DE1648500A1

DE1648500A1 - Einrichtung zum Pruefen des Unterdruckes in einer Vakuum-Lichtbogenvorrichtung

Info

Publication number: DE1648500A1
Application number: DE19681648500
Authority: DE
Inventors: Cobine James Dillon; Lafferty James Martin
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 1967-02-13
Filing date: 1968-01-27
Publication date: 1971-07-22
Also published as: GB1144940A; US3495165A

Description

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eigenes Zeichen: 5324 - Fs/Ja

General Electric Company, ochenectady, N.Y./V.Jt.A,

Einrichtung zum Prüfen des Unterdruckes in einer Vakuum-Lichtbogenvorrichtung

Die Erfindung "betrifft eine Einrichtung zum Prüfen des unterdruck^s in einer Vakuum-Lichtbogenvorrichtung, die au:: einem evakuierbaren Gefa.fi" mit einer isolierenden zylindrischen seitenwand besteht und zumindest.zwei in '..ia-JBi bestimmten abstand zueinander angebrachte Lichtboßioriei'jkfcroden enbhält. Im besonderen betrifft die Erfindung ein an die'Lichtbogenvorrichtung anschliebbares ^rjchc'-'it zur Druckmessung im Inneren der Vorrichtung.

B Λ der Hers teilung dirarbig.r Vakuum-iichtbogenvorrichtunr^eii, y.'.L-j; z.B. von Vakuumschalfcern oder Vakuum-über- sehl.H£iitv(2f'.K~in, werden grobe iufWendungen gemacht, tarn gf-ifö!" abüoluf/ gasundurchlässig zu machen, um

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im Inneren ein sehr' hones Vakuum aufrechtzuerhalten. Zusätzlich werden alle möglichen Schritte unternommen, um die Bestandteile derartiger Einrichtungen, die dem Einfluß des elektrischen Lichtbogens ausgesetzt sind, frei von Gasen oder Gase bildenden Verunreinigungen zu machen, so daß beim Brennen eines Lichtbogens nur sehr wenig oder gar keine Gase aus den Bestandteilen austreten, welche eine -Anhebung des Druckes innerhalb der Lichtbogenvorrichtung über einen annehmbaren im allgemeinen ungefähr bei 10~-* Torr oder darunter liegenden Betriebsdruck verursachen wurden.

Trotz aller Bemühungen bei der Fabrikation ist es unvermeidlich, daß auf Grund der Herstellungstechnik einige Vorrichtungen winzige Leckstellen aufweisen, welche nicht augenblicklich feststellbar sind. Daher wird die fertiggestellte Produktion im allgemeinen tagelang gelagert, damit beim Vorhandensein einer winzigen Leckstelle der Druck im Inneren der Vorrichtung ansteigen kann. Diese Druckmessung im Inneren des Vakuumgefäßes ist schwierig und es soll daher eine Einrichtung geschaffen werden, mit der die Druckzunahme im Inneren des Vakuumgefäßes meßbar ist.

Es tritt auch die Situation auf, daß derartige Vakuum-Lichtbogenvorrichtungen beim Gebrauch ein fehlerhaftes Verhalten zeigen, so daß der Verdacht besteht, daß sich der Druck im Innern verändert hat. Es ist wünschenswert, daß eine derartige Vorrichtung aus der Schaltung heraus-

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genommen und geprüft werden kann, um festzustellen, ob das Vakuum noch innerhalb zulässiger Grenzen liegt.

£-3 ist jedoch nicht möglich, eine getrennte Druckmeßeinrichtung, '.wie z.B. ein Ionisationsmeßgerät, mit jedem der Vakuumgefäße zu verbinden, da derartige Meßgeräte sehr zerbrechlich und teuer sind. Es sollen daher Meßeinrichtungen geschaffen werden, mit denen der Vakuumdruck im Inneren eines Vakuumgefaiv.es leicht meßbar ist. t

wenn unabhängig von den Lichtbogenelektroden eine elektrische iinschlu'-.leitung durch das Vakuumgefäß geführt wird und diese Leitung zur Halterung eines ,Schirmes für die Verhinderung von -Niederschlägen aus der Dampf atmosphäre, auf der isolierenden Wand in der Lage ist, kann dieser schirm entsprechend dem TJ.b. Patent 3 263 162 zur Veranlassung einer Magnetronentladung verwendet werden, welche eine Ionisation und das Einsammeln der dadurch gebildeten Ionen zur Messung eines vorhandenen Gases zuläßt. . ^

