DE1645567B2 - Verfahren zur umwandlung von praktisch unloeslichen p-xylylenpolymeren in deren loesliche derivate - Google Patents
Verfahren zur umwandlung von praktisch unloeslichen p-xylylenpolymeren in deren loesliche derivateInfo
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Description
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Umwandlung von praktisch unlöslichen p-Xylylenpolymeren
in deren lösliche Derivate. Es ermöglicht die Herstellung lichtempfindlicher Isolationen, insbesondere
ultradünner, polymerer, lichtempfindlicher Isolationen, die auch ein neuartiges positives Fotomaskierungsiverfahren
ermöglichen, das eine bessere Auflösung und Reproduktion gewährleistet, als es bisher der Fall war.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Umwandlung von praktisch unlöslichen p-Xylylenpolymeren mit der
•ich wiederholenden Einheit
-Ar-CH2-CH2-
fci der Ar- einen Phenylenrest bedeutet, in deren
lösliche Derivate, ist dadurch gekennzeichnet, daß das tenannte, gegebenenfalls teilweise maskierte Polymer
1 Gegenwart von Sauerstoff ultraviolettem Licht Ausgesetzt wird und die löslichen Teile gegebenenfalls
tntfernt werden.
Die löslichen Teile des Polymeres sind in basischen lösungsmitteln löslich.
Für das Auftragen der p-Xylylenpolymeren auf Unterlageflächen sind bereits verschiedene Verfahren fco
bekannt Diese Polymeren können durch Pyrolyse von 1,4-Dimethylarylenen wie p-Xylol bei sehr hohen
Temperaturen, wie beispielsweise 800- 10000C, hergestellt
werden. (M. Swarc, Nature, 160, 403 [1947]; Faraday Society Discussions 2,46 [1947]; J. Chem. Phys. fts
16,128 [1948]; und besonders J. Pol. Sei. 6,319[195I].)
Derartige Polymere sind auch schon aus p-Xylylen-Dihalogeniden
hergestellt worden (Jacobson, J.
Am. Chem. Soc. 54,1513 [1932]; C. J. B r ο w η and A. C.
Farthing, Nature, 164,915[1949J.
Ähnliche Polymere sind auch schon durch Pyrolyse von p-Methylbenzyl-quaternären Ammoniumhydroxyden
hergestellt worden (F. S. F a w c e 11; US-Patentschrift
27 57 146).
Von T. E Young wird in der US-Patentschrift
29 99 820 noch ein anderes Verfahren zur Herstellung von p-Xylylenpolymeren beschrieben. Dieses Verfahren
betrifft die Zersetzung von quaternären Ammoniumverbindungen, wie Trimethyl-(p-methylbenzyl)-ammoniumhydroxyd,
durch Erhitzen dieser Verbindungen in wäßrigen Alkalihydroxyd-Lösungen auf Temperaturen
von wenigstens 100° C.
Während die durch viele der obigen Verfahren und insbesondere die pyrolytischen Verfahren hergestellten
p-Xylylen-Polymeren weitgehend vernetzt und von
Natur hochkristallin sind, ist durch neuere Arbeiten auch die Herstellung von echten linearen p-Xylylenpolymeren,
die frei von Vernetzungen sind, in technischen Ausbeuten gelungen. Insbesondere wird von W. F.
G ο r h a η in den kanadischen Patentschriften 6 37 507 und 6 38 335 die Herstellung von unsubstituierten und
ringsubstituierten p-Xylylenpoiymeren und Copolymeren
durch Pyrolyse eines cyclischen Di-p-Xylylens der allgemeinen Formel
H2C-Ai-CK2
H2C-Ar-CH2
H2C-Ar-CH2
(II)
beschrieben, in der Ar— einen nachstehend noch näher definierten Phenylenrest darstellt Die Pyrolyse erfolgt
hierbei bei Temperaturen zwischen 450 und 7000C und bei Drücken im Bereich von 0,0001 —10 mm Hg.
