DE1640824A1 - Anschluss fuer Hochspannungs-Koaxialkabel - Google Patents

Anschluss fuer Hochspannungs-Koaxialkabel

Info

Publication number
DE1640824A1
DE1640824A1 DE19661640824 DE1640824A DE1640824A1 DE 1640824 A1 DE1640824 A1 DE 1640824A1 DE 19661640824 DE19661640824 DE 19661640824 DE 1640824 A DE1640824 A DE 1640824A DE 1640824 A1 DE1640824 A1 DE 1640824A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sleeve
tubular conductor
voltage
conductor
around
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19661640824
Other languages
English (en)
Other versions
DE1640824C3 (de
DE1640824B2 (de
Inventor
Koch George Robert
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Libbey Owens Ford Glass Co
Original Assignee
Libbey Owens Ford Glass Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Libbey Owens Ford Glass Co filed Critical Libbey Owens Ford Glass Co
Publication of DE1640824A1 publication Critical patent/DE1640824A1/de
Publication of DE1640824B2 publication Critical patent/DE1640824B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1640824C3 publication Critical patent/DE1640824C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02GINSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G15/00Cable fittings
    • H02G15/02Cable terminations
    • H02G15/025Cable terminations for coaxial cables or hollow conductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B17/00Insulators or insulating bodies characterised by their form
    • H01B17/26Lead-in insulators; Lead-through insulators
    • H01B17/30Sealing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B17/00Insulators or insulating bodies characterised by their form
    • H01B17/36Insulators having evacuated or gas-filled spaces
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/248Components associated with high voltage supply
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02GINSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G15/00Cable fittings
    • H02G15/20Cable fittings for cables filled with or surrounded by gas or oil
    • H02G15/22Cable terminations

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Insulators (AREA)