In vielen JFällen verläuft jedoch der zur Halterung des öchirmes benutzte Teil nicht durch die isolierende "»/and der Vakuumvorrichtung sondern ist lediglich in dieser aufgehängt oder eingebettet. Viele Vakuum-Lichtbogenvorrichtungen, insbesondere Vakuum-Überschlagstrecken, die nicht für die Verwendung sehr hoher ströme geeignet sind, sind nicht mit derartigen schirmen versehen, so da die Verwirklichung des vorausgenannten U.,. Patentes schwierig ist.

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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum Prüfen des Unterdruckes in einer Vakuumvorrichtung unter Überwindung der vorausgehend beschriebenen Schwierigkeiten zu schaffen.

Diese Aufgabe wird im wesentlichen durch eine mit der Lichtbogenvorrichtung verbundene Koppelelektrode zum Aufbau eines HP-Peldes innerhalb des Gefäßes, einen mit der Koppelelek- ^ trode verbundenen HP-Schwingkreis, zur Erzeugung eines für die Ionisierung der Gasmoleküle innerhalb des Gefäßes ausreichenden HP-Entladung sowie Einrichtungen, die mit einer Lichtbogenelektrode gekoppelt sind und diese derart vorspannen, daß die durch die Entladung erzeugten Ionen angezogen werden, und durch ein mit der einen Lichtbogenelektrode verbundenes Meßgerät gelöst, das zur Messung des durch die angezogenen Ionen erzeugten Stromes und zur Anzeige des dadurch meßbaren Unterdruckes verwendet wird.

P Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung ist ein Band um den isolierenden Teil der zu messenden Vorrichtung gelegt und wird als eine Elektrode für die HP-Entladung benutzt. Eine der Lichtbogenelektroden wird als andere Elektrode für die HP-Entladung verwendet. Die zweite Lichtbogenelektrode wird derart negativ vorgespannt, daß die Ionen eingefangen werden und ein Ionenstrom entsteht, dessen Größe ein Maß für den Gasdruck im Inneren der Vorrichtung 1st,

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Each, einem weiteren Merkmal der Erfindung werden an den isolierenden Zylinder der Vakuumvorrichtung das Äußere des Zylinders teilweise,umfassende Elektroden angebracht und die HF-Entladung zwischen diesen zur Erzeugung eines Ionenstromes im Inneren der Vakuumvorrichtung aufgebaut. Die Elektroden im Inneren der Yakuumvorrichtung werden dabei für den Meßkreis verwendet, um die positiven Ionen der Entladung abzuziehen, welche ein Maß für den Druck darstellen.

Bach einem weiteren Merkmal der Erfindung werden die Lichtbogenelektroden der Vakuumvorrichtung sowohl für das Anlegen des HF-Feldes und zum Abnehmen des auf Grund der eingefangenen Ionen in einer Richtung fließenden Stromes benutzt, der als Maß für den Gasdruck im Inneren der Vorrichtung dient.

Eine beispielsweise Ausführungsform der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt; es zeigen:

Fig.1 einen Schnitt durch einen Vakuumschalter und die Schaltung gemäß der Erfindung zur Messung des im Inneren des Vakuumschalters herrschenden Druckes;
Fig»2 eine der Schaltung gemäß Fig.1 entsprechend

aufgebaute Schaltung zur Verwendung bei einer Vakuum-iiberschlagstrecke mit Impulsauslösung:

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Fig.3 eine weitere Ausführungsform der Schaltung gemäß der Erfindung und Einrichtungen, um Elektroden an eine Einrichtung mit einer Vakuum-Überschlagstrecke anzulegen, die nur zwei Lichtbogenelektroden aufweist;

Fig.4 eine Draufsicht auf Einrichtungen zum Anbringen von Koppelelektroden einer anderen Ausführungsform an der Vakuumvorrichtung sowie die der Messung dienende elektrische Schaltung;

" Fig.5 eine weitere Ausführungsform der Schaltung zur

Messung des Gasdruckes in einer Vorrichtung mit einer Vakuum-Überschlagstrecke.