Da die Kupplung und Polymerisation der bei dem oben beschriebenen Verfahren gebildeten reaktionsfähigen
Di-Radikale den aromatischen Ring nicht einbezieht, sondern nur die freien Radiakalstellungen,
i->ann jedes unsubstituierte oder substituierte p-Xylylenpolymer
hergestellt werden, da die Kernsubstituenten-G nippen im wesentlichen als inerte Gruppen wirken.
Dtr Phenylenrest Ar- kann somit aus irgendeinem Benzolring bestehen, der unsubstituiert oder auch durch
beliebige einwertige anorganische oder organische Gruppen, wie sie normalerweise an einen aromatischen
Kern angefügt werden können, substituiert sein kann.
Derartige inerte Substituenten des aromatischen Kernes der genannten p-Xylylenpolymeren sind außer
Wasserstoff insbesondere die Halogene Chlor, Brom, Jod und Fluor, Alkylgruppen, wie Methyl-, Äthyl-,
Propyl-, η-Butyl-, sec-Butyl-, tert-Butyl-, Amyl- und
Hexyl-, Cyan-, Phenyl-, Hydroxy-, Alkoxy-, Acetoxy-,
Amino-, Nitro-, Carboxy- und Benzylgruppen. Obgleich einige der obigen Gruppe unter gewissen Bedinungen
potentiell oder mit gewissen reaktionsfähigen Stoffen reaktiv sind, so sind sie doch unter den Bedingungen der
vorliegenden Erfindung nicht reaktiv und somit völlig neutral.
Ein besonderer Vorteil dieses Dampfablagerungsverfahrens besteht darin, daß ultradünne polymere Filme
der p-Xylylenpolymeren erhalten werden, und auf diese Weise sind zusammenhängende Filme einer Dicke von
1000 A und darunter erhalten worden. Außerdem
besitzen die in der genannten Weise erhaltenen p-Xylylenpolymeren ausgezeichnete dielektrische
Eigenschaften und werden daher bevorzugt zur Verwendung als lichtempfindliche Isolation benutzt.
Beispielsweise hat das nach dem Gorham-Verfahren
hergestellte p-Xylylenpolymer die folgenden elektrischen
Eigenschaften:
(1) Dielektrizitätskonstante
(2) Dissipationsfaktor
2,65 von
60 bis 100.000 cps
0,0001 von
60 bis 100,000 cps
Die obigen Werte sind im Vergleich zu anderen Polymeren im Temperaturbereich von -269° C bis
175°C verhältnismäßig konstant
(3) Durchschlagsfestigkeit
(gemessen an Filmen
von 1 Mikron)
(gemessen an Filmen
von 1 Mikron)
(4) Insolationswiderstand
500 Volt/Mikron
10« Ohm Farads
bei 25°C
10« Ohm Farads
bei 25°C
p-Xylylenpolymere haben bisher in bezug ihrer Unlösiichkeit in allen üblichen Lösungsmitteln bei
Zimmertemperatur Unterschiede aufgewiesen. Es wurde nun gefunden, daß p-Xylylenpolymere in verdünnten
basischen Lösungen völlig löslich werden, wenn sie ultraviolettem Licht mit Wellenlängen im ultravioletten
Bereich unter 300 Millimikron und vorzugsweise unterhalb 250 Millimikron in Gegenwart von praktisch
stöchiometrischen Mengen von Sauerstoff ausgesetzt werden. Es wird als wichtig angesehen, daß während der
Belichtung Sauerstoff vorhanden ist, da p-Xylylenpolymere
bei Abwesenheit von Sauerstoff lichtbeständig sind. Obgleich die Belichtungszeit von der Verfügbarkeit
von Sauerstoff, der Intensität und Aufstellung der benutzten Lichtquelle und der Dicke des Polymerüberzuges
abhängig ist, so muß diese doch wenigstens so lange durchgeführt werden, daß das Polymer vollkommen
löslich wird. Die richtige Belichtungszeit kann jedoch leicht ermittelt werden. So wurde beispielsweise
gefunden, daß eine Belichtungszeit von etwa 1 Minute für einen Film einer Dicke von je etwa 500 A
ausreichend ist, um die belichteten Teile vollständig löslich zu machen, wenn eine 500-Watt-Hochdruck-Queeksilberdampflampe
in einem Abstand von etwa 20 cm von der beschichteten Unterlage benutzt wird. Die Belichtungszeit kann natürlich auch verlängert oder
verkürzt werden, indem einfach der Abstand der Lichtquelle von dem Substrat oder die Intensität der
Lichtquelle selbst geändert werden, da die Belichtungszeit direkt vom Quadrat des Abstandes der Lichtquelle
vom Substrat und umgekehrt von der Intensität der Lichtquelle abhängig ist.
