CH276259A - Elektronenoptisches Gerät mit elektrostatischem Hochspannungsgenerator. - Google Patents

Description

  Elektronenoptisches Gerät mit elektrostatischem Hochspannungsgenerator.    Elektronenoptische Geräte, wie     Elektro-          neninikroskope,    Elektronenteleskope,     Elektro-          nendiffraktographen,        Massenspektrographen     und K     athodenstrahloszillographen    mit einer  oder mehreren elektrostatischen Linsen be  sitzen meistens eine ausserhalb ihres Vakuums  angeordnete Hochspannungsquelle. Als Hoch  spannungsquelle werden unter anderem elek  trostatische Generatoren benutzt.  



  Ein Nachteil derartiger Einrichtungen  liegt darin, dass bei zufälliger Verschlechte  rung des Betriebsvakuums unvermeidliche  Überschläge im Elektronengerät und insbeson  dere an den elektrostatischen Linsen auftre  ten. Es sind schon verschiedene Vorrichtungen       vorgeschlagen    worden, welche bei Eintreffen  dieses Falles die Hochspannung abschalten.  Solche Vorrichtungen sind meistens kompli  ziert und nicht betriebssicher.  



  Vorliegende Erfindung bezweckt, ein     elek-          troneiioptiselies    Gerät mit elektrostatischem       lloehspannungsgenerator    zur Speisung seiner  elektrostatischen Linsen zu schaffen, bei dem  diese Störungen auf einfache und zuverlässige  Weise beseitigt sind. Erfindungsgemäss ist der  elektrostatische Generator in einem mit dem  Vakuum des Elektronengerätes kommunizieren  den     Vakuum    angeordnet, derart, dass bei einer       Versehleehterung    des     Betriebsvakuums    sich  der Generator durch Gasentladung bewirkten  elektrischen Kurzschluss     entregt    und span  nungslos wird.

   Beispielsweise kann der Gene  rator im Vakuumgefäss des Gerätes selbst ein  gebaut sein, so dass keine besondern äussern    Zuleitungen für die Zuführung der Hoch  spannung zu den elektrostatischen Linsen nö  tig sind.  



  Da, wo Elektronengeräte durch rotierende       Molekularpumpen    evakuiert werden, kann der  elektrostatische Generator     vorteilhafterweise     auch auf der gleichen Welle wie die rotie  renden Teile der     Molekularpumpe    angeordnet  sein. Bei     Molekularpumpen,    die eine koaxial  in einer ruhenden Trommel oder eine koaxial  um eine ruhende Trommel rotierende Trommel  besitzen, kann der elektrostatische Generator  auch in der innern Trommel einer solchen       Mol.ekularpumpe    angeordnet. sein.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Elektronenoptisches Gerät mit elektrostati schen Linsen und einem zu deren Speisung verwendeten elektrostatischen Hochspannungs generator, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrostatische Generator in einem mit dem Vakuum des Elektronengerätes kommunizie renden Vakuum angeordnet ist, derart, dass bei Verschlechterung des Betriebsvakuums der elektrostatische Generator sieh durch Gas entladung bewirkten elektrischen Kurzschluss entregt und spannungslos wird. UNTERANSPRÜCHE: 1. Elektronenoptisches Gerät mit Genera tor nach Patentanspruch, dadurch gekenn zeichnet, dass der elektrostatische Generator im Vakuumgefäss des Gerätes eingebaut ist. 2.

   Elektronenoptisches Gerät mit Genera tor nach Patentanspruch, dadurch gekenn zeichnet, dass der elektrostatische Generator innerhalb des Vakuums mit den elektrostati schen Linsen elektrisch verbunden ist. 3. Elektronenoptisches Gerät. mit Genera tor nach Unteransprüchen 1 und 2. 4. Elektronenoptisches Gerät mit Genera tor nach Unteranspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, dass der rotierende Teil des im Va kuum befindlichen Hochspannungsgenerators zum rotierenden Teil der 1Iolekularpumpe koaxial ist. 5. Elektronenoptisches Gerät mit Genera tor nach Unteranspruch 4, dadurch gekenn zeichnet, dass der Hochspannungsgenerator sieh innerhalb der 3lolekularpumpe befindet. 6.

   Elektronenoptisches Gerät mit Genera tor nach Unteranspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, dass zum gemeinsamen Antrieb des rotierenden Teils des Hochspannungsgenera- tors und des rotierenden 3iolekularpumpen- teils diese Teile auf derselben Welle sitzen.