Description

H.SEILER, J. PFENNlNJa LJT· -^-P 1'. „,„, . J _ 1. JUni 1966 DIPLOM-INGENIEURE Oldenburoallee 1O Pf/Hs PATENTANWÄLTE Telefon : O4 38 21 / 28 Teleoramm-AdresBS: Sellwehrpatent
Libbey - ^wens - Ford Glass Company, 811 Madison Avenue, Toledo, Ohio, USA
" Anschluß für Hochspannungs-Koaxialkabel "
Für diese Anmeldung wird die Priorität der entsprechende! US-Anmeldung Ser. No« 460 436 vom 1. Juni 1965 in Anspruch genommen.
Die Erfindung bezieht sich ganz allgemein auf Anschlüsse für Hochspannungskabel und sie betrifft insbesondere einen Anschluß für ein Hochspannungs-Koaxialkabel zur Energiespeisung von in einem verschlossenen Raum unter Hochvakuum verwendeten elektrischen Geräten und Einrichtungen.
Bei Verwendung von elektrischen Geräten in einem verschlossenen Raum unter Hochvakuum muß zur Energiespeisung der elektrischen Geräte oder Einrichtungen eine Durchführung durch die Wände des verschlossenen Raumes vorgesehen werden. Beispielsweise werden elektrische Geräte und Einrichtungen, wie Elektronenkanonen in Hochvakuumöfen, für zahlreiche Arbei-
^ ten, wie das Veredeln von Metallen, zum Tempern, Metallisieren
usw., verwendet. Die Elektronenkanone oder -schleuder bildet einen Elektronenstrahl, der auf das zu behandelnde Material gerichtet wird, wobei die Elektronenkanone und das zu behan-
^i delnde Material in einem evakuierten verschlossenen Raum angeordnet sind. Für die Elektronenkanone ist typisch, daß sie
Hi dm Auftieg*«hailiiJi gill dl· GrtOhrMordMiig dar D*it»*·« »atmlaiiwallikantmw, - GwldilHtand Wr Ulslung und Zahlung ι Btrlln-OiQilolljnburt —2— Gaprädi· um tamprtd»« hobm ktliw Mdilwatblndlldt· Wirkung, UUrT Ppnkkonto: Bp'llnwr Bpnk A -(K.. Berlin IR Dnc -KB«»«e> 4Ί, Qlrokonto Nr. 07 HOO / PoateQheokkontoi BBrIInWSOSM
aus einer Elektronenquelle, beispielsweise einer Heizkathode oder einem üeizfaden, und aus einer gegenüber der kathode auf einem hohen positiven Potential gehaltenen Beschleunigungselektrode besteht, was zum Entstehen eines starken elektrostatischen Feldes zum Beschleunigen der Elektronen führtο Darüber hinaus ist üblicherweise in der Elektronenkanone eine Fokussierungselektrode vorgesehen, um die Elektronen zu einem Strahl zu bündeln bzw. zu konzentrieren« ^ Der Elektronenstrahl wird dann auf das Ziel— oder Auftreff-
material gerichtet, um es so zu erhitzen»
Nun haben sich bei der Schaffung elektrischer Verbindungen zwischen der Energiequelle und der Elektronenkanone auf ürund der für eine Elektronenkanoneneinrichtung erforderlichen starken Ströme und hohen Spannzngen zahlreiche Schwierigkeiten ergeben. Außerdem werden die elektrischen Verbindungen durch due Wand des evakuierten verschlossenen Raumes hindurchgeführt, weshdb sie mit vakuumdichten Abdichtungen f versehen sind. Die den elekttrischen Verbindungen zugeordnete
Isolier- und Abschirmmittel verlieren in der mit Dämpfen ausgefüllten und hochgradig korrodierenden Umgebung eines Hochvakuumofens rasch ihre spezifischen Eigenschaften» Darüber hinaus werden in dem Ofen Hochfrequenzfelder erzeugt als Folge des angeregten Zustandes der in ihm vorhandenen Dämpfe,
ο der hervorgerufen wird durch die Wechselwirkung der Elektrone
co in den Dämpfen* Die elektrischen Verbindungen und Anschlüsse *Z werden üblicherweise gegen diese Hochfrequenzfelder abgeo schirmt, um zu verhindern, daß sie die übrige zugeordnete,
ro
co elektrische Ausrüstung beeinträchtigen. Darüber hinaus müssen
die elektrischen Verbindungen und Anschlüsse derart sein, daß das Personal vor den verwendeten Hochspannungen geschützt ist.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht demzufolge darin, einen Anschluß zu schaffen für ein Koaxialkabel zur Energiespeisung von in einem hochgradig evakuierten verschlossenen Kaum angeordneten elektrischen Geräten und Einrichtungen.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines kompakten, raumsparenden Anschlußbauteils für ein Koaxialkabel zur Speisung einer in einer evakuierten Kammer angeordneten Elektronenkanone mit hohen Strom- und Spannungswerten .
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines kompakten, raumsparenden und haltbaren Anschlußbauteiles für ein Koaxialkabel zur Energiespeisung einer Elektronenkanone, wobei das Anschkußbauteil mit einer eigenen Dampfabschirmung sowie einer Hochspannungsisolierung versehen ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein Anschlußbauteil für ein Koaxialkabel, das eine Elektronenkanone in einem Elektronenofen hält und ihr Energie zuführt.
Die Erfindung ist im nachstehenden anhand der bei-
o gefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: ο
Fig. l einen senkrechten Axialschnitt durch eine
OT Ausführungsform des Anschlusses nach der Erfindung,
ο in schematischer Herstellung,
Fig. 2 einen senkrechten Schnitt durch eine andere
Ausführungsform des Anschlußbauteils gemäß der Er-
findung, das sich besonders zur Verwendung mit mehreren Elektronenkanonen in einem Elektronenstrahlofen eignet,
Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie 3-3 in Fig. und Fig. 4 einen senkrechten Axialschnitt durch eine noch andere Ausführungsform den Anschlußbauteils nach der Erfindung.
Erfindungsgemäß wird ein Anschluß in Vorschlag ge- ^ bracht für ein Hochspannungs-Koaxialkabel zur Bnergiespeisung eines Heizfadens und einer Beschleunigungselektrode einer in einem Hochvakuum-Elektronenofen angeordneten Elektronenkanone, das aus einem zentralen ersten rohrförmigen Leiter, einem um den zentralen Leiter herum konzentrisch angeordneten und von ihm isolierten zweiten rohrförmigen Leiter, einem um den zweiten rohrförmigen Leiter herum Ungeordneten Isoliermantel und einem um den Isoliermantel herum angeordneten, in einem Abstand vom Kabelende endenden dritten rohrförmigen Leiter besteht, wobei der Anschluß Mittel ent-" hält, um den zentralen ersten rohrförmigen Leiter und den
zweiten rohrförmigen Leiter an den Heizfaden der Elektronenkanone in zu ihr vakuumdicht abgedichteter Lage anzuschließen* Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß eine im wesentlichen schalenförmige Dampfabschirmung aus leitfähigem Material Q vorgesehen ist, die in ihrer Basis oder Grundfläche eine oo öffnung aufweist, durch die der zweite rohrförmige Leiter co und der zentrale Leiter hindurchragen, wobei die Abschirmung J^ mit dem zweiten rohrförmigen Leiter in elektrischer Verbindung
<i steht und den Isoliermantel in von ihm und von dem drittem
rohrförmigen Leiter getrennter Lage um wesentlichen einschließt bzw. umgibt. . -5-
Ein erfindungsgemäß gebautes Koaxialkabel läßt sich überall dort verwenden, wo die Speisung von in einem Hochvakuumsystem angeordneten elektrischen Geräten und Einrichtungen mit verhältnismäßig hohen Spannungen erforderlich ist» Qa das Koaxialkabel nach der Erfindung jedoch zur Energiespeisung einer Elektronenkanone in einem Hochvakuum-Elektronenöfen besonders zweckmäßig ist, ist es im Nachstehenden anhand dieser Verwendung beschriebene
Femäß der Darstellung in den Zeichnungen und insbe- ι sondere in Fig. 1, in welcher ein erfindungsgemäß gebautes, in senkrechter Lage angeordnetes Koaxialkabel veranschaulicht ist, besteht das Kabel im wesentlichen aus einem zentralen ersten rohrförmigen Leiter 10, einem um den zentralen Leiter herum konzentrisch angeordneten und mittels eines Isoliermantels 18 von ihm isolierten zweiten rohrförmigen Leiter 14, eihem auf dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 angeordneten zweiten Isoliermantel 22 und einem in einem vorbestimmten Abstand vom Ende des Kabels endenden dritten rohrförmigen Leiter 26, der um den zweiten Isoliermantel 22 herum angeordnet ist· Der Anschluß- oder Endabschnitt des Kabels besitzt Mittel 30, um den zentralen Leiter 10 sowie den zweiten rohrförmigen Leiter 14 an einen Heizfaden 34 der Elektronenkanone anzuschließen, und eine um wesentlichen schalenförmige, aus