Obgleich über den Ablauf der Reaktion keine bestimmte Theorie aufgestellt werden soll, so wird doch
angenommen, daß bei der Belichtung der p-Xylylenpolymeren
in Gegenwart von praktisch störhiometrischen Mengen an Sauerstoff eine Foto-Oxydation auftritt, die
zu einer Kettenspaltung und zur Bildung von in Basen löslichen aromatischen Dicarbonsäuren und Polymer-Bruchstücken
mit endständigen Carboxylgruppen führt, wie es aus dem nachstehend beispielsweise angeführten
Polymer ersichtlich ist.
Licht
-CH2-CH2 -<
X-CH2-CH2-/' VcH2-CH
Diese Ansicht findet ihre Stütze durch die Tatsache, daß die belichteten Teile des Polymer-Überzuges in
Basen löslich sind. Außerdem erfolgt durch Ansäuern der basischen Lösung eine Fällung eines Stoffes, der in
verdünntem Natriumbicarbonat unter Gasentwicklung löslich ist Der Niederschlag ist unlöslich in Äther und
teilweise löslich in Aceton oder Alkohol. Der Schmelzpunkt des Niederschlages liegt über 2600C. Diese
Faktoren stimmen alle mit der obigen Theorie überein.
Fotomaskierungsverfahren werden in großem Umfange bei der Herstellung von gedruckten Stromschaltungen,
Mikrostromkreisen, Halbleitern und Präzisionswerkzeugen, sowie auch in der Dekorationstechnik und
bei anderen lithographischen Arbeiten benutzt. Beispielsweise kann ein kupferplattierter Phenol-Karton
zwecks Herstellung einer gedruckten Stromkreisschaltung zunächst unter Anwendung der üblichen Verfah- <ό
ren, wie Tauchen, Besprühen oder Bestreichen, mit einem lichtempfindlichen Polymer beschichtet werden.
Hierauf wird eine Maske, die einem fotografischen Negativ, das dunkle und helle Stellen enthält, ähnelt, auf
die Polymerschicht aufgelegt und das so hergestellte fts mehrschichtige Gebilde dann einer Bestrahlung, und
zwar gewöhnlich dem Licht einer Kohlenbogenlampe oder einer anderen ähnlichen Lichtquelle, ausgesetzt.
Das Licht, das die hellen Flächen der Maske durchdringt, bewirkt dann, daß an den Stellen des
Polymers, die unter der Maske belichtet werden, eine fotochemische Veränderung erfolgt, und zwar gewöhnlich
eine Vernetzung. Nach der Entwicklung wird dann das unbelichtete Polymer weggelöst, wodurch eine
Kopie der ursprünglichen Maske oder ein Negativ erhalten wird. Die freigelegte Fläche des Kupfers kann
dann geätzt werden, wodurch die gewünschte Stromkreis-Konfiguration erhalten wird. Hierauf wird schließlich
noch das zurückgebliebene vernetzte Polymer durch ein starkes Lösungsmittel entfernt. Das vorstehend
beschriebene Fotorr.askierungsverfahren ist als »negatives« Maskiemngsverfahren bekannt, d. h., die
belichteten Teile des Polymers werden vernetzt; bei einem »positiven« Maskierungsverfahren werden dagegen
die belichteten Teile des Polymers, löslich.