In Fig.1 ist ein Vakuumschalter 1 dargestellt mit einer zylindrischen isolierenden Seitenwand 2 und zwei Metallkappen 3 und 4, die in geeigneter Weise mit den gegenüberliegenden Enden der zylindrischen Seitenwand 2 verschmolzen sind. Die Metallkappe 4- ist in der Mitte mit einer Öffnung versehen, ι in der die eine Seite eines Balgs 5 in geeigneter ¥eise befestigt ist, dessen andere Seite mit der Elektrodenhalterung6 einer ersten Lichtbogenelektrode 7 des Vakuumschalters 1 verbunden ist. Die Verbindungsstellen sind vakuumdicht ausgeführt. Eine zweite Lichtbogenelektrode 8 ist an einer Elektrodenhalterung 9 befestigt, die ihrerseits mit der Innenseite der Metallkappe 3 fest verbunden ist. Die beiden Lichtbogenelektroden 7 und 8 "bilden durch ihre Lage eine Überschlagstrecke 10, welche durch die axiale

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Verschiebung der Elektrodenhalterung 6 unter Zusammenpressen des Balges 5 geschlossen werden kann, um damit die beiden Elektroden 7 und 8 in Berührung zu bringen. Durch eine entgegengesetzte Verschiebung der Elektrodenhalterung 6 werden die Lichtbogenelektroden 7 und 8 getrennt. Wenn während der Trennung der Lichtbogenelektroden eine »Spannung anliegt, bildet sich zwischen den beiden Elektroden ein 'Lichtbogen aus, der bis zum ersten UuIldarchgang der Spannung bestehen bleibt. Innerhalb des Gefäßes mit der zylindrischen ,Seiten-, wand 2 und den beiden Metallkappen 3 und 4- ist ein grundsätzlich zylindrisch aufgebauter Schirm 11 vorgesehen, der mit zwei nach innen gebördelten Enden 12 versehen ist und den Hauptteil der zylindrischen Seitenwand 2 gegen die Überschlagstrecke 12 abschirmt, so daß in diesem Bereich entstehende Metalldämpfe oder durch Spratzen hervorgerufene Metallteilchen nicht von der Überschlagstrecke weg an die isolierende Seitenwand 2 gelangen können und dadurch einen Kurzschluß zwischen den Metallkappen hervorrufen. Der Schirm ist mit keiner der beiden Lichtbogenelektroden elektrisch verbunden und ist auch nicht an Masse angeschlossen.

Gemäß der Erfindung wird der Schirm 11 als die eine Elektrode einer in der schematischen Darstellung mit 13 und 14 bezeichneten HF-Entladung verwendet, die kapazitiv mit einem Band 15 gekoppelt ist, das vorübergehend auf der äußeren Umfangsfläehe der isolierenden Seitenwand 2 angebracht ist und mit der einen oeite eines HF-Schwingkreises 16 aus einem

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Kondensator 17 "und einer Induktivität 18 verbunden ist. Die andere Seite des HF-Schwingkreises 16 ist überfeinen Trennkondensator 19 mit der Metallkappe 3 verbunden und somit an die Lichtbogenelektrode 8 angeschlossen. Wenn der Schwingkreis 16 über die- mit einem HF-Oszillator 21 verbundenen Koppelspule 20 erregt wird, wobei eine genügend hohe HF-Energie zugeführt wird, bildet sich zwischen der Lichtbogenelektrode 8 und dem Schirm 11 eine HF-Entladung innerhalb des Vakuumschalters 1 aus. Dadurch wird eine Anzahl positit ver Ionen erzeugt, die ein Maß für den innerhalb des Vakuumschalter s 1 wirksamen Gasdruck sind.