o einem leitenden Material hergestellte Dampfabschirmung 38.
co Die Danpfabschirmung 38 ist an ihrer Basis 46 mit einer
-ρ- öffnung 42 versehen, durch die der zweite rohrförmige Leiter o>
^ und der zentrale erste rohrförmige Leiter 10 hindurchragen, oo wobei der zweite rohrförmige Leiter 14 mit der Dampfabschir- ■ung 38 elektrisch in Verbindung steht· darüber hinaus schließt
-β-
die Dampfabschirmung 38 den Isoliermantel 22 im wesentlichen ein und wird in von dem Isoliermantel 22 und dem dritten rohrförmigen Leiter 26 getrennter Lage gehalten.
Im einzelnen kann das Koaxialkabel sowohl die Energi für den Heizfaden der Elektronenkanone als auch die Beschleunigungshochspannung für die Elektronenkanone zuführen, ^as Kabel ragt in einen (nicht dargestellten), gewöhnlich als Elektronenkanonenkammer bezeichneten evakuierten geschlossenen Raum hinein, der mit dem Kabel in im wesentlichen vakkumdichtem Verhältnis steht· Das Ende des Kabels ist mit einem Anschluß versehen, der das Kabel an die Elektronenkanone anschließt» Der in Fig. 1 veranschaulichte Anschluß ist besonder geeignet, um eine Elektronenkanone zu halten, sie zu kühlen und ihr Energie zuzuführen«
Zum Zuführen eines passenden Kühlmittels zum Kühlen der Elektronenkanone ist ein Kühlrohr 50 vorgesehen„ Das Kühlrohr ist im Inneren des zentralen ersten rohrförmigen Leiters 10 angeordnet und wird in von ihm getrennter ^age gehalten, wobei es in der Nähe einer Fokussierungselektrode 54der Elektronenkanone gehalten wird, die aus einem im wesentlichen rech eckigen Block aus leitfähigem Material besteht, bomit kann das Kühlmittel, beispielsweise Wasser, über das offene Ende des Kühlrohres 50 ausströmen und über den ringförmigen Zwischwi
ο raum 52 zwischen dem Kühlrohr 50 und dem zentralen Leiter 10 ο
*° in einen passenden ( nicht dargestellten)Abfluß zurückströmen. ^ Das Kühlrohr 50 ist aus nichtleitenden Material, beispielsweise ο aus Nylon, hergestellt!» ua ein Überschlagen zwischen dem zen-
tralen Leiter 1O11 und de« Kühlrohr 50 zu vermeiden«
OfHOINAL 5
-7-
Der zentrale Leiter 10 ist an die Fokussierungselektrode 54 elektrisch angeschlossen, die ihrerseits an ein Ende des stabförmigen Heizfadens 34 angeschlossen ist. Wie gezeigt) ragt der zentrale Leiter IO in eine in der Fokussierungselektrode 54 vorgesehene Öffnung 58 hinein, so daß er außerdem zum Halten der Fokussierungselektrode 54 dient. Der zentrale Leiter 10 ist mit Hilfe passender Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, gegen die Wände der Öffnung 58 vakuumdicht abgedichtete Der zentrale Leiter 10 ist um das Kühlrohr 50 herum konzentrisch angeordnet und ist vorzugsweise aus einem Rohr aus leitfähigem Material, wie beispielsweise Kupfer, hergestellt. Der zweite rohrförmige Leiter 14 steht mit dee anderen Ende des Heizfadens 34 in Verbindung, um ihn auf diese Weise aufzuheizen« Der zweite rohrförmige Leiter 14 ist um den zentralen Leiter 10 herum konzentrisch angeordnet, wobei er durch den ersten Isoliermantel 38 von ihm getrennt gehalten wird. uer zweite rohrförmige Leiter 14 endet in einer vorbestimmten Entfernung unterhalb des Endes des zentralen Leiters 10,
Auf (*rund des im geschlossenen ^aum bestehenden Hochvakuums ist es zweckmäßig, das Ende des Kabels so zu bauen, daß es vakuumdicht ist· Dazu ist eine erste vakuumdichte Dichtung 59 zwischen dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 und dem zentralen Leiter 10 vorgesehen. Die vakuumdichte Dichtung
ω besteht aus einer ringförmigen Hülse 62 aus passendem Isolieren
χ-· material, wie beispielsweise Aluminiumoxyd, die« zwischen dem cn
*** Ende des zweiten rohrförmigen Leiters 14 und dem zentralen JJ Leiter 10 eingesetzt ist. Die Hülse 62 aus isolierendem Mate-
BAD OWOlHAL
—8—
rial wird in ihrer richtigen Lage gehalten, indem an ihrem oberen und an ihrem unteren Ende je ein Tragring (spider cup) 66 bzw. 68 angeordnet ist, die jeweils gegenüber dem zentralen leiter 10 bzw. dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 durch passende Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, vakuumdicht abgedichtet sind.
An dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 ist in der Nähe seines oberen Endes ein Anschluß 72 vorgesehen» -^wiwchen
^ dem Anschluß 72 und dem Heizfaden 34 ist ein Leiter 76 angeschlossen, um den zweiten rohrförmigen ^eiter 14 mit dem Heizfaden 34 elektrisch zu verbinden. Zwischen einem Teil des Heizfadens 34 und der Fokussierungselektrode 54 ist, wie gezeigt, ein aus einem passenden Isoliermaterial, wie beispielsweise Teflon (Wz.), hergestelltes isolierendes Distanzstück 80 angebracht. Somit ist zwiwehhen dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 und dem zentralen Leiter 10 ein geschlossener Stromkreis hergestellt. Dieser Stromkreis verläuft von dem Anschluß 72 in der Nähe des oberen Endes des zweiten rohrförmi-
w gen Leiters 14 aus über den Leiter 76, den ueiz«ie§n34 und über die Fokussierungselektrode 54 zu dem zentralen Leiter 10„
Da der Spannungsabfall am Heizfaden 34 verhältnismäßig gering ist, befinden sich der zentrale Leiter 10 und der zweite rohrförmige Leiter 14 im allgemeinen auf fast dem gleichen Potential. Somit kann der zwischen dem zentraleh Leiter 10 und dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 angeordnete erste Isoliermantel 18 verhältnismäßig dünn sein.
Im wesentlichen in der Nähe der Fokussierungselektrode 54 und parallel zum Heizfaden 34 ist eine stabförmige
(109846/0287
Beschleunigungselektrode 84 der Elektronenkanone angeordnet. Die Beschleunigungselektrode 84 wird gegenüber der Fokussierungselektrode 54 auf einem sehr hohen positiven Potential gehalten, so daß ein elektrostatisches Feld entsteht, mittels dessen die von dem Heiafaden 34 emittierten Elektronen beschleunigt werden« Dies wird dadurch erreicht, daß die Elektrode 84 auf Erdpotential gehalten wird, indem sie mit dem geerdeten dritten rohrförmigen Leiter 26 verbunden wird. Dazu ist auf den dritten rohrförmigen Leiter 26 nahe seinem Ende ein ringförmiger Flansch 88 vorgesehen, der vorzugsweise mit ihm verlötet ist. Angrenzend an den Flansch 88 ist, vorzugswvvise durch Verlöten, eine im wesentlichen ü-förmige leitfähige Halterung 92 an dem dritten rohrförmigen Leiter 26 befestigt« Die Halterung 92 erstreckt sich nach oben und ist mit der Beschleunigungselektrode 84 verbunden, indem die Elektrode 84 in zwei in den Wänden der Halterung 92 vorgesehenen, einander gegenüberliegenden Schlitzen 94 und 95 angebracht ist, so daß die Beschleunigungselektrode sowohl gehalten wird als auch mit dem geerdeten dritten rohrförmigen Leiter elektrisch verbunden ist· Da der Heizfaden 34 mit einem verhältnismäßig hohen negativen Potential gespeist wird, während die Beschleunigungselektrode 84 auf Erdpotential gehalten wird, befindet sich die Beschleunigungeelektrode 84 gegenüber den Heizfaden 34 auf einem hohen positiven Potential, so daß folglich das erforderliche elektrostatische Feld entsteht.
Da zwischen den zweiten rohrförmigen Leiter 14 und den geerdeten dritten rohrförmigen Leiter 26 ein erheblicher Potentialunterschied besteht, ist der zwischen ihnen angeordne»
009846/0287
«10-
te Isoliermantel 22 verhältnismäßig dick, um ein Über- oder Durchschlagen auszuschließen» Der Isoliermantel 22 erstreckt sich über das mit einem Flansch versehene Ende des dritten rohrförmigen Leiters 26 hinaus und endet zwischen dem Ende des dritten rohrförmigen Leiters 26 und dem Ende des zweiten rohrförmigen Leiters 14o Der Isoliermantel 22 ist vorzugsweise aus einem verhältnismäßig stabilen Material mit niedrigem Dampfdruck, beispielsweise aus Teflon (Wz«) hergestellt«