Die »positiven« Maskiemngsverfahren besitzen jedoch gegenüber den bisherigen »negativen« Maskiemngsverfahren
gewisse Vorteile, da hier die unbelichteten Teile das Maskenbild bilden und die belichteten
Teile weggelöst werden können. Die positiven Maskiemngsverfahren ermöglichen somit vielfache Belichtungen
ohne die bisher bestehende Notwendigkeil, mehrfache Überzüge aufzutragen.
In jüngster Zeit haben nun schon Hersteller und Verbraucher von Fotomaskierungssystemen nach
einem besseren Auflösungsvermögen gesucht, d. h. der
geringsten Linienbreite oder Linientrennung, die erreicht werden kann, und auch einer besseren Randbestimmung
oder Randschärfe, ά. h. der Größenordnung von Unvollkommenheiten, die längs einer angenommenen
geraden Kante auftreten.
Bei den z. Zt. zur Verfügung stehenden Fotomaskierungsverfahren können Linienbreiten bis herunter auf
0,000/5 mm und Toleranzen von ±0,00025 mm erhalten werden. Es sind auch schon verschiedene Verfahren
angewendet worden in dem Bestreben, eine bessere Auflösung und Liniendefinition zu erreichen, wobei auch
der Polymer-Überzug so dünn wie möglich gemacht wurde. Die z. Zt zur Verfügung stehenden Fotomaskierungssysteme
sind jedoch auf Polymer-Überzüge einer Dicke von 0,5 μ und höher beschränkt
Bisher sind die Fotomaskierun^SVerfahren in der
Anwendung auch insofern beschränkt gewesen, als sie lediglich eine Maßnahme zur Bildreproduktion auf
verschiedenen Unterlagen ermöglichen. Nachdem diese Aufgabe erfüllt worden war, mußten die zurückgebliebenen
Teile des Maskensystems entfernt werden, ehe die Weiterbehandlung zwecks Herstellung des Endproduktes
durchgeführt werden konnte. Es sind daher auch schon viele Versuche durchgeführt worden, ein Fotomaskierungsverfahren
unter Verwendung eines lichtempfindlichen Materials zu erhalten, das gleichzeitig
eine wirksame Isolation auf denjenigen Teilen des Substrates ermöglicht, welche das Maskenbild umgeben.
Wenn ein Überzug aus einem p-Xylylenpolymer nach
irgendeinem geeigneten Verfahren auf eine ätzbare Unterlagefläche, beispielsweise wie oben beschrieben,
aufgebracht wird, wird ein ultradünner lichtempfindlicher, polymerer, isolierender Überzug auf der Unterlage
erhalten und somit ein Fotornaskierungssystem erzeugt, in welchem der polymere Überzug in Dicken
von lOOOÄ oder darunter angewendet werden kann.
Obgleich es möglich ist, die p-Xylylenpolymere in
irgendeiner gewünschten Dicke einfach durch Einregulierung der Abscheidezeit aufzutragen, so ist es doch
von besonderem Vorteil, ultradünne Filme der genannten Polymere abzuscheiden, d. h. Filme in Dicken unter
5000 Ä, wodurch eine bessere Auflösung und Reproduktion erzielt wird, als es bisher möglich war.