Es ist ferner ein geeignetes Vorspannungspotential zwischen den Lichtbögenelektroden 7 und 8 vorgesehen, das allgemein durch die Batterie 22 charakterisiert ist. Dieses Vorspannungspotential wird durch die Drosselspule 25 und den HF-Überbrückungskondensator 4-9 gegen die HF-Spannung abgeschirmt. Wenn an der Lichtbogenelektrode 7 ein negatives Potential liegt, werden von dieser die durch die HF-Ent-" ladung innerhalb des Vakuumschalters 1 erzeugten Ionen angezogen, wodurch ein Gleichstrom über das Amperemeter 24-fließt, dessen Anzeige ein Maß für den Druck innerhalb des Vakuumgefäßes ist. Für einen praktischen Fall-.kann der ötrom eine Größenordnung von ungefähr 100x10 A annehmen.

In Fig.2 ist eine Vorrichtung mit einer Vakuum-"Überschlagstrecke in einer teilweise aufgebrochenen Seitenansicht ge-

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zeigt. Die Vakuum-Überschlagstrecke kann im" wesentlichen nach dem U.S. Patent 3 087 092 aufgebaut sein und unterscheidet sich von dem vorausgehend b es ehr i ebenen Vakuumschalter dadurch, daß die "beiden Lichtbogenelektroden 7 und 8 in einer festen Lage zueinander angeordnet sind. Dies geschieht dadurch, daß die "beiden Elektrodenhalterungen 6 und 9 mit den Metallkappen 3 und 4 fest verbunden sind, wodurch eine genau definierte Überschlagstrecke 10 entsteht» Im Betrieb wird ein Lichtbogen zwischen den beiden Elektroden nach-der Abgabe eines ionisierbaren Gases von einer Trig gerelektröde 25 aufgebaut, welche konzentrisch innerhalb der Lichtbogenelektrode 7 angeordnet ist und von geeigneten pulserzeugenden Einrichtungen 26 angesteuert wird. Die Prüfung dieser Einrichtungen geschieht im wesentlichen in derselben weise wie bei der Einrichtung gemäß Fig.-1, indem eine HF-Entladung zwischen dem Schirm 12 und der Lichtbogenelektrode 8 aufgebaut wird, wobei die Lichtbogenelektrode als negativ vorgespannte Sonde Verwendung findet, die die positiven Ionen anzieht. Der auf diese Weise entstehende Gleichstrom wird im Amperemeter 24· gemessen, wobei dessen ■ Betrag ein Maß für den Gasdruck im Inneren der 'Vakuumvorrichtung 1 ist. _.-■■-.

In Fig.3 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung dargestellt, bei der das■erfindungsgemäße Konzept zur Messung des Gasdruckes im Inneren der Vakuumvorrichtung verwendet wird. Die dargestellte- Einrichtung besitzt keinen

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Schirm im Inneren des Gefäßes, der als Elektrode für die HF-Entladung dienen kann. Eine derartige Einrichtung.kann • jedoch einen Schirm aufweisen, der elektrisch an die eine Lichtbogenelektrode angeschlossen ist. In der in Fig.3 dargestellten Vorrichtung 30 ist eine Überschlagstrecke innerhalb des Gefäßes 3^ angebracht, das aus einer isolierenden Seitenwand 32 besteht und zwei Metallkappen 33 und 34 aufweist, die in geeigneter Weise, z.B. durch eine Metall-Keramikverschmelzung oder Metall-Glasverschmelzung mit den Enden der zylindrischen Seitenwand 32 verbunden sind. Die Lichtbogenelektroden 35 und 36 sind sowohl mechanisch als auch elektrisch mit den Metallkappen 33 und 34 über Elek-_ trodenhalterungen 38 und 39 fest verbunden.

Zur Messung des Druckes innerhalb des Gefäßes ~y\ wird ein geeignetes leitfähiges Band 40 vorübergehend an der Außenseite der zylindrischen Seitenwand 32 befestigt, das an die eine Seite eines einseitig geerdeten Schwingkreises 41 angeschlossen ist, der aus einer Induktivität 43 und einer Kapazität 42 besteht. Die Induktivität 43 ist induktiv mit der 'Ausgangsspule 44 eines HF-Oszillators 45 verbunden, der eine geeignete HF-Leistung abgibt. Durch das Anlegen der HF-Spannung an das Band 40 wird ein Wechselfeld zwischen den Lichtbogenelektroden 35 > 36 und der Seitenwand 32 erzeugt, das eine HF-Entladung 46 an dieser Stelle aufbaut. Dadurch werden die dazwischenliegenden Gasmoleküle ionisiert. Gemäß der Erfindung ist ferner

