DE2656314A1

DE2656314A1 - Stromversorgungseinrichtung fuer elektronenstrahlkanonen

Info

Publication number: DE2656314A1
Application number: DE19762656314
Authority: DE
Inventors: Fritz Dipl Ing Dr Frank
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1976-12-11
Filing date: 1976-12-11
Publication date: 1978-06-15
Also published as: GB1560359A; US4143272A; JPS5373693A; FR2373874A1; CH621222A5

Description

DIPI..-ING. HANS Z Λ1? F R

D-605 OFFENBACH (MAIN) KAISERSTRASSE 9 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

TELEFON (0611} 8827 21

25. November 1976 Zap/Han

Akte: 76518

LEYBOLD-HERAEtIS GmbH & Co. KG Bonner Straße 504

5000 Köln - 51

Stromversorgungseinrichtung für Elektronenstrahlkanonen "

Die Erfindung bezieht sich auf eine Stromversorgungseinrichtung für Katoden von in Vakuumkammern angeordneten Elektronenstrahls kanonen, insbesondere von Aufdampfkanonen, mit magnetischer Strahlablenkung oder -fokussierung, bestehend aus einem Transformator mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung, Zuleitungen, welche in die Vakuumkammer eingeführt sind, sowie aus phasenanschnittgesteuerten elektrischen Stellgliedern für die Heizstromsteuerung.

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Bei Elektronenstrahlkanonen, deren Katoden grundsätzlich im Vakuum angeordnet sein müssen, geht es darum, den Strahlstrom, die Beschleunigungsspannung sowie die magnetische Beeinflussung des Strahls zum Zwecke einer Ablenkung und/oder Fokussierung einerseits möglichst konstant zu'hal ten, andererseits aber auch gegebenenfalls diese Größen möglichst rasch geänderten Betriebsbedingungen anzupassen. Beispielsweise stehen die Beschleunigungsspannung und die Magnetfeldstärke im Hinblick auf den Strahlverlauf und damit die Auftreffstelle des Strahls in Wechselbeziehung zueinander. Jegliche Beeinflussung des Magnetfeldes, die zu einer Feldänderung oder gar Feldverzerrung führt, verändert die Lage der Auftreffstelle. Unter anderem aus Gründen der Lebenserwartung der Katode wird diese mit einer niedrigen Heizspannung von wenigen Volt bei hoher Stromstärke versorgt. Die Heizleistung bestimmt die Temperatur und damit den Emissionsstrom der Katode bei gegebener Beschleunigungsspannung. Zur hohen Stromstärke für den Heizstrom kommt die Notwendigkeit hinzu, die Katode auf dem hohen Beschleunigungsspannungs-Potential anzuordnen. Dies führt zu besonderen Isolationsproblemen.

Bei Aufdampfkanonen kommt hinzu, daß die Verdampfungsrate des zu verdampfenden Materials stark von einer stetigen Strahlführung abhängig ist. So kann beispielsweise die Verdampfungsrate durch Instabilitäten im Ablenksystem, die beispielsweise durch Magnetfeldüberlagerungen aufgrund des hohen Heizstroms bei Netzfrequenz entstehen können, um bis zu 20 % verringert werden, ohne daß die Strahlleistung selbst verändert würde. Dieser Vorgang ist vermutlich auf eine dauernde Lageänderung der Auftreffstelle des Strahls zurückzu-

30- führen. Bei Stromversorgungseinrichtungen für Aufdampfkanonen kommt weiter hinzu, daß die Isolationswirkung von Isolatoren durch Kondensation leitfähiger Dämpfe, z.B. beim

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Verdampfen von Metallen, beeinträchtigt werden kann, so daß es zu Überschlägen kommt. Wegen der Gefahr von überschlagen verbietet es si.ch. auch, Transformatoren im Vakuum anzuordnen.