Dementsprechend ist es nunmehr möglich, die Substratflächen selektiv zu ätzen, wodurch eine bessere
Auflösung und Reproduktion als bisher erhalten wird, indem auf ein ätzbares Substrat, wie Metalle, beispielsweise
Kupfer oder Aluminium oder auch Glas, Quarz oder keramische Stoffe, oder auch Halbleiter, wie
Silicon und Germanium, ein ultradünner Film, beispielsweise von 5000 Ä oder darunter, aus einem p-Xylylen
mit den sich wiederholenden Einheiten
+ Ar CH2 -CH2-T-
aufgetragen wird, in denen Ar— einen Phenylenrest
bedeutet. Das beschichtete Substrat kann dann mit einem fotografischen Negativ oder einem anderen
ähnlichen Gebilde maskiert werden, um selektiv im voraus bestimmte Teile des beschichteten Substrates zu
belichten. Das so hergestellte mehrschichtige Gebilde wird dann in Gegenwart von Sauerstoff ultraviolettem
Licht so lange ausgesetzt, bis die von der Maske freigelassenen Teile des Polymer-Überzuges löslich
gemacht worden sind. Die löslichen Teile des genannten beschichteten Substrates können dann mit einer
verdünnten Base, wie Natriumhydroxyd, Kaliumhydroxyd, Natriumcarbonat, Trinatriumphosphat oder Pyridin
s gelöst werden. Die Wahl der Base ist nicht entscheidend, da für die genannten Zwecke jede Base geeignet ist; die
schwächeren Basen, wie Pyridin, wirken jedoch wesentlich langsamer. Nach dem Lösen der belichteten
Teile des Polymers ist die ätzbare Fläche in der
ίο gewünschten Konfiguration bloßgelegt Infolge der
ausgezeichneten Widerstandsfähigkeit der p-Xylylen-Polymeren
gegenüber chemischen Angriffen kann das beschichtete Gebilde unmittelbar in ein geeignetes
Ätzmittel eingetaucht werden, oder das Ätzmittel kann in irgendeiner anderen geeigneten Weise aufgetragen
werden, ohne daß befürchtet werden muß, daß die polymere isolierende Filmschutzschicht zerstört wird.
Durch Ätzmittel wie Salpetersäure, konzentrierte Fluorwasserstoffsäure, Gemische aus Fluorwasserstoffsäure
mit bis zu 25% konzentrierter Salpetersäure, Königswasser und übliche Eloxierlösungen, wie solche
aus Äthylenglykol, Oxalsäure und Wasser in einem Volumenverhältnis von 3:1 : 2, wird der zusammenhängende
Film nicht zerstört
Nachdem das ätzbare Substrat geätzt worden ist, kann der zurückgebliebene Polymer-Überzug, falls
gewünscht leicht an den Stellen des Substrates entfernt werden, die vorher unbelichtet geblieben sind, und zwar
indem die obige Reihenfolge wiederholt wird, d. h. die
τ,α genannten Teile mit ultraviolettem Licht in Gegenwart
von Sauerstoff belichtet werden, um sie löslich zu machen, und hierauf die löslichen Teile durch Kontaktbehandlung
mit einer Base entfernt werden. Nach dem Entfernen des zurückgebliebenen Folymers wird das
Substrat gereinigt und zeigt nun die gewünschte Konfiguration, die in ihm selektiv ausgeätzt ist. Es ist
jedoch ein wesentlicher Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß der restliche Polymerüberzug auf dem
geätzten Substrat intakt bleibt, wodurch eine Isolation um die gewünschte im Substrat geätzte Konfiguration
erhalten wird.
Die Erfindung wird durch die nachstehenden Beispiele näher erläutert. Falls nichts anderes angegeben
ist, sind alle Teile und Prozentsätze Gewichtsteile und Gewichtsprozente.