™ Zwischen dem dritten rohrförmigen Leiter 26 und dem
zweiten rohrförmigen Leiter 14 ist eine zweite Vakuumdichtung 99 vorgesehen·* Die Dichtung 99 führt eine wesentliche mechanische Stützung für das Ende des Kabels herbei <> Sie besteht aus einer auf dem Flansch 88 angeordneten Hochspannungsisoliermuffe 100, die um einen vorbestimmten, oberhalb des Flansches 88 hinausragenden Abschnitt des Isoliermantels herum angeordnet ist.
Die Isoliermuffe 100 ist an ihrem unteren Ende
) mittels eines Tragrings (spider cup) 104 an dem Flansch 88 und an ihrem oberen Ende mittels eines zweiten Tragringes an dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 befestigt« Der Tragring 104 ist mit Hilfe passender Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, gegen den Flansch 88 vakuumdicht abgedichtet· Außerdem ist der Tragring 108 gegen den zweiten rohrförmigen Leiter 14 und gegen die Isoliermuffe 100 vakuumdicht abgedichtet, so daß die Vakuumabdichtung zwischen dem dritten rohrförmigen Leiter 26 und dem zweiten rohrförmigen Leiter vervollständigt wird. Die Isolierauffe 100 hat die Form einer Hülse aus Hochspannungsisoliermaterial, de aus einem isolieren-
009846/0287 -n-
den Werkstoff, wie beispielsweise Aluminiumoxyd, hergestellt ist und eine mit ringförmigen Rippen versehene Außenfläche besitzt« Die mit ringförmigen Rippen versehene Außenfläche ist insofern erwünscht, als sie die Kriechstrecke an der Oberfläche der Isolierung vergrößert und somit das Auftreten eines überschlagens verhindert.
Da die Isoliermuffe 100 vorgesehen ist, um das Vorhandensein von Kriechspannungen (voltage creepage) auf ein Mindestmaß herabzusetezen und auf diese Weise einen Schutz gegen Überschlagen durch Vergrößern der ivriechstrecke herbeizuführen, ist es vorteilhaft, die mit ringförmigen Rippen versehene Fläche der Isoliermuffe in der Weise zu schützen, daß ihre Isoliereigenschaften erhalten bleiben. Ein solcher Schutz ist ganz besonders erwünscht im Hinblick auf das Vorhandensein von leitfähigen Dämpfen in einem Elektronenofen, die auf die Oberfläche der Isoliermuffe 100 niederschlagen könnten. Aus diesem Grunde ist die Dampfabschirmung 38 vorgesehen.
Die Dampfabschirmung 38 ist um die Isoliermuffe 2100 herum so angeordnet, daß sie sie im wesentlichen einschließt« Die Dampfabschirmung hat im wesentlichen die Form einer umgestülpten Schale, deren ttrundflache 46 oberhalb des oberen Endes der Isoliermuffe 100 angeordnet und mit dem zweiten rohrförmigen Leiter 14 elektrisch verbunden ist, wobei sich ihr Randabschnitt in der Nähe des unteren Endes der Isoliermuffe 1OU befindet. Da die Dampfabschirmung 38 an den zweiten rohrförmigen Leiter 14 elektrisch angeschlossen ist, wird sie auf einem verhältnismäßig hohen negativen Potential gehalten und sie dient somit dazu, die Isoliermuffe 100, die sie einschließt, vor dem Niederschlag aus leitfähigen Dämpfen zu
009846/0287
-12-
schützen. Die Dampfabschirmung 38 ist aus einem nicht korrodierenden Material, beispielsweise aus Tantal, hergestellt.
Der vorstehend beschriebene Kabelanschluß führt zu einem haltbaren abgeschirmten Bauteil zum Speisen einer Elektronenkanone mit Hochspannung bei gleichzeitiger Herabsetzung des Auftretens von Lichtbogen auf ein Mindestmaße Darüber hinaus führt die besondere Ausbildung ein wesentliches Abschirmen des Kabelanschlusses gegen Hochfrequenzaufnahme herbei, indem zwischen dem zentralen ersten rohrförmigen und dem zweiten rohrförmigen Leiter und Erde eine hohe Ableitkapazität (shunting capacitance) vorgesehen wird, so daß die den anderen Schaltungselementen zugeführten Hochfrequenzkomponenten verringert werden. Dazu ist die untere Kante der sich auf einem verhältnismäßig hohen negativen Potential befindenden Dampfabschirmung 38 verhältnismäßig nahe dem sich auf Erdpotential befindenden Flansch 88 angeordnet. Auf Urund dieses verringerten Abstandes ist die Kapazität verhältnismäßig hoch.
Fig. 2 zeigt eine in im wesentlichen senkrechter Lage angeordnete zweite Ausführungsform der Erfindung, bei welcher die mit Fig. 1 übereinstimmenden Teile mit den gleichen ^ezugszeichen wie in Fig. 1 versehen sind unter Hinzufügung des Buchstabens "a"«
Das Ende des Kübels ist mit einem Kabelanschluß zum Anschließen des Kabels an eine Elektronenkanone versehen, der gewünschtenfalls sowohl einen Halter für die Elektronenkanone bilden als ihr auch Energie zuführen kann.
-13-
:*fl-Cr-e'e W/ 0 2 8 7
, Erforderlichenfalls ist in dem zentralen rohrförmigen Leiter 10a ein (nicht dargestelltes) passendes Kühlrohr angeordnet zum Bewirken des Kühlens der Fokussierungselektrode der Elektronenkanone.
Der zweite Isoliermantel 22a, der zwischen dem zweiten rohrförmigen Leiter 14a und dem geerdeten dritten rohrförmigen leiter 26a angeordnet ist«,ragt um eine vorbestimmte Strecke über das obere Ende des dritten rohrförmigen Leiters 26a hinaus und endet unterhalb des oberen Endes des zweiten rohrförmigen Leiters 14a«
Jedoch wird der zweite rohrförmige Leiter 14a mit einem gegenüber Erde sehr hohen Potential gespeist« Somit bieten die Isoliereigenschaften des zweiten Isoliermantels 22a wieder einen unzureichenden Schutz gegen das evtl. Auftreten eines Überschlagens zwischen dem sich über den zweiten Isoliermantel 22a hinaus erstreckenden Abschnitt des zweiten rohrförmigen Leiters 14a und dem oberen Ende des geerdeten dritte* rohrförmigen Leiters 26a als Folge des Auftretens eines Kriechens der Spannung (voltage creepage)· Deshalb ist ein länglicherm rohrförmigen keramischer Hochspannungsisolators 112 in getrennter Lage um den oberen Abschnitt des zweiten Isoliermantels 22a herum angeordnet, der sich im wesentlichen vom oberen Ende des Isoliermantels 22a bis zum oberen Ende des dritten rohrförmigen Leiters 26a erstreckt.
Der keramische Isolator 112 ist im wesentlichen rohrförmig, jedoch hat er an seinem oberen Ende einen sich nach innen erstreckenden Absatz 116, der an seinem Inneren Ende in
009846/0287
einen im wesentlichen stufenförmigen Abschnitt 120 übergeht» Der sich nach innen erstreckende Absatz 116 des keramischen Isolators 112 ist auf dem oberen Ende des zweiten Isoliermantels 22a angeordnet, wobei er in seiner richtigen Lage gehalten wird, indem um den stufenförmig ausgebildeten Abschnitt 120 des Isolators 112 ein passender Tragring 124 angeordnet ist. Der Tragring 124 ist gegenüber dem Abschnitt 120 sowie gegenüber dem zweiten rohrförmigen Leiter 14a mit Hilfe passender Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, vakuumdicht abgedichtete Ein passender Halt für das untere Ende des keramischen Isolators 112 wird herbeigeführt, indem man um das untere Ende des Isolators 112 einen Tragring 128 anbringt. Der Tragring 128 ist in seiner richtigen Lage mit Hilfe passender Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, ebenfalls vakuumdicht abgedichtete Der keramische Isolator 112 ist aus einem Werkstoff mit sowohl guter baulicher Festigkeit als auch ausgezeichneten elektrischen Isoliereigenschaften, beispielsweise aus einem Aluminiumoxydzylinder von hoher Dichte, hergestellt«
Ein Halt für den das untere Ende des Isolators 112 in seiner richtigen Lage haltenden Tragring 128 wird dadurch herbeigeführt, daß man ein verhältnismäßig kurzes zylindrisches Halterungsteil 132 in abdichtender Lage aussen um den Tragring 128 herum anbringt und die Verbindung durch hartlöten herstellt ο Das untere Ende des Haiterungsteiis 132 ist un passender Weise in einem im Hand des Ringflansches 88a vorgesehenen gestuften Abschnitt 136 befestigt. Der Flansch 88a ist auf das Ende des dritten rohrförmigen Leiters 26a gelötet und wird von