Zum Stande der Technik gehört eine eingangs beschriebene Stromversorgungseinrichtung, bei' welcher der Transformator iils Netzfrequenz-Transformator ausgeführt, außerhalb der Vakuumkammer angeordnet und mit der Katode über Koaxialkabel, über Hochspannungs- und Hochstrom-Durchführungen verbunden ist. Bei einer Heizspannung von 7 Volt und einer Heizstromstärke zwischen 25 und 100 Ampere muß die Sekundärspannung des Transformators beispielsweise 14 Volt be^ tragen, da etwa die Hälfte der Hetzleistung auf dem Wege vom Transformator zur Katode durch den Ohm'schen Widerstand in den Zuleitungen verloren geht, und dies trotz großer Querschnitte in den Zuleitungen. Allein die Leitungsverluste bedingen etwa eine doppelte Auslegung des Transformators. Hinzu kommt, daß der Transformator mit einer Hochspannungsisolation ausgeführt werden muß, da die auf Hochspannung (Beschleunigungsspannung) liegende Sekundärseite von der auf Netzspannungspotential liegenden Primärseite zuverlässig isoliert sein muß. Die Hochspannung auf der Sekundärseite ist auch der Grund für die Verwendung der Koaxialkabel, deren Umhüllung aus Sicherheitsgründen auf Erdpotential gelegt ist.

Bei der bekannten Lösung wird außerdem die Primärseite des Transformators über phasenanschnittgesteuerte Thyristoren gesteuert. Dies setzt voraus, daß der Transformator stark überdimensioniert werden muß, damit er zum Schütze der Thyristoren nicht in den Sättigungsbereich gelangt. Will man auf diese überdimensionierung verzichten, sind schaltungs-

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technische Schutzmaßnahmen für die Thyristoren erforderlich, die dem Aufwand eines Wechselrichters gleich kommen. Die vorzuziehende überdimensionierung zum Schütze der Thyristoren führt zusammen mit einer überdimensionierung im Hinblick auf die Leitungsverluste zu Transformatoren, die etwa die 4-fache .Größe gegenüber derjenigen Größe besitzen, die (theoretisch) für die Katodenheizung benötigt würde*

Bei der bekannten Stromversorgungseinrichtung existieren außerdem parasitäre Induktivitäten sowie durch die Koaxialkabel bedingte Kapazitäten, die bei den praktisch unvermeidbaren Kanonenkurzschlüssen für die steuernde Elektronik gefährlich sind. Dabei treten Nadel impulse auf, die ein Vielfaches der Betriebsspannung erreichen können.

Es wurde daher schon versucht, den Heizstrom auf der Sekundärseite gleich—zu-richten und im Stromkreis eine Drossel und einen Siebkreis vorzusehen. Hierdurch lassen sich die Verhältnisse geringfügig verbessern. Dennoch wird die Auftreffstelle bzw. der Brennfleck des Elektronenstrahls vom Heizbzw. Emissionsstrom beeinflußt. Zum Verständnis dieses Vorgangs ist auszuführen, daß die den hohen Heizstrom führenden Zuleitungen unvermeidbar je nach Kanonenkonstruktion in mehr oder weniger großer Nähe des Ablenkmagnetfeldes verlaufen müssen. Die die Zuleitungen umgebenden Magnetfelder überlagern sich dem Ablenkmagnetfeld, womit notwendigerweise eine Verlagerung des Brennflecks verbunden ist. Eine derartige Feldüberlagerung wird bei bekannten Elektronenkanonen unter Einsatz zusätzlicher Mittel dazu benutzt, den Elektronenstrahl bewußt abzulenken. Der ungewollte Einfluß derartiger Störfelder muß hingegen bei der bekannten Stromversorgungseinrichtung durch Änderung der Ablenkung kompensiert werden. Hinzu kommt, daß eine Gleichrichtung auf der Sekundärseite

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eine zusätzliche Verlängerung der Zuleitungen mit sich bringt, welche die Verluste wieder vergrößern.

Es ist auch bereits ein Versuch bekannt geworden, die Leitungsverluste und damit die Größe des Transformators dadurch zu verringern, daß der Transformator unmittelbar unter der Vakuumkammer angeordnet wird. Durch die damit verbundene Leitungsverkürzung werden zwar die Zuleitungsverluste entsprechend reduziert, die übrigen Probleme bleiben jedoch unverändert bestehen. Insbesondere kann auf Hochspannungs-Hochstromdurchführungen nicht vei— ziehtet werden, und auch die Abschaltspitzen werden nur unwesentlich verringert.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Stromversorgungseinrichtung für Elektronenstrahlkanonen anzugeben, durch die Leistungsverluste und damit der bauliche Aufwand des Transformators erheblich verringert werden, bei der eine merkliche Strahlbeeinflussung durch den Heizstrom der Katode nicht mehr auftritt, bei der Hochspannungs-Hochstromdurchführungen nicht mehr benötigt werden und bei der Nadelimpulse bzw. Abschaltspitzen nicht mehr im nennenswerten Maße auftreten können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Stromversorgungseinrichtung erfindungsgemäß dadurch, daß

a) der Transformator in die Vakuumkammer integriert ist, wobei eine Trennwand für die Trennung von Atmosphäre und Vakuum zwischen Primär- und Sekundärwicklung angeordnet ist und die Primärwicklung sich an Atmosphäre urvd die Sekundärwicklung sich im Vakuum befindet,

b) der Transformator ein Mittel frequenztransformator

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für Frequenzen oberhalb etwa 20 kHz ist und

c) dem Transformator r-ine Steuereinrichtung mit pulsbreiten gesteuerten Transistoren zur Zerhackung einer Gleichspannung mit Mittelfrequenz vorgeschaltet ist.

