DE1728487C3 - Axialdurchströmte Turbomolekularpumpe - Google Patents

Description

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senkrecht _Schmiermitt_eldämpfe nicht auf die

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versehen ist

3 Tu bopumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Wandung (44) des Tragteils (43) am unteren Ende der sich in-„erhlKesTiagteTs erstreckenden Welle (40) ein Elektromotor mit wenigstens einem Lager aneeordnetist

^S 4 Turbopumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandung (44) innerhalb des Gehäuses angeordnet ist.

5. Turbopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis4. dadurch gekennzeichnet, daß der Schmiermittclsammelraum (If) auf der unteren Gehäusestirnseite mit einer Schmiermittelwanne (53) ab-Beschlossen ist

6. Turbopumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß dei Schmiermittelsammelraum (K) über eine Leitung (55) mit dem Pumpenauslaß (32) verbunden ist.

schlossen angeordnet ist.

Weitere erfindungsgemäßc Merkmale ^"d - den

teilhaften Weiterbildung die Wandung des Schmier-

Die Erfindung betrifft eine axialdurchströmte Türbomolekularpumpe mit durchbrochenen Stator- und Rotorscheiben, deren zylindrisches Gehäuse an einer Stirnseite mit einer Ansaugöffnung versehen und deren Rotor in dem Gehäuse gelagert ist.

Turbomolekularpumpen sind in verschiedener Bauweise bekannt. So ist es beispielsweise bekannt ideutsche Patentschrift 1015 573), die Ansaugöffnung bei einer Turbomolekularpumpe in der Mitte der Seitenwandung des zylindrischen Gehäuses und ic einen Pumpenauslaß an den Gehäusestirnseiten anzuordnen. Dabei ist die die Rotorscheiben tragende Welle beidseitig in an den stirnseitigen Dekkein des Gehäuses ausgebildeten Lagern gelagert. Die Durchführung der Welle auf der einen Stirnseite des Gehäuses ist abgedichtet.

Es ist ferner bei Pumpen bekannt (französische Patentschrift «66 706), den Pumpenrotor auf einen Wellenstummel aufzusetzen und die Welle nur einscitig in einer Gehäusestirnwandung der Pumpe zu ladaß der Dampfdruck der entstehenden Schmierm.tteldämpfe niedrig bleibt.

In vorteilhafter Weiterbildung J /^m dem Schmiermittelsammelraum em Elekiromotor zum Antrieb des Rotors mit wenigstens emem Lager angeordnet. Dadurch kann außer_ücr Lagerung des Rotors auch das Lager für den Elektromotor in e.nfaeher Weise geschmiert werden, ohne die Vakuumräume zu verunreinigen. _MArtm,, . Gemäß einem weiteren vorteilhaften Merkmal ist der Schmiermittelsammelraum über eine Leitung nut dem Pumpenauslaß verbunden Die Entlüftung des Schmiermittelsammelraumes erfolgt damit auf der Auslaßseite der Pumpe, an welche in bekannter Weise eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend an Hand der einzigen Figur der Zeichnung näher erläutert, in der ein Achsenschnitt durch eine Turbomolekularpumpe mit senkrechter Rotorachse dargestellt ist.

Die Rotorscheiben 1 zwischen den Statorscheiben2 sind bei 6 und 11 verdickt und mittels der Spannboizen7 zwischen den beiden äußeren Hansehen 33 und 34 zusammengedruckt. Diese ringformigen Flansche mit einem verstärkten äußeren Rand 33 η und 34 a sind an einem Rohr 3a und einem Rohr 36 angeformt. Der Raum B steht mit dem Innenraum/1 der Pumpe durch Kanäle 37 in dem Flansch 34 in Verbindung.

Das Rohr 35, das durch einen Boden 38 stirnseitig geschlossen ist, und das Rohr 36 sind mittels eines Deckels 39 miteinander ausgerichtet und bilden eine Hohlwelle. Der Deckel 39 ist mit nicht dargestellten Öffnungen versehen, durch die die inneren Räume / und/ miteinander verbunden sind. Diese Räume sind von dem außerhalb der Hohlwelle liegenden Raum B und der letztere wiederum von dem äußeren, unter Vakuum stehenden Raum F getrennt.

Das Gehäuses der Pumpe ist ferner, wie in der Zeichnung dargestellt, an seiner oberen Stirnseite 31 α mit einer großen Ansaugöffnung 31 versehen,