Beispiel 1
101,5 mg Di-p-xylylen wurden in eine aus Borsi'ikatglas
bestehende Sublimierkammer eines Durchmessers von 5 cm und einer Länge von 10 cm eingesetzt. Durch
ein Thermoelement-Meßgerät wurde der Druck an dem einen Ende der Kammer aufgezeichnet, während das
andere Ende der genannten Kammer durch ein übliches konisches Rohrstück an ein Quarz-Pyrolyserohr eines
Durchmessers von 3,5 cm und einer Länge von 66 cm angeschlossen wurde. Das Di-p-xylylen wurde bei einer
Außentemperatur von 1500C und einem Druck von
(10 0,2 mm Hg sublimiert Die Dämpfe wurden durch einen
15 cm langen Abschnitt des Pyrolyserohres (Verdampfungszone) hindurchgeschickt, der auf 2000C erhitzt
wurde, und dann durch einen 46 cm langen Abschnitt (Spaltzone), der auf einer Temperatur von 6650C
gehalten wurde. An das Ende des Pyrolyserohres war über einen 12 cm langen, mit Flansch versehenen Dom
eine Abscheidekammer angeschlossen, die einen Durchmesser von 7,5 cm und eine Länge von 38 cm besaß. Die
überschüssigen Dämpfe wurden in einer mit Kohlensäureschnee
und Aceton gefüllten Falle kondensiert. Durch eine 13-cfm-Vakuumpumpe wurde der Druck auf einen
Wert zwischen 5 und 120 Mikron Hg gehalten. In die Abscheidezone wurden Quarzstreifen eingesetzt, die
mit verdünnter Ammoniumhydroxydlösung gereinigt worden waren.
Das Di-p-xylylen sublimierte und wurde unter Bildung
von p-Xylylen-diradikalen gespalten, die in der auf
Zimmertemperatur gehaltenen Abscheidezone kondensierten und polymerisierten, wodurch auf den Quarzstreifen
ein Überzug aus Poly-(p-xylylen) gebildet wurde. Während des Versuches, der 13 Minuten dauerte,
stieg der Druck von 7 auf 118 Mikron an. Die Dicke des Polymerüberzuges auf den Quarzstreifen betrug 0,28—
0,38 Mikron und wurde durch Wiegen der Quarzstreifen vor und nach der Beschichtung bestimmt.
Die beschichteten Streifen wurden teilweise mit einer Aluminiumfolie maskiert und dann in einem Abstand
von 3,7 cm von einer 140-Watt-Hochdruck-Quecksilberdampflampe 5—10 Minuten belichtet Die belichteten
Teile des Filmes wurden schnell und vollständig in einer kalten 2%igen wäßrigen Natriumhydroxydlösung
löslich.
Quarzstreifen wurden unter Verwendung der in Beispiel 1 beschriebenen Vorrichtung und des dort
beschriebenen Verfahrens mit Poly-(p-xylylen) beschichtet Die Schichtdicke wurde von 0,4—3,0 Mikron
verändert Die beschichteten Streifen wurden dann mit einer 550-Watt-Hochdruclc-Quecksilberdampflampe
belichtet die von den genannten Streifen in einem Abstande von 18,7 cm aufgestellt war. Die Belichtungszeit
betrug 0,05 Mikron je Minute, d h. ein 1-Mikron-Film
erforderte 20 Minuten, um in einer basischen Lösung vollkommen löslich zu werden.
Die Ultraviolett-Analyse des unbelichteten Polymers ergab kräftige Spitzenwerte bei 205 und 232 Millimikron
und kleinere Spitzenwerte bei 257, 265 und 275 Millimikron, woraus hervorgeht daß die Belichtung auf
Ultraviolettlicht beschränkt ist Eine Belichtung mit sichtbarem Licht d. h. 400—800 Millimikron, würde den
polymeren Film nicht löslich machen.
Unter Verwendung der in Beispiel 1 beschriebenen Vorrichtung und des dort beschriebenen Verfahrens
25
wurden Glasscheiben beschichtet mit dem Unterschied, daß Di-chlor-di-p-xylylen der folgenden Formel:
Cl
H2C
H2C
CH,
CH2
Cl
pyrolysiert und Poly-(2-chlor-p-xylylen) gebildet wurde.