Durch die Anordnung der Vakuumtrennwand zwischen den Transformatorwicklungen entstehen auf der Primärseite keine Isolationsprobleme, da sich diese an Atmosphäre und auf einen niedrigen Potential befindet. Lediglich die Sekundärseite befindet sich im Vakuum. Wie nachfolgend noch näher aufgezeigt wird, ist es aufgrund der weiteren Maßnahmen nach der Erfindung jedoch möglich, die Sekundärseite einwindig auszuführen und hierbei als ein starres Gebilde auszuführen, welches frei aufgehängt werden kann, so daß - abgesehen von einem Stützisolator - die Isolation ausschließlich durch Vakuumsp.iUe bewirkt werden kann. .

Die Vakuumtrennwand besteht aus a-magnetischem Metall uh'd hat gleichzeitig die Wirkung einer elektrostatischen Abschirmung der Primärseite von der hochspannungs· führenden Sekundärseite. Auf Hochstromdurchführungen kann vollständig verzichtet werden, da der hohe Heizstrom ausschließlich innerhalb der Vakuumkammer erzeugt wird. Durch Auslegung des Transformators als Mittel frequenztransformator für Frequenzen oberhalb etwa 20 kHz (d.h. oberhalb der Hörschwelle) gelingt es, den Transformator einwindig auszuführen, womit eine der wesentlichen Voraussetzungen für die Anordnung der Trennwand zwischen Atmosphäre und Vakuum geschaffen wird.. Es entsteht ein Transformator mit wesentlich kleinerem Volumen, da das Transformatorvolumen tendenzmäßig etwa umgekehrt proportional der Frequenz ist. Mit der Verwendung von Mittel frequenz dringt auch das ansonsten durch den Heizstrom erzeugte Magnetfeld nicht

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mehr in den Bereich der Massiveisen-Polschuhe ein, und zwar aufgrund des mit der Mittelfrequenz verbundenen Skin-Effektes. Der Brennfleck steht ruhig, d.h. es tritt weder eine Oszillation noch eine permanente Verschiebung auf.

Durch die Verwendung einer Steuereinrichtung mit pulsbreiten-gesteuerten Transistoren wird das Problem beseitigt, eine überlastung der Transistoren durch Sättigung des Transformators zu vermeiden. Dies kann z.B. durch eine schnell ansprechende öberstromschutzschaltung auf einfache Weise bewirkt werden. Dirch die Möglichkeit, die Leistung des Transformators voll auszunutzen, wird dessen Bauvolumen weiter verringert. Durch die Gesamtheit der angegebenen Mittel ist es möglich, die Größe des Transformators gegenüber dem Stande der Technik auf ein Zwanzigstel zu verringern. Hierdurch ist es wiederum möglich, den Transformator nicht nur in die Wand der Vakuumkammer zu integrieren, sondern ihn auch in unmittelbarer Nähe der Elektronenstrahl kanone anzuordnen. Beim Einsatz mehrerer Kanonen in der gleichen Vakuumkammer kann jeder Kanone wagen der Kleinheit des Transformators ein eigener Transformator zugeordnet werden, so daß die Umschaltmöglichkeiten wesentlich vereinfacht werden.

Durch die damit verbundenen außerordentlich kurzen Zuleitungen zwischen dem Transformator und der Elektronenstrahlkanone entfällt eines der beiden bisher notwendigen Hochspannungskabel. Außerdem wird die parasitäre Kapazität auf weniger als 50% verringert. Die effektive parasitäre Induktivität des Hochspannungskreises wird vernachläßigbar klein, da aus dem einen Energiespeicher bildenden Streufeld eines kleineren Transformators eine wesentlich geringere Energie freigesetzt wird. Ferner ist das noch vorhandene einzige Hochspannungskabel für eine Dämpfungs-

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beschaltung zugänglich, und es wird nur eine Hochspannungsdurchführung benötigt, die aber, wie bereits weiter oben ausgeführt, keine Hochstromdurchführung ist.