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eine Meßschaltung aus einer Vorspannungsquelle, die durch eine Batterie 47 repräsentiert wird, und einem geeigneten Amperemeter 48 vorgesehen, die von einem Kondensator 49 überbrückt sind. Die Anordnung ist in Serie mit den Lichtbogenelektroden geschaltet und legt eine negative Vorspannung an die Elektrode 36 .an. Dadurch werden die innerhalb der die Elektrode 36 umgebenden Zone erzeugten Ionen von dieser Elektrode angezogen_t so daß ein Stromfluß in dem durch die Elektrode 36, die Batterie 47, das Amperemeter 48 und die zweite Lichtbogenelektrode 35 gebildeten Stromkreis entsteht. Der von dem Amperemeter 48 angezeigte Strom stellt ein Maß für den Gasdruck im Inneren des Gefäßes 3Ί dar.

In lig.4 ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung dargestellt, die zur Messung des Gasdruckes im Inneren einer Einrichtung mit einer Überschlagstrecke entsprechend der Einrichtung gemäß Pig.3 Verwendung findet. Gemäß S¹Ig.4 besteht das Gefäß 31 aus einer isolierenden Seitenwand 32 und zxvei einander gegenüberliegenden Lichtbogenelektroden 35 und 36, die innerhalb des Gefäßes angeordnet sind. Ein !!Schwingkreis 41 besteht aus einer Induktivität 43 und einem Kondensator 42 und ist über eine Spule 44 an einen HF-Oszillator 45 angekoppelt. Die gegenüberliegenden Enden des Schwingkreises 41 sind mit gebogenen Elektroden 50 und 51 verbunden, welche gegen die äußere Oberfläche der isolierenden Seitenwand 32 an gegenüberliegenden Seiten anliegen und eine durch

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lie Linie 52 dargestellte HF-Entladung innerhalb des Gefäßes 31 auslösen. Wie bei der Ausfuhrungsform gemäß Fig.3 wird durch die Ionisation der Gasmoleküle im Bereich der Überschlagstrecke ein zu den Elektroden fließender Ionenstrom verursacht, wodurch in dem Meßkreis ein vom Amperemeter 48 angezeigter Gleichstrom erzeugt wird, der ein Maß des Gasdruckes innerhalb des Gefäßes 31 darstellt.

Eine weitere Ausfünrungsform der Erfindung ist in Fig.5 dargestellt, bei der eine zwei Elektroden umfassende eine Überschlagstrecke bildende Einrichtung entsprechend der Einrichtung gemäß Fig.3 zur Messung des Gasdruckes Verwendung findet, wobei die Einrichtung ebenfalls keinen im Inneren angeordneten Schirm aufweist, l/ie bei der Ausführungsform gemäß Fig.2 besitzt die Einrichtung 30 ein Gefäß 31, cLas eine zylindrische Seitenwand 32 und zwei einander gegenüberliegend angeordnete Metallkappen 33 und 34 aufweist. Zwei Lichtbogenelektroden 35 und 36 sind elektrisch f und mechanisch mit den Metallkappen 33 und 34 fest verbunden, so daß eine feststehende Ü~berschlagstrecke 37 entsteht. Die Elektroden 35 und. 36 werden von Elektrodenhalterungen 38 und 39 gehaltert. Ein Schwingkreis 41 aus einem Kondensator 42 und einer Induktivität 43 ist in Serie mit einem Überbrückungskondensator 60 zwischen die Elektroden 35 uncL 36 geschaltet. Der Schwingkreis 41 wird über eine Spule 44 vom Oszillator 45 mit einer geeigneten HF-Energie versorgt. Die an die Lichtbogenelektroden 35 und 36 angelegte HF-