dem Halterungsteil 132 gehalten. Das obere Ende des Halterungsteils 132 ist an seinem starren geerdeten Halterungsteil 140 befestigte das aus Stahl hergestellt sein kann* Zwischen dem "alterungsteil 132 und dem geerdeten "alterungsteil 140 ist eine torische Ringdichtung (O-ring seal) 141 vorgesehen, um zwischen diesen beiden Teilen eine vakuumdichte Abdichtung herzustellen«, Das Halterungsteil 132 ist aus einem starren leitfähigen Werkstoff, wie beispielsweise Stahl, hergestellt und legt also das Ende3 des dritten rohrförmigen Leiters 26a an Erde.
Der Spannungsgradient an den Flächen des Isolators 112 ist an seinem unteren Ende, an welchem er sich in der Nähe des geerdeten Flansches 88a befindet, naturgemäß am größteno Somit wird das elektrische Feld mehr in diesem Bereich konzentriert, so daß eine Koronarentladung auftreten kanne Um diese Möglichkeit auf ein Mindestmaß herabzusetzen, sind Mittel vorgesehen, um das Spannungsgefälle an diesen Flächen optimal zu gestalten, indem es möglichst niedrig gehalten wird, so daß eine Konzentrierung des elektrischen Feldes ausgeschlossen wird und folglich das Auftreten einer Koronarentladung unwahrscheinlich ist. Es wird also im unteren Teil des Zwischenraumes zwischen dem Isolator 112 und dem Isoliermantel 22a ein im wesentlichen rohrförmiger Spannungsgefälleregler (voltage gradient controller) 144 angebracht und sowohl zu dem Isolator 112 als auch zu dem Isoliermantel 22a in getrennter ^age gehalten. Das untere Ende des Sp?*nnungsgefällereglers 144 1st in einer Nut 146 der Oberseite des Flansches 88a angeordnet und somit geerdet. Das obere
009846/0287 ΏΑΛΛβ
BAfr ORIGINAL
-16-
Ende des Spannungsgefällereglers 144 erstreckt sich nach oben über das untere Ende der Dampfabschirmung 38a hinaus. Der Spannungsgefälleregler 144 ist aus einem leitenden Werkstoff, beispielsweise gus Stahl, hergestellt und dient dazu, das Spannungsgefälle auf der Innenseite des keramischen Isolators 112 optimal zu gestalten, d.h. es möglichst niedrig zu halten, damit ein Überschlagen verhindert wird.
Außen um den Isolator 112 herum ist ein im wesentfc liehen mit dem Spannungsgefälleregler 144 übereinstimmender Spannungsgefälleregler 148 angeordnet, um auf der Außenseite des isolators 112 das Spannungsgefälle in gleicher Weise optimal zu gestalten ο Das untere Ende des Spannungsgefällereglers 148 besitzt einen nach außen gerichteten Absatz 152, der in einer durch den inneren ^and des lAaltungsteils 140 und durch einen nach innen gerichteten Absatz 160 des Halterungsteils 132 abgegrenzten Nut 156 angeordnet ist» Das untere Ende des Spannungsgefällereglers 148 ist somit ae das geerdete Halterungsteil 140 elektrisch angeschlossen· Das obere Ende des Spannungsgefällereglers 148 erstreckt sich etwa um die gleiche Strecke nach oben wie beim Spannungsgefälleregler 144. Die Wand des ebenfalls aus Stahl hergestellten Spannungsgefällereglers 148 weist eine allgemein von unten nach oben abnehmende Dicke auf, so daß sie an ihrer Oberseite dünner ist als an ihrer Unterseite. Folglich ist der obere Teil der Wand des Spannungsgefällereglers 148 von dem keramischen isolators 112 weiter entfernt als der untere Teil der Wand. Dies ist zwoell mäßig und vorteilhaft, da die Spannung an der Fläche dt! μ U(1I am j sehen isolators 112 in seinem oberen Teil, in welchem
0 0 9 8 Λ 6 / 0 2 8 7
BAD ORIGINAL _1?_
er dem oberen Ende des zweiten rohrförmigen Hochspannungsleiters 14a näher ist, am größten ist»
Im Hinblick auf die dampfhaltige Umgebung in dem Elektronenstrahlofen ist es zwedkmäßig, für die Flächen des Hochspannungsisolators 112 einen Schutz vorzusehen» Sofern ein solcher Schutz nicht herbeigeführt würde, könnten sich an dem Isolators 112 leitfähige Dämpfe absetzen, was den Verlust eines Teiles seiner Isolierfähigkeit herbeiführen und möglicherweise zum Auftreten-eines Überschlagens führen würde. Aus diesem Grunde ist also die Dampfabschirmung 38a vorgesehen, die im wesentlichen die Form einer umgestülpten Schale aufweist mit einer Grundfläche 164, in welcher eine uffnung 168 vorhanden ist, und einer zylindrischen, sich nach unten erstreckenden Wand 172, die mit Hilfe passender Nieten 176 an der Grundfläche 164 befestigt ist. Die Grundfläche 164 ist um den zweiten rohrförmigen Leiter 14a herum angebracht und wird in ihrer richtigen ^age gehalten, indem sie an einem im wesentlichen rohrförmigen Halterungsteil aus Stahl mit einem sich nach innen erstreckenden Absatz befestigt ist, der auf einem Hand 184 einer um den zweiten rogrförmigen Leiter 14a herum angeordneten Kupfermuffe 188 befestigt ist. Die Kupfermuffe 188 ist an den zweiten rohrförmigen Leiter 14a gelötet und wird mit ihm in elektrischen Kontakt gehalten. Durch miteinander übereinstimmende, wich deckende Öffnungen 196 der Grundfläche 164, der Dampfabscnirmang 3üa, des Halterung«teils 180 und doa Karnies 194 daν Muff« 188 ist eine Kopfschraube 1Ü2 eingeführt und festgeschraubt s ho daß die Grundfläche 164 :1er- Dampf abschirmung in
, aO 9 8 4 6/0237 BM>onmm
-18-
ihrer richtigen Lage gehalten wird. Die zylindrische Wand der Dampfabsehirmung 38a ist in ihrem Durchmesser größer als der Spannungsgefälleregler 148 und sie erstreckt sich nach unten in der Weise, daß sie unterhalb des oberen Endes des Spannungsgefällereglers 148 endet und somit den isolator 112 einschließt, d.h. abschirmt»
Da die urundflöche 164- der Dampfabschirmung· 38a über die Kupfermuffe 188 an den zweiten rohrförmigen Leiter 14a ^ elektrisch angeschlossen ist, wird die Dampfabschirmung 38a gegenüber Erde auf einem sehr hohen negativen Potential gehalten, so daß sie dazu dient, den Isolators 112 vor der Ablagerung bzw. dem Niederschlag leitfähiger Dämpfe an seiner Oberfläche zu schützen . Darüber hinaus dient das um das obere Ende des Isolators 112 herum angeordnete Halterungsteil 180 aus Stahl als zusätzlicher Spannungsgefälleregler, um das Spannungsgefälle im oberen Teil des Isolators optimal zu gestalten und ein Überschlagen zu verhindern.
In bestimmten Fällen ist es zweckmäßig, mit dem zweiten rohrförmigen Leiter 14a bzw. dem zentralen Leiter 10a in elektrischer Verbindung stehende leitfähige Anschlußklemmen 208 und 212 vorzusehen, an die sich geeignete Leiter anklemmen lassen, um dem (nicht dargestellten) Heizfaden der Elektronenkanone Energie zuzuführen. Die Anschlußklemme 2Ü8 ist um die Muffe 188 herum angeordnet, sp daß sie mit dem zweiten rohrförmigen Leiter lla in elektrischer Verbindung steht. Die Klemme 208 läßt sich dann an den (nicht darge-stelL-ten) ^oizfnden anschließen« Sie ist mit HiIi-? eines H 216 fest anliegend um die Iwipfermuffe IBB herum bofus
OQJ846 40 2 8 7 bad
In dem zentralen Leiter lOa ist ein im wesentlichen zylindrischer leitender Leitungsanschluß 220 mit einem Absatz 224 angeordnet. Der Absatz 224 ruht auf dem oberen Ende des zentralen Leiters 10a und dient dazu, den Leitungsanschluß 220 in elektrischem Kontakt mit dem zentralen Leiter IO in seiner richtigen ^age zu halten. Die Anschlußklemme ist um das obere Ende des ^eitungsanschlußes 220 so angeordnet, daß sie mit ihm in elektrischer Verbindung steht, und sie ist mittels eines Bolzens 228 fest gegen ihnanliegend befestigte Die Klemme 212 läßt sich dann an die (nichtdargestellte) Kathode anschließen.
Um das Auftreten eines Überschlagens zwischen dem Leitungsanschluß 220 und der Muffe 188 zu verhindern, ist im wesentlichen um den Teil des Leitungsanschlusses 220, der sich zwischen der Anschlußklemme 212 und dem: oberen Ende des zentralen Leiters 10 befindet, eine isolierende Hülse 232 aus einem isolierenden Werkstoff, wie beispielsweise Teflon (Wz.), angeordnet. Die isolierende Hülse 232 wird dadurch in ihrer richtigen Lage gehalten, daß ein sich zwischen der Hülse 232 und einem am oberen Ende der Muffe 188 vorgesehen Absatz 240 erstreckender Haltering 236 angebracht ist« Der Haltering ist gegenüber der isolierenden Hülse 232 und gegenüber dem Absatz 240 vorzugsweise mit Hilfe geeigneter Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, vakuumdicht abgedichtet.