Die Verwendung einer Steuereinrichtung mit impulsbreitengesteuerten Transistoren hat noch den zusätzlichen Vorteil einer linearen Stell kenn!inie, d.h. einer linearen Abhängigkeit der Katodenleistung von der Steuerspannung, wobei die Steuereinrichtung zwischen 0 und 100 % regelbar ist.

Der Transformator für die erfindungsgemäße Stromversorgungseinrichtung kennzeichnet sich gemäß der weiteren Erfindung dadurch, daß die Wicklungen des Transformators in einem Gehäuse aus amagnetischem Werkstoff angeordnet sind, welches in die Vakuumkammer eingesetzt ist und aus einem in die Vakuumkammer gerichteten, hohlen Fortsatz sowie aus einer den Fortsatz unter Bildung eines Ringraumes vakuumdicht umsch1iessenden Kappe besteht, daß die Primärwicklung mit einem Eisenkern im Ringraum angeordnet ist und über einen Kanal mit der Atmosphäre in Verbindung steht, und daß die Sekundärwicklung innerhalb des hohlen Fortsatzes angeordnet ist, der mit dem Innenraum der Vakuumkammer in Verbindung steht.

Durch die angegebene Bauweise entsteht ein aus wenigen Teilen zusamnoigesetztes Transformatorengehäuse, in welches die elektrischen Teile einfach einsetzbar sind, und welches seinerseits leicht vakuumdicht in die Wandung der Vakuumkammer einsetzbar ist.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, das Transformatorengehäuse im wesentlichen rotationssymmetrisch auszubilden und mit einem Flansch zu versehen, aus dem auf einer Seite der hohle Fortsatz koaxial hervorsteht, mit dem die Kappe unter

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gleichzeitiger Abdichtung gegenüber dem Flansch verschraubbar ist, und es auf der anderen Seite mit einem koaxial hervorstehenden Rohrstutzen zu versehen, in dem eine Spannungsdurchführung mit einem Durchführungsisolator vakuumdicht angeordnet ist, der gleichzeitig als Stützisolator für die Sekundärwicklung dient, welche an die Spannungsdurchführung angeschlossen ist. Durch diese Maßnahme wird gleichzeitig die Aufhängung bzw. Befestigung für die Sekundärwicklung in Baueinheit mit dem Transformatorengehäuse geschaffen. Weitere Isolatoren sind im Prinzip nicht erforderlich, so daß die Sekundärwicklung nur durch'Luft- bzw. Vakuumspalte gegenüber dem Transformatorengehäuse isoliert ist.

Diese Maßnahme wirkt sich dann besonders vorteilhaft aus, wenn die Sekundärwicklung im wesentlichen aus einem im Fortsatz koaxial angeordneten Metallbolzen besteht, der die koaxiale Verlängerung der Spannungsdurchführung bzw. des Durchführungsisolators darstellt und gegenüber dem Gehäuse durch einen Zylinderspalt isoliert ist.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes sei anhand der Figur nachfolgend näher erläutert, die ein Prinzipschaltbild der Stromversorgungseinrichtung mit einem Axialschnitt durch den Transformator und eine schematische Darstellung eines Elektronenstrahl Verdampfers zeigt.

In der Figur ist mit 10 ein Elektronenstrahl verdampfer bezeichnet, der aus einem Verdampfertiegel 11 mit Kühlwasseranschlüssen 12, einer Katode I3und einem Ablenkmagnetsystem besteht, von dem lediglich einePolschuhplatte 15 dargestellt ist . Die Katode 13 wird über Zuleitungen 16 und 17 mit Heizstrom versorgt und gleichzeitig auf Hochspannungspotential gelegt. Während des Betriebs wird ein Elektronen-

+) und einer Anode 14

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Strahlbündel 18 erzeugt, welches durch die beiden PoI-schuplatten 15, von denen die vordere entfernt ist, auf der dargestellten gekrümmten Bahn abgelenkt wird und auf das Verdampfungsmaterial 19 im Tiegel 11 auftrifft, und zwar an der Auftreffstelle 20. Derartige Elektronenstrahl verdampfer sind Stand der Technik. In diesem Zusammenhang wird auf die DT-PS 22 06 995 verwiesen.