Die Dicke der Überzüge, die durch Gewichtsmessungen bestimmt wurden, wechselte von 0,2—2,4 Mikron.
Die beschichteten Scheiben wurden den ultravioletten Strahlen einer SSO-Watt-Hochdruck-Quecksilberdampflampe,
die in einem Abstand von 19 cm von den
Scheiben aufgestellt worden war, ausgesetzt und zwai
für eine Zeit von 0,05 Mikron je Minute, wodurch der Film vollkommen löslich gemacht wurde.
Die vorliegende Erfindung ist besonders brauchbai für elektronische Anwendungen, da Poly-(p-xylylen)
wie oben gezeigt ein ausgezeichnetes dielektrische; Isolationsmaterial darstellt Beispielsweise besteht eine
typische Anwendung in der Anfertigung von sehi kleinen Schaltungsanordnungen, bei denen die Isolatior
in gewissen Flächen und ein elektrischer Kontakt ir anderen erwünscht ist An den jeweils gewünschter
Stellen der Herstellung kann das als Substrat benutzte Material, wie mit Kupfer plattierte Phenolkartone odei
Siliconscheiben, nach irgendeinem der oben beschriebe
neu Verfahren mit Poly-(p-xylylen) beschichtet werden Darauf kann eine Maske, die die gewünschte Strom
kreis-Konfiguration enthält auf das Substrat aufgeleg
und das so erhaltene zusammengesetzte Gebilde ii Gegenwart von Sauerstoff eine genügende Zei
ultraviolettem Licht ausgesetzt werden, um die belichte ten Teile des aus dem Polymer bestehenden Filmei
löslich zu machen. Die Teile des Poly-(p-xy!ylen)-FiIme:
unterhalb der lichtdurchlässigen Teile der Mask« werden durch Licht oxydiert und werden schnell un<
vollständig in einer basischen Lösung löslich. Auf diesi Weise ist es möglich, die Isolation an den gewünschtei
Flächen zu entfernen und elektrischen Kontak herzustellen. Auch könnten infolge der chemischei
Trägheit des Poly-{p-xylylen)-Filmes anschließend aucl
Ätzungen durchgeführt werden, ohne eine Zerstörunj
so des isolierenden Schutzfilmes befürchten zu müssen.
Ks 512/*
933
Claims (6)
1. Verfahren zur Umwimdlung von praktisch
unlöslichen p-Xylylen-Polyineren mit der sich
wiederholenden Einheit
-Ar-CH2-CH,-
in der Ar - einen Phenylenrest bedeutet, in deren lösliche Derivate, dadurch gekenn^eichnet,
daß das genannte gegebenenfalls teilweise maskierte Polymer in Gegenwart von Sauerstoff
ultraviolettem Licht ausgesetzt wird und die löslichen Teile gegebenenfalls entfernt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Lichtquelle, die
Wellenlängen im ultravioletten Bereich unterhalb 300 Millimikron ausstrahlt
3. Verfahren nach Anspruch 1 und .2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sauerstoff während der
Belichtung in etwa stöchiometrischen Mengen vorhanden ist.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein p-Xylylenpoiymer in Form
einer dünnen Schicht bestrahlt und das löslich gewordene Polymer entfernt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadirch gekennzeichnet, daß man ein auf einem Träger
aufgebrachtes p-Xylylenpolymer verwendet.
6. Verwendung der gemäß den Verfahren na^h
Anspruch 1 bis 5 erhaltenen Produkte zur Herste1-lung
von Reproduktionsplatten.
Applications Claiming Priority (1)
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DE1965U0012312 Granted DE1645567B2 (de) | 1964-12-24 | 1965-12-24 | Verfahren zur umwandlung von praktisch unloeslichen p-xylylenpolymeren in deren loesliche derivate |
Country Status (7)
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