (5) zwei Zühler (X-Zühlor 25, Y-Zühler 26) vorgesehen sind, daß die Impulso eines Impu1sgenorators (50) dem einen der beiden Zähler (26) und die Signal» die dieser Zähler (25) In seiner EndoInstelIung abgibt, dem Eingang das zweiten Zählers (26) zugeführt werden und de3 die Jeweiligen ZiSh!erstände der Zfihler (25, 26) über Jo einen Ol gl ta I -Analog-Wandl or (27, 20) den A'blonkorganen (6, 7) doa Ladungatrögorstrahl-üoarboltungsgerötes (1) zugeführt werden.

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   3. Anordnung zur Durchführung doa Vorfahrons nach Anspruch 1 oder nach Anspruch 2, dadurch Qokennzelehnet, daß die Dlgltal-Ana I03-Wundlor (27, 2ö) dio glolchon sind, dia auch zur Dlgltal-Ana Iog-WandlunQ dor Speichordaten bei dor numerischen Steuerung benutzt wordon.

   4. Anordnung zur Durchführung dos Vorfahrons noch Anspruch 1 odor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekonnzeichnet, daß zwischen don Impulsgonerator (50)und dio ZÖhlor (25, 26) eine Torschaltung (52) οIngoscholtot Ist, die durch das Ausgangssignal vom Dotektor (55) gesperrt wird.

   ι _a

   5t Anordnung zur Durchführung des Vorfahrons nach Anspruch 1 -und nach ο Inen der Ansprüche 2 bl3 4, dadurch gekennzeichnet, daß an

   dio Ausgänge der Zähler (25, 26) Torschaltungon (67, 68) angeschaltet sind, die bolm Auftroffen des Ladungsträgerstrahl auf eine Marko (54) Qoüffnöt worden und die Zählerstände, gegebenenfalls nach Uncodlorung In einem Codierer (70) dem Speicher (9) zuführon.

   6. Anordnung zur Durchführung dos Verfahrens nach Anspruch 1 und nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein fromdgosteuortor Taktgeber (60) vorge&ohen Ist, dessen AusgangsinpuIse nacheinender die Tcrschaltungen (67, 6ε) zun Hindurchlassen der Zflhlerstünde zun Spolchor (9) öffnen und danach die Torschaltung zwischen den Impulsgenerator (50) und don Zöhlorn (25,26) öffnen«

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   7, Anordnung /ur Durchführung dos Verfahrens nach Anspruch 1, odor nach a!non dor Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Detektor (55) οino Fotozelle vorgesehen Ist und daß die Marken (54) auf dem Mustor (53) aus Sekunda" re I ektronen, Licht odor Viürr.iQ· varuraachonden Flüchen, insbesondere Meta I I f I üchon odor Vertiefungen bestehen.

   0. Anordnung zur Durchführung) das Verfahrens nach Anspruch 1 oder nach einem der Ansprüche 2 bts 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicher (9) außer den Üaton für die Ablenkung des Ladungs-

   ■ ' . . ι ■

   trügorstrahIs (5) weitere üteuerdaten gespeichert sind.

   Docket CE 960 063/CE 868 016 ; , Η** Γ * ? * , BAD ORIQINAlT

   109883/0470..,.. .

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