Für die Heizstromversorgung der Katode 13 dient eine Versorgungseinrichtung21, die ihre Betriebsspannung U_ß über die Klemmen 22 und 23 erhält. Teil dieser Steuereinrichtung ist eine Steuerschaltung 24 für zwei impulsbreitengesteuerten Transistoren 25 und 26, die ihre Steuerspannung ü"_ST über die Klemme 27 erhält · Durch die Steuerschaltung ist es möglich, die Impulsbreite von Rechteckinipulsen in linearer Abhängigkeit von der Steuerspannung U₅^ zwischen und 100 % zu verändern. Die Versorgungseinrichtung 21 besitzt Ausgänge 28, 29 und 30, an denen eine Spannung von 100 Volt in Form von Rechteckimpulsen anliegt, die durch die Steuerschaltung 24 mit einer Frequenz zwischen 20 und 40 kHz erzeugt werden. Die Ausgänge 28 und 30 führen über Leitungen 31 und 33 zu den Enden einer Primärwicklung 34 eines Transformators 35, während der Ausgang 29 über die Leitung 32 mit einer Mittenanzapfung der Primärwicklung 34 verbunden ist.

Der Transformator 35 besitzt ein Gehäuse 36 aus amagnetischem Werkstoff (VA - Stahl}, welches seinerseits aus einem Flansch 37 mit einem hohlen Fortsatz 38 und einem Rohrstutzen 39 sowie einer Kappe 40 besteht. Die Kappe 40 ist über eine Ringmutter 41 mit dem Fortsatz 38 verschraubt und stützt sich mit ihrem äußeren Rand unter Zwischenschaltung eines O-Ringes

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isoliert auf dem Flansch 37 ab.

Der Rohrstutzen 39 durchdringt eine Vakuumkammer 43, die hier durch einen Rezipientenboden gebildet wird. Durch eijie Ringmutter 44 wird der Flansch 37 unter Zwischenschaltung eines O-Ringes 45 mit der Vakuumkammer 43 verspannt. Im- Rohrstutzen 39 befindet sich ein Kanal 46, durch den die Leitungen 31, 32 und 33 in einen Ringraum 47 geführt werden, der zwischen der Kappe 40 und dem Fortsatz 38 gebildet wird. Dieser Ringraum steht über den Kanal 46 mit der Atmosphäre in Verbindung und dient zur Aufnahme der bereits beschriebenen Primärwicklung 34, die in Form einer Toroidspule auf einen Eisenkern 48 aufgebracht ist. Es ist zu erkennen, daß der Ringraum 47 gegenüber dem Innenraum der Vakuumkammer 43 absolut dicht verschlossen ist.

Der hohle Fortsatz 38 wird von einer Sekundärwicklung durchdrungen, die aus einem koaxial zum Fortsatz ausgerichteten Metallbolzen 50 und Anschlußleitungen 51 und 52 besteht. Die Sekundärwicklung ist wie ersichtlich einwindig ausgeführt und steht über Klemmen 53 und 54 mit den Zuleitungen 16 und 17 zur Katode 13 in Verbindung. Der Durchtritt der Anschlußleitung 52 zum unteren Ende des Metallbolzens 50 wird durch eine seitliche Ausfräsung im Flansch 37 ermöglicht. Wie aus der Figur ersichtlich, wird zwischen dem Metallbolzen 50 und den Anschlußleitungen 51 und 52 allseitig ein ausreichender Valcuumspalt gegenüber den benachbarten metallischen Teilen eingehalten. Zwischen

dem Metallboden 50 und den Fortsatz 38 besteht ein Zylinderspalt 65.

Die Sekundärwicklung 49, insbesondere deren Metallbolzen stützt sich über einen Gewindestift 56 auf einem Durchführungsisolator 57 ab, der unter Zwischenschaltuno einer

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Vakuumdichtung 58 konzentrisch im Rohrstutzen 39 angeordnet ist. Auf diese Weise stellt der Durchführungsisolator 57 einen Stützisolator für den Metallboden 50 dar.

Das untere Ende des Gewindestiftes 56 steht über eine nicht näher bezeichnete Steckverbindung mit einer Hochspannungsleitung 59 in Verbindung, die von einer koaxialen Abschirmung 60 umgeben ist. Hochspannungsleitung und Abschirmung führen über Klemmen 61 und 62 zu einem Hochspannungsgerät 63, in dem eine Spannung von ca.