Um die isolierende Hülse 232 vor der Ablagerung eines 1 erntenden Überzugs oder Nieschlags auf ihrer Oberfläche zu schützen, (i<;r ihre I hoJ it?reig;enHehaf ton beeinträchtigen würde, i>i am W(1HCi! { ί i« hen um dio HuI «>' iW.l Ικτπηι eine vorzupswei sei
fm'» M. fl / ί '\) (M
' - 20 -
aus Tantal hergestellte verhältnismäßig kleine Dampfabschirmung 242 angebracht. Die Dampfabschirmung ist an einem auf dem oberen Ende der Hülse 232 angebrachten Halterungsteil befestigt.
Es ist allgemein erwünscht, das Auftreten von Korona-Entladungen in den Zwischenräumen oder Lücken des Kabelanschlusses zu verhinderno Dazu wird in diese Hohlräume über eine in dem Flansch 88a vorgesehene Öffnung 248 ein b Material mit passender hoher Durchschlagsfestigkeit, wie beispielsweise ein Schmierfett auf Silicium-Basis, hm eingebracht. Die öffnung 248 wird dann mittels eines in ihr angebrachten Stopfens 252 in geeigneter Weise verschlossen oder abgedichtet.
Auf diese Weise wird ein Kabelanschluß erzielt, der eine Abschirmung gegenüber den in einem Elektronenstrahlofen vorhandenen korrodierenden Dämpfen und einen Schutz gegen Durchschlagen oder Überschlagen aufweist, woraus sich ein sehr haltbarer Kabelanschluß ergibt» darüber hinaus führt der Kabelanschluß eine verhältnismäßig hohe Kapazität zwischen den Hochspannungsleitern und Erde herbei, was zum Ableiten (shunting) von Hochfrequenzkomponenten zur Erde führt, so daß schädliche Auswirkungen auf sonstige Schaltungselemente verhindert werden.
Fig. 4 zeigt eine im wesentlichen in setirechter Lage angeordnete weitere Ausführungsform der Erfindunge Diese Ausführungsform stimmt im wesentlichen mit der Ausführungsform nach Fig. 2 und 3 überein, so daß mit den Teilen nach Fig, 2 übereinstimmende Teile mit den gleichen ^ezugszeichen
BAD OWGlNAL
versehen sind unter Hinzufügung des Buchstabens "b"o Diese Ausführungsform eignet sich besonders zur Herbeiführung einer ausgezeichneten Abschirmung gegen die Ablagerung von leitfähigen Dämpfen sowie zur Erteutung eines niedrigen Spannungsgefälles an den Flächen des keramischen Isolators 112b» Bei dieser Ausführungsform ist zwischen dem keramischen Isolator 112b und dem Isoliermantel 22b kein Spannungsgefälleregler vorgesehen. Demzufolge ist der Durchmesser des Isolators 112b nur etwas größer als der Durchmesser des Isoliermantels 22b. Sofern eine Kühlung für die Fokussierungselektrode der Elektronenkanone vorgesehen werden soll, kann in dem zentralen Leiter lOb zu ihm konzentrisch ein (nichtflargestelltes) passendes Kühlrohr angebracht werden.
Der gpit dem dritten rohrförmigen Leiter 26b verlötete ringförmige Flansch 88b ist mit einem im wesentlichen rohrförmigen Teil 254 versehen, der sich nach oben bis etwa zur Oberseite des Halterungsteils 140b erstreckt. Der rohrförmige Teil 254 umgibt das untere Ende des Isolators 112b«> uer Flansch 88b dient dem Isolator 112b als Halterung= Dazu ist zwischen einer an der oberen Stirnseite des rohrförmigen Teils 24 254 des Flansches 88b vorgesehenen, nach oben herausstehenden Randleiste 256 und dem Isolator 112b ein Tragring 255 angeordnet, der mit Hilfe geeigneter Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, in seiner richtigen Lage vakuumdicht angebracht iafc. Ein weiterer Tragring 258 Ist um das obere Ende
und des Isolators 112b heraum angeordnet/mit Hilfe geeigneter •Mittel, beispielsweise durch Hartlöten, in seiner richtigen Lage vakuumdicht angebracht«.
OOS846/Ö207 -22-
Der Flansch 88b ist mit einem sich nach aussen erstreckenden Absatz 260 versehen, der gegen die untere Stirnfläche des geerdeten Halterungsteils 140b anliegt. Der Flansch 88b ist fest anliegend gegen das Halterungsteil 140b befestigt, indem unter dem Absatz 260 ein ringförmiger Flansch 264 angebracht und der ringförmige Flansch 264 mittels bchrauben 268 an dem Halterungsteil 140b befestigt ist ο Zusätzlich ist zwischen dem Absatz 260 und dem geerdeten Halterungsteil 140b eine torische Ringdichtung 270 vorgesehen zur Herstellung einer vakuumdichten Abdichtung zwischen diesen Teileno
Um einen öchutz gegen Kriechspannungen herbeizuführen, die auf der Außenfläche des Isolators 112b auftreten können, ist um den Isolators 112b herum in von ihm getrennter ttage ein Spannungsgefälleregler 272 angebracht«. Das untere Ende des Spannungsgefällereglers 272 ist um die Außenfläche der Randleiste 256 des rohrförmigen Teils 254 des Flansches 88b herum angeordnet und wird folglich auf Erdpotential gehalten, während sich der obere Teil des Spannnungsgefällereglers soweit nach oben erstreckt, daß er unterhalb des oberen Endes des Isolators 112b endet.
Die Dampfabschirmung 38b ist um den Spannungsgefälleregler 272 und um den Isolators 112b herum angeordnet. Die Wand 172b der Dampfabschirmung 38b erstreckt sich so weit nach unten, daß sie unterhalb des oberen Endes des Spannungsg^älie— regiere 272 endet.
Ein Halt für die Dampfabschirmung 38b wird mittels einer Muffe 267 hei beigeführt, doe um das obere Ende des zweiten rohrförmigen Leiter s 14b angebracht und nsit ihn in «fok-
009846/0287
BAD ORfGJNAL -.LW-
trischer Verbindung gehalten wird. Die Muffe 276 ist in der Nähe ihres unteren Endes mit einem Flansch 280 versehen, Auf dem Flansch 280 ist ein rohrförmiges Halterungsteil 284 für die Dampfabschirmung angebracht, das einen auf dem Flansch ruhenden, sich nach innen erstreckenden Absatz 288 aufweist. Das Iialterungsteil 284 erstreckt sich soweit nach unten, daß es in der Nähe des oberen Endes des Isolators 112b. endet und somit als zusätzlicher SpannungsgtfäLleregler dient, der das Spannungsgefälle am oberen Ende des Isolators 112b optimal gestaltet» Die Basis oder Grundfläche 164b der ^ampfabschirmung 38b wird dann auf der Oberseite des Absatzes 288 angebracht und über die Muffe 276 an den zweiten rohrförmigen Leiter 14b elektrisch angeschlossen. Auf diese Weise wird die Dampfabschirmung 38b also gegenüber Erde auf einem hohen negativen Potential gehalten und dient zum Schütze des Isolators 112b gegen Ablagerung von leitfähigen Dämpfen auf seiner Oberfläche.
Zum Verhindern des Auftretens von Korona-Entladungen wird in den Hohlräumen und Lücken des Kabelanschlusses ein passendes dielektrisches Material, beispielsweise Silikonfett, angebrannt. Dazu ist der Flansfah 88b mit einer öffnung 248b versehen, durch die das Silikonfett in die Hohlräume eingebracht wird, Darauf wird der Stopfen 252b in der Öffnung 248b angebracht, um sie vakuumdicht zu verschliessen«
Auf diese Weise wird ein Kabelanschluß erzielt, der, wie vorstehend beschrieben, zahlreiche Vorteile hat. Obwohl der Kabelanschluß im vorstehenden als zur Speisung einer Elektronenkanone in einem Hochvakuumofen mit Hochspannungsenergie als besonders zweckmäßig beschrirben worden ist,
leuchtet ein, daß ein "^ÜbeJanschluß gemäß der Erfindung auch
0098A6/0287 BÄD oalG|NAL _24_
zur Energiezufuhr für zahlreiche andere Vorrichtungen geeignet istο beispielsweise läßt er sich vorteilhaft zum Zuführen von Energie in Beschleuniger, Kernverschmelzungsvorrichtungen und die verschiedenartigsten sonstigen, in einem evakuierten verschlossenen Kaum angeordneten elektrischen Geräten verwenden, insbesondere dann, wenn ein Durchtritt duEch die Wände eine» veschlossenen Raumes erfolgt und das Vakuum aufrechterhalten bleiben soll·
Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die beschriebenen und dargestellten Ausführungsformen beschränkt. Man kann daran zahlreiche, dem Fachmann entsprechend der beabsichtigten Anwendung naheliegende Abänderungen vornehmen,
man
ohne daß/ dadurch den Bereich der Erfindung verläßt.
009846/0287 bad original
-23-