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Spannung verursacht ein elektrisches Entladungsfeld zwischen den Elektrodenhalterungen 38 und 39 bzw. den Elektroden 35 und. 3&1 das durch die Linien 46 angedeutet ist. Durch die HF-Entladung wird eine Ionisation der Gasmoleküle im Bereich der Überschlagstrecke 37 verursacht. Durch eine geeignete Vorspannung, die von einer Batterie 47 aus in Serie über einen geeignet gepolten Gleichrichter 61 und einem dazu in Serie geschalteten Gleichstromamperemeter 62 an die Lichtbogenelektroden angelegt wird, werden die positiven Ionen an die negativ vorgespannte Elektrode 35 angezogen und verursachen einen durch das Amperemeter 48 fließenden Strom. Dadurch entsteht eine Anzeige über die Größe des in dem Gefäß 31 herrschenden Gasdruckes. Der Gleichrichter 61 und die Batterie 47 werden dazu benutzt, um die negative Polarität an der Elektrode 35 ^3U erzeugen. Durch die Verwendung dieser beiden Bauteile wird die Wechselstrom-Bezugslinie der VJe chs el spannung soweit nach unten verlagert, daß an der Elektrode 35 fortwährend eine negative die Ionen anziehende Polarität anliegt. In einer alternativen Ausführungsform kann man entweder die Batterie oder den Gleichrichter weglassen. Jenxi die Batterie weggelassen wird, erscheint eine, pulsierende Gleichspannung in aufeinanderfolgenden Halbwellen, so daß ein intermittierender Ionenstrom fließt, der für den innerhalb des Gefäßes 31 herrschenden Gasdruck charakteristisch ist. Wenn dagegen-der Gleichrichter weggelassen und die Batterie verwendet wird, wird lediglich eine gleichbleibende in einer Richtung wirkende

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Spannung angelegt. In der bevorzugten Ausführungsform werden sowohl der Gleichrichter als auch die Batterie verwendet, ob-'wohl das eine oder andere Bauteil weggelassen werden kann, ohne daß dies für die Wirkungsweise der Einrichtung nachteilig ist.

Im vorausgehenden wurde die Wirkungsweise der Einrichtung gemäß der Erfindung für jede der vorgeschlagenen Ausführungsformen beschrieben. Im allgemeinen verursacht die HF-Schwingung die Erzeugung eines HP-Potentials innerhalb der Anordnung ^ das ausreichend ist, um eine wechselnde HF-Entladung zu verursachen, obwohl keine Spannung direkt an die Elektroden angelegt wird, zwischen denen die Entladung stattfindet. Eine derartige Entladung erzeugt Ionen, die zu einem Gleichstrom beitragen, der trotz seiner geringen Größe mit einem Amperemeter oder Elektrometer geeigneter Abmessung gemessen werden kann und damit ein genaues und wiederholbares Maß für den Vakuumzustand innerhalb der zu prüfenden Anordnung gibt. Die Einrichtung und das Verfahren der vorliegenden Erfindung sind in gleicher Weise für die Verwendung für Vakuumschalter oder Vakuum-Überschlagstrecken geeignet, so daß es nicht kritisch ist, ob die Lichtbogenelektroden feststehend oder veränderlich angeordnet sind. Venn jedoch eine der Elektroden verschiebbar ist, sollte dafür Sorge getragen werden, daß die Elektroden für die Gasdruckmessung voneinander getrennt sind.

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Im allgemeinen ist die Kapazität der Anordnung,-, in welche die HF-Energie eingespeist wird, in der Größenordnung von 50 "bis 100 ρί¹. Unter diesen Bedingungen ist eine Frequenz in der Größenordnung von 10 MHz günstig, obwohl auch höhere Frequenzen Verwendung finden können. Bei der genannten Frequenz ist eine Leistung von etwa 200 W ausreichend. Bei einer Frequenz von 10 MBz kann man für einen Resonanz schwingkreis gemäß Fig.1 einen Kondensator mit 100 pF und eine Induktivität mit 0,025 /uH verwenden. Die Induktivität 23 gemäß Fig.1 kann zweckmäßigerweise in der Größenordnung von 10/uH liegen, so daß die HF-Energie von der Batterie und dem Mikroamperemeter in ausreichendem Maße ferngehalten wird. Der Trennkondensator 19 kann in der Größenordnung von 0,0 = pF liegen und halt die Gleichspannung von dem Oszillator fern. Dieselben Werte für die Induktivitäten und Kapazitäten können auch "bei den verschiedenen anderen dargestellten und beschriebenen Ausführungsformen Verwendung finden, obwohl dies nur Beispiele sind und die vierte entsprechend abgeändert werden können.