10.000 kV erzeugt wird. Diese Hochspannung teilt sich durch die angegebene Leitungsführung der Katode 13 mit und stellt die sogenannte Beschleunigungsspannung dar. Das obere Ende der Abschirmung 60 ist elektrisch leitend mit dem Rohrstutzen 39 und damit mit dem Anodenpotential verbunden, auf dem auch die Vakuumkammer 43 liegt.

Es ist erkennbar, daß für die Leitungen 31, 32 und 33 keine vakuumdichten Durchführungen benötigt werden. Bei der Spannungsdurchführung 64, die aus dem Gewindestift und dem Durchführungsisolator 57 besteht, handelt es sich nicht um eine Hochstromdurchführung. Der hohe Heizstrom wird vielmehr erst innerhalb der Vakuumkammer 43 in der Sekundärwicklung 49 gebildet. Die Spannungsdurchführung 64 liegt außerordentlich gut geschützt im Innern des Transformatorgehäuses 36, wobei man bei der praktischen Ausführung dafür sorgen wird, daß die Ausfräsung 55 auf der dem Verdampfer 10 abgewandten Seite zu liegen kommt. Der hohle Fortsatz 38 zwischen Primärwicklung 34 und Sekundärwicklung 49 stellt im Prinzip die Trennwand zwischen Atmosphäre und Vakuum dar. Hierdurch wird der Transformator

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ein integriertes Bauteil der Vakuumanlage, der in Verbindung mit den weiteren elektrischen Einrichtungen zu den eingangs beschriebenen Vorteilen führt»

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Leerseire

Claims

26563 U Ans ρ r ü c h e:

1. Stromversorgungseinrichtung für Katoden von in Vafcuumkammern angeordneten Elektronenstrahlkanonen, insbesondere von Aufdampfkanonen mit magnetischer Strahlablenkung oder -fokussierung, bestehend aus einem Transformator mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung, Zuleitungen, welche in die Vakuumkammer eingeführt sind, sowie aus phasenanschnittsgesteuerten elektrischen Stellgliedern für die Heizstromsteuerung, dadurch 'gekennzeichnet, daß a) der Transformator (35) in die Vakuumkammer (43) integriert ist, wobei eine Trennwand für die Trennung von Atmosphäre und Vakuum zwischen Primär-(34) und Sekundärwicklung (49) angeordnet ist und die Primärwicklung sich an Atmosphäre und die Sekundärwicklung sich im Vakuum befindet,

' b) der Transformator (35) ein Mittelfrequenztransformator * für Frequenzen oberhalb etwa 20 kHz ist. und

c) dem Transformator eine Steuereinrichtung (21) mit impulsbreitengesteuerten Transistoren (25, 26) zur Zerhackung einer Gleichspannung mit Mittelfrequenz vorgeschaltet ist.

2. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklungen (34, 49) des Transformators (35) in einem Gehäuse (36) aus amagnetischem Werkstoff angeordnet sind, welches in die Vakuumkammer

(43) eingesetzt ist und aus einem in die Vakuumkammer gerichteten, hohlen Fortsatz (38) sowie aus einer den Fortsatz unter Bildung eines Ringraumes (47) vakuumdicht umschliessenden Kappe (40) besteht, daß die Primärwicklung (34) mit einem Eisenkern (48) im Ringraum angeordnet ist und über einen. Kanal (46) mit der Atmosphäre in Verbindung

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steht, und daß die Sekundärwicklung (49) innerhalb des hohlen Fortsatzes angeordnet ist, der mit dem Innenraum der Vakuumkammer (43) in Verbindung steht.

3. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge-

kennzei chnet, daß das Transformatoren-Gehäuse (36) im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist und einen Flansch (37)aufweist, aus dem auf einer Seite der hohle Fortsatz (38) koaxial hervorsteht, mit dem die Kappe (40) unter gleichzeitiger Abdichtung gegenüber dem Flansch verschraubbar ist, und aus dem auf der anderen Seite ein Rohrstutzen (39) koaxial hervorsteht, in dem eine Spannungsdurchführung (64) mit einem Durchführungsisolator (57) vakuumdicht angeordnet ist, der gleichzeitig als Stützisolator für die Sekundärwicklung (49) dient, welche an die Spannungsdurchführung angeschlossen ist.

4. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sekundärwicklung (49) im wesentlichen aus einem im Fortsatz (38) koaxial angeordneten Metallbolzen (50) besteht, der die koaxiale Verlängerung der Spannungsdurchführung (64) bzw. des Durchführungsisolators (57) darstellt und gegenüber dem Gehäuse (36) durch einen Zylinderspalt (65) isoliert ist.

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