Claims (8)

— 2*5 — ~ - - Patentansprüche
1. Anschluß für Hochspannungs-Koaxialkabel zur Energiespeisung eines Heizfadens (Kathode) und einer Beschleunigungselektrode einer in einem Hochvakuum-Elektronenofen angeordneten Elektronenkanone, bestehend aus einem zentralen ersten rohrförmigen leiter, einem um den zentralen leiter herum konzentrisch angeordneten und von ihm isolierten zweiten rohrförmigen leiter, einem um den zweiten rohrförmigen leiter herum angeordneten Isoliermantel und einem um den Isoliermantel herum angeordneten, in einem Abstand vom Kabelende endenden dritten rohrförmigen leiter, wobei der zentrale erste rohrförmige leiter und der zweite rohrförmige leiter an den Heizfaden der Elektronenkanone in zu ihr vakuumdi cht abgedichteter lage angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine im wesentlichen schalenform!ge Dampfabschirmung (38) aus leitfähigem Material vorgesehen ist, die in ihrer Basis (46) eine Öffnung (42) aufweist, durch die der zweite rohrförmige leiter (14) und der zentrale leiter (10) hindurchragen, und daß die Abschirmung (38) mit dem zweiten rohrförmigen leiter (14) in elektrischer Verbindung at.eht und den elektrischen leoliermantel (22) in von ihm und von dem dritten rohrförmigen leiter (26) getrennter lage im wesentlichen einschließt bzw. umgibt·
009846/0287 „D owelNAU
-26-
2. Anschluß nach Anspruch 1, bei welchem der zweite rohrförmige Leiter von dem zentralen Leiter durch einen zwischen dem zentralen Leiter und dem zweiten rohrförmigen Leiter angeordneten, verhältnismässig dünnen ernten Isoliermantel isoliert ist, der auf dem zweiten rohrförmigen Leiter angebrachte Isoliermantel verhältnismäßig dick ist, der dritte rohrförmige Leiter in einem Abstand vom Kabelende endet, damit ein unbedeckter Seil des zweiten Isoliermantels entsteht, wobei Mittel vorgesehen sind, um den dritten rohrförmigen Leiter an die Beschieunigungselektrode der Elektronenkanone anzuschiiessen, dadurch gekennzeichnet, daß um den unbedeckten Seil des zweiten Isoliermantels (22) herum eine Muffe (ISO) aus keramischen Hochspannungsisoliermaterial angeordnet ist, die auf ihrer Aussenseite im wesentlichen ringföimige Rippen aufweist, um an ihr Kriechspannungen (voltage creepage) auf ein Mindestmaß herabzusetzen, und die zu dem zweiten Isoliermantel (22) in vakuumdicht abgedichteter Lage gehalten wird, wobei die Dampfabschirmung (38) die Muffe (100) aus keramischem Hochspannungaiäolieriaaterial in von ihr getrennter Lage einschließt bzw. umgibt.
3. Anschluß naoh Anspruch 1 oder 2, bei welchem die Mittel zum Anschließen des zentralen Leiters und des zweiten rohrförmigen Leiters an den Heizfaden (Kathode) der Elektronenkanone aus Anschlußklemmen bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß die Muffe (112) aus keramischen
8 4 8/0287 BAD original
-27-
.„- ■ 16Λ0824
Hochspannungsisoliermaterial eine Muffe aus Aluminiumoxyd-Hochspannungsisoliermaterial ist, wobei nahe der Oberfläche der Muffe (112) aus Aluminiumoxyd-Hochs pannungs isoliermaterial Mittel (144» 148) amgeordnet sind, um an der Oberfläche der Muffe (112) ein geringes Spannungsgefälle aufrechtzuerhalten, während die Dampfabschirmung (38a) im wesentlichen einen vorbestimmten Teil der Muffe (112) aus Aluminiumoxyd-Hochspannungsisoliermaterial in von ihr getrennter Lage einschließt bzw. umgibt.
4. Anschluß nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Muffe (112) aus keramischen Hochspannungsisoliermaterial in zum zweiten Isoliermantel (22a) und zum zweiten rohrförmigen Leiter (14a) getrennter Lage gehalten wird, wobei Mittel vorgesehen sind, die zwischen dem dritxen rohrförmigen Leiter (26a) und dem zweiten rohrförmigen Leiter (14a) eine vakuumdichte Abdichtung bewirken, die Mittel, die an der Oberfläche der Muffe (112) aus keramischem Hochspannungsisoliermaterial ein geringes Spannungsgefälle aufrechterhalten, aus einer zwischen dem zweiten Isoliermantel (22a) und der Mu_.fe (11^) aus keramischem Hochspannungsisoliermaterial in von ihnen getrennter Lage angeordneten erster Hülse (144) aus leitfähigem Material, einer aussen um die Muffe (112) aus keramischem iiochspannungsisoliermatorial in von ihr getrennter Lage angeordneten zweiten
Hülae (148) aus leitfähigeia material und aus-Mitteln 009846/0287
bestehen, um ein Ende der ersten Hülse (144) aus leitfähigem Material und ein Ende der zweiten Hülse (148) aus leitfähigem Material zu erden, während das andere Ende der zweiten Hülse (148) aus leitfähigem Material von der Dampfabschirmung (38a) in von ihr getrennter Lage eingeschlossen bzw, umgeben ist.
5, Anschluß nach Anspruch 3 oder Af dadurch gekennzeichnet, daß die erste Hülse (144) aus leitfähigem Material zwischen dem zweiten Isoliermantel (22a) und der Innenfläche der Muffe (112) aus keramischem Isoliermaterial in von ihr getrennter Lage so angeordnet istf daß das Spannungsgefälle aittf der Innenseite der Muffe (112) aus keramischem Isoliermaterial optimal gestaltet wird, und die aussen um die Muffe (112) aus keramischen isoliermaterial herum angeordnete zweite hülse (148) aus leitfähigem Material von ihr getrennt so angeordnet ist, daß das !Spannungsgefälle auf der iiussenseite der ivtui'fe (112) aus keramischem Isoliermaterial optimal gestaltet wird.
009846/0287 BAD
DE1640824A 1965-06-01 1966-06-01 Anschluß für Hochspannungs-Koaxialkabel Expired DE1640824C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US460436A US3286021A (en) 1965-06-01 1965-06-01 Cable terminal for use with electron gun apparatus