Pat ent ans prüche

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Claims

Patentansprüche

1. Einrichtung zum Prüfen des unterdrückes in einer Yakuum-Lichtbogenvorrichtung, die aus einem evakuierbaren Gefäß mit einer isolierenden zylindrischen Seitenwand besteht und zumindest zwei in einem bestimmten Abstand zueinander

^ angebrachte Lichtbogenelektroden enthält, ge kennzeichnet durch eine mit der Lichtbogenvorrichtung verbundene Koppelelektrode zum-Aufbau eines HF-Feldes innerhalb des Gefäßes, einen mit der Koppel elektrode verbundenen HF-Schwingkreis zur Erzeugung einer für die Ionisierung der Gasmoleküle innerhalb des Gefäßes ausreichenden HF-Entladung, Einrichtungen, die mit einer Lichtbogenelektrode gekoppelt sind und diese derart vorspannen, daß die durch die Entladung erzeugten Ionen angezogen werden, und durch ein mit der einen Lichtbogenelektrode verbunde-

W nes Meßgerät zur Messung des 'durch die angezogenen Ionen erzeugten Stromes und zur Anzeige des dadurch meßbaren Unterdruckes.

2. Einrichtung nach Anspruch 1., dadurch g e k e η η ζ e i c h-...net, daß die Koppelelektrode in einheitlichem Aufbau die

äußere Seitenwand umgibt. ;

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3. Einrichtung nach Anspruch T oder 2, dadurch ge k e η... η ζ e i c h η e t, daß die Koppelelektrode als Band ausgeführt ist, das um die äußere Oberfläche der Seitenwand gelegt ist,

*4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η "z e i· c hn e t, daß die Koppelelektrode aus einer Vielzahl von Teilen besteht, die mit -verschiedenen Oberflächenbereichen der Seitenwand anlegbar sind. . .

. ■■■■ .... . .

5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η ζ e i c hn e t, daß sich das HF-Feld im Inneren der Vorrichtung zwischen der einen Lichtbogenelektrode und dem die Überschlagstrecke umgebenden Schirm aufbaut, und daß ein einen Gleichstrom hervorrufender Schaltkreis an die beiden Lichtbogenelektroden angeschlossen ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e η η ze i c h η e t, daß die Koppelelektrode zum Aufbau der HF-Entladung zwischen den Lichtbogenelektroden Verwendung findet, und daß eine einen Gleichstrom hervorrufende Schaltung an die Lichtbogenelektroden angeschlossen ist.

7» Einrichtung nach Anspruch 1 oder 4·, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppelelektrode zur Erzeugung einer HF-Entladung innerhalb der Überschlagstrecke verwen-

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det wird, Md daß eine einen Gleichstrom erzeugende Schaltung an die Lichtbogenelektroden angeschlossen ist.

8._Λ Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkreis und die einenGleichstrom verursachende Schaltung mit den Lichtbogenelektroden verbunden ist.

9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennz e i chn e t, daß die einen Gleichstrom verursachende Schaltung aus einer Batterie, einem Gleichrichter und einem Strommeßgerät besteht, die mit einem Überbrückungskondensator parallel geschaltet sind.

10. Verfahren zur Messung des Druckes in einer dicht verschlossenen elektrischen Entladungsvorrichtung, die auf ein hohes Vakuum evakuiert ist unter Verwendung einer Einrichtung nach Fig.1, dadurch gekennzeichnet, daß eine HF-Energie in die Vorrichtung eingekoppelt wird, und dadurch eine ionisierende EF-Entladung innerhalb der Einrichtung' stattfindet, daß die Elektroden derart vorgespannt werden, daß die durch die Entladung erzeugten Ionen angezogen und ein Strom erzeugt wird, und daß der Strom zur Messung des Gasdruckes innerhalb der Vorrichtung gemessen wird.

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