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die an den zu evakuierenden Raum angeschlossen ist außergewöhnlichen Umständen wirksam ist, wenn und an der anderen Stirnseite im 3ereich des Rau- nach oben gerichtete und von Differenzialdrücken mes H mit einer Austrittsöffnung 32, an die sich eine herrührende Kräfte größer als das Gewicht des Roübliche (nicht dargestellte) Vakuumpumpe an- tors sind oder wenn das Lager 42 zerstört wird.
schließt, die dazu bestimmt ist, ein Vorvakuum zu 5 Die Pumpe wird durch einen Elektromotor angeschaffen. Somit bewegt sich der Gasstrom in der trieben, der z. B. eine Bauart mit einem in einer axiadurch PfeiJe angedeuteten Richtung von der Ansaug- len Ebene liegenden Luftspalt aufweist und mit zur AutAriltsöffnung auf einem in Richtung der Rota- Wicklungen versehen ist, die an zwei Scheiben 47 antionsachse X-Y im wesentlichen geradlinigen mittle- geordnet sind, die ein Teil des Stators bilden und an ren Weg. Insbesondere bietet das Fehlen von Biegun- io der Wandung 44 der Hohlwelle befestigt sind, wähgen auf der Ausaugseite, also auf der Seite des höhe- rend der Rotor 48 z. B. aus einem ferromagnetischen ren Vakuums, einen bemerkenswerten Vorteil, da Ringmagneten besteht, der auf einer Welle 49 befe-Förderverlusie durch eingeschnürte oder nicht gerad- stigt ist, die sich in (nicht dargestellten) vom Stator linige Strömungswege vermieden sind. In der Aus- des Motors getragenen Lagern dreht,
führungsform ist die Rotationsachse X-Y vertikal 15 Die Welle 49 ist mit der Welle 40 des Rotors mitangeordnet und erfolgt der Durchschnitt der Mole- tels Keilnuten 50 verbunden, so daß bezüglich der küle in dieser Hauptrichtung von oben nach unten. Stellung der Rotoren von Pumpe und Motor gewisse

In dem Deckel 39 ist das obere Ende einer Welle Freiheitsgrade ermöglicht sind und ein Auseinander-

40 befestigt, deren Lagerung an einem zylindrischen, bau erleichtert ist.

hohlen Tragteil 43 mittels Wälzlager 41 und 42 er- 20 Am Ende der Welle 49 des Elektromotors kann folgt. Das Tragteil geht in eine kegelförmige, über eine kleine Hilfspumpe 51 zur Schmieimitlelfördeeinen Flansch 45 fest mit dem Gehäuse 5 verbundene rung vorgesehen sein, z. B. eine Zentrifugalpumpe, Wandung 44 über. Das hohle Tragteil 43 ist zwi- die durch einen axialen Kanal 52 aus einem Schmierschen der Welle 40 und dem Rohr 36 angeordnet. mittelsammelraum K, der von der unterhalb der Dadurch liegt der rotierende Lagerteil innen und der 25 Wandung 44 befestigten Schmiermittelwanne 53 abfeststehende Lagerteil außen, was bezüglich der sehr geschlossen ist, Schmiermittel ansaugt und in eine großen Drehzahlen und der mechanischen Beanspru- Leitung 54 fördert, die zu den Lagern führt. Das Zuchungen, denen die Pumpe ausgesetzt ist, einen be- rückfließen des Schmiermittels in den Raum K, der merkenswerten Vorteil bildet. über eine Leitung 55 unter dem Druck des Vorvaku-

Das obere Lager 41 ist in oder nahe einer Ebcre 30 ums gehalten wird, in die Ölwanne erfolgt durch die angeordnet, die quer durch den Schwerpunkt des Ro- Schwerkraft; der Teil des Schmiermittels, der in den tors verläuft. Es soll dadurch eine große radiale Stei- Raum J gelangt ist, wird am Fuße desselben gesamfigkeit bieten und kann als Rollenlager ausgebildet melt und in den Raum K durch ein oder mehrere Kasein, wählend die in axialer Richtung wirkende näle 58 zurückgeführt. Der Ölbehälter wird durch Kraft, die durch das Gewicht des Rotors hervorgeru- 35 Wasser gekühlt, das durch eine Kühlschlange oder fen wird, durch das untere Lager 42 aufgenommen eine Ummantelung 56 fließt, die die kegelige Wanwird, das mit schrägen Lagerflächen versehen sein dung 44 umgibt. Diese Kühlung vermeidet, daß ölkann. Die Einbausicherheit in axialer Richtung ist dämpfe, die in den inneren Raum H gelangen köndurch einen Anschlag 46 gewährleistet, der nur unter nen, eine beachtenswerte Druckhöhe erreichen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:

1. Axialdurchströmte Turbomolekularpumpe mit durchbrochenen Stator- und R°^tor^'^b<£ deren zylindrisches Gehäuse an einer Stirnse.te mit einer Ansaugöffnung versehen und deren Kotor in dem Gehäuse gelagert ist, daourcli sekennzeichnet, daß das zyl.ndnsche Gehäuse (5). senkrechtstehend .artI die^mscmg » Ansaugöffnung.(31) obcrhab der Stator- unc Rotorscheiben (1, 2) angeordnet ,st und daß ein hohles, nut emem Lagcrur den Roto versehenes gehausefestes Tragtcil (43) auf der unteren, der Ansaugöffnung entgegengesetzten Gehäuse- >₅ Stirnseite als Schmierm.ttelsammelraum W au.-geb. det .st, der zusammen ^mit Jm Tragt« gegenuber dem Vakuumraum (F) abgedichtet ist.

Demgegenüber Hegt der Erfindung die Aufgabe -UTunde eine Turbomolekularpumpe zu schaffen, bef der Schmiermitteldämpfe nicht auf die Vakuumseile der JJgJf^"„^η^^β bei der Turbo_molekdarpumpe der eingangs geschilderten Art da-™™£^U"JL ¹^b _das zylindrische Gehäuse senkuι * _{md die} sümseitige Ansaugöffnung

_Stator. _und Rotorscheiben angeordnet » _{füf d£n}

_η£5 gehäusefestes Tragteil auf der unte- ^J *>„ entgegengesetzten Gehäuserudder^A g _ie^_itlelsammc,_{rauin ausgcbildet} .umso _{mh dem Tragtci}, _gegenüber ^

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