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1640824A1 true DE1640824A1 (de) 1970-11-12
DE1640824B2 DE1640824B2 (de) 1974-06-06
DE1640824C3 DE1640824C3 (de) 1975-01-23

Family

ID=23828689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1640824A Expired DE1640824C3 (de) 1965-06-01 1966-06-01 Anschluß für Hochspannungs-Koaxialkabel

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3286021A (de)
BE (1) BE681696A (de)
DE (1) DE1640824C3 (de)
GB (1) GB1141885A (de)
SE (1) SE350162B (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2033704B (en) * 1978-10-30 1982-09-29 Electricity Council Electron discharge heating device
US5216690A (en) * 1992-03-11 1993-06-01 Hanks Charles W Electron beam gun with grounded shield to prevent arc down
US5310987A (en) * 1992-11-25 1994-05-10 Rpc Industries Electron beam gun connector
US6064686A (en) * 1999-03-30 2000-05-16 Tfi Telemark Arc-free electron gun

Also Published As

Publication number Publication date
GB1141885A (en) 1969-02-05
SE350162B (de) 1972-10-16
DE1640824C3 (de) 1975-01-23
US3286021A (en) 1966-11-15
BE681696A (de) 1966-11-28
DE1640824B2 (de) 1974-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0601595A1 (de) Zur Anordnung in einem Vakuumgefäss geeignete selbsttragende isolierte Leiteranordnung, insbesondere Antennenspule für einen Hochfrequenz-Plasmagenerator
DE3230091A1 (de) Druckgasisolierter stromwandler
DE967138C (de) Stromdurchfuehrung fuer Vakuum-Glueh- und Schmelzoefen
DE2656314A1 (de) Stromversorgungseinrichtung fuer elektronenstrahlkanonen
DE2831791C2 (de) Bauteil aus metallischem Werkstoff mit aufladungsgefährdeter Oberfläche und Verwendung hierfür
DE1640824A1 (de) Anschluss fuer Hochspannungs-Koaxialkabel
DE2030747C3 (de) Beschleunigungsrohr für einen Ladungsträgerstrahl
EP1953877A1 (de) Spannungszuführung zu wenigstens einem elektrischen Verbraucher
DE2936537A1 (de) Niederspannungs-vakuumschalter
DE2528032C2 (de) Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke
EP1513625B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung der äusseren oberfläche eines metalldrahts, insbesondere als beschichtungsvorbehandlung
EP0215034B1 (de) Röntgenröhre mit einem die anode und die kathode umgebenden zylindrischen metallteil
DE68915081T2 (de) Schutzvorrichtung von Neutronenröhren.
DE811120C (de) Elektrische Entladungsroehre mit gerichtetem Elektronenbuendel
AT88091B (de) Hochspannungsvakuumapparat aus nicht leitendem Gefäßmaterial.
DE658480C (de) Entladungsroehre mit zwei Gasen, von denen das eine leichter ionisierbar ist als das andere, und mit Hohlkathode
DE342909C (de) Hochspannungsvakuumapparat fuer Starkstrombetrieb
EP0458222B1 (de) Hochspannungsdurchführung für Korpuskularstrahlgeräte
DE4432982C2 (de) Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
DE1564818C3 (de) Anordnung zum Schütze von Oxydkathoden in Kathodenstrahlröhren
DE1514781C3 (de) Elektronenstrahl-Erzeugungssystem
DE9218662U1 (de) Gasentladungsschalter
DE2125936C3 (de) Kathode für Kathodenzerstäubungsvorrichtungen
DE29823118U1 (de) Röhrenhals für eine Kathodenstrahlröhre
DE1342810U (de)

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)